根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨

根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨
汤昌社;周建友;潘嘉声;胡润洪
【期刊名称】《计量学报》
【年(卷),期】2008(029)004
【摘要】从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用.结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02 μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题.【总页数】4页(P305-308)
【作者】汤昌社;周建友;潘嘉声;胡润洪
【作者单位】广东省计量科学研究院,广东,广州,510405;广东省计量科学研究院,广东,广州,510405;广东省计量科学研究院,广东,广州,510405;广东省计量科学研究院,广东,广州,510405
【正文语种】中文
【中图分类】TB921
【相关文献】
1.标准环规直径测量值的测量不确定度分析 [J], 游华平
2.基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置 [J], 汤昌社;潘嘉声;周建友;胡润洪
3.等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算 [J], 张泰昌
4.标准环规直径测量的不确定度评定 [J], 张辉
5.基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统 [J], 王洪;王石刚;薛联;秦岚因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。