ITO蚀刻生产工艺作业指导书

文件编号版本号制定审核批准生效日期页码受控章
Document No Edition No Originator Examiner Approval Effective page Controlled stamp
2008-4-72/1
ITO蚀刻生产工艺作业指导书
一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质
二、适用范围：ITO蚀刻
三、职责：作业员严格按本规范操作
4.1溶液的配置
4.1.1A槽（蚀刻ITO Film）
a.开槽配490(480-500)升左右酸液。

b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比）
HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比）
质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/L
c. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。

配好后测试酸的浓度,在范围内方可使用。

d. 蚀刻线酸液浓度测定
准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1 g酚酞+99.9g乙醇）。

使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约14.8~16.4ml ,接近滴定终点时溶液顏色由无色变为红色。

注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液<14.8~16.4ml,须补加盐酸。

e. 补充液的计算
补加量为（使用查考配加药量计算）：
MHCL（g）=200000 - 12761 VNaOH
VHCL (mL) = MHCL/1.19
VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml
4.1.2 B槽（蚀刻玻璃）
a. 开槽配435升左右酸液.
b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 249 : 11.74: 239（体积比）
HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 293 : 239 : 16.67（质量比）
摩尔浓度约为6.17mol/L
c.取249L浓 HCL（296.2kg） 慢慢加入200L纯水(200kg)中(边搅拌边加入);再取11.74L 浓HNO3（16.67kg）慢慢加入以上酸液中(边搅拌边加入) 。

配好后,测试酸的浓度在范围内方可使用。

d. 蚀刻线酸液浓度测定
准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞溶液2-3滴（0.1 g 酚酞+99.9g乙醇）。

使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约24.2-25.0ml , 接近滴定终点时溶液顏色由无色变为红色。

注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液<24.2-25.0ml,须补加硝酸和盐酸。

e.补充液的计算
四、作业内容:
文件编号版本号制定审核批准生效日期页码受控章
Document No Edition No Originator Examiner Approval Effective page Controlled stamp
2008-4-72/2
4.1.3补加量为（使用查考配加药量计算）：
MHCL（g）=296195 – 12001.4167 VNaOH
VHCL (mL) = MHCL/1.19
VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml
1.19 -----所用盐酸的质量分数
MHNO3（g）=16672.61 – 675.5514 VNaOH
VHNO3 (mL) = MHNO3/1.42
VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml
1.42 -----所用硝酸的质量分数
4.1.4.碱槽溶液配制
NaOH：H2O=1:20(质量比)
摩尔浓度约为1.25mol/L
a.开槽配制约200升 ( L ) 碱液。

b.称取10.5kg氢氧化钠, 置于白色塑料筒中, 再量取约200升纯水将其溶解。

注意:
1.先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎, 再用适量纯水溶解,最后加入剩余的纯水配成。

2.整个过程中, 需不停搅拌, 尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。

3.搅拌速度适中, 不宜过快。

d. 蚀刻线碱液浓度测定
用吸量管吸取2.0ml碱液, 放入锥瓶中, 加纯水约25ml,再加酚酞指示剂1-2滴(这时溶液呈红色), 然后用盐酸(HCL)标准溶液滴至由红色变成无色后摇匀, 1分钟后不褪色即为终点, 使用浓度为（HCL）=0.5mol/L标定时理论消耗约5.0~5.6ml
e.补充NaOH的计算
如果蚀刻一段时间后，清洗耐酸油墨质量不良时，补加量可参考下面的公式推算（使用参考新配加药量计算）：
M(NaOH)g＝10000-2000 VHCL (mL)
VHCL---------滴定盐酸溶液的实际消耗体积ml
M(NaOH)----------需要被投加的氢氧化钠的量g
4.2注意事项
4.2.1 配制前,所用容器、工具必须洁净干燥, 每次使用完毕, 应立即清洗。

4.2.2 工作桌面保持清洁、整齐。

4.2.3 使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧, 避光放于阴凉处。

4.2.4 配制溶液,所需用水必须采用纯水。

4.2.5 溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋。

4.2.6 配制酸液时,不能将水注入酸中, 否则极易产生爆炸。

4.2.7 酸、碱不慎沾到皮肤上, 应立即用水清洗。

4.2.8 配制标准溶液的试剂采用分析纯，生产用的试剂可采用化学纯。

4.2.9 酚酞为碱指示剂,用适量乙醇溶解; 甲基橙为酸指示剂也可用酚酞,用适量纯水溶解。

4.2.10 每次开机前,酸液、碱液的浓度必须测试。

连续生产时,每3.5-4.0小时需测试槽中酸、碱液浓度,若浓度不足,需添加。

当生产量大, 应适当增加测试频率, 以确保溶液浓度在要求范围内。

4.2.11碱液:每工作72小时换一次槽液并清洗碱槽;
酸液:两槽酸每工作3个月换一次槽液并清洗酸槽;
纯水、自来水每工作72小时换一次槽液并清洗水槽。

注:不足规定时间,浓度不足可添加。

4.2.12一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中。

ITO蚀刻生产工艺作业指导书
中国触摸屏网（)
您下载的该触摸屏技术文档来自于中国触摸屏网( / )
What you are downloading are from China Touchscreen Site: ( / )
中国触摸屏网四大版块：
•触摸屏论坛：/
•触摸屏供求商机：/
•人才求职/招聘：/forum-12-1.html
•触摸屏行业杂志：/emag/
1. 触摸屏论坛：中国触摸屏网论坛是触控面板人讨论触摸屏技术，解决触摸屏生产问题，发布触摸屏产品供求信息，了解触摸屏市场动态，触摸屏厂商招聘和TP人求职的第一平台。

2. 触摸屏供求商机：免费发布触控面板产品、触摸屏材料、触摸屏设备、触摸屏一体机、人机界面、大屏幕显示器、广告机、金融自助设备、薄膜开关、电子白板LED电子显示屏等
3. 人才求职/招聘：触摸屏厂商招聘和触摸屏行业人才求职，招聘求职效果好，免费！
4. 触摸屏杂志：《触动中国》电子杂志聚焦触控面板行业资讯、技术，行业厂商和市场趋势。

中国触摸屏网( 51T ) 是中国首家以触控面板行业为基础的大型资讯、供求商机和论坛网站平台。

自2003年9月创立起，中国触摸屏网一直致力于提供触摸屏行业资讯与商务服务，深受触摸屏行业用户、业内企业和公司的首肯，其品牌影响力和用户满意度均位居业内第一。

时值今日，中国触摸屏网凭借强大的信息资讯频道，产品展示频道，供求商机频道，触摸屏论坛频道，成为业界公认的全球最大的触控面板行业门户网站。

使用本文档前请您先阅读以下条款:
1. 中国触摸屏网仅对原资料包“依样”打包，未做过任何改动，但不保证所提供资料或文档的完整性。

2. 请在使用前查毒(这也是您使用其它网络资源所必须注意的) 。

3. 由本站提供的资料或者文档对您的网站或计算机造成严重后果的本站概不负责。

4. 转载本站提供的资源请勿删除本说明文件。

中国触摸屏网——无“触”不在。