维易科（Veeco）：纳米技术的...

维易科（V eeco）：纳米技术的创新者——访美国维易科（V eeco）精密仪器有限公司副总裁兼中国区总经理荆亦仁
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企业访谈?
维易科(V eeco):纳米技术的创新者
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访美国维易科(V eeco)精密仪器有限公司副总裁兼中国区总经理荆亦仁
本刊记者张军营
副总裁兼中国区总经理荆亦仁
美国维易科(V eeco)精密仪器有限公司向广大
用户提供自行设计和制造的世界先进的精密测量
仪器和工艺设备,并提供广泛的客户服务和技术支
持.公司的工艺设备主要用于纳米范围的设备制
造,拓宽了信息时代的技术和产品的广阔领域;测
量仪器用来进行纳米范围的精密测量,为先进的科
学研究和纳米技术提供重要的科技支持.公司致力
于协助全球用户开拓新技术,提供使用经验和技术
支持,为了确保技术产品上的世界领先地位和技术
进步,公司不断开发新产品并为客户提供长期的服
务.公司的制造产业位于纽约,加利佛尼亚,科罗拉
多,亚利桑那和明尼苏达等多个地区,全球销售与
服务机构遍布美国,欧洲,日本和亚太地区.
公司的主要品牌有:DI扫描探针显微镜,近场
光学显微镜,DEKTAK探针轮廓仪,WYKO激光干
涉仪和光学轮廓仪,NEXUS离子束沉积系统,Tur- boDisc金属有机化学汽相沉积,,,1ECO分子束外延系统,SPECTOR镀膜系统,VEECO离子源等.美国维易科公司目前在中国设有北京和上海两个分支机构,负责V eeco仪器在中国境内的销售及技术服务,同时与中国科学院化学研究所合作建立纳米技术中心,为广大用户提供应用支持.
日前本刊记者有幸采访了美国维易科(V eeco)
精密仪器有限公司副总裁兼中国区总经理荆亦仁,
先生.
记者:美国维易科公司是全球先进的设备供应商,销售与服务机构遍布美国,欧洲,日本和亚太地区.并在中国北京和上海设了分支机构,请您谈谈维易科在中国的发展现状及未来的发展计划.
荆先生:2006年是维易科(V eeco)取得飞速发
展的一年,公司在全球市场包括北美,亚太以及中国地区的销售形势喜人,整个公司有了较大的发展.维易科(V eeco)目前不但在中国北京和上海设有两个分支机构,并在广东的东莞还设立了办事处,主要针对南方市场的客户做一些设备应用服务工作.过去的一年,通过公司全体人员的努力,公司业务在中国的增长保持在30%左右,并且会在未来一
段时间保持这种持续增长.除了在常规的科研,
技术增长外,尤其是在LED产业化方面增长显着; 另一个较大增长是TrboDisc金属有机化学汽相沉积方面,以前TurboDisc金属有机化学汽相沉积只是在科研领域小规模的应用,现在同行业的共同努
力下已经形成产业化发展模式,我们公司这方面的增长也十分明显.
回顾2003年我们刚进入中国市场时仅有几个人,经过短短3年的发展,我们员工规模已达到40 人,在未来我们会培养出更多的技术应用型人才, 服务于亚太市场.我们计划在北京加大技术投入, 加强技术应用的开发.随着将来中国市场逐渐成熟,供应链的日趋完善,我们会考虑把制造中心转
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移到中国.
记者:目前,中国大陆的半导体产业正在飞速
发展,整个行业的格局正在发生日新月异的变化, 市场竞争更加激烈,您如何看待竞争对手?
荆先生:随着整个半导体产业的深入发展,竞
争是一种必然趋势.市场竞争激烈并不可怕,我们可喜的看到,中国半导体产业格局在全球的比重越来越大.这也说明,一,半导体市场是一个美味可口的蛋糕,大家共同努力,越作越大,且共同分享.二, 产业集中,会产生一个群聚效益,这点在台湾地区得到很好的体验,在过去的十几年间,台湾地区的电子,半导体产业飞速发展,整合了一批下游供应商,也可以说培育了二级市场.这带来了几方面的好处:一是优胜劣汰,要想在激烈的竞争环境当中站稳脚跟,就必须主动提高自身的整体实力;二是对整个产业的发展有利,我们会发现人才供应比较充足,同时下游的供应商也会积极努力,提高自身能力,甚至会考虑建立基地,工厂,对我们而言有很
大的发展潜力;三是市场成熟到一定的程度,我们可以实现研发,制造的本地化.
市场竞争不仅仅是厂家的价格战,这样受损的
只是客户,我们提倡的是产品的性价比和建立良好完善的售后服务体系,把更多的产品附加值带给客户.相互竞争,相互促进,只要建立这种良性的市场竞争机制,通过市场潜移默化的调节,从而才能更好地推动半导体产业在中国市场的发展.
记者:随着科技的不断进步,更多,更先进,更
加精密的仪器被研发出来,从而推动整个行业的发展.维易科在产品研发方面有那些新的突破?对国内的企业有那些贡献?
荆先生:半导体产业是一个高科技领域,发展
迅速,我们在不断的自主创新,否则就会被淘汰出局.我们采用的运作模式是:市场上有主力产品供应,有先进产品推出,工厂有后续产品研发.在2006年底,公司推出了2个新产品,一是针对全球大规模发展的LED产业,我们推出了2个K系列TurboDisc金属有机化学汽相沉积产品,主要应用服务于电照明,半导体照明等领域,解决高科技发展的能源问题,响应国家的"十一五"战略发展规划,争取在这方面有所成就,为以后产业化发展需求服务.另一方面,我们研发的原子粒显微镜不但在半导体领域,纳米技术科研领域广泛应用,而且今年已经进入了新兴生命科学领域,为其提供技术支持和应用服务,希望为我国生命科学领域的研究做出贡献.
目前,亚太地区的销售额占整个维易科
(V eeeo)公司的4O%以上,中国是主要市场.我们
会加强在这个地区的服务,在客户对技术难度的要求能满足的情况下,保证产品的质量稳定,进行品质的持续监控是关键.争取把最稳定的产品,最好的售后服务奉献给广大客户.
记者:就全球的半导体设备而言,大陆本土的
仪器设备目前是怎样的一个整体水平?和国际上发达国家先进的仪器设备相比有哪些差距?
荆先生:中国本土的半导体产业起步比较晚,
设备市场不够大,企业的经验不足,整体的配套能力比较差,高科技产业链还不健全,这是中国半导体领域的现状.现在任何国家,任何地区的高科技领域,都会存在一些地方保护措施,这些政策限制, 非贸易壁垒的争端还是由市场的发展来决定.随着中国加入WTO后经济的快速发展,半导体产业的崛起,由政府部门,业内企业和媒体正在作一些积极的努力,相信这种情况将会得到圆满的解决.
努力推动服务和配套行业的建设,在知识产权
领域建立一套完善的规范机制,为我国半导体产业营造一个良好的发展环境.我相信随着更多企业的迅速发展,更多优秀的人才加入这个行业,提升中国半导体产业整体水平还是有希望的.
记者:请问自荆总您上任V eeeo中国区总经理
以来,是如何进行战略调整的,怎样扩大V eeco在大陆的市场占有份额?
荆先生:过去的一年,我们在本质工作的同时,
主要做了两方面的工作.一是加强纳米技术中心的运作,开始应用技术的研发.同时对国内人力资源的整合,加强对中国市场开发能力,增加了Market- ing部门.针对中国市场的需求做一些调查,反馈到
生产部门,对产品的更新,技术应用,研发提供一些
信息服务.二是我们在中国加强了应用开发人员,
这不只是技术支持的问题,而是针对客户特殊的技
术,应用,制程方面的需求,我们配备了相应的技术
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方面的人员.而且在TurboDisc金属有机化学汽相
沉积方面我们的技术应用人员达到了一定的技术
水平,可以协助和客户共同开发一些制程.现在我
们公司的已经有技术人员在台湾地区给客户提供
一
些服务.
记者:我们知道,荆总您有着非常资深的工作
经验,请您谈一下V eeco公司优秀的企业文化,及
员工良好的团队拼搏精神.
荆先生:我在半导体领域的工作时间超过16
年,大部分时间是在中国本土工作,我的这些工作
经历,对我今后的工作生活带来了很大的帮助.维
易科(V eeco)公司在2001年后取得了很大的发展,
其间在全球收购其它的公司进行整合.现在我们公
司对员工培养的企业文化叫"OneV eeco",维易科
(V eeco)的员工随着公司的发展而成长,无论你是
什么部门,无论你是在那里,都要以一个崭新的面
貌代表世界一流的公司给客户提供一流的服务.在
今后的发展中我们还会继续保持一种快速,灵活的
战略思路.
简介
荆亦仁:从事半导体领域的工作时间超过1516年,积累了
非常丰富的工作经验,早在1995年加入美国应用材料公司,曾担任中国公司地区事业部总经理,并曾在应用材料公司美国总部从事全球市场销售工作,成绩斐然.2006年7 月,加入美国维易科(V eeco)精密仪器有限公司,担任公司副总裁兼中国区总经理,秉承维易科发展的强劲动力,使维易科的年销售持续保持30%以上的增长速度.
(上接第45页)
6结论
随着紫外光固化技术的发展,紫外固化聚合物
的性质主要关注附着力,热稳定性,机械性能等[71.
然而,紫外纳米压印技术还要达到必要的图形分辨
率,精度,均匀性,还需考虑紫外固化聚合物的特
性,紫外光能量,固化速度,固化环境等因素.
大面积高精度图形的套刻对准是影响纳米压
印技术发展的障碍,采用通常光学对准最高只能达
到水平对准精度100nnl量级,受温度,压力,图形
面积造成的材料变形,机械精度等因素影响,实际
4英寸模版对准精度只能达到1Bm量级.由于紫外
纳米压印技术方法是在常温常压下进行的,因而具
有传统紫外光刻机对准系统的紫外纳米压印方法
已越来越受到重视.本文中,我们使用了传统紫外
光刻机进行紫外压印实验,结果表明当选用合适的
紫外固化聚合物,且所需压印力小于4ON的情况
下,完全可以利用该设备进行紫外压印实验,同时
可利用光刻机设备自身的对准系统,进行压印套刻
对准功能.但是受该设备自身压印力和紫外光源波
长的限制,导致压印样片的残留层的厚度较厚,且
只能选择与该设备紫外波长相匹配的紫外固化聚
合物.当然,如果条件允许也可购买其它类型的紫
外光源结合紫外光刻机对准系统使用,例如如果紫
外固化聚合物仅需要普通紫外光源照射即可固化,
便可利用光刻机对准系统对准再使用普通紫外光
源照射.总之,紫外光源的选择与所用的紫外固化
聚合物特性应该相互匹配.
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