高纯稀土金属靶材工艺流程
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高纯稀土金属靶材工艺流程
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高纯稀土金属靶材工艺流程:
①熔炼制液:采用水冷坩埚悬浮熔炼法,将稀土原料熔化为金属熔液,避免坩埚污染,保持高纯度。
②下拉铸锭:熔液经过下拉铸造成型,形成稀土金属铸锭,过程中补偿凝固收缩,减少气孔和疏松。
③锻造轧制:对铸锭进行锻造与机械加工,通过轧制等手段提升材料密度与均匀性,形成目标尺寸形态。
④精细加工:对靶材进行精密机械加工,确保尺寸精度及表面光洁度,满足镀膜应用要求。
⑤质量检测:全阶段材质分析与性能测试,包括纯度、结晶结构、密度及表面质量检验,确保达标。
⑥成品包装:合格靶材经过专业包装,防氧化防污染处理,准备出库,用于高端电子或光学镀膜等行业。