用于铜的化学机械平坦化的浆料和方法[发明专利]

专利名称：用于铜的化学机械平坦化的浆料和方法
专利类型：发明专利
发明人：S·V·巴布,沙拉斯·海格德,苏尼尔·扎,尤达雅·B·帕特里,洪荣基
申请号：CN200480021645.8
申请日：20040727
公开号：CN1863883A
公开日：
20061115
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：所要求保护的本发明包括用于化学机械平坦化的新型水性浆料，其对于以高抛光速率抛光铜有效。

根据本发明的水性浆料包括MoO或MoO的粒子和氧化剂。

一种用于通过化学机械平坦化抛光铜的方法包括用抛光垫和包括MoO或MoO的粒子和氧化剂在内的水性浆料接触铜。

申请人：克莱麦克斯工程材料有限公司
地址：美国亚利桑那州
国籍：US
代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人：肖善强
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