MEMS薄膜材料力学参数测试结构研究开题报告

MEMS薄膜材料力学参数测试结构研究开题报告
【导言】
MEMS（Micro-electromechanical Systems，微电子机械系统）技术
是微型化和集成化电子技术与机械制造技术相融合的产物。

MEMS主要由微电子、微机电技术和微纳米加工等多个领域组成。

在MEMS中，微加
工技术对材料的力学参数测试具有重要的意义，因此本文将针对MEMS
薄膜材料力学参数测试结构进行研究。

【研究内容和目的】
薄膜材料在MEMS技术中应用广泛，例如作为微电机、传感器等器
件中的材料。

在这些器件中，材料的力学参数对器件的性能有着很重要
的影响。

为了准确地研究薄膜材料的力学性能，需要进行材料力学参数
测试。

目前，MEMS材料力学参数测试结构研究主要集中于三种类型：
1.薄膜材料拉压测试结构：用于测试材料的拉伸和压缩力学性能。

2.薄膜材料弯曲测试结构：用于测试材料的弯曲力学性能。

3.薄膜材料剪切测试结构：用于测试材料的剪切力学性能。

本文的研究目的是设计并制造三种不同类型的薄膜材料力学参数测
试结构，用于测试薄膜材料的力学性能。

通过对测试结果的分析和比较，建立起一套可靠、简便而又准确的薄膜材料力学参数测试方法。

【研究方法和步骤】
1.研究薄膜材料力学测试原理和方法，掌握当前国内外薄膜材料力
学参数测试结构研究现状，分析其弊端和优点。

2.设计测试样品和测试结构，制造三种类型的薄膜材料力学参数测
试结构：拉压测试结构、弯曲测试结构和剪切测试结构。

3.使用光学显微镜、扫描电镜等仪器对测试样品的形貌和微观结构进行表征，分析几何尺寸、材料微观结构产生的影响因素及其对测试结果的影响。

4.使用万能材料试验机等实验设备对测试样品进行力学性能测试，测量相应的力学参数。

5.对测试结果进行分析和比较，建立薄膜材料力学参数测试方法。

【研究意义】
通过本文的研究，建立起一套适合薄膜材料力学参数测试的测试方法，并建立相应的测试结构，有利于提高薄膜材料力学参数测试的准确性和可靠性，在MEMS技术的研究和应用中有着重要的意义。