利用微波气相沉积制备掺氮碳纳米管的方法及装置[发明专利]

专利名称：利用微波气相沉积制备掺氮碳纳米管的方法及装置专利类型：发明专利
发明人：赵洪阳,方紫璇,王欢,马志斌
申请号：CN201810278622.9
申请日：20180330
公开号：CN108190862A
公开日：
20180622
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种利用微波气相沉积制备掺氮碳纳米管的方法及装置。

包括以下步骤：将碳纳米管粉末置于密闭腔体中，对腔体抽真空；向腔体内通入氮气，调节氮气流量、气压，同时进行微波照射，使得腔体内部气体吸收微波能量并激发产生等离子体；等离子化后的氮原子会掺到碳纳米管表面和内部结构中，形成掺氮碳纳米管，控制微波功率和掺氮时间，得到不同氮含量的氮碳纳米管。

采用微波等离子体技术对氮气气源进行等离子化处理。

由于微波功率较高，能量密度较大，而且基团具有较高的活性，会使得气体较易发生离解；通过该方法制备的氮碳纳米管，该产物的质量纯度较高，有利于铁磁学、光学等性能的测试和表征，所制得的样品表现出较好的铁磁性。

申请人：武汉工程大学
地址：430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号
国籍：CN
代理机构：湖北武汉永嘉专利代理有限公司
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