磁性LIGA微致动器

磁性LIGA微致动器
大舟
【期刊名称】《光机电信息》
【年(卷),期】1997(014)002
【摘要】在许多微系统工程的研究工作中,预测微致动器有着巨大的应用潜力。

因为在不断增多的微型化中有了适当的标度,又因为有可能在一块基板上相当简单地并行加工,所以,静电驱动原理得到多方的重视。

与之不同磁性致动器的制造要求三维结构:一个碱性材料制作的铁磁心,它被线圈所环绕。

随着微技术加工方法的进步,这一问题最近得到解决。

【总页数】3页(P21-23)
【作者】大舟
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】TP242.03
【相关文献】
1.一种大力矩大位移微纳压电致动器的瞬态响应 [J], 靳宏;胡敏强;徐志科;潘非非
2.LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展 [J], 李永海;丁桂甫;毛海平;张永华
3."稀土巨磁致伸缩材料的制备、磁性和致动器模型研究"项目通过鉴定 [J],
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