高性能柔性电极制备及其电化学性能研究

第４１卷第５期２０１８年１０月

电子器件

ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓ

Ｖｏｌ.４１Ｎｏ.５Ｏｃｔ.２０１８

项目来源:山东省职业教育与成人教育科研规划课题项目(２０１２ｚｃｊ１５１)收稿日期:２０１７－０９－０４修改日期:２０１７－１１－０９

ＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎＦｌｅｘｉｂｌｅＥｌｅｃｔｒｏｄｅｓｗｉｔｈＨｉｇｈＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ

ａｎｄＴｈｅｉｒＥｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ?

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Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｆｏｒｔｈｅｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓｔｈｅｆｒａｃｔｕｒｅｈａｐｐｅｎｓｉｎｌａｒｇｅｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ,ｔｈｉｓｐｒｏｂｌｅｍｌｅｄｔｏｔｈｅｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｆａｉｌｕｒｅａｎｄｔｈｅｎｅｗｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｗａｓｐｕｔｆｏｒｗａｒｄ.(１)Ｐｒｅｐａｒｅｄａｋｉｎｄｏｆ

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ｃａｎｋｅｅｐｎｏｔｆａｉｌ.

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:ｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅ；ｆｏｌｄ；ｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ；ｓｔｒｅｔｃｈａｂｉｌｉｔｙ；ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅＥＥＡＣＣ:７２３０ｄｏｉ:１０.３９６９/ｊ.ｉｓｓｎ.１００５－９４９０.２０１８.０５.００９

高性能柔性电极制备及其电化学性能研究

李艳红?

(山东水利职业学院机电工程系,山东日照２７６８２６)

摘要:针对柔性电极在发生较大形变会发生断裂,导致柔性电子产品失效的问题,提出了全新的柔性电极制备工艺三

(１)利用周期性结的可拉伸性制备了一种具有褶皱构的柔性电极,实现了柔性电极在发生形变时仍能保证性能稳定二高可靠性的目标三(２)利用射频磁控溅射工艺制备了具有褶皱结构的柔性电极,实现了制备的柔性电极在３０％的形变量时电阻值不会超过１０００Ω三实验结果表明:(１)提出的全新制备工艺制备的柔性电极具有一定的可拉伸性；(２)制备的性能最好的柔性电极褶皱周期超过了２.５μｍ,在２０％形变量时电阻值低于２００Ω,并且在５０次重复拉伸测试中性能不会失效三

关键词:柔性电极；褶皱；磁控溅射；可拉伸性；电阻

中图分类号:ＴＮ６０４文献标识码:Ａ文章编号:１００５－９４９０(２０１８)０５－１１２４－０６电子器件是信息的基础单元,任意变形和应用于任意曲面的需求刺激了电子器件概念的创新,出

现了柔性电子器件的概念三柔性电子器件即具有柔性特点的有机电子器件,它可以重复拉伸二压缩二折叠二扭转,也可应用于复杂曲面,与传统电子器件相比,柔性电子器件在生物医学二显示二成像系统二电子皮肤和太阳能电池板等领域都有着广泛的应用前景[１]三柔性电极技术是柔性电子产品得以广泛应用的关键三然而柔性电极在发生较大形变时会发生断裂,导致柔性电子产品失效三这个问题制约了柔性电子技术的进一步发展[２－３]三

因此,本文提出了全新的柔性电极制备工艺,利用周期性结构的可拉伸性制备了一种具有褶皱结构的柔性电极[４],实现了柔性电极在发生形变时仍能保证性能稳定二高可靠性的目标三(２)利用射频磁控溅射工艺制备了具有褶皱结构的柔性电极,实现了制备的柔性电极在３０％的形变量时电阻值不会超过１０００Ω三

１柔性电极制备

本文选用磁控溅射方法在经过修饰处理的ＰＤＭＳ表面制备具有褶皱结构的金属Ａｇ电极[５－７]三

万方数据