电力系统单线图
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12AT7
12AT6
SAL-1 配电房空 调 双电源柜 厂务办公 室 1APEH1-1 应急照明 1AGE1 PCW
备用
备用 1EATS 常用电源 备用
1AP14 1ALH1-3 外延车间 办公楼3F CH-2 2#冰机 1AP16 外延车间
备用
1ALH1-1
1AP1 1AAER 清洗车间 楼顶消防 备用 1AG3 动力机房
1AP15 1AXH1-1 外延车间 办公楼1F
1AAER 4APE1 消防泵房
1AP22 品保实验 室 1AA1 空调机房
AH10预留柜
12AT5
12AT2-4
1AW1 纯水 1AAR 楼顶动力 1AA2 外延空调 1AP11 测量间 烤盘炉
电容补偿装置
备用
1EAT ATS备用 电源 1AP10 测量间 烤盘炉
1AP2 光刻车间 1AP6 切割研磨 车间
AH2高压进线柜
AH4计量柜
AH6避雷柜 AH8出线柜 AH10预留柜
若水2#高压进线
2#主变 2500KVA CW1-4000/4
1EATS
11ATS1
12AT9
12AT11
12AT10
12AT8
AH9预留柜AH7出线柜 AH5避雷柜
AH3计量柜
AH1高压进线柜
若水1#高压进线
1#主变 2500KVA CW1-4000/4
11AT1
源自文库11AT2-4
11AT5
11AT6
11AT7
11AT8
11AT9
11AT10
11AT11
电容补偿装置
UPS-D 1AP13 1AP5 1AP17 1AP3 备用 特气纯化 外延车间 镀膜车间 外延车间 镀膜车间 器 1AAH1-1 1AP21 OAL 1AG1 1AG2 1AP8 1AP4 办公楼空 原玄照车 真空泵 动力机房 动力房 成测车间 镀膜车间 调 间 芯片新增 1ALH1-1 3AP1 1AP12 1AP7 RCU(走 车间照明 废水站 外延车间 成测车间 道） 4APH1 1AA3 CH-1 品保实验 芯片空调 1#冰机 室 1AG4 锅炉房