电子工业超纯水水质标准
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电子工业超纯水水质标准
美国半导体工业用纯水指标
化学指标单位：卩g/L
*此值未定。
我国电子工业部高纯水水质试行标准
化学指标单位：卩g/L
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品
②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品
③本表按1980年电子工业部标准摘录。