薄膜材料与技术
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薄膜材料与技术 （1）
李美成 2006秋季学期
1
教材参考书
《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月 《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版 社，1991年 《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社， 1991年 《薄膜材料与薄膜技术》 ，郑伟涛等编著，化学工业出版社， 2004年 《薄膜物理学》， L.埃克托瓦，科学出版社，1986年 Electronic Thin Film Science，Macmillan Publishing Company，1992 An Introduction to Physics and Technology of Thin Films， World Scientific Publishing Company，1994 Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Noyes Publications, Park Ridge, New Jersey, U.S.A., 1988 Nanoscale Phenomena in Ferroelectric Thin films, Kluwer 薄膜材料与技术 2 Academic Publishers, 2004
薄膜材料与技术
29
近半个世纪来，科学和生产发展的事实说 明，电子学的发展深刻地影响着当今社会 的各个领域。而在电子学的发展中，起重 要作用的是在理论研究的指导下，关键性 新器件和新材料的制造。例如①上世纪30 年代的电子管，②50年代的晶体管，③70 年代的集成电路，都给科学、技术和人类 社会以巨大的推动和影响。
薄膜材料与技术
30
薄膜科学就是开发新材料和新器件非常重 要的领域。上世纪70年代迅速发展起来的 表面科学，也是物理学中的一个新兴重要 分支。表面科学所研究的范围通常是材料 表面几个至几十个原子层，这个范围内的 原子和电子结构与块体内部有较大差别。
十nm到几十µm。
若涉及到原子层数量更大一些，但表面和 界面特性仍起重要作用的范围，这就是薄 膜科学所研究的范围。这个范围通常是几
电子学。Beetz用薄膜元件研究过磁现象， 从理论和实践观点来看，这项工作开辟了 一条大有希望的途径。
ຫໍສະໝຸດ Baidu
薄膜材料与技术
26
对液体表面张力
的研究已发展到对液体表面上有机物的单 分子层的研究；这对于各种生物化学和生 理学过程的研究都是重要的。
有机物薄膜表面力
的研究在磨擦力学中也起到一定的作用。
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术
4
学习目的和基本要求
掌握真空及薄膜的物理基础，对真空、气体放 电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解； 掌握真空蒸镀、磁控溅射、化学气相沉积、分 子束外延基本工艺，对薄膜技术有全面了解； 重点了解几种薄膜材料，对各种类型薄膜材料 的制备、结构、性能及应用有系统的了解。 能够使用薄膜材料的设备，分析多种类型薄膜 的性能，并具备制备新材料的能力。
薄膜材料与技术
9
第四章 真空蒸发镀膜法
4.1 真空蒸发原理 4.2 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 4.3 蒸发源的类型 4.4 合金及化合物的蒸发 4.5 膜厚和淀积速率的测量与监控
薄膜材料与技术
10
第五章 溅射镀膜法
5.1 溅射镀膜的特点 5.2 溅射的基本原理 5.3 溅射镀膜的类型 5.4 溅射镀膜的膜厚均匀性
3. 1 光学现象
与薄膜有关的最显而易见现象是光学现象，特别 是平常能观察到的干涉色现象。 例如：漂浮在水面或潮湿路面上的油膜的干涉颜 色。十七世纪后半叶，发现和解释Boyle, Hooke 和 Newton 等人。二百年后， Jamin ， Fizeau 和 Quincke 等人的测量工作及 Drude 的理论研究推 动了薄膜光学的发展。 最早被深入研究的薄膜。随着光学透镜的发展， 各种 增透膜、减反射膜、滤光膜、分光膜等精确 地制备、监测和分析。
薄膜材料与技术
20
第2节 薄膜的物理概念
物体的 特征性质 常常是指 它的单位体积所
具有的性质，即假定这些物理性质与体积 无关 ，只要物体的大小 “ 正常 ” ，即大致处
于宏观范围内，那么上述假定就是合理 的； 但是，一旦一个尺度变得很小， 致使表面 与体积的比值大大增加，上述假定便不再 成立。
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术
28
小型电子设备发展的另一推动力是电子计算机的 发展，在电子计算机变得越来越复杂的同时，要 求元件有最高的可靠性和尽可能小的尺寸。 薄膜不仅可用来连接分立元件，而且其本身也可 作为有源元件和无源元件，由此开辟了新的超小 型化集成电路的可能途径。这种应用利用了如下 的事实，从宏观的观点来看元件中的一个尺度大 小几乎是零，元件的厚度只由薄膜淀积其上的基 片厚度决定。 目前已成功生产用半导体工艺制备的、将薄膜无 源元件和薄膜有源元件组合起来的混合电路，以 及带有场效应晶体管的纯薄膜的集成电路（IC） 也已出现。
薄膜材料与技术
5
课程简介
自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得 到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应 用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代真空科 学与技术和材料科学中最活跃的研究领域，在高 新技术产业中具有举足轻重的作用。 薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄 膜产品全方位的开发与应用。 本课程包括真空及薄膜的物理基础、薄膜工艺及 薄膜材料等三部分主要内容。
薄膜材料与技术
17
第12章 薄膜材料及其特征 第13章 薄膜测试技术 第14章 薄膜技术应用
薄膜材料与技术
18
绪论
第1节 薄膜研究的历史
一千多年以前， → 制作陶瓷器皿表面的彩釉， 就是贵金属薄膜的制备和应用 17世纪后半叶，→ 观察薄膜产生的干涉颜色 18世纪中业， → 通过化学沉积、辉光放电沉积， 制备了固体薄膜 ◙当时引起人们兴趣的 → 另一种薄膜是漂浮在水 面上的油膜，这是一层极薄的有机分子膜。 Franklin 最早计算了一滴 2ml 油在水面上扩展的 面积可达到2000m2的一层油膜，这个膜的厚度约 为1nm，这是一个单分子层膜
27
3. 2 电学现象
从上世纪开始，始终进行着薄膜电学性质的研 究，其范围包括 从电导率的测量到超导电性以及
薄膜的电子发射的研究。
在第二次世界大战期间和自那时以来，电子学朝 气蓬勃的发展导致了电子设备的尺寸不断地减 小。这是 空间探索要求可靠性高、尺寸和重量都 很小的复杂的无线电电子设备的结果 。近来在医 学电子学领域 也有了相当大的发展。电子学的这 个分支要求有能置于动物或人体表面上的电子仪 器，或者，如果需要则插入体内来测量，刺激和 控制各种生命过程。
薄膜材料与技术
31
现代超大规模集成电路要求研究亚微米和 纳米的薄膜制备技术，和利用亚微米、纳 米结构的薄膜制造各种功能器件。这类薄 膜包括单晶薄膜，超微粒子薄膜，小晶粒 的多晶薄膜，非晶薄膜和有机分子膜。当 制备分子器件时，尺寸还要缩小。这些器 件的制造要求人们懂得物理、化学、电子 学和生物学等科学知识。这是科学技术发 展的趋势，因此我们必须适应这种发展形 势，扩展我们的知识领域，加强学科的横 向联系。
薄膜材料与技术
15
第10章 薄膜的结构与缺陷
10.1 薄膜的结构 10.2 薄膜的缺陷 10.3 薄膜结构与组分的分析方法
薄膜材料与技术
16
第11章 薄膜的原子结构和电子结构
11.1 11.2 11.3 11.4 11.5 单晶表面的原子结构 单晶表面的电子结构 表面态和表面空间电荷层 表面位垒和电子亲和势 表面吸附对电子结构的影响
薄膜材料与技术
13
第八章 分子束外延法
8.1 分子束外延生长的特点 8.2 分子束外延的装置 8.3 分子束外延的原理和方法
薄膜材料与技术
14
第九章 薄膜形成过程与生长模式
9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 薄膜的凝结过程 核形成与生长 薄膜的形成过程和生长模式 溅射薄膜的形成过程 薄膜的外延生长 薄膜形成过程的计算机模拟
薄膜材料与技术
22
考虑某种材料构成的非常薄的薄膜，在这种情 况下薄膜的两个表面彼此靠得非常近 ，因而 会对该材料内部的物理性质和过程带来决定性影 响，这些物理性质和过程绝然不同于块状材料。 薄膜两表面之间距离的减小及相互作用，会导致出 现种种全新的现象。 此外，当材料的一个尺度减至仅有几个原子层的量 级时，会形成一个介于宏观系统和分子系统之 间的一种中间系统 ，这样便提供了一种研究各 种物理过程微观物理性质的办法。 这就是为什么薄膜会引起许多物理学家的注意，而 产生了一个专门研究薄膜的物理学分支，并发展了 与此相关的一些工艺学分支的理由。
薄膜材料与技术
23
究竟 “ 薄 ” 至何等尺度方可以认为是薄膜这 一问题现在尚无法做出确切回答。 一般可以认为， 这一尺度取决于出现特定 异常现象时的厚度 ，但是它又会因不同的 物理现象而不同。 实际上薄膜物理和工艺只研究厚度在 十分 之几纳米到几个微米之间的薄膜。
薄膜材料与技术
24
第3节 薄膜的物理现象
薄膜材料与技术
25
薄膜干涉提供了精确测量薄膜厚度的一种手段， 并在光学和其它领域中得到了应用 。光学薄膜是
属于同一时期的还有Jamin和Magnus有关
蒸气和气体在固体材料表面上凝聚的研究 工作 ，这表明了 吸附膜 的重要性以及它与 化学表面过程(例如催化作用)的联系。覆盖 着氧化物薄膜的铝电极的整流效应也已发 现 (Pollak, Graetz) ，这表明薄膜可应用于
薄膜材料与技术
11
第六章 离子镀膜法
6.1 6.2 6.3 6.4 离子镀原理 离子镀的特点 离子轰击的作用 离子镀的类型
薄膜材料与技术
12
第七章 化学气相沉积
7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6 化学气相沉积的基本原理 化学气相沉积的特点 CVD方法简介 低压化学气相沉积 等离子体化学气相沉积 金属有机化学气相沉积
薄膜材料与技术
6
第一章 绪论
薄膜材料与技术
7
第二章 真空技术基础
2.1 真空的基本知识 2.2 稀薄气体的基本性质 2.3 真空的获得 2.4 真空的测量 2.5 实用真空系统
薄膜材料与技术
8
第三章 气体放电和低温等离子体
3.1 低温等离子体 3.2 低气压气体放电 3.3 气体的激发和电离 3.4 气体放电的基本特点 3.5 辉光放电的特性 3.6 弧光放电的特性
21
在 大块物体中 ，许多力作用在一给定的粒 子(原子、电子)上。在晶体中，力具有周期 性；但 在无定形材料 中，由于至多只存在 着短程有序性，力不再具有周期性；不过 在以上两种情况下，粒子在各个方向上都 受到力作用。 考虑表面区域，则这些力就会在表面中 断，作用在表面上的粒子上的力不同于作 用在体内的粒子上的力，主要的差别是前 者具有明显的 非对称性 。因此，表面的能 态与内部的能态迥然不同，所以我们就说 存在着表面能态。
中文期刊
中国科学 科学通报 功能材料 功能材料与器件学报 红外与毫米波学报 激光与红外 半导体学报 半导体光电 稀有金属材料与工程
薄膜材料与技术
3
英文期刊
Thin Solid Films Surface Science Surface and Coatings Technology Applied Surface Science Advanced Materials Journal of Vacuum Science and Technology, B: Surface and films Journal of Electronic Materials Materials Chemistry and Physics Nature
薄膜材料与技术
19
自上世纪七十年代，薄膜技术与薄膜材料 突飞猛进发展 → 成为当代真空科学与技术 和材料科学中最活跃研究领域 → 在高新技 术产业中具有举足轻重作用。 在近 20 年，薄膜科学迅速发展，在 制备技 术 、 分析方法 、 结构观察 和 形成机理 等方 面的研究都包含了极其丰富的内容。 努力做到 既能总结薄膜科学最基本的物理 知识 ，又能 反映当前这个学科领域生机勃 勃的发展现状 。为此在绪论中使大家对薄 膜科学有一个概略的了解。
李美成 2006秋季学期
1
教材参考书
《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月 《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版 社，1991年 《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社， 1991年 《薄膜材料与薄膜技术》 ，郑伟涛等编著，化学工业出版社， 2004年 《薄膜物理学》， L.埃克托瓦，科学出版社，1986年 Electronic Thin Film Science，Macmillan Publishing Company，1992 An Introduction to Physics and Technology of Thin Films， World Scientific Publishing Company，1994 Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Noyes Publications, Park Ridge, New Jersey, U.S.A., 1988 Nanoscale Phenomena in Ferroelectric Thin films, Kluwer 薄膜材料与技术 2 Academic Publishers, 2004
薄膜材料与技术
29
近半个世纪来，科学和生产发展的事实说 明，电子学的发展深刻地影响着当今社会 的各个领域。而在电子学的发展中，起重 要作用的是在理论研究的指导下，关键性 新器件和新材料的制造。例如①上世纪30 年代的电子管，②50年代的晶体管，③70 年代的集成电路，都给科学、技术和人类 社会以巨大的推动和影响。
薄膜材料与技术
30
薄膜科学就是开发新材料和新器件非常重 要的领域。上世纪70年代迅速发展起来的 表面科学，也是物理学中的一个新兴重要 分支。表面科学所研究的范围通常是材料 表面几个至几十个原子层，这个范围内的 原子和电子结构与块体内部有较大差别。
十nm到几十µm。
若涉及到原子层数量更大一些，但表面和 界面特性仍起重要作用的范围，这就是薄 膜科学所研究的范围。这个范围通常是几
电子学。Beetz用薄膜元件研究过磁现象， 从理论和实践观点来看，这项工作开辟了 一条大有希望的途径。
ຫໍສະໝຸດ Baidu
薄膜材料与技术
26
对液体表面张力
的研究已发展到对液体表面上有机物的单 分子层的研究；这对于各种生物化学和生 理学过程的研究都是重要的。
有机物薄膜表面力
的研究在磨擦力学中也起到一定的作用。
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术
4
学习目的和基本要求
掌握真空及薄膜的物理基础，对真空、气体放 电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解； 掌握真空蒸镀、磁控溅射、化学气相沉积、分 子束外延基本工艺，对薄膜技术有全面了解； 重点了解几种薄膜材料，对各种类型薄膜材料 的制备、结构、性能及应用有系统的了解。 能够使用薄膜材料的设备，分析多种类型薄膜 的性能，并具备制备新材料的能力。
薄膜材料与技术
9
第四章 真空蒸发镀膜法
4.1 真空蒸发原理 4.2 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 4.3 蒸发源的类型 4.4 合金及化合物的蒸发 4.5 膜厚和淀积速率的测量与监控
薄膜材料与技术
10
第五章 溅射镀膜法
5.1 溅射镀膜的特点 5.2 溅射的基本原理 5.3 溅射镀膜的类型 5.4 溅射镀膜的膜厚均匀性
3. 1 光学现象
与薄膜有关的最显而易见现象是光学现象，特别 是平常能观察到的干涉色现象。 例如：漂浮在水面或潮湿路面上的油膜的干涉颜 色。十七世纪后半叶，发现和解释Boyle, Hooke 和 Newton 等人。二百年后， Jamin ， Fizeau 和 Quincke 等人的测量工作及 Drude 的理论研究推 动了薄膜光学的发展。 最早被深入研究的薄膜。随着光学透镜的发展， 各种 增透膜、减反射膜、滤光膜、分光膜等精确 地制备、监测和分析。
薄膜材料与技术
20
第2节 薄膜的物理概念
物体的 特征性质 常常是指 它的单位体积所
具有的性质，即假定这些物理性质与体积 无关 ，只要物体的大小 “ 正常 ” ，即大致处
于宏观范围内，那么上述假定就是合理 的； 但是，一旦一个尺度变得很小， 致使表面 与体积的比值大大增加，上述假定便不再 成立。
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术
28
小型电子设备发展的另一推动力是电子计算机的 发展，在电子计算机变得越来越复杂的同时，要 求元件有最高的可靠性和尽可能小的尺寸。 薄膜不仅可用来连接分立元件，而且其本身也可 作为有源元件和无源元件，由此开辟了新的超小 型化集成电路的可能途径。这种应用利用了如下 的事实，从宏观的观点来看元件中的一个尺度大 小几乎是零，元件的厚度只由薄膜淀积其上的基 片厚度决定。 目前已成功生产用半导体工艺制备的、将薄膜无 源元件和薄膜有源元件组合起来的混合电路，以 及带有场效应晶体管的纯薄膜的集成电路（IC） 也已出现。
薄膜材料与技术
5
课程简介
自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得 到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应 用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代真空科 学与技术和材料科学中最活跃的研究领域，在高 新技术产业中具有举足轻重的作用。 薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄 膜产品全方位的开发与应用。 本课程包括真空及薄膜的物理基础、薄膜工艺及 薄膜材料等三部分主要内容。
薄膜材料与技术
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第12章 薄膜材料及其特征 第13章 薄膜测试技术 第14章 薄膜技术应用
薄膜材料与技术
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绪论
第1节 薄膜研究的历史
一千多年以前， → 制作陶瓷器皿表面的彩釉， 就是贵金属薄膜的制备和应用 17世纪后半叶，→ 观察薄膜产生的干涉颜色 18世纪中业， → 通过化学沉积、辉光放电沉积， 制备了固体薄膜 ◙当时引起人们兴趣的 → 另一种薄膜是漂浮在水 面上的油膜，这是一层极薄的有机分子膜。 Franklin 最早计算了一滴 2ml 油在水面上扩展的 面积可达到2000m2的一层油膜，这个膜的厚度约 为1nm，这是一个单分子层膜
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3. 2 电学现象
从上世纪开始，始终进行着薄膜电学性质的研 究，其范围包括 从电导率的测量到超导电性以及
薄膜的电子发射的研究。
在第二次世界大战期间和自那时以来，电子学朝 气蓬勃的发展导致了电子设备的尺寸不断地减 小。这是 空间探索要求可靠性高、尺寸和重量都 很小的复杂的无线电电子设备的结果 。近来在医 学电子学领域 也有了相当大的发展。电子学的这 个分支要求有能置于动物或人体表面上的电子仪 器，或者，如果需要则插入体内来测量，刺激和 控制各种生命过程。
薄膜材料与技术
31
现代超大规模集成电路要求研究亚微米和 纳米的薄膜制备技术，和利用亚微米、纳 米结构的薄膜制造各种功能器件。这类薄 膜包括单晶薄膜，超微粒子薄膜，小晶粒 的多晶薄膜，非晶薄膜和有机分子膜。当 制备分子器件时，尺寸还要缩小。这些器 件的制造要求人们懂得物理、化学、电子 学和生物学等科学知识。这是科学技术发 展的趋势，因此我们必须适应这种发展形 势，扩展我们的知识领域，加强学科的横 向联系。
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第10章 薄膜的结构与缺陷
10.1 薄膜的结构 10.2 薄膜的缺陷 10.3 薄膜结构与组分的分析方法
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16
第11章 薄膜的原子结构和电子结构
11.1 11.2 11.3 11.4 11.5 单晶表面的原子结构 单晶表面的电子结构 表面态和表面空间电荷层 表面位垒和电子亲和势 表面吸附对电子结构的影响
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第八章 分子束外延法
8.1 分子束外延生长的特点 8.2 分子束外延的装置 8.3 分子束外延的原理和方法
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14
第九章 薄膜形成过程与生长模式
9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 薄膜的凝结过程 核形成与生长 薄膜的形成过程和生长模式 溅射薄膜的形成过程 薄膜的外延生长 薄膜形成过程的计算机模拟
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22
考虑某种材料构成的非常薄的薄膜，在这种情 况下薄膜的两个表面彼此靠得非常近 ，因而 会对该材料内部的物理性质和过程带来决定性影 响，这些物理性质和过程绝然不同于块状材料。 薄膜两表面之间距离的减小及相互作用，会导致出 现种种全新的现象。 此外，当材料的一个尺度减至仅有几个原子层的量 级时，会形成一个介于宏观系统和分子系统之 间的一种中间系统 ，这样便提供了一种研究各 种物理过程微观物理性质的办法。 这就是为什么薄膜会引起许多物理学家的注意，而 产生了一个专门研究薄膜的物理学分支，并发展了 与此相关的一些工艺学分支的理由。
薄膜材料与技术
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究竟 “ 薄 ” 至何等尺度方可以认为是薄膜这 一问题现在尚无法做出确切回答。 一般可以认为， 这一尺度取决于出现特定 异常现象时的厚度 ，但是它又会因不同的 物理现象而不同。 实际上薄膜物理和工艺只研究厚度在 十分 之几纳米到几个微米之间的薄膜。
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24
第3节 薄膜的物理现象
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薄膜干涉提供了精确测量薄膜厚度的一种手段， 并在光学和其它领域中得到了应用 。光学薄膜是
属于同一时期的还有Jamin和Magnus有关
蒸气和气体在固体材料表面上凝聚的研究 工作 ，这表明了 吸附膜 的重要性以及它与 化学表面过程(例如催化作用)的联系。覆盖 着氧化物薄膜的铝电极的整流效应也已发 现 (Pollak, Graetz) ，这表明薄膜可应用于
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第六章 离子镀膜法
6.1 6.2 6.3 6.4 离子镀原理 离子镀的特点 离子轰击的作用 离子镀的类型
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12
第七章 化学气相沉积
7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6 化学气相沉积的基本原理 化学气相沉积的特点 CVD方法简介 低压化学气相沉积 等离子体化学气相沉积 金属有机化学气相沉积
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第一章 绪论
薄膜材料与技术
7
第二章 真空技术基础
2.1 真空的基本知识 2.2 稀薄气体的基本性质 2.3 真空的获得 2.4 真空的测量 2.5 实用真空系统
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8
第三章 气体放电和低温等离子体
3.1 低温等离子体 3.2 低气压气体放电 3.3 气体的激发和电离 3.4 气体放电的基本特点 3.5 辉光放电的特性 3.6 弧光放电的特性
21
在 大块物体中 ，许多力作用在一给定的粒 子(原子、电子)上。在晶体中，力具有周期 性；但 在无定形材料 中，由于至多只存在 着短程有序性，力不再具有周期性；不过 在以上两种情况下，粒子在各个方向上都 受到力作用。 考虑表面区域，则这些力就会在表面中 断，作用在表面上的粒子上的力不同于作 用在体内的粒子上的力，主要的差别是前 者具有明显的 非对称性 。因此，表面的能 态与内部的能态迥然不同，所以我们就说 存在着表面能态。
中文期刊
中国科学 科学通报 功能材料 功能材料与器件学报 红外与毫米波学报 激光与红外 半导体学报 半导体光电 稀有金属材料与工程
薄膜材料与技术
3
英文期刊
Thin Solid Films Surface Science Surface and Coatings Technology Applied Surface Science Advanced Materials Journal of Vacuum Science and Technology, B: Surface and films Journal of Electronic Materials Materials Chemistry and Physics Nature
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自上世纪七十年代，薄膜技术与薄膜材料 突飞猛进发展 → 成为当代真空科学与技术 和材料科学中最活跃研究领域 → 在高新技 术产业中具有举足轻重作用。 在近 20 年，薄膜科学迅速发展，在 制备技 术 、 分析方法 、 结构观察 和 形成机理 等方 面的研究都包含了极其丰富的内容。 努力做到 既能总结薄膜科学最基本的物理 知识 ，又能 反映当前这个学科领域生机勃 勃的发展现状 。为此在绪论中使大家对薄 膜科学有一个概略的了解。