Silvaco-TCAD-器件仿真2教程文件

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region
Region将mesh中不同位置以区域组织起来 语法：Region number=<n> <material> <position>
例句：
region num=1 y.max=0.5 silicon region num=2 y.min=0.5 y.max=1.0 x.min=0 x.max=1.0 oxide region num=3 y.min=1.0 y.max=2.0 x.min=0 x.max=1.0 GaAs
mesh infile=nmos.str mesh space.mult=1.5
x.mesh和y.mesh定义网格位置及其间隔(line)
x.mesh loc=0.1 spac=0.05
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mesh
Eliminate可以在ATLAS生成的mesh基础上消除掉 一些网格线，消除方式为隔一条删一条
参数columns,rows, ix.low,ix.high,iy.low.ly.high, x.min,x.max,y.min,y.max
Eliminate columns x.min=0.2 x.max=1.4 y.min=0.2 y.max=0.7
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Eliminate 前
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Eliminate 后
Silvaco-TCAD-器件仿真2
器件仿真流程
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ATLAS描述器件结构
ATLAS描述器件结构的步骤
mesh
region
electrode
doping
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mesh
网格定义，状态有mesh,x.mesh,y.mesh,eliminate等 Mesh对网格进行控制
region number=2 x.min=0.0 x.max=0.1 y.min=1.0 \ y.max=2.0 material=silicon
electrode name=anode top electrode name=cathode bottom
doping uniform conc=1e18 n.type region=1 doping uniform conc=1e18 p.type region=2
杂质类型：n.type,p.type 位置：region,x.min,x.max,y.min,y.max,peak,junction…
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Doping例句
均匀掺杂
doping uniform conc=1e16 n.type region=1
高斯分布
doping region=1 gaussian conc=1e18 peak=0.1 characteristic=0.05 \ p.type x.left=0.0 x.right=1.0
elec name=gate x.min=0.25 lenght=0.5
elec num=1 name=source y.min=0 left length=0.25 elec num=2 name=drain y.min=0 right length=0.25
elec name=anode top elec name=cathode bottom
区域ID(region=<n>)、材料(material=<c>)、区域坐 标(points=“0,0 0,1 …”)
例句
Region reg=1 mat=silicon color=0xffb2 pattern=0x9 \ points=“0,0 0.1,0 0.1,1 0,1 0,0”
Region reg=3 name=anode material=contact elec.id=1 \ work.func=0 points=“0,0 0.1,0 0.1,1 0,1 0,0”
save outfile=diode_0.str
* tonyplot diode_0.str
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DevEdit编辑器件结构
Work area
Defining region
Mesh creation
Save the file
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Defining region
添加、替换或删除区域 主要参数：
doping region=1 gauss conc=1e18 peak=0.2 junct=0.15
从文件导入杂质分布
doping x.min=0.0 x.max=1.0 y.min=0.0 y.max=1.0 n.type ascii \ infile=concdata
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ATLAS描述的二极管结构
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doping
DopingБайду номын сангаас义掺杂分布
doping <distribution_type> <dopant_type> <position_parameters>
分布：uniform,gaussian,erfc，具体设置还可分为三组 1，Concentration and junction 2，Dose and characteristic 3，Concentration and characteristic
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Defining impurity
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electrode
Electrode定义电极 语法：
electrode name=<en> [num=<n>] [substrate] <position> <region>
例句
elec name=emitter x.min=1.75 x.max=2.0 y.min=-0.05 y.max=0.05
go atlas mesh x.mesh loc=0.00 spac=0.05 x.mesh loc=0.10 spac=0.05 y.mesh loc=0.00 spac=0.20 y.mesh loc=1.00 spac=0.01 y.mesh loc=2.00 spac=0.20
region number=1 x.min=0.0 x.max=0.1 y.min=0.0 \ y.max=1.0 material=silicon