多晶硅还原炉抽空赶气操作规程

还原炉抽空赶气操作规程

一、目的

制订本规程的目的在于规范还原炉赶气操作，确保安全生产。

二、适用范围

本规程适用于还原车间

三、操作步骤

1、硅芯装完后，认真检查炉内是否留有杂物，然后将炉筒慢慢放下，紧固底盘螺栓。

2、合上还原炉真空泵电源，打开抽空总阀，再打开炉前抽空阀，待压力显示-0.09Mpa 时，关掉炉前抽空阀门，然后缓慢开启炉前侧路氢阀（注意氢气流量）向炉内通入氢气，待炉内压力达到0.06Mpa后，关掉侧路氢阀。观察压力表刻度是否下降，确认无漏气后再打开炉前抽空阀抽空至-0.09Mpa，关掉抽空阀后，开启侧路氢充气。待炉内压力达到0.03Mpa 后，调小氢气流量，打开直接放空阀赶气。

3、如果赶气尾气要直接进入还原炉尾气系统，一定要等炉内压力高于还原炉尾气系统压力0.01Mpa，方可开启炉前尾气阀，以免尾气反串炉内，造成炉膛、硅芯污染。

4、赶完气后，关掉抽空总阀，打开抽空缓冲缸上的放空阀，待抽空系统压力显示零后，关掉真空泵电源。再关掉抽空系统缓冲缸上的放空阀。

5、做好赶气原始记录，经还原当班操作人员检查认可、签名。

6、最后，交付还原继续赶气1小时后启动。