电子显微镜分析及应用讲解
电子显微镜技术的应用
电子显微镜技术的应用电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，它利用电子束代替了光束，能够观察到光学显微镜无法看到的许多微观结构，并且可以观察到原子的排列。
电子显微镜已经成为现代材料、生命科学和物理学等领域中必不可少的手段之一。
本文将介绍电子显微镜技术的应用。
一、材料科学的应用1. 表面形貌观察：电子显微镜可以观察样品表面的形貌和纹理，予以分析和比较，这对于制造和加工表面光洁度极高的元件和仪器非常重要。
2. 组织结构观察：电子显微镜可以观察到样品中的细胞结构、微观缺陷、晶体结构等内部细节，为了研究材料的性能和性质，这非常重要。
3. 化学成分分析：电子显微镜还可以用于材料成分的分析。
电子束通过样品时会产生一些反射、散射、俘获和激发等反应，这些反应可以被感知器检测到，进而提供有关样品成分和结构的信息。
4. 纳米技术：电子显微镜对于研究和制备纳米结构材料具有重要意义。
通过电子束的聚焦和聚合，可以制备出纳米尺度的线条、点及其它结构，这对于微观器件的制备及其特性的研究都是至关重要的。
二、生命科学的应用1. 细胞及其组织结构：在生命科学的领域中，电子显微镜是必不可少的工具。
神经细胞、肌肉细胞、血管组织等可以使用电子显微镜来深入研究，以观察其真实的细胞和组织结构。
2. 蛋白质和核酸结构：电子显微镜在观察和研究蛋白质和核酸结构方面的能力也非常重要。
通过对高度复杂的这些分子的3D结构进行观察，科学家们可以确定它们的功能、定位和相互作用方式。
3. 感知器：感知器是一些生物机能的关键部件。
通过电子显微镜的观察，我们可以了解感知器的形状、结构和调节机制，从而找到更多的研究思路。
三、物理学的应用1. 凝聚态物理研究：在凝聚态物理学中，电子显微镜尤为重要。
电子显微镜可以通过观察样品中的原子排列来确定材料被制造时凝聚态的性质，这对于「晶体生长」技术很有帮助。
2. 量子现象：量子力学研究中，电子束的性质和行为同样具有重要性。
电子束的相干性和聚集特性，使电子显微镜能够研究量子环境中的复杂运动状态。
电子显微镜技术的原理及其应用
电子显微镜技术的原理及其应用电子显微镜技术是一种利用电子束而非光束来成像的一种高分辨率显微镜。
与传统的光学显微镜不同，电子显微镜不仅可以看到更小的物体，而且可以观察到更细微的细节和结构。
电子显微镜技术的原理和应用于本文中进行介绍，以便更深入的了解电子显微镜及其应用领域。
一、原理电子显微镜主要由电子枪、电子透镜、样品台、检测器等组成。
与光学显微镜使用的是光线不同，电子显微镜使用的是电子束。
电子束的波长比可见光的波长短很多倍，这使得电子显微镜可以看到比光学显微镜更小的物体。
电子枪负责产生电子束，而电子透镜负责聚焦和操纵电子束。
然后电子束通过样品的薄片，与样品中的原子碰撞时，可放出内壳层的电子，并使样品表面的原子重新排布，从而产生信号。
这个信号被检测器收集，然后转换成图像。
电子显微镜的分辨率取决于电子束的波长，以及电子透镜的质量。
二、应用电子显微镜可以获得高分辨率、高清晰度的图像，因此在科学研究领域得到了广泛的应用。
以下介绍了电子显微镜的几个主要应用领域：1. 材料科学电子显微镜主要应用于材料学、固态物理学和化学等领域。
其高分辨率使其可以精细地观察到原子甚至分子级别的微观结构，从而获得材料的详细信息。
此外，电子显微镜还可以研究材料的晶体缺陷、变形等现象，并观察到材料在电场、磁场、温度等情况下的行为，以及物相变化等相关的细节。
2. 生物学电子显微镜是生物学中重要的工具之一。
在生物学中，电子显微镜通常用于研究细胞、细胞器、细胞膜、分子等生物组织中的细节和结构。
使用电子显微镜还可以研究细菌、病毒和其他微生物的细节，以及其动力学过程等。
这对于研究生物分子的结构和功能有着重要的意义。
3. 半导体工业电子显微镜在半导体工业中得到了广泛应用。
电子显微镜可以观察到芯片内部的细节，以确定芯片是否满足生产标准。
电子显微镜还可帮助诊断设备故障，并提高生产效率。
半导体工业的进步离不开电子显微镜技术的不断发展和改进。
4. 环境科学电子显微镜还可以用于环境科学和地球科学的研究。
电子显微镜的原理和应用
电子显微镜的原理和应用1. 介绍电子显微镜（Electron Microscope）是一种利用电子束来观察物体细微结构的高分辨率显微镜。
相比于光学显微镜，电子显微镜有更高的放大倍数和更高的空间分辨率，能够观察到更小尺寸的物体细节。
2. 原理电子显微镜的基本原理是利用电子束的特性进行物体的成像。
其主要包括以下几个步骤：2.1 电子源电子显微镜使用的电子源是热发射电子枪或冷阴极电子枪。
热发射电子枪是通过对钨丝加热使其发射电子，冷阴极电子枪则利用一定的场效应来发射电子。
2.2 电子束的聚焦电子束通过一系列的磁场透镜进行聚焦，在经过透镜调整后的电子束将会聚焦到一个微小的点上。
这个点称为样品上的探针。
2.3 样品与电子束的相互作用样品与电子束相互作用后，会发生多种不同的物理过程，如散射、吸收和透射等。
这些相互作用过程会产生反射电子、散射电子和透射电子。
2.4 探测器和成像根据不同的相互作用过程，可以选择不同的探测器进行电子的检测。
通过收集反射电子、散射电子和透射电子，可以形成不同的图像。
3. 应用电子显微镜在科学、工程和医学等领域有着广泛的应用。
3.1 材料科学电子显微镜可以观察和分析材料的微观结构和成分。
通过对材料的显微镜图像进行研究，可以了解材料的形貌、晶体结构以及相互作用等性质，从而指导材料的设计和改进。
•分析材料的结构：通过电子显微镜观察材料的晶体结构和晶界，可以提供材料的结构信息，例如材料的晶格常数、晶粒尺寸等。
•分析材料的成分：通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜等技术，可以观察和分析材料的元素成分和化学组成。
3.2 生物学研究电子显微镜在生物学研究中扮演着重要的角色。
它可以用于观察和研究生物细胞、细胞器、生物大分子的结构和功能。
•观察细胞结构：通过电子显微镜，可以观察细胞的超微结构，如细胞核、线粒体、内质网等细胞器的结构特征。
•研究细胞功能：电子显微镜还可以用于观察细胞内各种生物大分子的结构和相互作用，以及研究细胞的代谢过程和信号传递机制。
电子显微镜技术的原理及应用
电子显微镜技术的原理及应用随着科学技术的不断发展，各种分析和检测仪器也越来越精密。
电子显微镜便是其中一种技术应用广泛的仪器。
本篇文章将会探讨电子显微镜技术的原理及应用。
一、电子显微镜的原理电子显微镜简称电镜，是一种高分辨率的显微镜，采用的是电子束而不是光线。
电子束是由电子枪产生的，具有很高的能量和短波长，可以穿透物质的表面，再由电镜中的透射电子显微镜将其反射到显微镜的荧光屏上，从而形成高分辨率的图像。
电子束有束缚效应，因此需要电子镜的真空环境，可以将电子镜分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜两种。
透射电子显微镜通过样品制备薄片，并透过物质表面直接对内部结构进行拍照。
而扫描电子显微镜是通过扫描样品表面产生的二次电子信号进行成像。
由于有很高的分辨率和深部探测能力，在材料科学、生物学、化学以及地球科学中都得到了广泛的应用。
二、电子显微镜的应用1. 材料科学在材料科学的研究中，电子显微镜广泛用于制备和研究，可以精确地观察材料的微观结构。
电子显微镜的高分辨率特点可以精确地显示材料的晶格结构、界面、缺陷、成分以及在同一晶体中不同区域的微观结构。
2. 生物学电子显微镜在生物学中的应用可以揭示生物系统复杂的细胞和组织结构。
在生物学研究中，电子显微镜被用来研究细胞器、细胞膜、细胞核、细胞分裂和细胞膜运输，可以为研究生物系统和疾病提供重要的信息。
3. 化学在化学研究中，电子显微镜可以对材料的表面和组织结构进行研究。
电子显微镜的高分辨率可以精确地显示表面分子、配合物、晶格结构以及各种化学特征，可以为分子识别和分子作用研究提供有力的工具。
4. 地球科学在地球科学研究中，电子显微镜被广泛应用于研究矿物的晶体结构、成分、晶体缺陷和反应。
电子显微镜可以提供各种分析技术，如能谱分析、点分析和高分辨率成像，可以在矿物学、矿物资源开发、环境地球化学等领域提供各种诊断工具。
三、总结在本文中，我们讨论了电子显微镜技术的原理及其在材料科学、生物学、化学和地球科学等领域的应用。
电子显微镜的原理与应用
电子显微镜的原理与应用电子显微镜（Electron Microscope）是一种基于电子束原理的先进显微技术，其原理和应用领域广泛且具有重要意义。
本文将对电子显微镜的原理与应用进行讨论，探究其在科学研究、工业制造等领域的重要性和效果。
一、电子显微镜的原理电子显微镜的工作原理是利用电子束来替代光束，这样可以克服普通光学显微镜的分辨率限制。
电子束的波长要比可见光短得多，从而极大地提高了显微镜的分辨率。
电子显微镜主要包括电子光源、样品支持系统、探测系统和影像处理系统。
1. 电子光源电子光源是电子显微镜最重要的组成部分，通常采用热阴极电子枪。
在电子枪内部，电热阴极加热产生电子，并通过高电压加速，形成高速的电子束。
2. 样品支持系统样品支持系统用于固定和定位待观察的样品，通常使用金属或碳薄膜作为基底。
样品支持系统需要在真空环境下进行，以防止电子束的散射和衰减。
3. 探测系统探测系统主要包括透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）。
透射电子显微镜通过样品内部的透射电子进行成像，可以观察到物质的原子结构。
扫描电子显微镜则通过扫描电子束在样品表面的反射产生图像。
4. 影像处理系统影像处理系统用于处理电子显微镜所获得的图像，提取和增强所需信息。
常见的处理方法包括滤波、增强、对比度调整等。
二、电子显微镜的应用电子显微镜在各个领域都有广泛的应用，尤其在材料科学、生命科学和纳米技术等领域表现出色。
1. 材料科学电子显微镜可以观察材料的微观结构和组成，帮助研究人员理解材料的性质和行为。
特别是在纳米材料研究中，电子显微镜能够观察到纳米尺度的结构，对纳米材料的合成和性能研究起到关键作用。
2. 生命科学电子显微镜对于生命科学领域的研究也具有重要价值。
透射电子显微镜可以观察到生物分子和细胞内部的结构，帮助科学家了解细胞的功能和机制。
扫描电子显微镜可以用于观察生物表面的形态和结构，并提供更高分辨率的图像。
3. 纳米技术随着纳米技术的发展，电子显微镜在纳米加工和纳米制备领域起到了关键作用。
电子显微镜的成像原理及应用
电子显微镜的成像原理及应用引言电子显微镜是研究微观世界的一种重要工具。
电子显微镜利用高速电子束与物质相互作用的原理进行成像，具有高分辨率、大深度、高增强等特点。
电子显微镜已经广泛应用于物理、化学、材料科学、生物学等领域，成为科研中不可或缺的重要仪器之一。
本文将从电子显微镜的成像原理和应用两个方面来进行探讨。
电子显微镜的成像原理电子显微镜的成像原理是利用电子与物质相互作用的本质进行成像。
根据电子束的物理性质，电子显微镜可以分为透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）两种类型。
1.TEM的成像原理透射电子显微镜的成像原理是利用电子在物质中透过和散射的规律进行成像。
电子束照射样品后，会发生透射、散射、反射等现象。
其中，透射电子被样品中原子核和电子云所散射，使被散射电子的方向和传播速率发生变化，形成交叉散射和多次散射。
在透射电子显微镜中，电子束经过样品后，被成像系统所收集，得到的是强度分布图。
通过对强度分布图的分析，我们可以还原得到样品的组成、结构、缺陷和微观形貌等信息。
2.SEM的成像原理扫描电子显微镜的成像原理是利用不同材料对电子的不同散射特性成像。
扫描电子显微镜中，电子束由电子枪发射，经过电子透镜系统加速并聚焦成为很小的电子束，然后，电子束通过样品表面，与样品相互作用，产生了二次电子、退火电子、背散射电子等电离粒子，这些电离粒子产生的信号经过检测和预处理后可形成像。
通过Si(Li)和NaI(TI)等探测器的辐射测量，我们可以将这些像转化为电信号，进而进行成像。
电子显微镜的应用电子显微镜在研究微观世界、分析材料的结构、形貌和性质方面已经得到广泛应用。
1.材料科学领域的应用电子显微镜在材料科学领域的应用有很多。
通过电子显微镜的成像技术，我们可以了解材料的孔洞结构、晶格结构、的缺陷、组成、性质等方面的信息。
同时，电子显微镜还可以研究材料的晶体生长、相变、热力学性质等方面的行为，为制备新材料提供了重要的研究支持。
生命科学中各种电子显微镜技术在细胞学中的应用分析
生命科学中各种电子显微镜技术在细胞学中的应用分析生命科学是一个庞大而又神秘的领域，其中细胞学作为重要的一部分，对我们了解生命体的秘密发挥着至关重要的作用。
随着科技的发展，各种电子显微镜技术的出现和应用，使我们进一步认识细胞，挖掘生命的奥秘。
本文将分别介绍透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）的原理以及在生命科学中的应用。
一、透射电子显微镜（TEM）的原理及应用透射电子显微镜是一种通过电子束穿透物质并被透过的电子束聚焦成影像的显微镜技术。
透射电子显微镜的分辨能力极高，不仅可以显示细胞的结构，还可以显示细胞内蛋白质和亚细胞结构。
在生命科学中，透射电子显微镜技术广泛应用于细胞学和分子生物学领域。
例如：在细胞学中，透射电子显微镜可以用来观察细胞内器官的结构，比如线粒体、内质网、高尔基体、核仁等。
在分子生物学中，透射电子显微镜可以用来观察蛋白质的结构，如观察蛋白质的高级结构和下级结构，探究蛋白质的分布以及聚集等。
二、扫描电子显微镜（SEM）的原理及应用扫描电子显微镜是一种通过电子束扫描物体表面，并通过扫描产生的相互作用信号，来形成图片的显微镜技术。
扫描电子显微镜的分辨率相对较高，可以非常清晰地显示不同组织和细胞的表面形态和结构，显示细胞表面和组织微观结构的细节。
在生命科学中，扫描电子显微镜技术也被广泛应用于细胞学和分子生物学领域。
例如，扫描电子显微镜可以用于研究对细胞的形态发育和细胞生理过程起到重要作用的各类细胞外基质的形态结构。
同时，扫描电子显微镜技术也可以用于研究生物材料的38形态和性质。
例如，金属和陶瓷的表面形态、热带水果、陶瓷和材料的表面结构均可以通过扫描电子显微镜技术来观测和研究。
三、各种电子显微镜技术在疾病研究中的应用电子显微镜技术在疾病研究中也有广泛的应用。
例如，在癌细胞研究中，透射电子显微镜可以使用生物样品对病变组织中细胞和亚细胞结构进行精确的分析；扫描电子显微镜可以用于对癌症细胞表面的微观形态进行观察和分析。
电子显微镜的原理与应用
电子显微镜的原理与应用电子显微镜（Electron Microscope）是一种通过利用电子束来观察和研究微观结构和特征的仪器。
相比传统的光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数，因此在科学研究、工业制造和医学诊断等领域发挥着重要作用。
本文将详细介绍电子显微镜的原理和常见的应用。
一、电子显微镜的原理1. 来源于电子波：电子显微镜的原理基于电子的波粒二象性理论，即电子既是粒子又是波动的，电子波具有波长，其波长要远小于可见光波长。
因此，利用其波动性质进行观察和分析能够得到更高的分辨率。
2. 电子源：电子显微镜中常用的电子源有热阴极和场发射阴极。
热阴极通过加热材料使其发射电子，而场发射阴极则通过电场加速电子的发射。
电子源的选择直接影响着电子束的性质和质量。
3. 电子透镜和屏幕：电子透镜用于聚焦电子束，常见的电子透镜包括磁透镜和电场透镜。
磁透镜利用磁场对电子进行聚焦，而电场透镜则是利用电场产生的变化来实现聚焦作用。
而电子显微镜的屏幕则用于接收电子束，将电子束转化为可见的图像。
4. 电子束的探测：电子束在样品表面或内部与物质相互作用时，会发生散射和透射。
根据不同的模式，可以利用探测器来获取图像信息。
例如，通过测量透射电子的强度和方向可以获得样品的内部结构，而测量散射电子的能量和角度则可以获得表面形貌和成分信息。
二、电子显微镜的应用1. 材料科学和纳米技术：电子显微镜可以对材料的晶体结构、表面形貌和元素分布进行高分辨观察和分析。
这对于研究材料的性能和开发新型材料具有重要的意义。
在纳米技术领域，电子显微镜可以直接观察到纳米结构和纳米颗粒的形貌和构造，有助于研究纳米材料的力学、光学和电学性质。
2. 生命科学和医学：电子显微镜在生命科学和医学领域有着广泛的应用。
通过电子显微镜，可以观察和研究生物分子、细胞、组织和器官的超微结构。
例如，在细胞生物学中，电子显微镜可以对细胞器官的形态和功能进行直接观察，帮助科学家更全面地了解生命的本质和机制。
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EPMA与其他设备的联用
STEM特点及应用
1. 利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度 的试样。 2. 利用扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。 3. 利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散 射和非弹性散射电子。 4. 进行高分辨分析、成像及生物大分子分析。
EPMA是利用聚焦的很细的电子束打在样品的微观区域，激 发出样品该区域的特征X射线，分析其X射线的波长和强度 来确定样品微观区域的化学成分。将SEM和EPMA结合起来， 则可进行显微形貌观察，同时进行微区成分分析。
EPMA工作原理
扫描透射电子显微镜 （STEM, Scanning Transmission Electron Microscope）
EPMA特点及应用
电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进 行定性或定量分析。
可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分 析（得到成分面分布图像）。
能全自动进行批量（预置9999测试点）定量分析。 由于电子探针技术具有操作迅速简便（相对复杂的化学分 析方法而言）、实验结果的解释直截了当、分析过程不损 坏样品、测量准确度较高等优点，故在冶金、地质、电子 材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地 应用，尤其适用于对合金的显微组织和相成分的研究分析， 是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。此外，它也 是分析月球土壤和月岩的理想仪器。
⑥在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试 样的视场大。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域 是很必要的，如刑事侦察和考古。 ⑦进行从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很 宽，且不用经常对焦。这对进行事故分析特别方便。
⑧观察生物试样。因电子照射而发生试样的损伤和污染程 度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。
③直接观察大试样的原始表面，它能够直接观察直径100mm， 高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制， 粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能 真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子象）。
④观察厚试样，其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和 最真实的形貌。
⑤观察试样的各个区域的细节。由于工作距离大（可大于 20mm）。焦深大（比透射电子显微镜大10倍）。样品室的 空间也大。可以让试样在三度空间内有6个自由度运动（即 三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观 察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。
SEM特点及应用
优点
(1)扫描电镜所用样品的制备方法简便(固定、干燥和喷金)， 不需经过超薄切片； (2)能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至 120mm×80mm×50mm。
(3)扫描电镜所观察到图像景深长，图像富有立体感；扫描 电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。
缺点
仪器精密价格昂贵。要求样品的厚度很薄，样品厚度要在 100-200nm。因此要制作好的样品很复杂。要求条件很高， 电子显微镜因需在真空条件下工作。
TEM应用领域
TEM 广泛应用于生物学、医学、化学、物理学、地质学,金 属、半导体材料、高分子材料、陶瓷、纳米材料等领域。 透射电子显微镜在生物、医学中的应用极大地丰富了组织 学和细胞学的内容, 观察到了许多过去用光学显微镜观察 不到或观察不清的细胞微体结构。 TEM 在材料科学中可对材料进行形貌观察、物相分析、晶 体结构观察、微区化学成分分析、元素分布等进行分析等。 TEM 可用来分析各种金属材料,无机非金属材料,高分子材 料,化学工程材料,纳米材料等的微观形貌、晶体结构。
测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心 型号：JSM-5610LV扫描电子显微镜
生产国别厂家：日本电子株式会社
主要技术指标： 高真空模式分辨率：3.0nm；低真空模式分辨率:4.0nm； 放大倍数: 18X～300,000X；加速电压: 0.5KV-30KV；低真空度：1Pa～270Pa；图 像种类:二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像； 图像输出方 式：存盘、打印、照像。 应用： JSM-5610LV扫描电子显微镜配有低真空系统，对非导电样品可以直接 进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术 有着突出的作用；对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经 过特有的简单处理后，也可以直接观察。
2) 物体发射电子 扫描电 镜观察和分析样品的表面 立体形貌
3) 物体反射电子 4) 物体吸收电子
电子显微镜成像原理
扫描电子显微镜 （SEM，Scanning Electron Microscope）
SEM是利用电子束在 样品表面扫描激发 出来代表样品表面 特征的信号成像的。 主要用来作微形貌 观察、显微成分分 析。分辨率可达到 1nm，放大倍数可达 5×105倍。 SEM成像原理
电子显微镜分布（武汉）
测试地点：武汉工程大学分析测试中心 型号：扫描电子显微镜
主要技术指标：
（1）放大倍数18-300000（2）分辨率4.5nm，128KeV（3）HV和LV（4） SEI和BEI 附件及功能： （1）x光电子能谱仪（2）检测器SUTW（3）检测限≥720ppm（4）可测 H、He、Li、Be以外的元素 应用范围：
扫描电子显微镜适用于观察和研究材料及生物样品的微观表面形貌和 成分。材料样品包括块状样品粉末样品及微颗粒样品等；生物样品则 包括经过干燥处理的各种生物材料等。电子能谱仪是分析研究固体表 面成份、结构、元素分布、化学态等表面化学特性方面的重要仪器， 原则上能分析除H、He、Li、Be以外的所有元素。
(4)图象的放大范围广，分辨率也比较高。图像的放大倍率 在很大范围内连续可变(101-105×)，分辨率介于光学显微 镜与透射电镜之间，可达3nm。 (5)样品的辐射损伤及污染程度小等。
局限性
(1)分辨率还不够高(1-10nm)； (2)只能显示样品的表面形貌，无法显示内部详细结构。
透射电子显微镜 （TEM，Transmission Electron Microscope ）
TEM是采用透过薄膜样 品的电子束成像来显 示样品内部组织形态 和结构的。用于微结 构分析、微形貌观察。 分辨率可达到1－1nm， 放大倍数可达106倍
TEM成像原理
电子探针显微分析 （EPMA，Electron Probe Micro-Analysis）：
TEM特点
优点
A、 散射能力强。和X射线相比，电子束的散射能力是前者 的一万倍，因此可以在很微小区域获得足够的衍射强度， 容易实现微、纳米区域的加工与成份研究
B、 原子对电子的散射能量远大于X－射线的散射能力即使 是微小晶粒（纳米晶体）亦可给出足够强的衍射。
C．分辨率高。其分辨率已经优于0.2nm，可用来直接观察 重金属原子像。 D、 束斑可聚焦。会聚束衍射（纳米束衍射），可获得三 维衍射信息，有利于分析点群、空间群对称性。
EPMA特点及应用
优点
1、能进行微区分析。可分析数个μ m^3内元素的成分。 2、能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出，可直 接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电 子探针结合，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成 分联系起来。 3、分析范围广。Z>4.其中，波谱：Be-U,能谱：Na-U。
应用
①观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或 微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加 压成型而得到的固体材料。 ②进口材料断口的分析。由于图象景深大，故所得扫描电 子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜 多得多的信息，扫描电镜所显示饿断口形貌从深层次，高 景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、 事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有 力的手段。
EPMA应用领域
电子探针的最早应用领域是金属学。对合金中各组成相、 夹杂物等可作定性和定量分析，直观而方便，还能较准确 地测定元素的扩散和偏析情况。此外，它还可用于研究金 属材料的氧化和腐蚀问题，测定薄膜、渗层或镀层的厚度 和成分等，是机械构件失效分析、生产工艺的选择、特殊 用材的剖析等的重要手段。
E、 成像：正空间信息。 直接观察结构缺陷；直接观察原 子团（结构像）；直接观察原子（原子像），包括Z衬度像。
F、 衍射：倒空间信息。选择衍射成像（衍衬像），获得 明场、暗场像有利结构缺陷分析从结构像可能推出相位信 息。 G、 全部分析结果的数字化。数据数字化，便于计算机存 储与处理，与信息平台接轨电子显微学不仅是X射线晶体学 的强有力补充，特别适合微晶、薄膜等显微结构分析，对 于局域微结构分析、尤其是纳米结构分析具有独特的优势。
TEM特点及应用
透射电镜特别适合对微细矿物及隐晶质矿物和超细粉体的 形貌及结构分析，它决定了偏光显微镜分辨率低的不足， 又克服了射线衍射仪不能直接观察矿物形貌的困难。 在透射电镜中，被观察粒子的大小一定要大于电子束的波 长才能被分辨出来；否则，电子束就会发生绕射，无法看 到粒子。 透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电 子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度 等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片， 通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品 需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄 切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通 常是挂预显微镜既有透射电子显微镜又有扫描电子显 微镜的显微镜。象SEM一样，STEM用电子束在样品的表面扫 描，但又象TEM，通过电子穿透样品成像。STEM能够获得 TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求 较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都 要复杂。 STEM同时具有SEM和TEM的双重功能，如配上电子探针的附 件（分析电镜）则可实现对微观区域的组织形貌观察，晶 体结构鉴定及化学成分分析测试三位一体的同位分析。