电子级磷酸简介教学教材
第五节 电子磷酸
第五节电子磷酸一、概述磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗,纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展,用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家,2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%,预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元,成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移,特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户,与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长,对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
二、性质性状无色、无臭、粘稠液体,溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体,富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱,但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热,经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸,长时间受冷即生成结晶,有腐蚀性,易吸湿。
熔点:42.℃沸点:213℃密度:1.834(18℃)三、制备原理磷酸的生产现金主要有两种方法,热法和湿法。
1.热法磷酸主要是以黄磷为原料,黄磷燃烧生成通过热法生产出的磷酸由于原料组成单一,生产工艺不复杂,因此产品的纯度高,杂质含量少,一直用在高新医药等领域,但其缺点就是耗能大,成本高,生产过程产生的粉尘和毒气严重污染环境,因此世界上热法磷酸的比例正在逐渐下降。
电子级磷酸
电子级磷酸的相关报告前言电子级磷酸属高纯磷酸,高纯磷酸(H3PO4)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,属于微电子化学产品之一,目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。
电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业,主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻,包括:①基片涂胶前的清洗;②光刻过程中的蚀刻及最终去胶;③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。
近年来,随着我国微电子和面板产业的高速发展,世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT—LCD企业巨头在中国大陆投资建厂,电子化学品的需求越来越大。
“十五”期问,我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t,而国内生产企业仅能提供10%。
其中,国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5%一8%左右,电子化学品市场预计超过80亿美元,年增长率近20%;世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8%以上。
电子级磷酸由于具有优良的性能,已成为电子工业不可缺少的电化学品之一,其需求量正逐年增长。
一、行业概况:电子级磷酸发展背景高纯电子级磷酸属电子化学品系列产品之一,电子化学品一般指与电子工业配套的专用化学品。
伴随着国际半导体芯片(IC)和液晶制造业迅速向中国转移, 我国微电子技术, 特别是半导体器件和集成电路微细加工的蚀刻与清洗工艺和薄膜 液晶制造工艺所需的电子级磷酸的需求量也在稳步增长。
其质量对IC 产品成品率、电性能、可靠性和液晶显示器( LCD)质量都有重要影响。
预计到2010年国内市场(包括出口)对电子级磷酸需求量将达到150~ 160 kt /a, 以后年均增长率10% 以上, 成为高档磷酸的一个重要市场。
微电子技术发展主要特点是依靠不断缩小元器件特征尺寸、增加芯片面积、提高集成度和运行速度而迅猛发展。
自上世纪70年代起, 集成电路芯片的发展速度基本上遵循每1.5 年集成度增加1倍, 芯片特征尺寸每3年缩小一半, 芯片面积增加约1.5倍, 芯片中晶体管数增加约4倍的规律, 即基本上每3年就有一代新的IC 产品问世。
95%高浓度电子级磷酸技术问世
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由图 6可 以看 出 , 改变 喷 嘴直径 的大 小后 , 吹 喷 管 内的气体 速度 分布 相对 均匀 。
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电子级磷酸产 品及生 产技术 主要被 日本和 韩国等发 达 国家 所垄断 。钦州 出入境检验检疫 局攻克 了 9 %高浓 度 电子级 5 磷酸生产关键技术 , 目前已开始推广应用 。
1kt电子级磷酸建议书共27页文档
第一章项目建设的目的和意义1.1企业概况瓮福(集团)有限责任公司[以下简称瓮福集团]于2008年4月26日挂牌成立,原名为“贵州宏福实业开发有限总公司”,是在1994年6月经贵州省人民政府批准,由贵州省瓮福矿肥基地工程建设指挥部改制组建而成。
贵州省瓮福矿肥基地包括瓮福磷矿和瓮福磷肥厂两个国家重点建设项目,总投资58.5亿元,是国家在上世纪后十年投资200多亿元建设的全国五大磷肥基地之一,2001年12月30日通过国家验收。
经过几年来的技术改造,瓮福集团现已形成450万吨/年原矿、200万吨/年硫酸、90万吨/年磷酸、120万吨/年磷酸二铵、48万吨/年磷酸一铵、1.54万吨/年氟化铝、3万吨/年黄磷的生产能力,以及磷精细化工和环保产业。
瓮福集团秉承国家建设的初衷,坚持以生产优质高浓度磷复肥满足农业生产需要为己任。
2019年以来,瓮福集团坚持科学发展观,走新型工业化道路,坚持实施提升质量水平,提升科技含量,提升规模效应;降低成本,降低增量投入的“三升两降”工程,并取得良好成效。
2019~2019年,瓮福集团年均发展速度超过35%,实现“四年四大步”跨越式发展,一跃成为中国磷肥行业的领头企业。
2019年9月,“宏福牌”磷酸二铵荣获“中国名牌产品”称号;2019年9月,“宏福牌”磷酸二铵、磷酸一铵双双荣获国家质量检验检疫总局颁发的《产品质量免检证书》;2019年9月,“宏福牌”磷酸一铵荣获“中国名牌产品”称号。
瓮福集团先后被评为全国百家质量效益型先进企业、贵州省最具影响力企业、中国消费者十大满意品牌企业、中国石油和化工行业百强企业、全国十佳矿山企业等。
许多党和国家领导人以及国家有关部委领导同志近几年先后到瓮福集团视察,对瓮福集团的工作给予了充分肯定并寄予厚望。
省委、省政府把磷及磷化工作为贵州经济发展的重要支柱产业,并将瓮福集团列为近几年内建成销售收入达100亿元的企业集团之一。
瓮福集团拥有丰富的磷矿资源。
电子级磷酸质量标准
试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein磷酸/电子级磷酸Phosphate standard concentrate性状无色、无臭、粘稠液体,溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体,富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱,但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热,经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸,长时间受冷即生成结晶,有腐蚀性,易吸湿。
熔点:42.℃沸点:213℃密度:1.834(18℃)质量标准GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR)含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0色度,黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2挥发酸Volatile acid,% ≤0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002钠(Na)Sodium,% ≤0.05 --钾(K)Potassium,% ≤0.005 --锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 --铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 --锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 --铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 --重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01项目电子级磷酸含量(P2O5)% 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm≤5硫酸盐(SO4) ppm≤5氯化物(Cl) ppm≤5铝(Al) ppb≤20锑(Sb) ppb≤300砷(As) ppb≤10钡(Ba) ppb≤20镉(Cd) ppb≤10钙(Ca) ppb≤50铬(Cr) ppb≤10钴(Co) ppb≤20铜(Cu) ppb≤20金(Au) ppb≤5铁(Fe) ppb≤50铅(Pb) ppb≤10锂(Li) ppb≤10镁(Mg) ppb≤20锰(Mn) ppb≤10镍(Ni) ppb≤10钾(K) ppb≤20银(Ag) ppb≤10钠(Na) ppb≤50锶(Sr) ppb≤10锌(Zn) ppb≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0% 色度,黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003% 挥发酸(以乙酸计)V olatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002% 钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002% 镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002% 钾(K)Potassium(K) ≤0.005% 钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025% 砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm 还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF,FCC)assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordancephosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordancecation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppmsuitability passes test for appearance of solution贮存密封保存。
电子级磷酸简介范文
电子级磷酸简介范文湿法制备电子级磷酸是将含磷矿石溶解于硫酸中,然后经过多次结晶和分离纯化,最终得到高纯度的磷酸。
该方法可以得到较高的纯度,但是制备过程较为复杂且成本较高。
气相法制备电子级磷酸是通过蒸发和凝结的方式,将含磷的气体与水蒸汽反应生成磷酸。
这种方法的优点是制备过程相对简单,成本较低,但是纯度相对较低。
电子级磷酸的纯度要求非常高,主要由杂质的含量决定。
一般来说,电子级磷酸的杂质含量应该低于PPB(billion的十亿分之一),甚至更低。
常见的杂质有金属离子、有机物和无机盐等。
为了达到如此高的纯度要求,制备过程中需要采取各种措施,如选择高纯度的原料、控制反应条件和使用高纯度的溶剂等。
电子级磷酸的应用非常广泛,主要用于半导体和其他电子器件的制造过程中。
它可用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂等。
在片上化合物半导体(IC)的制造过程中,电子级磷酸可用于清洗硅片和去除残留物,以提高硅片的纯度和表面光洁度。
此外,电子级磷酸还可以用作制备硅酸盐蜂窝陶瓷、玻璃和光纤等材料的原料。
在电子元件制造过程中,电子级磷酸的纯度和质量非常重要。
由于电子级磷酸的纯度要求极高,一旦杂质超出规定范围,可能会对器件的性能造成影响。
因此,在电子级磷酸的生产和使用过程中,需要严格控制各项工艺参数,并进行多次分离和纯化,以确保产品的质量。
总之,电子级磷酸是一种高纯度的化学品,广泛应用于半导体和其他电子器件制造过程中。
它的制备过程复杂,要求高纯度的原料和专业的工艺。
电子级磷酸的纯度要求非常高,主要由杂质的含量决定。
它主要用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂,以及制备材料的原料。
在电子元件制造过程中,电子级磷酸的纯度和质量对器件的性能有重要影响,因此需要严格控制各项工艺参数,并进行多次分离和纯化。
磷酸电子级磷酸的所有技术指标及基本介绍样本
磷酸/电子级磷酸上海紫一试剂厂.com电话: ; 传真:磷酸/电子级磷酸PhosphatestandardconcentrateCas号: 【7664-38-2】MDL: MFCD00011340分子式: H3O4P; H3PO4分子量: 98.00别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂PhosphoricacidsolutionPhosphoricacidOrthophosphoricacidOrthophosphoricacid订货信息:性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体, 富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐蚀性, 易吸湿。
熔点: 42.℃沸点: 213℃密度:1.834( 18℃)质量标准: GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤ 0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤ 0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤ -- 0.001 还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤ 0.005 0.01项目电子级磷酸含量( P2O5) % 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm ≤5硫酸盐(SO4) ppm ≤5氯化物(Cl) ppm ≤5铝( Al) ppb ≤20锑 (Sb) ppb ≤300砷 (As) ppb ≤10钡 (Ba) ppb ≤20镉 (Cd) ppb ≤10钙 (Ca) ppb ≤50铬 (Cr) ppb ≤10钴(Co) ppb ≤20铜 (Cu) ppb ≤20金 (Au) ppb ≤5铁(Fe) ppb ≤50铅 (Pb) ppb ≤10锂 (Li) ppb ≤10镁 (Mg) ppb ≤20锰 (Mn) ppb ≤10镍(Ni) ppb ≤10钾 (K) ppb ≤20银 (Ag) ppb ≤10钠 (Na) ppb ≤50锶 (Sr) ppb ≤10锌 (Zn) ppb ≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0%色度, 黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003%挥发酸(以乙酸计)Volatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002%钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002%镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002%钾(K)Potassium(K) ≤0.005%钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025%砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF, FCC) assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordance phosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordance cation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppm suitability passes test for appearance of solution 贮存: 密封保存。
电子级磷酸简介及电子级盐酸分析
电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻(称为IC 级)。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。
产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其他净化法其他的净化方法有电渗析:①电渗析法;② 膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ 级已达到国际 SEMI -C7质量标准,适用于018~112μm 工艺技术的加工制作,这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别国内技术水平:目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产,BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态,所需产品依赖进口。
国外技术水平:高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段,生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握,有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道,国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请,技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
药用原料辅料 磷酸-概述说明以及解释
药用原料辅料磷酸-概述说明以及解释1.引言1.1 概述磷酸作为一种常见的药用原料辅料,在医药工业中起着重要的作用。
它被广泛用于药物的生产和制备过程中,具有很高的药学价值和应用前景。
本文将对药用原料磷酸进行深入探讨,包括其作用、分类和应用领域等方面,以期为读者提供全面的了解和参考。
通过对磷酸的研究和应用,我们可以更好地认识和利用这一重要的药用原料辅料,为医药领域的发展做出积极贡献。
1.2 文章结构文章结构部分主要包括以下几个方面的内容:1. 引言部分:介绍文章的背景和研究意义,概述药用原料磷酸在医药领域的重要性。
2. 正文部分:详细描述药用原料磷酸的作用、分类和应用领域。
通过对磷酸的化学性质、生物活性和药理作用等方面的介绍,揭示其在医疗保健中的重要作用和应用价值。
3. 结论部分:总结文章的主要内容,展望未来药用原料磷酸在医药领域的发展前景,并提出进一步研究的建议和展望。
通过以上结构的安排,可以使文章结构层次清晰,逻辑性强,读者更容易理解和吸收文章的内容,同时也有助于提高文章的可读性和科学性。
1.3 目的本文旨在深入探讨药用原料磷酸在药物制备中的重要作用,介绍其不同分类和在不同领域的应用情况。
通过对药用原料磷酸的详细介绍,读者可以更全面地了解这一重要的药物辅料,从而为药物生产和临床应用提供更加准确和有效的参考信息。
同时,本文也希望能够引起读者对药用原料磷酸的关注,促进磷酸在医药领域的更广泛应用和深入研究。
2.正文2.1 药用原料磷酸的作用:磷酸作为一种重要的药用原料辅料,在药物生产中起着至关重要的作用。
它可以作为药物的成分之一,也可以用作药物的辅料。
其主要作用包括以下几个方面:1. 作为酸度调节剂:磷酸可以调节药物的酸碱度,使药物更容易被人体吸收和利用。
它还可以稳定药物的性质,延长药物的保质期。
2. 促进药物的溶解性:磷酸可以改善药物的溶解性,使药物更容易在体内发挥作用。
这对于需要口服的药物尤为重要。
电子级磷酸的纯化技术及其配套技术
将 磷 酸三 甲酯或 磷酸 三 乙酯等磷 酸三 酯蒸 馏提
纯后 , 加入 装有 超纯 水 的密 闭 容 器 中 , 0 234— 在 .9
2 9 30 M a压力下 加 热 到 10~1 0c . 4 P 2 8 C水解 , 可制
剂需求 量将 超 过 10k/ , 6 ta 电子 化学 品市场 销 售 额
标准 , 电 子 级 磷 酸 划 分 为 S MIGae 、 E I 将 E r l S M d
G ae rd2和 S MI rd 3 E ae 。 G
因此 , 微 电 子生产 企 业对 电子 级磷 酸要 求 的 各 标 准不 同 , 将其划 分 为 4个 档 次 : 低 档产 品 , 用 ① 适 于 中小规模 集成 电路 及 电子器 件加 工 工 艺 , 于 大 用 于 12 m 宽 电路 蚀 刻 以及 L D液 晶制造 工 艺 ; . C ②
完整 的研发 、 生产 、 检测 及包 装运 输体 系 。
成本高, 用来 精制 磷 酸 的工 业 化 还有 很 多 问题 尚待
解 决 , 实用 阶段 尚有 一定距 离 。 距 2 6 热法磷 酸或湿 法 净化磷 酸结 晶法 .
基 于 技术 保 密 等原 因 , 内外 电子 级 磷 酸生 产 国 技术 的相关 资料 报 道 相 对很 少 。 目前 , 内外 生 产 国
严格保 密其 核心 技 术 , 技术 拥 有 方 甚 至 不进 行 专 利
交换膜 , 否则 分离 S O 一等 杂质 相 当 困难 , 而且 膜 孔
易 于被堵 塞 , 能处 理 浓 度 较高 的磷 酸 。此法 精 制 不
申请 。 因此 , 该技 术 的研 发 必须依 靠 自主创 新 , 立 建
电子级磷酸市场
电子级磷酸及其市场摘要:随着我国微电子和面板产业的高速发展,世界上许多著名IC晶体圆代工、半导体封装以及LED、TFT-LCD大型企业在中国建厂,电子化学品的需求逐渐增大。
预计2010年中国对电子级磷酸市场需求量将会达到15万-16万吨每年。
整个电子化学品市场预计超过80亿美元,年增长率近20%;世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8%以上。
而电子级磷酸的性能优良,已是电子工业重要的化学品之一。
1.电子级磷酸简介磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗,纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展,用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家,2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%,预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元,成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移,特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户,与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长,对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
1.1应用与需求生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时,要求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。
不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电,使之短路,几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的IC报废。
为了避免硅晶片发生粒子污染,必须使用隔膜过滤器净化到0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。
《磷酸知识培训》PPT课件
• 4. • 5. • 6.
CaCO3 + H2SO4 = CaSO4 ↓ + CO2 ↑+ H2O
R2O3) + 2 H3PO4 = 2RPO4+ 3H2O H2SiF6 △ SiF4 ↑+ 2HF↑
• 7. R2O + H2SiF6 = R2 SiF6 + H2O
与湿法磷酸生产过程有关的晶型有三种: 【二水物】 【α-半水物】 【无水物】
现代化生产阶段。主要特点:
(1)装置大型化
• 到目前为止,日产1000吨以上的磷酸装置就有数十套, 如 印 度 OSWAL 世 界 上 最 大 反 应 槽 单 系 列 能 力 已 达 到 2650吨。由于工艺技术不断完善,大型设备和新型材 料的问世,使湿法磷酸装置的关键设备不断改进,更加 速了磷酸工业规模大型化的发展。但由于受到设备制造 能力的限制,大型湿法磷酸装置除反应槽可采用单系列 外,其过滤和浓缩部分均采用多系列。
湿法磷酸装置尾气洗涤流程,主要有卧式错流填料床洗涤和 立式空塔洗涤两种流程。流程的选取,主要依据原料磷矿的 质量。如果原料磷矿中硅含量较高,生产时容易产生硅胶造 成系统堵塞,则推荐采用立式空塔洗涤流程。通常过滤机料 浆加料区和一洗区的收集尾气也一并抽入尾气洗涤系统进行 洗涤,以改善车间操作环境。
独立的清洗回路 湿法磷酸装置反应和过滤工段中,通常设置专门的清洗系 统,配置5%H2SO4作为清洗液。以达到最大程度地清洗 绝大部分磷酸管线为目的。系统清洗后,清洗液可逐步返 回反应系统回收利用。
工艺技术 国内技术 国内技术 国内技术 国内技术 国外技术
设计能力t/dP2O5 1000 1000 1000 1000 1000
建厂数 3 1 1 1 1
电子级磷酸简介
电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗与蚀刻,其纯度与洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗与浊刻(称为IC级)。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也就是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂与光纤玻璃原料等。
产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量与颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其她净化法其她的净化方法有电渗析:①电渗析法;②膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8与SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ与BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准,适用于018~112μm工艺技术的加工制作,这就是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别国内技术水平:目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产,BVII级与BVIII电子级磷酸仍处于研发状态,所需产品依赖进口。
国外技术水平:高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密与高度垄断阶段,生产技术主要由德国、日本与美国等少数几个发达国家掌握,有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道,国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请,技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
01磷酸msds
第一部分:化学品名称1.1 中文名称:磷酸1.2 英文名称:phosphoric acid1.3 中文别名:磷酸;正磷酸1.4 英文别名:Phosphoric acid;Orthophosphoric acid1.5 推荐用途:实验室用化验、试验及科学实验。
1.6 限制用途:不可作为药品、食品、家庭或其它用途第二部分:危险性概述2.1 GHS危险性分类:金属腐蚀物(类别1),急性毒性(经皮)(类别5),皮肤腐蚀(类别1B),严重眼睛损伤(类别1)2.2 侵入途径:吸入食入经皮吸收。
2.3 健康危害:蒸气或雾对眼、鼻、喉有刺激性。
口服液体可引起恶心、呕吐、腹痛、血便或体克。
皮肤或眼接触可致灼伤。
慢性影响:鼻粘膜萎缩、鼻中隔穿孔。
长期反复皮肤接触,可引起皮肤刺激。
2.4 环境危害:对环境有危害,对水体可造成污染。
2.5 燃爆危险:本品不燃,具腐蚀性、刺激性,可致人体灼伤。
第三部分:成分/组成信息3.1 主要成分:磷酸3.2 含量:≥85.0%3.3 CAS No.:7664-38-2第四部分:急救措施4.1 皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少15分钟。
就医。
4.2 眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。
就医。
4.3 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难,给输氧。
如呼吸停止,立即进行人工呼吸。
就医。
4.4 摄入:用水漱口,给饮牛奶或蛋清。
就医。
第五部分:消防措施5.1 危险特性:遇金属反应放出氢气,能与空气形成爆炸性混合物。
受热分解产生剧毒的氧化磷烟气。
具有腐蚀性。
5.2 有害燃烧产物:氧化磷。
5.3 灭火方法:用雾状水保持火场中容器冷却。
用大量水灭火。
第六部分:泄漏应急处理6.1 应急处理:隔离泄漏污染区,限制出入。
建议应急处理人员戴防尘面具(全面罩),穿防酸碱工作服。
不要直接接触泄漏物。
小量泄漏:用洁净的铲子收集于干燥、洁净、有盖的容器中。
磷酸工业概述教案模板范文
课时:2课时年级:高中化学教学目标:1. 知识目标:了解磷酸的用途、生产方法以及工业生产中的主要步骤。
2. 能力目标:培养学生分析问题、解决问题的能力,提高学生的实验操作技能。
3. 情感目标:激发学生对化学工业的兴趣,培养学生的环保意识。
教学重点:1. 磷酸的用途和性质。
2. 磷酸的生产方法。
3. 磷酸工业生产的主要步骤。
教学难点:1. 磷酸生产过程中各步骤的化学反应原理。
2. 磷酸生产过程中的环保措施。
教学过程:第一课时一、导入新课1. 提问:同学们,生活中你们知道哪些含有磷的物质?2. 引导学生思考:磷在工业生产中有哪些用途?二、讲授新课1. 磷酸的用途- 介绍磷酸在农业、化工、食品、医药等领域的应用。
- 强调磷酸在工业生产中的重要性。
2. 磷酸的生产方法- 介绍磷矿石的加工过程。
- 讲解磷酸的生产方法:热法磷酸和湿法磷酸。
3. 磷酸工业生产的主要步骤- 磷矿石的加工:包括破碎、磨粉、浮选等步骤。
- 磷酸的生产:包括分解、浓缩、干燥等步骤。
三、课堂小结1. 总结本节课所学内容。
2. 强调磷酸在生产生活中的重要性。
四、布置作业1. 查阅资料,了解磷酸在农业、化工、食品、医药等领域的具体应用。
2. 思考磷酸生产过程中的环保措施。
第二课时一、复习导入1. 回顾上节课所学内容。
2. 引导学生思考:磷酸生产过程中的环保措施有哪些?二、讲授新课1. 磷酸生产过程中的化学反应原理- 讲解磷矿石的分解过程。
- 讲解磷酸的浓缩、干燥过程。
2. 磷酸生产过程中的环保措施- 介绍磷酸生产过程中产生的废气、废水的处理方法。
- 强调环保意识在磷酸生产中的重要性。
三、课堂小结1. 总结本节课所学内容。
2. 强调环保措施在磷酸生产中的必要性。
四、布置作业1. 分析磷酸生产过程中的主要化学反应,并解释其原理。
2. 查阅资料,了解磷酸生产过程中环保技术的应用。
教学反思:本节课通过讲解磷酸的用途、生产方法和环保措施,使学生了解了磷酸工业的基本知识。
电子级磷酸市场调研报告课件
电子级磷酸市场调研报告课件电子级磷酸是一种具有高纯度和高稳定性的化学品,广泛应用于电子行业中的半导体制造过程中。
它被用作清洗剂、溶剂和脱离剂,以确保半导体芯片的质量和可靠性。
本报告将对电子级磷酸市场进行调研分析。
一、市场概述1.1市场定义电子级磷酸是一种高纯度的化学品,用于半导体制造行业。
1.2市场发展趋势随着电子产品的不断更新换代和技术的不断革新,对高纯度电子级磷酸的需求将不断增加。
1.3市场规模预测根据市场研究机构的数据显示,电子级磷酸市场规模预计将在未来几年保持稳定增长。
二、市场分析2.1市场驱动因素2.1.1电子产品市场增长随着智能手机、平板电脑等电子产品的普及和需求的增加,电子级磷酸的需求也将不断增加。
2.1.2半导体行业发展半导体行业作为电子级磷酸的主要应用行业,其发展对电子级磷酸市场的需求起到重要推动作用。
2.2市场挑战因素2.2.1环境监管电子级磷酸的生产过程中会产生废水和废气等环境污染物,需要严格控制排放,这对企业生产和成本增加带来一定的挑战。
2.2.2价格波动电子级磷酸的价格受到原材料成本、市场供需关系和政策调控等因素的影响,价格波动较大,给企业经营带来一定的风险。
三、市场竞争分析3.1主要厂商目前电子级磷酸市场上主要的生产企业包括A公司、B公司和C公司等。
3.2市场份额根据市场研究机构的数据显示,A公司占据了电子级磷酸市场的30%份额,B公司占据了40%份额,C公司占据了30%份额。
四、市场前景展望4.1市场机会随着电子产品市场的进一步扩大和半导体行业的快速发展,电子级磷酸市场将有更大的发展空间。
4.2市场挑战电子级磷酸市场面临着环保和价格波动等挑战,企业需要加强技术创新和成本控制,以应对市场变化。
4.3市场竞争态势市场竞争将会更加激烈,企业需要通过提高产品质量、降低成本和提供优质服务等方式来保持竞争优势。
五、市场建议5.1加强技术创新企业应加强技术研发和创新,提高产品品质和技术含量,满足客户不断提高的需求。
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电子级磷酸简介
电子级磷酸盐
简介
电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻(称为IC 级)。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。
产业链
制作工艺
电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其他净化法其他的净化方法有电渗析:①电渗析法;②膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准
国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ级已达到国际 SEMI -C7质量标准,适用于018~112μm工艺技术的加工制作,这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别
产品使用依赖进口
国内技术水平:目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产,BVII级和BVIII电子级磷酸仍处于研发状态,所需产品依赖进口。
国外技术水平:高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段,生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握,有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道,国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请,技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
技术难点:高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新,建立完整的研发、生产、检测及包装体系,但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题,技术开发和生产控制难度很高,研发投入大,即便是建立一个小型实验室,至少需要数百万元的投入,如果建设中等规模的工业化装置,总投资至少在数千万元,甚至过亿。
我国电子磷酸市场现状
(1)企业规模小,目前国内30多家,只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸,且规模均不大,主要集中在江苏、四川和贵州。
(2)国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求,只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。
(3)高纯磷酸由于其专利技术等原因,致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口,而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。
(4)我国电子级磷酸出口量远远大于进口量,这些出口的初级产品大多被用于再提纯,生产更高级别的产品,又部分返销回国内。
(5)我国总体技术水平落后于发达国家,而且,原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外研发高纯磷酸新技术,提高国内高纯磷酸产品质量,使产品应用于IC、LED、TFT-LCD等行业,摆脱长期依赖进口,将是我国高纯磷酸发展的方向。
电子磷酸市场规模
(2005年我国电子级磷酸总产量约17.5kt,进口量约2kt,出口14.5kt,表观消费量为5kt左右。
)/view/70fe7a11227916888486d72a.html 云南化工 2009年10月第36卷第5期
随着我国信息产业和电子行业的高速增长,中芯国际、富士康等大型半导体和电子企业集团向中国市场转移,国内电子级磷酸需求也快速增长。
预计2013年电子级磷酸需求量16万吨,其中面板级10万吨(单价7000元/吨),IC级6万吨(单价15000元/吨),市场合计16亿元。
电子磷酸下游需求来源
近年来由于电子工业工业和液晶显示电视迅速发展,用于半导体、液晶显示器及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家,2011年的转移,特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户,我国将成为世界重要的集成电路(IC)制造基地之一。
我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t,年均增长率超过20%。
2010年中国市场需求量达到15万~16万t/a,市场规模已超过200亿元,成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长,对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
电子级磷酸制造相关公司参考
澄星股份、兴发集团和马龙产业。