光诱导沉积方法的进展及运用
光沉积法负载型金属催化剂及其在光电催化中的应用
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光沉积法负载型金属催化剂及其在光电催化中的应用光电催化技术是目前热门的研究方向之一,其主要原理是在催化剂的作用下,可利用光能促进化学反应的发生,从而达到降解污染物、制备高附加值化合物等目的。
光电催化技术具有可再生、无二次污染、光能转化率高等优点,因此在环境修复、制备新型材料、高效能源转化等领域广泛应用。
其中,光沉积法制备的负载型金属催化剂具有制备简单、结构可控、表面易修饰等特点,因此逐渐成为一种研究热点。
光沉积法制备负载型金属催化剂,简单来说,即将金属前驱体与载体共同沉积在表面上,形成所需的金属催化剂。
光沉积法的特殊之处在于其反应条件温和,所需的设备简单,因此制备的金属催化剂具有结构可控、分散性好、表面粗糙度低等特点,能更好地控制反应条件和反应过程,因此应用范围更广泛。
然而,仅仅沉积金属前驱体是远远不够的,为了提高负载型催化剂的催化性能,还可以通过各种方法进行改性。
例如,通过化学还原法还原金属前驱体,在负载型催化剂表面生成金属颗粒,这些金属颗粒不仅有助于提高催化剂的催化活性,还可以增加催化剂的表面积和分散性,提高催化剂的耐久性和稳定性。
光沉积法制备的负载型金属催化剂在光电催化领域的应用也非常广泛,例如空气污染物降解、产氢、二氧化碳还原等。
在空气污染物的降解方面,负载型金属催化剂常常用于降解有机物,例如苯和甲苯等。
以钌为例,研究表明负载型钌催化剂对苯和甲苯的去除效率可达到80%,在醛和酮降解方面也非常有效。
在光水分解产氢方面,金属催化剂的选择也非常重要。
负载型银催化剂在光水分解反应中的催化性能非常优秀,并且具有耐久性和稳定性。
此外,还有研究表明负载型铝催化剂对于二氧化碳还原也具有很好的催化效果。
总体来说,光沉积法制备的负载型金属催化剂在光电催化领域具有极大的潜力和应用价值。
通过不断的研究和探索,相信这一领域的应用会越来越广泛,并且会取得更加显著的成果。
光诱导沉积方法的进展及运用
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光诱导沉积方法的进展及运用1前言随着全球能源的日趋紧张,太阳能电池以无污染、无机械转动部件,维护简便、无人值守、建设周期短、规模大小随意,可以方便地与建筑物相结合,市场空间大等独有的优势而受到世界各国的广泛重视,国际上已有众多大公司投入到太阳能电池的研发和生产中。
当前,硅太阳能电池的制造面临的挑战是提高太阳能电池的效率以增加单位面积的发电量以及进一步降低制造成本,使其能够广泛应用。
在晶体硅太阳能电池中,硅片上电极列阵的制备是非常关键的技术,电极阵列是收集太阳能电池发出电流的必要部件,其性能的好坏直接影响电池的能量转换效率。
作为电镀技术的一个分支,光诱导沉积技术成为可以代替传统丝网印刷技术,能够提高太阳能转换效率的新兴金属化技术。
在制造业迅速发展的时代,光诱导沉积技术的加工生产并逐步商业化,吸引了太阳能仪器制造公司的注意。
传统电镀已经取得优异的成绩,例如在良好的金属底层上,通过恒电位或者恒电流都可以得到优良的金属导线。
但是,如何在太阳能电池的硅表面上得到优异的沉积层,却没有得到很好地解决。
光诱导沉积技术能够解决传统电镀无法解决的部分问题。
作为电沉积的一个分支,光诱导沉积的发展将进一步促进光伏和微电子制造工业的飞速发展。
为了系统整理和集中反映光诱导沉积技术及其应用研究的学术进展和科技成就,增进交叉学科领域之间的学术交流,加强科学技术研究与经济建设的联系,促进科技成果的转化,笔者撰写了本文。
目的是为了帮助电镀工作者了解新技术的机理以及发展方向。
有关光诱导沉积技术的研究在国外已经开展很多,而国内才刚刚起步。
而且到目前为止,并没有关于光诱导沉积研究现状及水平的系统总结。
该文将对这方面进行综述。
2光诱导沉积分类及其原理光诱导沉积按反应类型可分为两大类:光诱导分解型和光生电子型。
2.1光诱导分解型根据Grotthuss–Draper定律,只有吸收辐射(以光子的形式)的分子才会进行光化学转化。
但是光诱导分解型沉积可以细分为两类:第一类称为直接光解,是化合物本身直接吸收了太阳能而进行分解反应,即利用一些对光敏感的化合物,使其在光的照射区域分解出金属单质并且沉积出来;第二类为光转化为热,利用一些对热敏感的化合物,采用激光加热使这类化合物在基体表面分解产生金属,从而形成沉积层。
光沉积法原理
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光沉积法原理
一、光沉积法原理
光沉积法,也称光固化法,是以光能量作用来固化材料的一种方法。
在其中,光能量被聚焦到某一特定区域,当光能量达到某个强度时,材料就会固化,从而形成特定物质的固体形态。
光沉积法的工作原理是:在特定的反应材料中,一种能够激活材料的光源被用来对其进行照射。
当能量被照射到特定的材料上时,会使其发生一系列的反应,形成熔融或固化状态。
被照射的物质会发生变化,形成固体形态的物质。
而沉积物以细微粒子的形式被定点固化。
光沉积法的主要步骤是:第一,首先将所要沉积的物质添加到反应室中,并稀释。
第二,调节照射条件,确保照射条件合适,光能量到达特定的激活条件,使物质凝固,形成固体形态的物质。
第三,在固化后将物质收集起来。
光沉积法可以用来制造各种微米加工精密的产品,例如:电子元件、高分辨率光掩膜、微型芯片和微加工零件。
而且,它在建筑、装饰等行业也应用广泛。
作为一种灵活有效的技术,它可以用来制造复杂形状的物体,而且还能够以较低的成本和短的时间节约成本。
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激光诱导击穿光谱技术及应用研究进展
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第6卷 第4期2013年8月 中国光学 Chinese Optics Vol.6 No.4Aug.2013 收稿日期:2013⁃04⁃11;修订日期:2013⁃06⁃13 基金项目:国家自然科学基金面上项目(No.31270680,No.61076064);江苏省“六大高峰人才”资助项目(No.2011⁃XCL⁃018);江苏高校优势学科建设工程资助项目文章编号 1674⁃2915(2013)04⁃0490⁃11激光诱导击穿光谱技术及应用研究进展侯冠宇1,王 平1∗,佟存柱2(1.南京林业大学化学工程学院,江苏南京210037;2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室,吉林长春130033)摘要:激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱学的元素定性、定量检测手段。
本文介绍了LIBS 技术的原理、应用方式、检测元素种类及检测极限;综述了该项技术在固体、液体、气体组分检测方面的技术发展,以及在环境检测、食品安全、生物医药、材料、军事、太空领域的应用进展。
最后,提出了高功率、高稳定的激光光源和准确的定量分析方法是LIBS 技术目前所面临的问题和挑战。
关 键 词:激光诱导击穿光谱;激光产生等离子体;元素分析;检测限中图分类号:O433.54;O657.319 文献标识码:A doi:10.3788/CO.20130604.0490Progress in laser⁃induced breakdown spectroscopyand its applicationsHOU Guan⁃yu 1,WANG Ping 1∗,TONG Cun⁃zhu 2(1.College of Chemical Engineering ,Nanjing Forestry University ,Nanjing 210037,China ;2.State Key Laboratory of Luminescence and Applications ,Changchun Institute of Optics ,Fine Mechanics and Physics ,Chinese Academy of Sciences ,Changchun 130033,China )∗Corresponding author ,E⁃mail :wp_lh@ Abstract :Laser⁃induced Breakdown Spectroscopy(LIBS)based on atomic emission spectral technology is a kind of convenient and sensitive approach for the qualitative and quantitative detection of elements.In this pa⁃per,the mechanism,detecting element types,detection limit and the recent progress of LIBS technology are reviewed.The progress of LIBS technology in component testing for solid,liquid and gas samples is expoundedin detail.The applications of LIBS in the environment test,food security,biological and medicines,material sciences,military and space fields are also presented.Finally,the challenges and problems for the LIBS tech⁃nology in high power and stable laser sources and accurately quantitative analysis method are discussed.Key words :laser⁃induced breakdown spectroscopy;laser⁃induced plasmon,element analysis;detection limit1 引 言 激光诱导击穿光谱(Laser⁃Induced Breakdown Spectroscopy,简称LIBS)技术是利用激光照射被测物体表面产生等离子体[1⁃2],通过检测等离子体光谱而获取物质成分和浓度的分析技术。
聚焦离子束诱导沉积_概述及解释说明
![聚焦离子束诱导沉积_概述及解释说明](https://img.taocdn.com/s3/m/735f8406ff4733687e21af45b307e87101f6f8db.png)
聚焦离子束诱导沉积概述及解释说明1. 引言1.1 概述离子束诱导沉积(Ion Beam Induced Deposition,简称IBID)是一种在材料表面上利用高能离子束进行沉积的先进技术。
通过控制离子束的能量、流强和轰击时间等参数,可以实现对材料表面进行局部改变并沉积出所需形状和结构的纳米材料。
该技术广泛应用于微电子器件制备、光学薄膜制备以及生物医学领域等多个领域。
1.2 文章结构本文将着重介绍离子束诱导沉积的原理、材料科学中的应用、技术发展现状与挑战以及未来的发展趋势。
下面将分别在各章节中详细阐述相关内容。
1.3 目的本文旨在全面概述离子束诱导沉积技术,并探讨其在材料科学领域中的应用前景和发展趋势。
通过系统性地介绍离子束诱导沉积技术原理和工艺流程,读者将对该技术有一个清晰全面的了解。
同时,文章还将重点讨论离子束诱导沉积在光学薄膜制备、二维材料生长和生物医学领域中的应用研究进展。
最后,文章将分析离子束诱导沉积技术当前存在的问题与挑战,并展望其未来的发展前景。
以上是“1. 引言”部分内容的详细清晰撰写,希望能对你撰写长文有所帮助。
2. 离子束诱导沉积的原理2.1 离子束诱导沉积的基本概念离子束诱导沉积(Ion Beam Induced Deposition,IBID)是一种利用离子束能量和动量传递来控制材料表面微观结构形成的技术。
该技术通过将高速离子束定向轰击目标材料表面,并在被轰击区域引起化学反应或物理相变,从而在局部区域上产生所需形态和组分的材料。
2.2 离子泵浦技术的应用示例离子泵浦技术是一种常用于真空系统中的开关设备,可实现气体压力的控制和调节。
在离子束诱导沉积过程中,离子泵浦技术被广泛应用于提供必要的低压环境,以便减少气体分子对待生成物质质量、致密度和晶格结构等性能产生不利影响。
2.3 离子束诱导沉积的工艺流程离子束诱导沉积工艺流程主要包括以下步骤:步骤1:设定离子束参数。
对于离子束诱导沉积,需要设定合适的离子种类、能量和通量等参数。
植物日光诱导叶绿素荧光的遥感原理及研究进展
![植物日光诱导叶绿素荧光的遥感原理及研究进展](https://img.taocdn.com/s3/m/813c7b1b3d1ec5da50e2524de518964bcf84d2d2.png)
植物日光诱导叶绿素荧光的遥感原理及研究进展一、本文概述植物叶绿素荧光作为一种非侵入性的生物光学现象,已经成为遥感科学领域的研究热点。
叶绿素荧光主要来源于植物在吸收阳光能量后,经过一系列光化学反应产生的能量释放。
这一过程不仅能够反映植物的光合作用活性,还能提供关于植物生理状态、环境胁迫和生态系统功能的重要信息。
本文旨在深入探讨植物日光诱导叶绿素荧光的遥感原理,总结并分析近年来该领域的研究进展,以期为叶绿素荧光遥感技术的发展和应用提供理论支撑和实践指导。
文章首先将对植物叶绿素荧光的产生机制进行详细阐述,包括其光化学过程和影响因素。
在此基础上,进一步介绍叶绿素荧光遥感的基本原理和技术方法,包括荧光信号的获取、传输和处理等关键环节。
接着,文章将重点综述近年来植物叶绿素荧光遥感在生态系统监测、环境胁迫评估、作物生理状态诊断等方面的应用实例和研究成果。
文章还将对叶绿素荧光遥感面临的挑战和未来发展趋势进行探讨,以期为相关领域的研究者和技术人员提供有益的参考和启示。
二、植物叶绿素荧光的产生机制植物叶绿素荧光,作为一种光化学反应的产物,其产生机制涉及到光合作用过程中的能量转换和光保护机制。
叶绿素作为植物光合作用的核心色素,主要吸收光能并将其转换为化学能,驱动植物的生长和发育。
然而,当植物吸收的光能超过其光合作用系统所能利用的范围时,就会发生光抑制现象,导致叶绿素荧光的产生。
在光合作用的光反应阶段,植物通过叶绿素吸收光能,将水分解为氧气和电子,同时生成高能磷酸键,为暗反应提供能量。
然而,当光能过剩时,叶绿体内的反应中心会受到损伤,导致电子传递链受阻,从而产生荧光。
这种荧光是叶绿素分子在受到激发后,从高能级向低能级跃迁时释放的能量。
叶绿素荧光的产生与植物的光保护机制密切相关。
为了应对光能过剩带来的压力,植物会启动一系列光保护策略,包括非光化学猝灭(NPQ)和光呼吸等。
非光化学猝灭是一种通过热能形式耗散过剩光能的机制,而光呼吸则是在光合作用暗反应阶段通过消耗氧气和还原力来减轻光抑制。
激光诱导空化技术研究及应用
![激光诱导空化技术研究及应用](https://img.taocdn.com/s3/m/4ff2382349d7c1c708a1284ac850ad02de80078a.png)
激光诱导空化技术研究及应用石佑敏 马服辉*涂孝军(苏州大学工程训练中心 江苏苏州 215000)摘要:空化是一种常见的流体现象,人们试图通过各种方式来缓解甚至避免空化空蚀带来的危害。
同时,人们也在研究如何将空化瞬间聚集的高能量转化为有利于工业生产的技术。
随着激光技术的日益发展,激光诱导空化成为研究空化现象的重要手段,并广泛应用到众多领域,如微成形领域、材料强化、有机废水处理、生物医学领域等。
文章综述了激光诱导空化的作用机理和其各个领域应用的研究进展,希望为激光诱导空化应用范围的进一步拓展和该技术的发展提供参考。
关键词:激光诱导空化 现状 应用领域 激光科技中图分类号:TQ342.742;X703;TN249 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2023)13-0068-04Research and Application of Laser-induced CavitationTechnologySHI Youmin MA Fuhui*TU Xiaojun(Engineering Training Center of Soochow University, Suzhou, Jiangsu Province, 215000 China) Abstract:Cavitation is a common fluid phenomenon. People try to alleviate or even avoid the harm caused by cavitation and erosion through various ways, and convert the high energy instantaneously accumulated by cavitation into technology that is conducive to industrial production. With the increasing development of laser technology, laser-induced cavitation has become an important way to study cavitation phenomena, and has been widely used in many fields, such as microforming, material strengthening, organic wastewater treatment, biomedical fields, etc. This paper reviews the mechanism of laser-induced cavitation and the research progress of its application in various fields, hoping to provide reference for further expanding the application scope of laser-induced cavitation and its further development.Key Words: Laser-induced cavitation; Status quo; Application field; Laser technology液体在静止或流动过程中都会有气体溶入,悬浮着的气相微泡被称为空化核,当液体流速较高且压强降低至液体饱和蒸汽压以下,液体发生剧烈气化产生大量气泡,且空泡体积不断膨胀变大。
光沉积法原理
![光沉积法原理](https://img.taocdn.com/s3/m/69298f7b842458fb770bf78a6529647d26283463.png)
光沉积法原理
《光沉积法原理》
一、什么是光沉积
光沉积(photolithography)是一种以光作为工具的工艺,它可以用来创造极其精细的形状,包括微小沟槽,桥梁以及电子元件等。
光沉积法可以将图案分辨率提高至数微米级,并能实现重复性,使用光沉积法可以在大面积的芯片上制作微小的印刷电路,极大地提高了电路的复杂性和完整性。
二、光沉积法的基础
光沉积法的基础是使用光来比特地刻画出各种各样的形状,而不是用其它的工具,这是因为光的特点,能够非常迅速地在每一个点进行刻画,而不会影响其他点,使用光沉积法进行印刷电路制造,可以比传统的金属制造方法更加精细,更加灵活,更加精确。
三、光沉积法的层次
光沉积法可以通过两种不同的层次进行制造,一是通过使用各种分子长度的光束来比特地刻画,类似于激光刻录的方法;而另一种则是利用光学技术非常精确地拾取和放置各种微型元件,而这些元件是由前面的激光刻录产生的。
四、光沉积法的使用
光沉积法在微电子技术中有着广泛的应用,主要包括:高密度细节结构的制造,即微米结构的精密制造;显示科技的应用,如背光源、液晶显示器的制造;以及光集成系统,如光学图像捕捉、光学移动等。
激光诱导石墨烯的制备、改性与应用
![激光诱导石墨烯的制备、改性与应用](https://img.taocdn.com/s3/m/ea086050854769eae009581b6bd97f192379bf69.png)
激光诱导石墨烯的制备、改性与应用目录一、激光诱导石墨烯的制备 (1)1.1 化学气相沉积法 (2)1.2 激光蒸发法 (3)1.3 光电化学法 (4)1.4 其他制备方法 (5)二、激光诱导石墨烯的改性 (6)2.1 表面官能团化修饰 (7)2.2 形状调控 (8)2.3 纳米结构调控 (9)2.4 功能化修饰 (10)三、激光诱导石墨烯的应用 (11)3.1 电子器件 (12)3.2 能源领域 (13)3.3 复合材料 (14)3.4 生物医学领域 (15)3.5 其他应用领域 (17)一、激光诱导石墨烯的制备随着科学技术的不断发展,石墨烯作为一种具有广泛应用前景的新型材料,受到了越来越多的关注。
激光诱导石墨烯(LaserInduced Graphene,简称LIG)是一种通过激光诱导自组装技术制备的石墨烯薄膜。
相较于传统的化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD),激光诱导石墨烯具有更高的产率、更好的晶体质量以及更低的成本,因此在石墨烯研究领域具有重要的研究价值和应用前景。
石墨烯前驱体的选择:石墨烯前驱体是激光诱导石墨烯的关键组成部分,其性质直接影响到石墨烯的性能。
目前常用的石墨烯前驱体有碳纳米管(CNT)、过渡金属硫化物(TMS)等。
这些前驱体具有良好的导电性、导热性和机械强度,有利于石墨烯的形成。
溶液处理:将石墨烯前驱体溶解在适当的溶剂中,形成均匀的溶液。
溶液中的石墨烯前驱体可以通过吸附、沉淀等作用与溶剂分子结合,形成稳定的复合物。
激光诱导:将含有石墨烯前驱体的溶液置于激光器中,利用激光束对溶液进行照射。
激光束的能量会导致溶液中的石墨烯前驱体发生晶化反应,形成石墨烯薄膜。
通过调整激光功率、波长等参数,可以实现对石墨烯薄膜厚度、晶体结构等方面的精确控制。
剥离和后处理:将激光诱导形成的石墨烯薄膜从基底上剥离,并进行后续的纯化和功能化处理。
常见的后处理方法包括氧化、还原、硼化等,以提高石墨烯的稳定性和功能性。
激光辅助CVD技术的原理及其制备先进材料的研究进展
![激光辅助CVD技术的原理及其制备先进材料的研究进展](https://img.taocdn.com/s3/m/3963abebb1717fd5360cba1aa8114431b90d8eb9.png)
02
激光辅助CVD技术的原理
CVD技术的简介
CVD(化学气相沉积)是一种通过化学反应在基 材表面形成固态薄膜或涂层的工艺。
随着科技的不断进步,对高性能材料的需求日益增加,激光辅助CVD技术成为制 备先进材料的重要手段之一。该技术能够实现高精度、高效率的材料制备,为科 学研究和技术创新提供有力支持。
当前研究现状和趋势
目前,激光辅助CVD技术已经成为材料制备领域的研究热点,国内外学者在激光辅助CVD技术的原理、工艺优化、新材料制 备等方面进行了大量研究。
06
参考文献
参考文献
1 2
参考文献1
激光辅助cvd技术的基本原理及应用概述
参考文献2
激光辅助cvd制备先进材料的最新研究进展
3
参考文献3
激光与cvd技术结合在材料制备中的优势与挑战
THANKS
感谢观看
对未来研究的建议和展望
进一步深入研究激光与化学气 相沉积的相互作用机制,以提 高材料制备的精度和可控性。
探索更多的新型材料和制备工 艺,以满足不断发展的先进材
料需求。
加强激光辅助CVD技术在生物 医学、能源和环境等领域的应 用研究,以拓展其应用范围。
推动激光辅助CVD技术的产业 化进程,促进先进材料的制备 和应用,为经济发展和社会进 步做出更大的贡献。
根据应用领域和特性,先进材料可分为金属材料、无机非金属材料、高分子材 料、复合材料等。
先进材料的特性
具有高强度、高硬度、轻质、耐腐蚀、抗氧化等特性,广泛应用于航空航天、 汽车、能源、电子信息等领域。
激光定向能量沉积技术的研究现状与应用进展
![激光定向能量沉积技术的研究现状与应用进展](https://img.taocdn.com/s3/m/daf67375cec789eb172ded630b1c59eef9c79a07.png)
激光定向能量沉积技术的研究现状与应用进展目录一、内容综述 (2)1.1 背景与意义 (3)1.2 国内外研究现状概述 (4)二、激光定向能量沉积技术基本原理 (5)2.1 激光器工作原理 (6)2.2 沉积材料特性 (7)2.3 激光与材料的相互作用机制 (9)三、激光定向能量沉积技术的工艺特点与优化 (10)3.1 工艺特点 (12)3.2 关键参数及其影响 (13)3.3 技术优化方法与进展 (14)四、激光定向能量沉积技术的应用领域 (15)4.1 航空航天领域 (16)4.2 生物医学领域 (17)4.3 建筑材料领域 (18)4.4 其他领域的应用与探索 (20)五、激光定向能量沉积技术的发展趋势与挑战 (21)5.1 发展趋势 (23)5.2 面临的挑战 (24)5.3 未来发展方向与创新重点 (26)六、案例分析 (27)6.1 激光定向能量沉积技术在某型号飞机发动机叶片制造中的应用28 6.2 在生物组织工程中的临床应用案例 (29)6.3 在建筑结构加固中的实际应用案例 (30)七、结论与展望 (32)7.1 研究成果总结 (34)7.2 对未来发展的展望 (35)一、内容综述激光定向能量沉积技术(Laserbased Directed Energy Deposition, LDED)是近年来快速成型和增材制造领域的重要研究方向之一。
该技术利用高能激光束将材料(如金属粉末、聚合物等)局部熔化并逐层堆积,以构建出三维实体零件或结构。
激光定向能量沉积技术凭借其独特的工艺优势,在航空航天、汽车制造、生物医疗等领域得到了广泛的应用关注。
激光定向能量沉积技术的研究现状呈现出蓬勃发展的态势,随着激光技术的不断进步,激光器的功率和光束质量得到了显著提升,使得对材料的处理能力增强,沉积效率显著提高。
与计算机辅助设计(CAD)和计算机辅助制造(CAM)系统的紧密结合,使得复杂结构的构建变得更加精确和便捷。
激光诱导化学气相沉积法(LCVD)
![激光诱导化学气相沉积法(LCVD)](https://img.taocdn.com/s3/m/28cda5c126fff705cc170afa.png)
纳米材料如此神 奇,怎样才能获 得纳米材料呢?
纳米材料的常用制备方法
气相法 1.气体冷凝法 2.活性氢—熔融金属反应法 3.溅射法 4.流动液面上真空蒸镀法 5.通电加热蒸发法 6.混合等离子法 7.激光诱导化学气相沉积(LICVD) 8.爆炸丝法 9.化学气相凝聚法(CVC)和燃烧火焰化学气相凝聚法(CFCVC)
LICVD法反应装置
包括激光器、反应器、纯
化装置、真空系统、气路与
控制系统
激光束照在反应气体上形
成了反应焰,经反应在火焰 中形成微粒,由氩气携带进 入上方微粒捕集装置。
LICVD法反应装置
LICVD装置一般地都由以下几个主要部分组成: ●源气体净化系统以及可以产生挥发性物质装置,该部件提供反应所需的 气体纯物质; ●光LICVD的激光光源采用紫外超短脉冲激光,光子能量高的准分子激光器; 而热LICVD则是采用红外波段光子能量较低的固体或气体激光器。激光辐照 方式可分为水平照射型和混合型。水平照射情况下,材料气体吸收光后分解, 生成物移向基体并形成薄膜。垂直照射基片表面吸收的材料分子也可光分解, 并且照射部位有局部加热效应,将使化学吸附几率增加,而物理吸附减少; ●真空反应器,是实验最基本的部件,常用的反应器结构有开管式和封管式 两种; ●尾气是一种极有发展潜力的新技术,它克服了普通化 学气相沉积的高反应温度,物理气相沉积的绕镀性差和等离子体化学 气相沉积薄膜含杂质量较高等一系列的缺点,近年来该技术已成功应 用于半导体、光学、高熔点材料等方面。随着新形式连续可调波长的 高能量激光器的发现以及新的气源的合成,LICVD技术将在更广泛的 制膜领域内得到很好地应用。
LICVD法合成纳米粉末的实验原理
利用大功率激光器的激光束照射于反应气
激光诱导沉积技术
![激光诱导沉积技术](https://img.taocdn.com/s3/m/ee3cdad618e8b8f67c1cfad6195f312b3169eba9.png)
激光诱导沉积技术
激光诱导沉积技术(Laser-induced deposition,简称LID)是一种利用激光辐照材料表面,在特定条件下,使材料从气相或液相转变为固相的技术。
激光诱导沉积技术主要包括以下几个步骤:
1. 激光辐照:通过激光束对材料表面进行辐照,激光的功率、波长、脉冲宽度等参数会影响到后续的沉积过程。
2. 材料沉积:激光辐照后,材料会发生相变,从气相或液相转变为固相。
这个过程中,材料的组分和结构会发生变化,新的材料会在原材料的基础上形成。
3. 基质选择:沉积的新材料会定向生长在底物上,因此需要选择适合的基质材料来进行沉积。
通常选择的基材具有良好的物理性质和热稳定性,以确保沉积过程的顺利进行。
4. 控制和优化:通过控制激光的参数,如功率、波长等,可以调节沉积过程中新材料的成分和结构。
通过优化沉积条件,可以获得具有良好性能的新材料。
激光诱导沉积技术在材料科学、纳米技术、光电子学等领域有广泛应用。
它可以用于制备功能性薄膜、纳米结构、光子晶体等材料,具有高度可控性和精准性。
激光技术中的化学应用解析
![激光技术中的化学应用解析](https://img.taocdn.com/s3/m/ecc651436ad97f192279168884868762cbaebb76.png)
激光技术中的化学应用解析激光技术作为一种高精密、高效率的工具,在各个领域都有着广泛的应用。
化学作为一门不可或缺的学科,在激光技术中也扮演着重要的角色。
本文将从化学的角度出发,探讨激光技术在化学领域中的应用,并对其进行深入解析。
1. 激光在化学分析中的应用激光技术在化学分析中有着广泛的应用,主要体现在以下几个方面:1.1 原子吸收光谱分析原子吸收光谱是一种广泛应用于金属元素和某些非金属元素定量分析的技术。
激光作为原子激发源,能够提供高能量的激发条件,使得原子从基态跃迁到激发态,然后再返回基态时放出吸收线,通过测量吸收线的强度可以确定样品中金属元素的含量。
1.2 光致发光分析光致发光分析是一种高灵敏度、高选择性的分析方法。
激光在此过程中作为光源,提供激发能量使样品产生特定波长的发射光信号,通过检测和分析发射光信号可以确定样品中特定物质的含量。
1.3 激光诱导击穿光谱激光诱导击穿光谱是一种快速、灵敏度高的元素分析方法。
利用激光产生等离子体,通过测量等离子体产生的辐射信号可以实现对样品进行分析。
这种方法对于固体、液体和气体样品均有良好适用性。
2. 激光在化学合成中的应用2.1 光催化反应光催化反应是一种利用可见光或紫外光刺激催化剂表面,促进化学反应进行的方法。
激光作为高能量、高纯度的光源,能够为光催化反应提供所需能量,加速反应速率,提高反应选择性。
2.2 激光诱导化学沉积激光诱导化学沉积是一种通过在表面上局部加热并控制氧化还原反应实现材料沉积的方法。
激光束聚焦到样品表面可以局部提高温度,促使所需沉积物质在特定位置上沉积,实现微观结构的精确控制。
3. 激光在化学显微成像中的应用3.1 荧光显微成像荧光显微成像是一种常用于生物标记、细胞内器官及细胞膜研究等领域的技术。
激光作为荧光显微成像系统中的激发源,能够提供适当波长和强度的激发光源,实现对样品荧光信号的激发和采集,从而得到高质量和高分辨率的显微图像。
3.2 原子力显微镜成像原子力显微镜是一种通过探针与样品之间相互作用来获取表面形貌或材料性质信息的仪器。
激光诱导化学气相沉积法(LCVD)
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五、LCVD研究现状及发展
(1)研究分析LCVD过程中各主要工艺参数诸如激光功率、基体预处理和反应气压等对所 制薄膜质量的影响,促使LCVD技术理论化,成熟化。
(2)研究和开发各种高效、长寿命光源以及各类特种气源,此外还有工艺监制手段的完善 等方面。
(3)将LCVD技术与其他技术相结合,如激光诱导等离子体化学气相沉积LPCVD技术等。 (4)由于LCVD技术的难度较高,涉及的学科也多,目前大多数研究工作还未走出实验室。 因此怎样使其得到大规模的应用,也是广大科学工作者研究的一个重要方面。
四、激光化学气相沉积的应用与发展
1、LCVD半导体薄膜材料 LCVD技术在半导体薄膜生长中的特点具有非常引人注目的优越性,目前LCVD已可制备包 括元素半导体,化合物半导体及非晶态半导体在内的各类晶体薄膜。 LCVD可在水平及垂 直照射下,低温形成多晶或单晶Si,晶态Si是微电子集成电路的首选材料。用CO2红外激光 诱导化学气相沉积方法制备的纳米Si ,团聚少,并且可以连续制备。梁礼正等人认为,这 主要因为激光强度大,则SiH4受热分解的温度高,纳米Si的成核率也就越高,纳米Si核的密 度大,每一个核生长所吸收的Si原子数目越少,从而所得到的纳米Si粒径小而均匀。
3、介质膜
LCVD技术还可以在沉积包括绝缘膜、保护膜、SIM制造、抗损膜、增透膜等介质膜的 生长中。如用激光化学气相沉积法合成SiC和Si3N4复合纳米颗粒。 SiC和Si3N4是重要的高温 陶瓷材料, SiC也是重要的介电材料和半导体材料。据文献.报道,目前研究的重点是SiC和 Si3N4复合化以及组织上的纳米化,从而提高强度和韧性。进一步的研究发现,纳米化后的 纯SiC和纯Si3N4颗粒难以进行均匀的复合化,LCVD是一种有效的纳米材料合成方法,通过 改变反应气体的流量比也可以改变成分,有望同时实现复合化和纳米化。LCVD法制备纳米 微粉具有成分纯度高,粒形规则,粒径小而均匀,粒度分布窄、无表面污染,粒子间粘结 团聚差、易分散等一系列独特优点,其不足是反应原料必须是气体或强挥发性的化合物, 并要与激光波长相对应的红外吸收带,因而限制了产品的种类,增加了成本。
光诱导MOCVD(Photo—MOCVD)技术的发展
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当光源采用红外光时,光子具有的能量相对于紫
外 分 子较 低 ,则光 子 与源 气 体 分 子发 生 相 互 作用 时 ,
使 源气 体分 子产 生振 动 态激 发 ,光 子 的激 发 能一般低
、
光诱 导 MO V C D的机 理
于 源气 体分 子 的离 解 能 ,所 以分 子不 能 直接 分解 ,但 激 发 能足 以将 分子 激发 到 高 能态 ,从 而 降低 了分解 势 垒 的相 对 高度 ,导致 了可 以在 较低 衬 底温 度 下进行 淀 积 ,且 提高 了淀积 速 率 。
置基础 上 ,经加 光源 和 光 学 窗 口改装 而 成 的 。其 一般
都 由以下几 个 主要 部分 组成 : ( )源 气 体净 化 系 统 以 圈1 及 可 以产生 挥发 性物 质 装置 ,该部 件 提供 反应所 需的 气 体纯 物质 。 () 源装 置 。 () 2光 3 反应 室 。 () 热及 测 4加 温 系统 。() 5 尾气 排放 及废 气 处理 系统 。() 警 系统 , 6报 包 括毒气 检 测及 传感 器 等 。图 1 出 了两 种 典 型 的光 给 诱 导 MO VD淀 积 系统 。其 中 图形 l a 的光束 垂 直 照 C ()
的新 进 展 。 关 键 词 :光诱 导 ;MO V C D;光 源 中 图分 类 号 : N 2 . I 9 91 文 献 标 识 码 :A
文 章 编 号 :1 0 - 3 6 2 1 ) 3 0 8 - 4 0 8 7 4 {0 0 0 - 0 8 0
MOC ea g nc Ch mia p rDe o io ) VD tlOr a i e c lVa o p st n i
诱导 MO V C D技术,在设备 、沉积速率和批量生产方
光沉积方法
![光沉积方法](https://img.taocdn.com/s3/m/4885097bb84ae45c3b358ca2.png)
保持在100摄氏度12小时。将样品从溶液中分离出来,并在70℃下干燥10小时。最后,该粉末在600℃退火2小时(加热速率为2℃/min)获得具有粗糙表面TiO 2纳米带。
氧化铈的/二氧化钛纳米带异质的合成:TiO2和CeO2的摩尔比按照10:2,二氧化钛纳米带粉末20毫克和0.0216克的硝酸铈六水合物加入到40毫升乙醇并搅拌30分钟,以形成悬浮液。然后16.8微升的氨水稀释10毫升乙醇然后加入一滴一滴地将上述溶液滴。滴加后,将溶液继续搅拌30分钟后,老化过夜。最后,得到氧化铈/二氧化钛纳米带异质结构用乙醇洗涤,并在70℃下干燥10小时。
首先将0.1 g TiO2纳米带分散于40 mL超纯水中,然后向悬浮液中加入0.25mL 0.025 mol/L的 HAuCl4(含四个结晶水)溶液和5 mL 0.02 mol/L柠檬酸钠溶液。然后向溶液中逐滴加入稀氨水将溶液pH调节至10(2ml浓氨水稀释到10ml 滴三四滴),在磁力搅拌下用500 W氙灯光照10s,在TiO2纳米带表面光还原沉积Au纳米颗粒。将溶液过滤后用超纯水反复洗涤以去除Cl-离子,得到Au/TiO2-NB纳米结构。
2 掺杂法
分别按0.1%、0.5%、1.0%、1.5%和2.O%掺入比称取CeO2:掺人到TiO2粉末中,加入适量的蒸馏水剧烈搅拌2.0 h,超声分散15 min,100℃以下烘干。倒出烘干后的催化剂,用研钵研碎,放入坩锅在马弗炉中以2℃/min的速度升温至700℃,热处理3h后可制得活化的CeO2掺杂TiO:催化剂,用研钵迸一步粉碎,200目过筛待用。经XRD分析可知处理过的CeO:掺杂TiO:催化剂内除大部分为金红石型TiO2外,还含有一部分锐钛矿型Ti02。TEM分析催化剂粒径分布在70 nm一110 nm范围内。
激光诱导蚀刻快速成型技术_概述及解释说明
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激光诱导蚀刻快速成型技术概述及解释说明1. 引言1.1 概述激光诱导蚀刻快速成型技术是一种先进的制造方法,通过利用高能激光束对材料表面进行精确的物理和化学处理,实现对复杂结构零件的快速制造。
这项技术在工业界引起了广泛关注,并被广泛应用于各个领域。
1.2 文章结构本文将分为五个主要部分来介绍激光诱导蚀刻快速成型技术。
首先在引言部分将简要介绍该技术的背景和重要性。
接下来,在第二部分中将详细解释这项技术的定义、原理以及其发展历程。
第三部分将探讨激光源与扫描系统、材料选择与准备工作以及制造参数优化与控制策略等关键技术与方法。
然后,我们将通过实际应用案例分析,包括制造行业中的运用、医疗领域中的应用实例以及航空航天及国防领域的实践案例,来说明该技术在不同领域的优势和应用前景。
最后,在结论部分总结概括了本文的主要内容,并展望了未来该技术的发展趋势和前景。
1.3 目的本文的目标是全面介绍激光诱导蚀刻快速成型技术,包括定义、原理、发展历程以及其在不同领域中的应用案例。
通过深入了解这项技术,我们可以认识到其重要性和潜力,在未来的制造业中推动其进一步发展并促进创新。
此外,本文还旨在为相关领域的研究人员和工程师提供指导,以便更好地应用和开发该技术。
2. 激光诱导蚀刻快速成型技术2.1 定义和原理激光诱导蚀刻快速成型技术(Laser-Induced Etching Rapid Prototyping,简称LIEP)是一种基于激光与材料相互作用的三维打印技术。
它通过控制激光在材料表面的扫描路径和能量分布来实现高精度、高效率的零件制造。
该技术基于激光束在材料表面聚焦产生局部加热,在材料与环境之间形成临界温度,使材料发生化学反应或物理改变。
这些反应或改变可以通过调整激光的功率、扫描速度和扫描路径等参数来精确控制。
同时,由于激光束可以非常准确地聚焦并扫描在材料表面,因此LIEP技术具有较高的空间分辨率和制造精度。
2.2 发展历程激光诱导蚀刻快速成型技术最早起源于20世纪90年代初期,随着激光器、计算机控制系统和材料研究的不断进步,该技术得到了快速发展。
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光诱导沉积方法的进展及运用1前言
随着全球能源的日趋紧张,太阳能电池以无污染、无机械转动部件,维护简便、无人值守、建设周期短、规模大小随意,可以方便地与建筑物相结合,市场空间大等独有的优势而受到世界各国的广泛重视,国际上己有众多大公司投入到太阳能电池的研发和生产中。
当前, 硅太阳能电池的制造而临的挑战是提高太阳能电池的效率以增加单位而积的发电量以及进一步降低制造成本,使其能够广泛应用。
在晶体硅太阳能电池中,硅片上电极列阵的制备是非常关键的技术,电极阵列是收集太阳能电池发出电流的必要部件,其性能的好坏直接影响电池的能量转换效率。
作为电镀技术的一个分支,光诱导沉积技术成为可以代替传统丝网卬刷技术,能够提高太阳能转换效率的新兴金属化技术。
在制造业迅速发展的时代,光诱导沉积技术的加工生产并逐步商业化,吸引了太阳能仪器制造公司的注意。
传统电镀己经取得优异的成绩,例如在良好的金属底层上,通过恒电位或者恒电流都可以得到优良的金属导线。
但是,如何在太阳能电池的硅表面上得到优异的沉积层,却没有得到很好地解决。
光诱导沉积技术能够解决传统电镀无法解决的部分问题。
作为电沉积的一个分支,光诱导沉积的发展将进一步促进光伏和微电子制造工业的飞速发展。
为了系统整理和集中反映光诱导沉积技术及其应用研究的学术进展和科技成就,增进交叉学科领域之间的学术交流,加强科学技术研究与经济建设的联系,促进科技成果的转化,笔者撰写了本文。
目的是为了帮
助电镀工作者了解新技术的机理以及发展方向。
有关光诱导沉积技术的研究在国外己经开展很多,而国内才刚刚起步。
而且到目前为止,并没有关于光诱导沉积研究现状及水平的系统总结。
该文将对这方面进行综述。
2光诱导沉积分类及其原理
光诱导沉积按反应类型可分为两大类:光诱导分解型和光生电子型。
2.1光诱导分解型根据Grotthuss-Draper定律,只有吸收辐射(以光子的形式)的分子才会进行光化学转化。
但是光诱导分解型沉积可以细分为两类:第一类称为直接光解,是化合物本身直接吸收了太阳能而进行分解反应,即利用一些对光敏感的化合物,使其在光的照射区域分解出金属单质并且沉积出来;第二类为光转化为热,利用一些对热敏感的化合物,采用激光加热使这类化合物在基体表面分解产生金属,从而形成沉积层。
2.2光生电子型光生电子型则利用具有p-n 结的半导体的光伏效应,于外光源照射下在半导体的p-n 结两侧的p 区域产生空穴和n区域产生电子,并用来还原金属离子。
溶液中金属离子的还原过程为:MeMnn++T溶液还原(Mn+为金属离子;e为光生电子;M为金属)。
光诱导沉积过程与电镀相似,只不过前者是靠外部光源照射到基体上贡献出电子,基体本身产生提供化学反应的电位, 而后者是靠外电源提供。
光诱导电沉积的过程可用图1表示。
这种利用光生电子来还原电镀液中金属离子的技术叫做光诱导电镀技术。
光诱导沉积法由于其特殊性,常用在半导体以及光伏电子工业领域。
该工艺异于化学镀和置换镀,它不需要镀液中的还原剂来还原金属离子。
这类技术不会因为基体被完全覆盖而停
止反应。
3光诱导沉积技术的发展
3.1光分解型光诱导沉积技术的发展
1987年,J.Michael等⑴在美国专利上介绍了一种光诱导沉积技术,即在光敏电镀液(PdCI2-SnCI2-HCI)中直接采用激光引发金属离子在工件上进行沉积。
这种方法是利用激光的能量,诱导溶液中金属离子发生自动催化反应,从而在基体上的光照射区域中产生金属沉积。
其反应为:Sn2++Pd2+二Sn4++Pd。
可以看到,在这种新方法中光敏电镀液中的氯化亚锡(SnCI2)有较强的还原性。
实验中激光光源没有间接或者直接提供金属还原的电子,而只是破坏了被照射区域混合光敏电镀液的稳定性,使光敏电镀液中Sn2+促使Pd2+还原为金属Pd,并沉积下来。
由于该方法能使金属离子按照光斑的形状在非金属材料上沉积出各种图案,并且不需要屏蔽或遮盖基体,使其更适合应用在微电子领域中的选择性或者图案化沉积金属,曾一度引起了相关研究人员的关注。
但是这种方法由于存在光敏电镀液稳定性不好、抗杂质能力差、激光光源选择难且设备昂贵等一系列难以解决的问题而无法得到广泛应用。
进入20世纪90年代,为了解决光敏电镀液的稳定性问题,M.Schlesinger[2]在其书中介绍Zhou等人在1991年开发的一种光分解型光诱导沉积电镀液—H2PtCI6乙醇溶液,并在实验中把经过丙酮和蒸镉水清洗过的基体置于盛满上述溶液的玻璃容器中,通过激光束照射大约20min,使金属钳离子在基体表面沉积。
这
是聚焦光束使乙醇中的[PtCI6]2发生了光化学反应,从而使Pt沉积在基体中受到光照的区域。
这种新的电镀液利用了H2PtCI6在一定温度下即分解生成金属钳的特性,在激光照射下,这种新电镀液中被照射区域的温度局部升高,从而使H2PtCI6分解。
其反应如下:264HPtCGTPtCI+2HCI热,422PtCI《TPtCI+CI热,22PtCGTPt+CI 热。
这种电镀液虽然较稳定, 但是需要的激光功率大,照射时间长,并且难以得到连续的沉积层。
为了进一步提高光敏电镀液的稳定性,解决光源难找并且得到连续的金属沉积层等众多问题,固态电解质的应用和低功率的光源随之出现。
H.Esrom等[M4]采用红外光照射诱导掺杂醋酸锂的聚酰亚胺高分子膜进行分解,然后按照图案把多余的金属沉积层通过激光进行切除,再通过化学镀铜工艺在耙金属上沉积得到所要的图案。
在实验中,金属有机膜被红外光照射l~2s即分解,然后采用ArF源的激光在不破坏基底的情况下把锂金属层根据图案切割出来,再采用化学镀法在图案相应的区域上沉积一层金属铜。
这种新型的方法没有采用传统的电镀液,而是采用掺有醋酸锂的聚酰亚胺高分子膜作为固态电解液覆盖在基体上,解决了由于电镀液的不稳定性而带来的一系列问题。
更重要的是,常见的红外光源也能够在短时间内引发金属沉积。
但是这种方法只能应用在经过特殊处理的高分子薄膜上,使用局限性明显,成本昂贵,制备工艺复朵,沉积层与基底的结合强度没有得到保证。
面对如此多的问题,在之后的几年中人们对于光诱导方法的研究进入了一个相对的“冷淡期〃,期间鲜见介绍光诱导沉积方法的文献资料。