光学轮廓仪设备参数
马尔接触式面形轮廓仪LD 130与LD 260 性能及规格参数
4 M a rS u r f LD 130 / L D 26 0
衍射面测量 衍射面分析
• • • •
分析衍射区宽度以及高度 分析以及剔除基础轮廓（球面, 非球面, 平面） 对每一个衍射区输出带有公差的参数: 角度, 高度, 形状误 差, Pt, … 数据导出用于生产设备修正
非连续轮廓的 2D和3D测量
MarSurf LD 130 非球面 / LD 260 非球面 非球面定义
一个非球面表面是从一个球面偏离出来的折射或反射面. 对于一个 基于锥体的非球面表面中, 矢量 Z（对应横向坐标上 的垂直坐标）的数学描述可以是以下等式
描述
现在越来越多的光学系统都要求一个紧凑的系统设计, 例如： 变焦镜头, DVD 光头以及手机照相机镜头等. 为了达到这个目 的, 在传统球面镜头的基础上, 光学行业正在向生产非球面镜头 转变. 在Mahr的轮廓测量单元中, 评价程序可以分析非球面表面形貌, 实际测得的数据将在软件中与已经定义好的名义数据进行比较 与计算, 进而得到我们所需要的差值结果. 误差结果可以各种机器可读的格式进行输出, 方便生产设备进行 工艺调整（闭环控制. 相比较激光干涉仪而言，测针式的测量可以将 2D和3D的测量 都应用在较粗糙的光学表面上，这样就可以在生产的初期实现 测量与补正(研磨).
• 旋转对称的物体如球面, 非球面, 锥面等都可以一个系统内完
增加的灵活性
测量, 没有任何附加投资! • 超大测量范围 400 mm • 快速的测量速度与动力 (大镜头可高达10 mm/s 小镜头可慢至 0.02 mm/s) • 驱动器可旋转角度 (+ / - 45°) • 测针全自动定位 新型的测头系统 – 仿生学设计的测臂 LP D 系列 • 高效动力来自于加强的刚性与避震性, 以及降低的惯性: 新: - 优化的机械设计 - 创新性的材料选择 • 测臂集成芯片: - 感知与识别测臂 - 核实正确的安装位置 - 测臂直接提供校准数据
sensofar量测结果
sensofar量测结果
sensofar光学轮廓仪作为一台具有高性能的3D 测量设备，超越了现有的一切光学轮廓仪。
sensofar 光学轮廓仪结合了三大技术——共聚焦（适用于高斜率表面）、干涉（有高的垂直分辨率）和多焦面叠加（在短短几秒内测量形貌特征），将三大技术集于一体，且不用任何运动部件。
共聚焦
共聚焦轮廓仪能测量从较光滑到非常粗糙的表面，空间采样精细至0.10 μm，是关键尺寸测量的理想选择。
高数值孔径（0.95）和高放大倍率（150X）的物镜可用于测量局部斜率超过70°的光滑表面以及斜率高达86°的粗糙表面。
sensofar的共聚焦算法能实现纳米级的垂直方向重复性。
干涉
白光干涉（VSI）能测量从光滑到适度粗糙的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。
因此，S neox 能使用所有可用的放大倍率在不影响高度分辨率的情况下显示三维形貌特征。
相位差干涉（PSI）能测量非常光滑和连续的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。
用极小的放大倍率
（2.5X）能在不影响高度分辨度的情况下采集较大的视场范围。
多焦面叠加
多焦面叠加是设计用于测量大面积粗糙表面的光学技术。
sensofar 采用该方法专门用于补足放大倍率较低的共聚焦测量。
该技术的亮点包括高斜率表面（高达86°）、快的测量速度（mm/s）和较大的垂直扫描范围。
这些特性的结合十分适用于工具加工的应用。
光学轮廓分析实验报告
实验名称：光学轮廓分析实验日期：2023年X月X日实验地点：光学实验室实验目的：1. 了解光学轮廓分析的基本原理和实验方法。
2. 掌握使用光学轮廓仪进行表面形貌测量的操作步骤。
3. 分析测量结果，评估样品表面的几何特征。
实验仪器：1. SuperView W1光学3D表面轮廓仪2. 样品（半导体芯片、光学元件等）3. 计算机4. 数据处理软件实验原理：光学轮廓分析是利用光学干涉原理对样品表面进行非接触测量，从而获得样品表面的三维形貌信息。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪采用白光干涉技术，以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
实验步骤：1. 将样品放置在载物台镜头下方，确保样品表面与镜头平行。
2. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态。
3. 使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹。
4. 微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹。
5. 完成扫描设置和命名等操作。
6. 点击开始测量，进入3D视图窗口旋转调整观察。
7. 台阶样品分析：校平样品表面，选择基准区域，进行排除和包括操作。
8. 台阶高度测量：进入分析工具界面，点击台阶高度图标，获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。
9. 手动检测：根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度。
实验结果：1. 通过实验，成功获取了样品表面的三维形貌信息。
2. 利用数据处理软件对测量结果进行分析，得到了样品表面的粗糙度、轮廓等几何特征。
3. 对比样品表面的实际几何特征，实验结果与预期相符。
实验讨论：1. 光学轮廓分析具有非接触、高精度、高分辨率等优点，在精密加工、材料分析等领域具有广泛的应用。
2. 实验过程中，样品表面干涉条纹的观察和调整是关键步骤，需要操作者具备一定的经验。
3. 在台阶样品分析中，基准区域的选取对测量结果有较大影响，需要根据实际情况进行选择。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤：
1.将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2.将夹具放置在载物台上；
3.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4.使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7.进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8.进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9.如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11.进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪
美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪一、 产品简介美国NANOVEA公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。
二、产品分类该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有4款：JR25、PS50、ST400与HS1000（区别见技术参数）：JR25便携式三维表面轮廓仪：野外操作或不可拆卸部件的理想选择·便携式表面形貌仪·结构紧凑，性价比高·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：25mm×25mmPS50表面轮廓仪：科研单位与资金不足企业的最佳选择·性价比高·结构紧凑·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：50mm×50mmST400表面轮廓仪：·应用范围广·适合大样品的测试·测量范围：150mm×150mm·360O旋转工作台·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）HS1000表面轮廓仪：·适用于高速超快自动测量场合·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达31KHz，最高可达324KHz）·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）三、测量原理简介：Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。
•利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射到被测样品上。
• 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫反射后的光。
美国zeta泽塔公司三维立体显微镜轮廓仪资料
数码相机 耦合镜
20x 0.50 0.45 0.75 480x360 1257x943 50x 0.10 0.80 0.42 192x144 503x377 100x 0.07 0.90 0.40 96x72 251x189
Z 轴驱动 核心光学组件
优于1.5% (1σ/平均值 )
XY 载物台
产品尺寸 (mm)
1 2 3
1/3英寸 CCD 相机，0.5x耦合镜 2/3英寸 CCD 相机，0.35x耦合镜 静态重复性和精确度是基于对 VLSI 8 微米标准台阶高度的测量 （使用100X/0.9NA 物镜）
系统选项和升级 薄膜厚度测量
可见光反射频谱仪
‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ 可测 30nm 到 10μm 之间的薄膜厚度 频谱范围：430nm – 750nm 频谱分辨率：1nm 提供超过200多种材料的n&k值 在薄膜厚度已知的条件下，计算薄膜材料 n&k 值 可测量太阳能硅片绒面上氮化硅膜厚度 本色图像可提供样品待测区域的重要信息
系统控制
典型系统配置
显微镜系统
光源： 物镜： 耦合镜： 手动载物台： Z轴： 数码相机： 高亮度白光 LED 5x，10x，20x，50x，100x
Zeta 三维测量软件
实时视频成像 快速数据采集 （大约1分钟） 三维表面浏览 倾斜，旋转，缩放，过滤 体积测量 二维表面分析 特征尺寸，直径，面积 图案间距，标准偏差 表面粗糙度 二维台阶高度 轮廓测量 台阶高度测量 粗糙度参数 多横截面分析 平均值测量标尺 点对点测量标记
0.5x 100mm x 100mm XY 驱动范围 30mm 纵向驱动范围 1024x768像素， 1/3英寸 CCD
计算机控制系统
光学轮廓仪设备参数
光学轮廓仪技术指标
1. 系统配置及功能
1.1 PSI(相位移测试模式）
1.2 VSI(垂直方向扫描测试模式)
2. 不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X
3. 气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件
4. 200mm 全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm
5. 可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
6. 可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
7. 双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时，
使用滤镜的方式产生系统误差．
8. 全自动调整干涉条纹
9. 大面积缝合功能软件
10. 噪音：RMS < 0.3 Å (垂直方向)，框架式结构
11. Z方向测试范围0.1nm 到10mm
12. Z方向分辨率0.01nm Ra，RMS重现性0.004nmss
13. 样品反光率<1 to 100%
14. 垂直方向扫描速度92.5微米/秒
15. 倾斜调制范围，±6°（Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节）
16. 闭环控制扫描：0.1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直
方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．
17. 自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够
使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．
18. 提供具备证书的标准样品：PSI 模式光滑平面（SIC）。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪助推高校科研发展
SuperView W1光学3D表面轮廓仪助推高校科研发展SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在各高校机械、材料、电子技术、超精密加工、微纳器件、光电等实验室都可以看到SuperView W1光学3D表面轮廓仪的身影。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪显著特性：1.高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性。
2.一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3.精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4.双重防撞保护措施除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。
光学轮廓仪测量原理
光学轮廓仪测量原理光学轮廓仪是一种应用在工程计量中的车辆测量设备，它利用类似单面镜的光学装置，可以同时实现定位、测量和图像采集。
通过计算，能够准确测量出车辆唯一的外形特征，被广泛应用在车辆衡量、外形尺寸测量和制作工程数据。
一、光学轮廓仪的原理1、光束投影原理：光学轮廓仪使用一种类似单面镜的光学装置，它将一条平直的红外光束照射在车辆表面上，来测量车辆的外形尺寸。
此光学装置使用镜子，就可以把投射到表面上的光束聚焦成一个强光点，两边各会有一张摄像头实时观察光点，并通过光学特性连接得到被追踪的位置，并进行高精度的点测量。
当投射点来回移动时，摄像头可以实时追踪并记录路径上的坐标点，然后通过计算，可以准确测量出车辆唯一的外形特征。
2、图片处理：光学轮廓仪实现大量的外廓点测量，但是由于视觉特征变化时会出现一定噪声，所以需要进行图片识别技术，以将来自摄像头传输过来的图片进行分析处理，然后通过识别算法进行位置定位和形状提取，完成最终的外形尺寸测量要求。
二、光学轮廓仪的优点1、快速准确：光学轮廓仪可以迅速准确地测量出车辆外型尺寸，而且数据处理速度也更快，从而可以提高工作效率。
2、测量精度高：由于光学轮廓仪具有高精度测量功能，因此可以避免在涉及车辆外形尺寸测量时发生较大测量误差，从而更加精确地进行车辆衡量。
3、使用方便：光学轮廓仪不需要采用其它次要设备，只需要一台机器，就可以实现定位、测量、图像采集等多种功能，一次性完成多个测量任务。
4、量程广：光学轮廓仪能够实现较大量程的测量，即使遇到大型实物，也可以完成定位、测量和记录。
三、光学轮廓仪的应用1、车辆量量：光学轮廓仪应用于车辆的量量，可以用来测量整车的高度、长度、宽度、悬重、定位点等外形尺寸。
2、外形尺寸测量：光学轮廓仪还可以用于测量工业产品的外形尺寸，例如机械类产品的尺寸大小等。
3、坐标精准定位：光学轮廓仪可以用来定位坐标系，可以实现精细和准确的坐标定位，以便在工程研究中能够得到准确的定位数据。
轮廓仪,你真的了解吗？
轮廓仪，你真的了解吗？
轮廓仪，顾名思义，是测量产品表面轮廓尺寸的仪器，根据工作原理的不同，可以分为接触式轮廓仪和非接触式轮廓（光学轮廓仪）。
1.接触式轮廓仪
接触式轮廓仪是通过触针在被测物体表面滑过获取表面轮廓参数，如角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。
代表型号为中图仪器SJ57系列。
SJ57系列接触式轮廓仪广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。
适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。
2.非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）
非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共
计300余种2D、3D参数作为评价标准。
代表型号为中图仪器Super View W1系列。
SuperView W1光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航
空航天、国防军工、科研院所等领域中。
光学三维轮廓仪实验报告
光学三维轮廓仪一、实验目的对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量二、实验设备原理介绍它的工作原理主要基于光学干涉技术和非接触式测量图1工作台整体三、实验设备中用的传感器及传感器安装位置、类型三维光学轮廓仪的核心部分是光学传感器，它主要由相机、光源和适配器等组成。
主要原理为白光干涉的传感器应用。
图2标注后相机采集被测物体表面的光学信息，适配器将相机和光源组合到一起，以便在同一光路中捕获到被测物体的图像和三维坐标信息。
光源通常使用投影式光源，可以通过光斑和条纹等方式投射出特定的光学图案，用于测量被测物体表面的形态和轮廓。
其中白光干涉的传感器中，白光干涉功能强大，广泛应用于测量表面形貌和透明膜。
它特别适用于测量光滑和适度粗糙的表面。
它的优势在于任何放大倍数都能确保纳米级的纵向分辨率。
具体传感器如下：（1）CCD/CMOS摄像头：用于捕捉物体表面的图像。
（2）激光发射器：用于发射激光光束。
（3）激光接收器/相机：用于接收反射回来的激光光束或者激光散斑图案。
四、查找资料，写出设备上传感器的工作原理所用传感器的工作原理：（1）CCD/CMOS摄像头：将物体表面的图像转换成电信号。
（2）激光发射器：发射一束激光光束，通常是一条直线或者一组线条。
（3）激光接收器/相机：接收激光光束反射回来的信号，或者接收被激光光束照射后产生的散斑图案。
最后通过分析摄像头捕获到的图像或者激光接收器接收到的信号，可以计算出物体表面的三维形状和轮廓。
五、数据处理的方式在光学传感器采集到物体的图像和三维坐标信息后，需要对这些数据进行处理和分析。
数据处理主要包括：1.图像预处理。
由于光学传感器采集的图像存在噪声和失真等问题，需要采用滤波和去噪等技术对其进行预处理，以便后续处理和分析。
2.点云处理。
光学传感器采集到的三维坐标信息被称为点云，在点云中，每个点都有自己的坐标信息和颜色信息。
点云处理主要包括点云对齐、点云滤波、点云配准等操作，可以得到高质量、准确的物体表面三维坐标信息。
最新三维表面轮廓仪（PS50
PS50三维表面轮廓仪（美国NANOVEA000
产品介绍：000
PS50型三维表面轮廓仪是一款科研版的三维表面形貌测量设备，采用国际领先的白光共聚焦技术，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高，速度快，重复性好的优点，该仪器性价比高，可用于取代传统的探针式表面形貌仪与干涉式表面形貌仪。
性价比高是科研单位与企业的最佳选择000
产品图片：000
产品特性:000
1，采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率000
2，测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高000
3，测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；000
4，尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面000
5，不受样品反射率的影响000
6，不受环境光的影响000
7，测量简单，样品无需特殊处理000
8，Z方向,测量范围大：为27mm000
主要技术参数：000
1，扫描范围：50×50（mm）000
2，扫描步长：0.1μm000
3，扫描速度：20mm/s000
4， Z方向测量范围：27mm000
4， Z方向测量分辨率：2nm000
产品应用：000
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发000。
原创!FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用-essun
FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用深圳易商的战略合作伙伴德国FRT公司，推出高精度光学轮廓仪。
能够对半导体产品产品测试，测试参数。
表面平整度，台阶高度，曲翘度，TTV，TSV，薄膜厚度，多层膜等。
其整个测试方案由主机和探头组合而成，根据不同的测试要求，配置不同分辨率的探头。
主机部分三个类型：MicroSpy、 MicroProf、 MicroGlider。
其中MicroSpy是基于平面测试，只能安装一个传感器，且不能升级到多个传感器。
但分辨率都是有由传感器保证的Micoprof 是一款通用型号，配置灵活，可配置一个，多个光传感头。
且有针对半导体测试测试的专用软件和方案。
TTV,TSV，平整度。
且可配置MHU 选件，针对不同的尺寸晶圆产品，可实现全自动测试。
MicroGlider是一款特殊用途的产品，其最主要特点是气体承载，旋转型扫描，低摩擦性。
探头分析1、CWL 探头CWL探头，采用的共聚焦方式传感，但每次对应一个波长、对应一个点。
因此每次只能测量点的高度，经过点扫描，成为一个面。
特点是简单，稳定性好。
是一种很普通，初级的传感器。
2、WLI白光干涉该产品特点是采用相干光干涉原理，参考面的光与物体表面发生光发生干涉，形成干涉条纹，最后采用CCD探测光强弱，判断粗糙，平整度。
特点：垂直分辨率高，，可通过改变物镜和目镜的倍率，实现更高垂直分辨率。
同时左边图形，采用聚焦形式，是每次只测量一个点；右边的采用的面探测的方式，每次可以直接一个面显示。
这个扫描速度要高很多。
3、CWL薄膜薄膜测量传感器CWL (FT)是专用的薄膜测试传感器，其特点是入射光经过薄膜表面反射，与透过薄膜表面再反射的反射光相互干涉，根据干涉的峰值干涉点测量出薄膜的厚度。
当要同时测量多层薄膜时，则干涉的峰值点间隔会发生改变，可同时测量多层膜厚。
光学式表面粗糙度轮廓形貌仪Proscan 2000(英国Scantron)
截面积计算
三维轮廓显示
表面轮廓粗糙度测量仪
3
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
技术规范 扫描仪最大尺寸（长*宽*高） 扫描仪最大重量 电控部分尺寸 电控部分重量 计算机显示器 照明与定位摄像头（可选） 扫面平台尺寸 X 和 Y 轴行程 Z 轴行程 电源 使用环境 X 及 Y 轴扫描点最小间隔距离 X 及 Y 轴扫描点最大间隔距离 标准配置扫描样品最大重量 数据采集最大速度（取决于传感器及设定） 最大扫描速度（取决于传感器及设定） 回程速度 最大扫描点数
扫描前的产品原貌 7
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
扫描后的分析图 对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、 Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
8
产品介绍 英国 Scantron Industrial Products Ltd 公司生产的 Proscan 2000 光学表面粗糙度轮廓仪，采用非接触式传
感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更 方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于 各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
各种可选项 * 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查； * 其他各种传感器； * 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合； * 比标准的 X 和 Y 行程范围更大的测量平台。
技术 原理 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 三角测量技术 三角测量技术 三角测量技术 三角测量技术
美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪资料
四、产品技术优势
1．采用国际最前端的白光轴向色像差技术，可获得最小2nm的分辨率
2．测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3．测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…；
6、具有精确定位功能，可以从已经扫描的区域中重新精确扫描任意特定区域。
6.2专业3D
分析软件功能：
1、创建2D，3D图像；
2、自动得到样品的线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），平整度，波纹度等参数；
3、自动校准功能，例如粗糙度，一般情况下对于曲面样品，首先展平，然后自动给出粗糙度的参数；
六、测试软件：
NANOVEA软件包含两个软件：NANOVEA 3D数据采集软件与专业的3D分析软件。
6.1 3D
数据采集软件功能：
1、可采集每一个测量点的XYZ三维坐标；
2、线扫描与面扫描两种模式可供选择；
3、可设置测量范围、测量步长、扫描速度等参数；
4、实时显示测量所需时间；
5、实时显示样品的2D图像与3D图像
·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达
31KHz，最高可达
324KHz）
·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）
三、测量原理简介：
Nanovea公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。
3D光学轮廓仪
廓仪Sensofar S系列感受3D最新的S系列3D光学轮廓仪，为您展现全新的3D立体形貌全新设计的3D光学轮廓仪 S neox颠覆传统， 将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身，测量头内无运动部件。
S neox，将三种技术都做到最好2融合3种测量方式于一体D体验共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。
它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09µm。
利用它可实现临界尺寸的测量。
当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。
专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
相位差干涉 相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。
它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。
使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
白光干涉白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。
它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。
根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。
该技术的最大亮点是快速 (mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（最大86°）。
此功能对工件和模具测量特别有用。
干涉多焦面叠加共聚焦无运动部件的共聚焦380160240320400480560400425450475500525550575600625650675700725Dichroic Blue FilterBlue LED Green LED Red LEDDichroic Green FilterDichroic Red FilterWhite LED多波长的LED 光源红色.绿色.蓝色.白色S neox 有4个独立的LED 光源红色(630nm), 绿色(530nm), 蓝色(460nm) 和白色，可以满足各种应用的需要。
原创!FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用-essun
FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用深圳易商的战略合作伙伴德国FRT公司，推出高精度光学轮廓仪。
能够对半导体产品产品测试，测试参数。
表面平整度，台阶高度，曲翘度，TTV，TSV，薄膜厚度，多层膜等。
其整个测试方案由主机和探头组合而成，根据不同的测试要求，配置不同分辨率的探头。
主机部分三个类型：MicroSpy、 MicroProf、 MicroGlider。
其中MicroSpy是基于平面测试，只能安装一个传感器，且不能升级到多个传感器。
但分辨率都是有由传感器保证的Micoprof 是一款通用型号，配置灵活，可配置一个，多个光传感头。
且有针对半导体测试测试的专用软件和方案。
TTV,TSV，平整度。
且可配置MHU 选件，针对不同的尺寸晶圆产品，可实现全自动测试。
MicroGlider是一款特殊用途的产品，其最主要特点是气体承载，旋转型扫描，低摩擦性。
探头分析1、CWL 探头CWL探头，采用的共聚焦方式传感，但每次对应一个波长、对应一个点。
因此每次只能测量点的高度，经过点扫描，成为一个面。
特点是简单，稳定性好。
是一种很普通，初级的传感器。
2、WLI白光干涉该产品特点是采用相干光干涉原理，参考面的光与物体表面发生光发生干涉，形成干涉条纹，最后采用CCD探测光强弱，判断粗糙，平整度。
特点：垂直分辨率高，，可通过改变物镜和目镜的倍率，实现更高垂直分辨率。
同时左边图形，采用聚焦形式，是每次只测量一个点；右边的采用的面探测的方式，每次可以直接一个面显示。
这个扫描速度要高很多。
3、CWL薄膜薄膜测量传感器CWL (FT)是专用的薄膜测试传感器，其特点是入射光经过薄膜表面反射，与透过薄膜表面再反射的反射光相互干涉，根据干涉的峰值干涉点测量出薄膜的厚度。
当要同时测量多层薄膜时，则干涉的峰值点间隔会发生改变，可同时测量多层膜厚。
轮廓仪垂直分量z轴的最大允差范围
轮廓仪垂直分量z轴的最大允差范围下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用，谢谢!本店铺为大家提供各种类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you! In addition, this shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts, other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!轮廓仪垂直分量z轴的最大允差范围轮廓仪是一种用于测量物体外形尺寸和形状的仪器，它在工业制造、质量控制以及科学研究领域有着广泛的应用。
白光轮廓仪--GT-K vs NV 8000 (2)
光学轮廓仪对比Bruker Contour GT-K vs Zygo NewView 8000
镜头对比
BRUKER GT-K 图片：
Bruker GT-X图片
Zygo newview 8000图片
Zygo 8000现场安装实物图
GT-K 和zygo zegage同型号
newview 8200 同类型的为GT-X
8200关键配置要求：
1.主机CCD 要求: 1024x 1024，要求落地式，非台式桌上型设备，龙门架结构，非悬梁臂（必须对应bruker GT-X）
2.平台要求：全自动平台，尺寸200x200mm ，带图像拼接功能，赠送离线软件
3.台阶测试重复性：0.1%
4.纵向精度：0.1nm (实际现场验收指标，实际数据提供出厂报告）
5.拼接能力：150mm实测数据提供（或其他证明数据，官方书
面）
6.镜头要求：标准镜头，长工作距离镜头，低倍率镜头
7.标准样品
8.进口品牌的抗震平台一套（或一体化设计）
以上是关键性指标。
但即使提供同类型的设备，zygo的性能优势也非常明显：
1.单模式测量，高纵向分辨率范围，高精度的范围达到150um.
2.镜头的优势。
3.拼接大面积的经验和速度，软件强大。
4.zygo品牌优势，计量标准。
三丰轮廓仪
中文名称：轮廓仪英文名称：profilometer定义：能描绘工件表面波度与粗糙度，并给出其数值的仪器。
应用学科：机械工程（一级学科）；量具与量仪（二级学科）；量仪（二级学科）概述:轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分广泛。
三丰轮廓仪CV-3100/CV4100（轮廓测量仪）详细介绍:Mitutoyo三丰轮廓仪 CV-3100/CV4100,Contracer（轮廓测量仪）CV-3100/CV-4100218系列—轮廓测量仪特点:•大幅度提高了驱动速度（X轴：80mm/s,Z2轴：20mm/s），近一步降低了总测量时间。
•为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
•大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。
•驱动装置（X轴）和立柱（Z2轴）中集成了高精度线性编码器（Z2轴为ABS型），从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。
•X轴精度：±（0.8+0.01L）μm,Z1轴精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm*，针对高精度工件的测量所设计。
*CV-4100S4,H4,W4型L为驱动长度，H为测量高度（mm）•CV-4100系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，在Z轴（垂直方向）的窄／宽测量范围内，提供卓越的精度和分辨率。
自动测量功能•配备有大量支持CNC模式的外周设备选件，从而可实现自动测量功能。
技术参数:X轴测量范围:100mm或200mm分辨率:0.05μm检测方法:反射型线性编码器驱动速度:80mm/s和手动测量速度:0.02-5mm/s移动方向:向前／向后直线度:0.8μm/100mm,2μm/200mm*当X轴在水平方向上指示精度:±（1+0.01L）μm（CV-3100S4,H4,W4）（20°C时）±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4,H4,W4）±（1+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8）±（0.8+0.02L）μm（CV-4100S8,H8,W8）*L为驱动长度（mm）倾斜范围:±45°Z2轴（立柱）垂直行程:300mm或500mm分辨率:1μm检测方法:ABSOLUTE线性编码器驱动速度:0-20mm/s和手动Z1轴（检测器）测量范围:±25mm分辨率:0.2μm（CV-3100）,0.05μm（CV-4100）检测方法:线性编码器（CV-3100）,激光全息测微计（CV-4100）指示精度:±（2+I4HI/100）μm（CV-3100）（20°C时）±（0.8+I2HI/100）μm（CV-4100）*H为水平位置上的测量高度（mm）测针上／下运作:弧形运动测针方向:向上／向下测力:30mN跟踪角度:向上：77°、向下：87°（根据表面粗糙度，使用标准单切面测针）测针针尖半径:25μm、硬质合金针尖基座尺寸（WxH）:750x600mm或1000x450mm基座材料:花岗岩重量主机:140kg（S4）,150kg（H4）,155kg（W4）,145kg（S8）,155kg （H8）,160kg（W8）控制装置:14kg遥控箱:0.9kg电源:100–240VAC±10%,50/60Hz能耗:400W（仅限主机）批量校准功能•使用专用校准规，可同时进行设备的Z轴增益，对称及针尖半径的校准。
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光学轮廓仪技术指标
1. 系统配置及功能
1.1 PSI(相位移测试模式）
1.2 VSI(垂直方向扫描测试模式)
2. 不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X
3. 气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件
4. 200mm 全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm
5. 可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
6. 可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
7. 双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时，
使用滤镜的方式产生系统误差．
8. 全自动调整干涉条纹
9. 大面积缝合功能软件
10. 噪音：RMS < 0.3 Å (垂直方向)，框架式结构
11. Z方向测试范围0.1nm 到10mm
12. Z方向分辨率0.01nm Ra，RMS重现性0.004nmss
13. 样品反光率<1 to 100%
14. 垂直方向扫描速度92.5微米/秒
15. 倾斜调制范围，±6°（Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节）
16. 闭环控制扫描：0.1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直
方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．
17. 自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够
使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．
18. 提供具备证书的标准样品：PSI 模式光滑平面（SIC）。