光学轮廓仪设备参数

光学轮廓仪技术指标

1. 系统配置及功能

1.1 PSI(相位移测试模式）

1.2 VSI(垂直方向扫描测试模式)

2. 不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X

3. 气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件

4. 200mm 全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm

5. 可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜

6. 可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜

7. 双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时，

使用滤镜的方式产生系统误差．

8. 全自动调整干涉条纹

9. 大面积缝合功能软件

10. 噪音：RMS < 0.3 Å (垂直方向)，框架式结构

11. Z方向测试范围0.1nm 到10mm

12. Z方向分辨率0.01nm Ra，RMS重现性0.004nmss

13. 样品反光率<1 to 100%

14. 垂直方向扫描速度92.5微米/秒

15. 倾斜调制范围，±6°（Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节）

16. 闭环控制扫描：0.1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直

方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．

17. 自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够

使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．

18. 提供具备证书的标准样品：PSI 模式光滑平面（SIC）