全自动动态配气装置

全自动动态配气系统

北京忠实易达科技有限公司

2011年10月

北京忠实易达科技有限公司是专业生产各种实验室设备的企业，主要从事各种气体的不同组份的配气及稀释装置的研发和制造。在全国各个院校研究所及各企事业单位均有良好的口碑。

公司研发生产的自动配气（稀释）装置，控制精度高，各个控制单元精度高达±1%S.P（设定点），使用、操作方便。性能稳定。装置由 6.0″高亮真彩TFT,四线电阻式触摸屏作为显示输出及控制输入的窗口,内置SD卡接口(最大支持8G)。控制软件界面友好，数据记录实时存储，亦可随时调用，数据存储方便不易丢失。

针对目前所涉及的行业及使用的气体，我公司特推出以下三款产品供您选择，希望我们的产品，能够为您的工作带来很大的助力。此外我们亦可根据您的需要非标定制。

一、 特气自动配气（稀释）装置

使用气体：硅烷、硼烷、磷烷、氯气等特殊气体

工作压差：（0.1~0.3）Mpa

最高使用压力：1Mpa

单元控制精度：±1%S.P（设定点）

工作温度： -20℃~70℃

单元流量：2SCCM ~ 10SLM

产品型号：CVD---04 01S C D C

1 2 3 4 5 6

型号说明：

1 —— CVD 特气设备标示

2 —— 总控制单元数量

3 —— 特殊气体单元数量

4 —— 控制方式

C 采用6.0″,高亮真彩TFT,四线电阻式触摸屏

P 采用计算机控制方式

5 —— 阀控制方式

空 采用MFC内置阀控制

D 采用电磁阀控制

Z 采用手动阀控制

6 —— 使用压力

C 最高使用压力1Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

Z最高使用压力3Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

使用气体：二氧化硫、氨气、一氧化氮等100%纯气体

工作压差：（0.1~0.3）Mpa

最高使用压力：1Mpa

单元控制精度：±1%S.P（设定点）

工作温度： -20℃~70℃

单元流量：2SCCM ~ 10SLM

产品型号：PQ---04 01S C D C

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型号说明：

1 —— PQ 配气装置标示

2 —— 总控制单元数量

3 —— 特殊气体单元数量

4 —— 控制方式

C 采用6.0″,高亮真彩TFT,四线电阻式触摸屏

P 采用计算机控制方式

5 —— 阀控制方式

空 采用MFC内置阀控制

D 采用电磁阀控制

Z 采用手动阀控制

6 —— 使用压力

C 最高使用压力1Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

Z最高使用压力3Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

使用气体：惰性气体及一定浓度的二氧化硫、氨气等

工作压差：（0.1~0.3）Mpa

最高使用压力：1Mpa

单元控制精度：±1%S.P（设定点）

工作温度： -20℃~70℃

单元流量：2SCCM ~ 10SLM

产品型号：PQ---04 C D C

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型号说明：

1 —— PQ 配气装置标示

2 —— 总控制单元数量

3 —— 控制方式

C 采用6.0″,高亮真彩TFT,四线电阻式触摸屏

P 采用计算机控制方式

4 —— 阀控制方式

空 采用MFC内置阀控制

D 采用电磁阀控制

Z 采用手动阀控制

5 —— 使用压力

C 最高使用压力1Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

Z最高使用压力3Mpa，压差：（0.1~0.3）Mpa

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