EPAPBA管道简介分析
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管材简介
一、抛光主力方式 二、管材的制程 三、管材的选用 四、管材的规格 五、表面处理 六、品质检查
分类：抛光处理方式
AP (Annealing & Pickled）酸洗钝化 BA (Bright Annealing) 光亮烧钝 EP (Electro-Polished) 电解抛光
Fra Baidu bibliotek
AP (Annealing Pickled）
通管检查率 : 100% 检查项目: 通过管內白布不得脏污，或油脂残留
纯水阻抗测定
检查率 : 10% 检查项目: 管末端纯水阻值>17.5MΩ.cm
Particle残留測定
检查率 : 1% 检查项目:每 ft3 中Particle < 规定值
管內油份残留测定
纯水注入，封口，摇晃震荡，靜置蒸馏淬取残留油脂，计算残留量 检查率 : 1% 标准值 : < 0.1 mg/ft2
管材的规格
依表面处理方法分类： 一般分为三种
（I） AP级（素管）：表面不做任何处理 （II）BA级：光辉烧钝 （III）EP级：电解抛光 注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因 素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
不锈钢的表面处理
AP & BA & EP 表面
不会提高表面粗糙度，单可以去 除残存的颗粒，降低能量水平， 但不会减少介层数量
⑶ AP 压缩气体，双套管外管
管材的规格
依材质分类 管材可分为： (1) SUS 304 (2) SUS 316 (3) SUS 316L 以上都是不锈钢管材 其中L表示为低碳
管材的规格
依规格分类 （1）日规（JIS）：PIPE SIZE （2）美规（ASTM）：TUBE SIZE
其中须注意 （i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为 34.4mm，在TUBE SIZE其OD为 25.4mm （ii）在PIPE SIZE中：25A又称1” 50A又称2” 80A 又称3” 100A又称4” （iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管）， 常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三 分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、 1”4
BA管
管材的选用
使用范围
⑴ EP 级别管道-高纯度气体（5N&6N以上）， 毒性（PH3磷化氢AsH3砷化氢SiH2Cl2二氯硅烷)，腐蚀性 （HCl氯化氢NH3氨气)，易燃易爆（SiH4)硅烷气体。
⑵
BA
一般性气体
N2（氮气）O2
H2 Ar （氧气）
（氢气） （氩
CDA 气）
（洁净干燥的压缩空气）
缺点：
电解抛光属于表面溶解方式平坦化，速度 遇底材状况不良时，（如热抽管或大尺寸冷抽管 仍需先机械抛光前处理
管材品质检查
管內外目视检查
检查率 : 100% 检查項目:管內不得有水痕，是否脏污或研磨不均，或电解不良、变色
表面粗度量检测
检查率 : 10% 检查项目: Ra / Rmax < 规定值
白布实验
酸洗或钝化 管道经过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度， 单可以去除残存的颗粒，降低能量水平，但不 会减少介层数量
BA (Bright Annealing)
光亮烧钝 在加氢或真空状态高温热处理，一方面消除内 应力，另一方面在管道表面形成一层钝化膜， 以改善形态结构，减少能量水平，但不会提高 表面粗糙度。
消除内部应力 改善结构形态，减少能量水平 提高了表面粗糙度
氧化铬层封闭保护，中立于介质 表面积缩小，降低风险 残留能量最下 更易吹扫、清洗
酸洗钝化， Ra值不变 表面更平整，颗粒减少
光亮退火， Ra=0.3μm 放大200倍
电解抛光， Ra=0.19μm 放大500倍
Rmax
AP: annealed & pickled Rmax 20~50μm (经过酸洗处理，素管)
Rmax之範圍
量測長度(mm)
0.025~0.10
0.4
0.10~0.50
1.25
0.50~10.0
4
10.0~50.0
12.5
50.0~200.0
40
电解抛光优点与缺点
优点：
超平滑，去除表面浅层缺陷，减少总表面积 流道与管向平行，降低微尘累积 适用于非平面加工物件形 状 重组良好的钝化层，减少流体与管壁的反应，提高管件抗蚀性 无机械抛光不均匀现象 更易吹扫、清洗
X L
Ra 取样长度
Ra范围
测量长度(mm)
0.006~0.02
0.4
0.02~0.1
1.25
0.1~2.0
4
2.0~10.0
12.5
10.0~80.0
40
Rmax定义： 于粗度曲线取二平行直线，测定其量测范围间两平行直线之最大高度。
Rmax=Rp+Rv
Y
Rp Rmax Rv
X L
Rmax之量測長度
BA：bright anneal treatment , Rmax 3~8 μm (光辉锻造，抛光)
EP:electro polish, Rmax 0.3~0.8 μm (电解抛光)
Ra & Rmax 定义
Ra之定义：
Ra 1
L
f ( x) dx
L0
Y
L：测定长度 x：粗度曲线之中心线
Y轴：纵倍率方向 Y＝f(x) ：粗度曲线
AP管的制程
管胚
热挤压 Hot extrusion
冷加工 Cold draw
AP管
酸洗钝化 Annealing Pickled
热处理 Heat treatment
BA&EP 制程介绍
AP管
冷加工 Cold draw
光辉烧结 Bright annealing
EP管
点解研磨 Electro polish
EP（Electro-Polished)
电解抛光 通过电化学抛光，可以极大的提高表面形态及 及结构，使表层面积得到极大的程度的减少。 表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜，能量接 近合金的正常水平，同事介质数量也会降为最 少。 微电子、光电子和生物制药等行业对传输敏感 或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采 用光亮烧钝（BA）、电解抛光（EP）产品。
一、抛光主力方式 二、管材的制程 三、管材的选用 四、管材的规格 五、表面处理 六、品质检查
分类：抛光处理方式
AP (Annealing & Pickled）酸洗钝化 BA (Bright Annealing) 光亮烧钝 EP (Electro-Polished) 电解抛光
Fra Baidu bibliotek
AP (Annealing Pickled）
通管检查率 : 100% 检查项目: 通过管內白布不得脏污，或油脂残留
纯水阻抗测定
检查率 : 10% 检查项目: 管末端纯水阻值>17.5MΩ.cm
Particle残留測定
检查率 : 1% 检查项目:每 ft3 中Particle < 规定值
管內油份残留测定
纯水注入，封口，摇晃震荡，靜置蒸馏淬取残留油脂，计算残留量 检查率 : 1% 标准值 : < 0.1 mg/ft2
管材的规格
依表面处理方法分类： 一般分为三种
（I） AP级（素管）：表面不做任何处理 （II）BA级：光辉烧钝 （III）EP级：电解抛光 注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因 素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
不锈钢的表面处理
AP & BA & EP 表面
不会提高表面粗糙度，单可以去 除残存的颗粒，降低能量水平， 但不会减少介层数量
⑶ AP 压缩气体，双套管外管
管材的规格
依材质分类 管材可分为： (1) SUS 304 (2) SUS 316 (3) SUS 316L 以上都是不锈钢管材 其中L表示为低碳
管材的规格
依规格分类 （1）日规（JIS）：PIPE SIZE （2）美规（ASTM）：TUBE SIZE
其中须注意 （i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为 34.4mm，在TUBE SIZE其OD为 25.4mm （ii）在PIPE SIZE中：25A又称1” 50A又称2” 80A 又称3” 100A又称4” （iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管）， 常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三 分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、 1”4
BA管
管材的选用
使用范围
⑴ EP 级别管道-高纯度气体（5N&6N以上）， 毒性（PH3磷化氢AsH3砷化氢SiH2Cl2二氯硅烷)，腐蚀性 （HCl氯化氢NH3氨气)，易燃易爆（SiH4)硅烷气体。
⑵
BA
一般性气体
N2（氮气）O2
H2 Ar （氧气）
（氢气） （氩
CDA 气）
（洁净干燥的压缩空气）
缺点：
电解抛光属于表面溶解方式平坦化，速度 遇底材状况不良时，（如热抽管或大尺寸冷抽管 仍需先机械抛光前处理
管材品质检查
管內外目视检查
检查率 : 100% 检查項目:管內不得有水痕，是否脏污或研磨不均，或电解不良、变色
表面粗度量检测
检查率 : 10% 检查项目: Ra / Rmax < 规定值
白布实验
酸洗或钝化 管道经过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度， 单可以去除残存的颗粒，降低能量水平，但不 会减少介层数量
BA (Bright Annealing)
光亮烧钝 在加氢或真空状态高温热处理，一方面消除内 应力，另一方面在管道表面形成一层钝化膜， 以改善形态结构，减少能量水平，但不会提高 表面粗糙度。
消除内部应力 改善结构形态，减少能量水平 提高了表面粗糙度
氧化铬层封闭保护，中立于介质 表面积缩小，降低风险 残留能量最下 更易吹扫、清洗
酸洗钝化， Ra值不变 表面更平整，颗粒减少
光亮退火， Ra=0.3μm 放大200倍
电解抛光， Ra=0.19μm 放大500倍
Rmax
AP: annealed & pickled Rmax 20~50μm (经过酸洗处理，素管)
Rmax之範圍
量測長度(mm)
0.025~0.10
0.4
0.10~0.50
1.25
0.50~10.0
4
10.0~50.0
12.5
50.0~200.0
40
电解抛光优点与缺点
优点：
超平滑，去除表面浅层缺陷，减少总表面积 流道与管向平行，降低微尘累积 适用于非平面加工物件形 状 重组良好的钝化层，减少流体与管壁的反应，提高管件抗蚀性 无机械抛光不均匀现象 更易吹扫、清洗
X L
Ra 取样长度
Ra范围
测量长度(mm)
0.006~0.02
0.4
0.02~0.1
1.25
0.1~2.0
4
2.0~10.0
12.5
10.0~80.0
40
Rmax定义： 于粗度曲线取二平行直线，测定其量测范围间两平行直线之最大高度。
Rmax=Rp+Rv
Y
Rp Rmax Rv
X L
Rmax之量測長度
BA：bright anneal treatment , Rmax 3~8 μm (光辉锻造，抛光)
EP:electro polish, Rmax 0.3~0.8 μm (电解抛光)
Ra & Rmax 定义
Ra之定义：
Ra 1
L
f ( x) dx
L0
Y
L：测定长度 x：粗度曲线之中心线
Y轴：纵倍率方向 Y＝f(x) ：粗度曲线
AP管的制程
管胚
热挤压 Hot extrusion
冷加工 Cold draw
AP管
酸洗钝化 Annealing Pickled
热处理 Heat treatment
BA&EP 制程介绍
AP管
冷加工 Cold draw
光辉烧结 Bright annealing
EP管
点解研磨 Electro polish
EP（Electro-Polished)
电解抛光 通过电化学抛光，可以极大的提高表面形态及 及结构，使表层面积得到极大的程度的减少。 表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜，能量接 近合金的正常水平，同事介质数量也会降为最 少。 微电子、光电子和生物制药等行业对传输敏感 或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采 用光亮烧钝（BA）、电解抛光（EP）产品。