中国电子行业超纯水国家标准
国内外实验室用水标准
水质标准
1、分析实验室用水标准（GB6682-92）
指标名称
一级
二级
三级
PH值范围（25℃）
-
-
5.0-7.5
电导率（25℃）
ms/m≤
0.01
0.1
0.5
us/cm≤
0.1
1
5
比电阻MΩ.cm@25℃>
10
1
0.2
可氧化物[以O计]mg/L
-
0.08
0.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤
硝酸盐
＜0.06ppm
重金属
＜0.5ppm
电导率
＜2us/cm
3.2、注射水标准
PH值
5.0～7.0
氨
＜0.2ppm
硝酸盐
＜0.06ppm
细菌内毒素
＜0.25EU/ml
重金属
＜0.5ppm
4、锅炉给水质量标准
炉型
锅炉过热
蒸汽压力
（Mpa）
电导率
（us/cm）
硬度(umol/L)
溶解氧
铁
铜
钠
二氧化硅
ug/L
氯化物(以CL-计)
铅（以Pb计）
砷（以As计）
铜（以Cu计）
氰化物(以CN-计)
挥发性酚(以苯酚计)
游离氯
三氯甲烷
四氯化碳
亚硝酸盐(以NL2-计)
5.0～7.0
≤10us/cm
≤1.0mg/L
≤6.0mg/L
≤0.01mg/L
≤0.01mg/L
≤1mg/L
≤0.002mg/L
≤0.002mg/L
≤0.005mg/L
超纯水行业相关水质标准
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
电子工业超纯水水质标准
序号
水质项目
一级高纯水指标
二级高纯水指标
1
电阻率（25°C）Mcm
>15
>10
2
电导率，卩s/cm
0.05
0.1
3
PH值
6.8〜7.2
6.6〜7.4
4
细菌总数，个/mL
V3
V9
5
微粒（直径〉0.5卩m，粒/mL）
V150
V300
6
二氧化硅
V10
V20
7
有机物（以COD计）
V0.3
V0.5
锌Zn2+
0.03
0.1
0.5
*
阴离子，卩g/L
0.1
0.1
0.3
*
溴Br-
0Cl-
0.05
0.2
0.8
*
亚硝酸根NO2-
0.05
0.1
0.3
*
硝酸根NO3-
0.1
0.1
0.5
*
磷酸根PO43-
0.2
0.2
0.3
*
硫酸根SO42-
0.05
0.3
1.0
*
*
我国电子工业部高纯水水质试行标准
8
钠Na
V0.5
V2
9
铁Fe
V1
V2
10
铜Cu
V0.5
V1
11
钙Ca
V1
V3
12
镁Mg
V0.2
V1
13
锌Zn
V0.5
V1
14
锰Mn
V0.2
V0.5
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品
中国国家电子级超纯水标准.doc
附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/电阻>1μ m率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L/ml*cmEW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20≥1EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13于17全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500细菌个数，最大10 100 ，个 /mL铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500总有机201002001000 ，最大值，μg/L电子级超纯水中国国家标准（GB/）>1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L18（ 95%的时间不低于EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）15（ 95%的时间不低于EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）。
国内外实验室用水标准
国内外实验室用水标准1、分析实验室用水标准（GB6682-92）2、电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）3、中国药典医药用水标准3.1、纯化水标准5、美国AAMI和ASAIO血液透析用水水质标准附：饮用水标准财务部工作总结、分析及计划报告范文[财务部工作总结、分析及计划报告范文]务部工作总结、分析及计划报告范文2009-12-10 10：25读者上传【大中小】【打印】【我要纠错】在上级财务部门的业务指导下，以年初支公司提出的工作思路为指导，以提高企业效益为核心，以增强企业综合竞争力为目标，以成本治理和资金治理为重点，全面落实预算治理，强基础，抓规范，实现了全年业务制度规范化，经营治理科学化，企业效益最大化，有力地推动了支公司财务治理水平的进一步提高，充分发挥了财务治理在企业治理中的核心作用，财务部工作总结、分析及计划报告范文。
现将2009年公司财务工作总结如下：一、主要指标完成情况1、固定费用：1-9月份累计完成##.5xxxx，完成进度计划的117.2xxxx，同比增长27.4xxxx，增加支出2312627.8 xxxx。
2、三项费用：1-9月份累计完成##.5xxxx，完成进度计划的136.3xxxx，同比降低10.5xxxx，减少支出171939.2 xxxx。
3、内部利润：1-9月份完成-##.1xxxx元，较计划进度-828.4xxxx元增亏252.7xxxx元。
二、以资金治理为契机，不断增强全员的预算治理意识近年来，随着企业精细化治理水平的不断强化，对财务治理也提出了更高的要求。
我们以此为契机，根据财务治理的特点以及财务治理的需要，及时出台了支公司《固定费用治理办法》、《资金预算治理办法》等一系列相关制度，从而使每项工作有计划、有落实、有监督、有考核。
在费用控制方面，一是采取定额包干的方式，将手机费、电话费、班站所办公费、车辆油料费、维修费、线路巡视费等定额控制，节约归已、超支自负，培养了职工的节约意识。
半导体行业用水标准
半导体行业用水标准集团标准化工作小组 #Q8QGGQT-GX8G08Q8-GNQGJ8-MHHGN#电子行业水质标准1.电子工业与超纯水在半导体制作工艺中，80%以上的工序要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃),已极其接近理论纯水水质 M Ω.cm(25℃)。
对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得≤μm,而且≥μm 不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
电子级水国家标准:详见表3、超纯水中杂质的污染源制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂，引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量，所谓污染值是指，单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表分别列出了各种材料的污染值和TOC 的溶出值。
表各种材料的污染值(TOC 的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。
根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小，与水中含盐量的多少，水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
中国电子行业超纯水国家标准
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。
指标名称
一级
二级
三级
pH值范围（25oC )
—
—
5.0-7.5
电导率（25oC )(μs/cm)≤
0.1
1
2
500
钠，最大值，μg/L
0.5
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
0.5
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机酸，最大值，μg/L
20
100
200
1000
中国实验室用水国家标准
中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )
指标名称
一级水（EW-1）
二级水（EW-
15(95‰时间)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒数 ＞1μm
0.1
5
细菌个数 ≤个/ml
0.01
0.1
铜 ≤μg/L
0.2
1
锌 ≤μg/L
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，最大值,μg/L
超纯水及实验室用水标准
电阻率MΩ.CM.（25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅≤μg/L
2
10
＞1μm微粒数
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
0.1
铜≤μg/L
0.2
1
锌≤μg/L
0.2
1
镍≤μg/L
0.1
1
钠≤μg/L
0.5
2
钾≤μg/L
0.5
2
氯≤μg/L
1
1
硝酸根≤μg/L
<吸光度（254nm,1cm光程）≤
0.001
0.01
-
蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤
-
1.0
2.0
可容性硅[以（sio2）计]，mg/L<
0.01
0.02
-
实用三个等级净化水的技术要求(GB6682)：
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
1
1
磷酸根≤μg/L
1
1
硫酸根≤μg/L
1
1
总有机碳≤μg/L
20
100
中国实验室用水国家标准GB6682-2000
PH值范围（25℃）
-
-
5.0-7.5
电导率（25℃）,mS/m ≤
0.01
0.10
0.50
比电阻（MΩ.cm.25℃）≥
10
1
0.2
可氧化物质[以（0）计]，mg/L
-
0.08
0.40
三级水：适用一般实验室实验工作。
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
半导体行业用水标准
半导体行业用水标准Company Document number：WUUT-WUUY-WBBGB-BWYTT-1982GT电子行业水质标准1.电子工业与超纯水在半导体制作工艺中，80%以上的工序要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃),已极其接近理论纯水水质 M Ω.cm(25℃)。
对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得≤μm,而且≥μm 不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
电子级水国家标准:详见表3、超纯水中杂质的污染源制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂，引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量，所谓污染值是指，单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表分别列出了各种材料的污染值和TOC 的溶出值。
表各种材料的污染值(TOC 的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。
根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小，与水中含盐量的多少，水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
中国国家电子级超纯水标准
10
500
细菌个数，最大
，个/mL
10
100
铜，最大值，μ1
5
500
镍，最大值，μg/L
1
2
500
钠，最大值，μg/L
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
2
1
5
1
1
1
100
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机
，最大值，μg/L
20
100
200
1000
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
项目
级别
比电阻 MΩ.cm@25℃
硅 ≤ μg/L
>1μm微粒数 < 个/ml
细菌个数< 个/ml
铜≤μg/L
锌≤μg/L
镍≤μg/L
钠≤μg/L
钾 ≤ g/L
氧≤ μg/L
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM）,临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446—1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682—2008标准中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1—1997注＊(95%时间不低于17)，**(95%时间不低于13)体外诊断试剂用水规格 YYT 1244-2014消毒供应中心用水标准 WS310。
1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准 WS506—2016生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值软式内窥镜清洗用水标准 WS507-2016应有自来水、纯化水、无菌水。
自来水水质应符合GB5749的规定.纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0。
2um,并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
血液透析和相关治疗用水 YY0572-2015美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准美国材料试验学会ASTM水质标准2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18。
02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
二、2010年版药典检验项目1。
性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
2。
.酸碱度取本品10ml，加甲基红指示液2滴，不得显红色；另取10ml，加溴麝香草酚蓝指示液5滴，不得显蓝色.3。
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
电子级超纯水中国国家标准GBT11446GB/T .1-1997 Electronic Grade WaterScope:This standard specifies the grades。
requirements。
test methods。
and n rules for electronic grade water。
It is applicable to water used in the n and cleaning of electronic components.XXX:The following standards。
through n。
are incorporated into this standard。
At the time of n。
the XXX。
and users of this standard should explore the possibility of using the latest ns of the following standards:GB/T .3-1997 General Test Methods for Electronic Grade WaterGB/T .4-1997 Test Method for Electrical Resistivity of Electronic Grade WaterGB/T .5-1997 XXX Grade WaterGB/T .6-1997 XXX Grade WaterGB/T .7-1997 XXX Method for Trace Chloride。
Nitrate。
Phosphate。
and XXX Grade WaterGB/T .8-1997 Test Method for Total Organic Carbon in Electronic Grade WaterGB/T .9-1997 XXX Grade WaterGB/T .10-1997 Membrane Filter XXX Grade Waterns:This standard adopts the following ns:Electronic grade water: High-purity water used in the manufacturing process of electronic components.Resistivity: XXX of a 1 cm² water XXX temperature。
电子级超纯水标准
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
0.1
5
10
500
细菌个数，最大值，个/mL
0.01
0.1
10
100
铜，最大值，μg/L
0.2
1
2
500
0.1
铜 ≤μg/L
0.2
1
锌 ≤μg/L
0.2
1
镍 ≤μg/L
0.1
1
钠 ≤μg/L
0.5
2
钾 ≤μg/L
0.5
2
氯 ≤μg/L
1
1
硝酸根 ≤μg/L
1
1
磷酸根 ≤μg/L
1
1
硫酸根 ≤μg/L
1
1
总有机碳 ≤μg/L
20
100
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
※
新闻动态
※
水质标准
※
行业知识
水质标准
中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )
指标名称
一级水（EW-1）
二级水（EW-2）
电阻率MΩ.CM.（25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒数 ＞1μm
0.1
5
细菌个数 ≤个/ml
水质标准
重金属
＜0.5ppm
电导率
＜2us/cm
3.2、注射水标准
PH值
5.0～7.0
氨
＜0.2ppm
硝酸盐
＜0.06ppm
细菌内毒素
＜0.25EU/ml
重金属
＜0.5ppm
4、锅炉给水质量标准
炉型
锅炉过热
蒸汽压力
（Mpa）
电导率
（us/cm）
硬度(umol/L)
溶解氧
铁
铜
钠
二氧化硅
ug/L
450mg/L
0.3mg/L
0.1mg/L
1.0mg/L
1.0mg/L
0.002mg/L
0.3mg/L
250mg/L
250mg/L
1000mg/L
毒理学指标
氟化物
氰化物
砷
硒
汞
镉
铬(六价)
铅
银
硝酸盐(以氮计)
氯仿*
四氯化碳*
苯并(a)芘*
滴滴涕*
六六六*
1.0mg/L
0.05mg/L
0.05mg/L
0.01mg/L
2
Copper(Cu)
< 0.1 mg/L
3
Zinc(Zn)
< 0.1 mg/L
4
Arsenic(As)
< 0.005mg/L
5
Barium(Ba)
< 0.1 mg/L
6
Cadmium(Cd)
< 0.001 mg/L
7
Chromium(Cr)
< 0.014 mg/L
8
Lead(Pb)