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• 2、LMF激光平面度检测仪 LFM激光平面度检测仪 主要 由大理石台面、几座、置于大 理石台面上的激光测头、电 脑及电气控制柜所组成。
• 广泛应用于大尺寸平面型工件：PDP背板、 平板型冲压件、大尺寸硬质塑料的测量。
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L-743 激光平面度测量仪
• 校准范围0.0017mm/m或更大) • 应用领域：机械加工中心、注塑机和压力
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光轴法
• 如图所示，光轴法测量平面度误差是利用 准直类仪器2、以它的光轴经转向棱镜3扫 描的平面作为测量基准，将瞄准靶1放置在 实际被测平面4上，按选定的 布点，测出各测点相对于该测 量基准的偏离量，再经数据处 理评定平面误差值。 图4 光轴法
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间接测量法
• 特点：测量精度高，但数据处理麻烦。因 被测平面需测若干个截面，而各截面内的 偏差值在测量时不是由同一基准产生，故 须经复杂的数据后，才能获得各测量截面 相对统一基准的坐标值。
• 适用于中大平面的测量。 • 测量方法：水平仪法、自准仪法、互检法
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水平仪法
• 原理：以自然水平面作为测量基础。测量时，先 把被测表面调到基本水平，然后把水平仪放在桥 板上，再把桥板置于被测表面上，按照一定的布 线逐渐测量，同时记录各测点的读数，根据测得 的读数通过数据处理，即可 得平面度误差值。
• 存在一个最佳结果
对角线法
• 采用对角线布点。
• 过渡基准平面是：过被测 表面的一条对角线，且平 行于被测表面的另一条对 角线的平面。
• 测量时常须用三块长度不 同的板桥。数据处理较麻 烦。
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自准仪法
• 原理：用自准仪测量平面度误差时，是将 自准仪置于被测零件之外的基准上，将反 向镜放在桥板上，并将桥板置于被测表面 上。测量时先把自准仪与被测表面调整到 基本平行，然后用测量值限度误差的方法 测量出逐一布线的直线度，通过数据处理， 得到被测平面的平面度。
平面度检测方法
姓名：李 国 辉 专业：机械工程 学号：31104002
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平面度的定义Βιβλιοθήκη Baidu
• 平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对 理想平面的偏差。
• 平面的平面度公差符号、基本表示方法， 如图1所示。
图1
2
平面度误差的检测方法
• 平面度误差是指被测实际表面相对其理想 表面的变动量，理想平面的位置应符合最 小条件，平面度误差属于形位误差中的形 状误差。
• 平面度误差的测量方法 直接测量法
间接测量法
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直接测量法
• 通过测量可直接获得平面上各点坐标值或 能直接评定平面度误差值的方法。具体如 下:
• 1、平晶干涉法 • 2、测微表测量法 • 3、光轴法、液面法等。
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平晶干涉法
• 干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆 盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平 面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由 计算所得的结果作为平面度误差值，如图所示。
机、飞机组装、轧辊平行度校准、高精度 激光水射流切割机、测量和校 准任何表面 的平面度（方形、 框架、路面、法兰、圆形等）
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• 该方法只适合测量精研小平面 及小光学元件。
图2 平晶干涉法
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测微表测量法
• 如图3所示，用3个可调支承将被测件支撑在标准平板 上，用测微仪指示。
调整可调支承，用三点法或四点
法（对角线法）进行测量。然后
用测微仪读出被测表上各点的最
大与最小读数差作为平面度误差
值的测量结果。
图3 测微表法
• 该测量方法适用于车间较低精度、中等尺寸的工件。
• 分类：依布线方法不同又分 为水平面法和对角线法。
图5 水平仪法
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水平面法
• 采用网格布点，基准平面 为过被测表面上的某给定 点且与水平面平行的几何 平面：测量时应采用同一 桥板，各测点的同一坐标 值用累积法求得，计算比 较简单。
• 测量时选择不同的起始点 和不同的测量线，其数据 处理的方法、结果不同。
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互检法
• 平晶干涉法可利用技术光波干涉法直接读 数，故多块平晶间可以相互自检，而不需 要标准器。
• 如三块平晶互检。
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检测平面度的仪器
• 1、光学平直度测量仪 主要用于测量零件表面的直线 度和平面度，并用于设备安装位 置的正确性及较小倾角的测量 • 精度：0.01mm/m测量范围：0-10mm
• 2、LMF激光平面度检测仪 LFM激光平面度检测仪 主要 由大理石台面、几座、置于大 理石台面上的激光测头、电 脑及电气控制柜所组成。
• 广泛应用于大尺寸平面型工件：PDP背板、 平板型冲压件、大尺寸硬质塑料的测量。
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L-743 激光平面度测量仪
• 校准范围0.0017mm/m或更大) • 应用领域：机械加工中心、注塑机和压力
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光轴法
• 如图所示，光轴法测量平面度误差是利用 准直类仪器2、以它的光轴经转向棱镜3扫 描的平面作为测量基准，将瞄准靶1放置在 实际被测平面4上，按选定的 布点，测出各测点相对于该测 量基准的偏离量，再经数据处 理评定平面误差值。 图4 光轴法
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间接测量法
• 特点：测量精度高，但数据处理麻烦。因 被测平面需测若干个截面，而各截面内的 偏差值在测量时不是由同一基准产生，故 须经复杂的数据后，才能获得各测量截面 相对统一基准的坐标值。
• 适用于中大平面的测量。 • 测量方法：水平仪法、自准仪法、互检法
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水平仪法
• 原理：以自然水平面作为测量基础。测量时，先 把被测表面调到基本水平，然后把水平仪放在桥 板上，再把桥板置于被测表面上，按照一定的布 线逐渐测量，同时记录各测点的读数，根据测得 的读数通过数据处理，即可 得平面度误差值。
• 存在一个最佳结果
对角线法
• 采用对角线布点。
• 过渡基准平面是：过被测 表面的一条对角线，且平 行于被测表面的另一条对 角线的平面。
• 测量时常须用三块长度不 同的板桥。数据处理较麻 烦。
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自准仪法
• 原理：用自准仪测量平面度误差时，是将 自准仪置于被测零件之外的基准上，将反 向镜放在桥板上，并将桥板置于被测表面 上。测量时先把自准仪与被测表面调整到 基本平行，然后用测量值限度误差的方法 测量出逐一布线的直线度，通过数据处理， 得到被测平面的平面度。
平面度检测方法
姓名：李 国 辉 专业：机械工程 学号：31104002
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平面度的定义Βιβλιοθήκη Baidu
• 平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对 理想平面的偏差。
• 平面的平面度公差符号、基本表示方法， 如图1所示。
图1
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平面度误差的检测方法
• 平面度误差是指被测实际表面相对其理想 表面的变动量，理想平面的位置应符合最 小条件，平面度误差属于形位误差中的形 状误差。
• 平面度误差的测量方法 直接测量法
间接测量法
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直接测量法
• 通过测量可直接获得平面上各点坐标值或 能直接评定平面度误差值的方法。具体如 下:
• 1、平晶干涉法 • 2、测微表测量法 • 3、光轴法、液面法等。
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平晶干涉法
• 干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆 盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平 面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由 计算所得的结果作为平面度误差值，如图所示。
机、飞机组装、轧辊平行度校准、高精度 激光水射流切割机、测量和校 准任何表面 的平面度（方形、 框架、路面、法兰、圆形等）
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• 该方法只适合测量精研小平面 及小光学元件。
图2 平晶干涉法
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测微表测量法
• 如图3所示，用3个可调支承将被测件支撑在标准平板 上，用测微仪指示。
调整可调支承，用三点法或四点
法（对角线法）进行测量。然后
用测微仪读出被测表上各点的最
大与最小读数差作为平面度误差
值的测量结果。
图3 测微表法
• 该测量方法适用于车间较低精度、中等尺寸的工件。
• 分类：依布线方法不同又分 为水平面法和对角线法。
图5 水平仪法
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水平面法
• 采用网格布点，基准平面 为过被测表面上的某给定 点且与水平面平行的几何 平面：测量时应采用同一 桥板，各测点的同一坐标 值用累积法求得，计算比 较简单。
• 测量时选择不同的起始点 和不同的测量线，其数据 处理的方法、结果不同。
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互检法
• 平晶干涉法可利用技术光波干涉法直接读 数，故多块平晶间可以相互自检，而不需 要标准器。
• 如三块平晶互检。
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检测平面度的仪器
• 1、光学平直度测量仪 主要用于测量零件表面的直线 度和平面度，并用于设备安装位 置的正确性及较小倾角的测量 • 精度：0.01mm/m测量范围：0-10mm