ppm ppb ppt
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1.硅片wafer
2.氧、碳含量的单位:
百分比:ppma parts per million atoms 原子个数:Atoms/cm3
一般多晶硅碳含量的单位有两个,1、ppma;2、at/cm3。没有你说的那个吧。at/cm3是原子密度
半导体工业里定义硅每立方厘米硅中有5e22个硅原子
ppmw、ppbw是以质量计的浓度,w是weight(重量)
ppma、ppba是以原子数计的浓度,a是atom(原子)
如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度(ppmw或者ppbw)
可以用:杂质的原子密度×杂质元素的原子量/(5e22×28)=杂质的质量浓度(ppmw或者ppbw)
其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数,28是硅的原子量
如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为原子数浓度(ppma或者ppba)可以用:杂质的原子密度/5e22=杂质的原子数浓度(ppma或者ppba)
其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数
1ppma=1*10-6=C的原子密度/5e22=5*1016 at/cm3
PPba为十亿分之一原子比billion (m为million)
ppta为万亿分之一原子比trillion
pptw为万亿分之一质量比weight
体积浓度是用每立方米的大气中含有污染物的体积数(立方厘米)或(ml/m3)来
表示,
常用的表示方法是ppm,即1ppm=1立方厘米/立方米=10-6。除ppm外,还有ppb和ppt,
他们之间的关系是:
1ppm=10-6=一百万分之一,1ppb=10-9=十亿分之一,
1ppt=10-12=万亿分之一,1ppm=103ppb=106ppt
3.红外线:IR infrared rays
紫外线:UV ultraviolet rays
傅立叶变化红外光谱FTIR Fourier Transfer Infrared Spectroscopy
4.波数:波长的倒数,单位cm-1
在光谱学里,电磁辐射的波数,用方程定义为
ν=1/λ;其中,λ是辐射在真空里的波长。