往复式真空泵工作原理

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往复式真空泵工作原理

往复式真空泵(简称往复泵)又名活塞式真空泵,属于低真空获得设备之一。它与旋片式真空泵相比较,它能被制成大抽速的泵;与水环式真空泵相比,效率稍高。这类泵的主要缺点是结构复杂,体积较大,运转时振动较大等。其在很多场合可由液环式真空泵所取代。

往复式真空泵的工作原理:

往复泵的结构和工作原理如图所示,主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2,活塞的驱动是用曲柄连杆机构3(包括十字头)来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件,以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。

运转时,在电动机的驱动下,通过曲柄连杆机构的作用,使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时,由于气缸的左腔体积不断增大,气缸内气体的密度减小,而形成抽气过程,此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最右位置时,气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动,此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩,当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时,排气阀4被打开,将气体排到大气中,完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时,又重复前一循环,如此反复下去,被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力。

为提高抽气效率,一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀,然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。

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