超声清洗

超声波清洗方式超过一般的常规清洗方法，特别是 工件的表面比较复杂象一些表面凹凸不平、有盲孔 的机械零部件，一些特别小而对清洁度有较高要求
的产品如：钟表和精密机械的零件，电子元器件，
电路板组件等，使用超声波清洗都能达到很理想的
效果。
干燥工艺与设备 1. 烘干法 2. 甩干法 3. 有机溶剂脱水法 4. 风刀吹干法
（4）
ITO玻璃的评价参数
透过率：
在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃
的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO
厚度和折射率。
透过率定义：
透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分比。
Tt=T2/T1X100%。
方块电阻:
d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的
h L
玻璃微观表 面
ITO玻璃基板平整度参数包括：
1、玻璃表面粗糙度；
2、基板表面波纹度；
3、基板翘曲度；
4、基板垂直度；
5、ITO膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。
化学稳定性:
ITO镀膜层的耐化学性能应符合表以下技术要求。
a) 耐碱性 镀层在温度为60±2℃, 浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中 浸泡5分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过 110%。 b) 耐酸性 在25±2℃, 6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟, ITO膜的方电
生越有利，但是温度过高时，气泡中蒸汽压增大， 因此气泡闭合时增强了缓冲作用而使空化减弱。
一般来说,超声波在50℃-85℃时,效果最好。
三、超声波清洗机的构成
超波清洗机主要
由超声波清洗槽和
超声波发生器两部分构成。
超声波清洗槽用坚固弹性好、耐腐蚀的优质不
锈钢制成，底部安装有超声波换能器振子；超声
波发生器产生高频高压，通过电缆联结线传导给
上节课内容： 1. 液体清洗：有机溶剂
洗洁精
2. 高纯水的制备：粗过滤——活性炭过滤——电 渗析—— 离子交换—— 紫外光——微孔过滤
项目二：LCD制造前工序工艺 任务一：清洗与干燥（二） 超声清洗 一、概述 1.超声波
2.超声清洗的应用
二、工作原理 1. 超声清洗利用的原理 (1)空化作用；
(2)声波的振动；
ITO(Indium Tin Oxide)玻璃
1. ITO玻璃基本结构
ITO
si o
2
基板
（1）基板:
常用基板厚度：
1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm
钠钙玻璃和硼硅玻璃是LCD行业中较常用的基
板，其中钠钙型玻璃应用更广泛.
（2）Si02层： Si02层的作用:
主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透
到ITO层中,影响ITO层的导电能力。
SiO2层的膜厚:
标准膜厚一般为：200—500A
（3）ITO(Indium Tin Oxid)层: 氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3 ， T表示SnO2,一般Sn的含量约为10%为最佳。
2.ITO玻璃的制造
ITO玻璃简要生产工艺流程如下：
磨边——切角——抛光——清洗——Si02 溅射——ITO溅射——检验——包装
（1）切割磨边的工艺流程：
磨边类型及规格要求：
（2）抛光工艺流程：
用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。
对于STN型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程。
（3）镀膜工艺流程：
镀膜方法： 喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真 空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是 磁控测射法。 磁控测射法： 在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合 气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰 击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉 积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。
巨大的瞬时压力，一般可高达几十兆帕至上百兆帕。
(2).影响超声波空化作用的因素
超声波空化作用的强弱与声学参数以及液体的物理化 学性质有关
1) 超声波强度
超声波强度指单位面积上的超声功率，
空化作用的产生与超声波强度有关。对于一般液体超声波 强度增加时，空化强度增大，但达到一定值后，空化趋于 饱和，此时再增加超声波强度则会产生大量无用气泡，从 而增加了散射衰减，降低了空化强度。
附着力: 用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象
常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响
主要注意事项： 1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温 度28度以下，湿度不大于70%RH为宜；
2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，
如不能尽快用完，应重新密封； 3、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两 边，严禁裸手接触玻璃表面； 4、严禁一支手拿两片以上的玻璃
5、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水
平叠放； 6、严禁玻璃间的直接接触
阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
c) 耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯) 中浸泡5分 钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
热稳定性: 在空气中经30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在
200±5℃）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%
上节课： 1.超生清洗： 空化作用 超声波的振动 2.超声清洗的特点：效率高；效果好；对工件表 面 无损害；可清洗复杂结构的工件。 3.干燥工艺：甩干法；烘干法；有机溶剂脱水法； 风刀吹干法
任务二：光刻工艺（一） 光刻工艺流程简介
光刻工艺也被称为大家熟知的Photomasking, masking, photolithography, 或microlithography。
涂光刻胶——前烘——曝光——显影——坚膜
——刻蚀——剥离去膜——水洗
透明导电玻璃 液晶显示器基本材料 导电膜经过刻蚀形成特定形状的的电极，上下 两片导电玻璃制成液晶盒，在电极上加适当信号， 是液晶特性改变，就可显示出与电极形状相对应 的图形。 透明导电玻璃根据导电膜的不同有很多种， LCD制造目前应用比较广泛的是ITO玻璃。
长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ 为导电
膜的体电阻率。
ρ 和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正
方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值
ρ / d，这就是方块电阻的定义，即R□= ρ / d
L2 I
d L1
R=ρ×L1/(d×L2)来自百度文库
平整度: 平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内， 表面最高点与最低点的差值为h。
换能器，换能器与振动板一起产生高频共振，从 而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗 净。
四、超声波清洗的特点
1、清洗效果好，清洁度高且全部工件清洁度一致
2、清洗速度快，提高生产效率，不须人手接触清 洗液，安全可靠 。 3、对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净 4、对工件表面无损伤，节省溶剂、热能、工作场 地和人工等。
2. 空化作用 (1)原理
超声波空化作用是指存在于液体中的微气核空化泡在声波
的作用下振动，当声压达到一定值时发生的生长和崩溃的动力
学过程。 空化作用一般包括3个阶段：空化泡的形成、长大和崩溃。 当盛满液体的容器通入超声波后，由于液体振动而产生数 以万计的微小气泡，即空化泡。这些气泡在超声波纵向传播形 成的负压区生长，而在正压区迅速闭合，从而在交替正负压强 下受到压缩和拉伸。在气泡被压缩直至崩溃的一瞬间，会产生
2) 超声波频率
超声波频率越低，在液体中产生的空化
越容易，产生的力度大，作用也越强，适用于工件（粗、
脏）初洗。频率高则超声波方向性强，适用于精细的物件 清洗。 。一般采用的频率范围20~90 kHz。
3) 液体的表面张力与黏滞系数
液体的表面张力
越大，空化强度越高，越不易于产生空化。黏滞 系数大的液体难以产生空化泡，而且传播过程中 损失也大，因此同样不易产生空化。 4) 液体的温度 液体温度越高，对空化的产