光刻设备项目计划书

光刻设备项目

计划书

规划设计/投资分析/实施方案

承诺书

申请人郑重承诺如下：

“光刻设备项目”已按国家法律和政策的要求办理相关手续，报告内容及附件资料准确、真实、有效，不存在虚假申请、分拆、重复申请获得其他财政资金支持的情况。如有弄虚作假、隐瞒真实情况的行为，将愿意承担相关法律法规的处罚以及由

此导致的所有后果。

公司法人代表签字：

xxx（集团）有限公司（盖章）

xxx年xx月xx日

项目概要

光刻设备是一种投影曝光系统，由紫外光源、光学镜片、对准系统等

部件组装而成。在半导体制作过程中，光刻设备会投射光束，穿过印着图

案的光掩膜版及光学镜片，将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上。通

过蚀刻曝光或未受曝光的部份来形成沟槽，然后再进行沉积、蚀刻、掺杂，架构出不同材质的线路。此工艺过程被一再重复，将数十亿计的MOSFET或

其他晶体管建构在硅晶圆上，形成一般所称的集成电路。光刻机被誉为人

类20世纪的发明奇迹之一，是集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门

槛和资金门槛非常高。目前光刻机行业格局为三分天下，主要由是荷兰ASML、日本Nikon及日本canon主宰。

2014-2019年ASML企业光刻机销量不断上升，2018年ASML企业光刻机销量为224台，2019年销量较2018

年增加5台，2019年ASML企业光刻机销量为229台。

该光刻设备项目计划总投资16699.98万元，其中：固定资产投资13583.64万元，占项目总投资的81.34%；流动资金3116.34万元，占

项目总投资的18.66%。

达产年营业收入26800.00万元，总成本费用20415.58万元，税

金及附加321.75万元，利润总额6384.42万元，利税总额7586.78万元，税后净利润4788.32万元，达产年纳税总额2798.47万元；达产

年投资利润率38.23%，投资利税率45.43%，投资回报率28.67%，全部投资回收期4.99年，提供就业职位363个。

报告根据项目的经营特点，对项目进行定量的财务分析，测算项目投产期、达产年营业收入和综合总成本费用，计算项目财务效益指标，结合融资方案进行偿债能力分析，并开展项目不确定性分析等。

报告主要内容：项目承担单位基本情况、项目技术工艺特点及优势、项目建设主要内容和规模、项目建设地点、工程方案、产品工艺路线与技术特点、设备选型、总平面布置与运输、环境保护、职业安全卫生、消防与节能、项目实施进度、项目投资与资金来源、财务评价等。

第一章项目承办单位基本情况

一、公司概况

公司坚持以科技创新为动力，建立了基础设施较为先进的技术中心，建成了较为完善的科技创新体系。通过自主研发、技术合作和引

进消化吸收等多种途径，不断推动产品技术升级。公司主导产品质量

和生产工艺居国内领先水平，具有显著的竞争优势。

公司是按照现代企业制度建立的有限责任公司，公司最高机构为

股东大会，日常经营管理为总经理负责制，企业设有技术、质量、采购、销售、客户服务、生产、综合管理、后勤及财务等部门，公司致

力于为市场提供品质优良的项目产品，凭借强大的技术支持和全新服

务理念，不断为顾客提供系统的解决方案、优质的产品和贴心的服务。公司是按照现代企业制度建立的有限责任公司，公司最高机构为股东

大会，日常经营管理为总经理负责制，企业设有技术、质量、采购、

销售、客户服务、生产、综合管理、后勤及财务等部门，公司致力于

为市场提供品质优良的项目产品，凭借强大的技术支持和全新服务理念，不断为顾客提供系统的解决方案、优质的产品和贴心的服务。

公司以生产运行部、规划发展部等专业技术人员为主体，依托各

单位生产技术人员，组建了技术研发团队。研发团队现有核心技术骨

干十余人，均有丰富的科研工作经验及实践经验。贯彻落实创新驱动

发展战略，坚持问题导向，面向未来发展，服务公司战略，制定科技

创新规划及年度实施计划，进行核心工艺和关键技术攻关，建立了包

括项目立项审批、实施监督、效果评价、成果奖励等方面的技术创新

管理机制。公司将加强人才的引进和培养，尤其是研发及业务方面的

高级人才，健全研发、管理和销售等各级人员的薪酬考核体系，完善

激励制度，提高公司员工创造力，为公司的持续快速发展提供强大保障。

二、所属行业基本情况

光刻设备是一种投影曝光系统，由紫外光源、光学镜片、对准系统等

部件组装而成。在半导体制作过程中，光刻设备会投射光束，穿过印着图

案的光掩膜版及光学镜片，将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上。通

过蚀刻曝光或未受曝光的部份来形成沟槽，然后再进行沉积、蚀刻、掺杂，架构出不同材质的线路。此工艺过程被一再重复，将数十亿计的MOSFET或

其他晶体管建构在硅晶圆上，形成一般所称的集成电路。光刻机被誉为人

类20世纪的发明奇迹之一，是集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门

槛和资金门槛非常高。目前光刻机行业格局为三分天下，主要由是荷兰

ASML、日本Nikon及日本canon主宰。

2014-2019年ASML企业光刻机销量不断上升，2018年ASML企业光刻机销量为224台，2019年销量较2018年增加5台，2019年ASML企业光刻机销量为229台。

三、公司经济效益分析

上一年度，xxx实业发展公司实现营业收入23761.91万元，同比增长13.41%（2809.50万元）。其中，主营业业务光刻设备生产及销售收入为21049.50万元，占营业总收入的88.59%。

上年度主要经济指标

根据初步统计测算，公司实现利润总额5448.86万元，较去年同期相比增长741.97万元，增长率15.76%；实现净利润4086.64万元，