能谱仪_技术参数

牛津仪器Inca X-act能谱仪详细配置及功能

1.专利的分析型SDD硅漂移探测器

•SuperATW窗口，10mm2有效面积；

•在MnKα处的分辨率: 优于127eV

•稳定性: 1,000cps—100,000cps 谱峰漂移<1eV，分辨率变化<1eV

• 48小时内谱峰漂移<1eV (Mn Ka)

•峰背比20,000: 1 (Fe 55, Mn Ka)

•分析元素范围：Be4-Pu94

2.INCA 系统

--系统计算机

•HP DC8000

--系统桌

显微分析处理器(分立式设计)

--Inca X-strea mⅡ显微分析处理器

•探测器高压偏压电源。

•6个程序可选时间常数和4个能量范围(10, 20, 40, 80KeV)的数字信号处理器

•计算机控制的数字脉冲处理器，输出最大计数率350,000CPS, 可处理最大计数率850,000CPS,

•活时间校正。三个鉴别器覆盖全范围的反脉冲堆积，直至下限铍。

•数字零点稳定器。

•探测器控制系统。

--Inca Mics显微分析处理器

•带有存储器和辅助电路的高速微控制器，用以收集和处理X射线信号。

•IEEE1394 数据接口，用以高速传输数据到系统计算机。

•二个RS232串口或一个RS232串口和一个LASERBUS口。

•线性电源

•符合美国和欧洲电磁规定，并执行CE标记。

•SUPERSCAN – 先进的超级数字扫描系统。

•包括Kalman噪声限制程序，在快速扫描和限制图像噪声之间兼顾和控制。

•同步图像收集和数据传输到PC(零等待)。

•电镜图像接口电缆。

INCA软件导航器

•真正的32位软件

•独一无二的导航器界面, 非常友好，全中文操作界面, 引导用户从启动分析项目到打印实验报告的全部显微分析过程。

•用户可容易地在导航器之间切换，直接面对工作流程和IMS，以便直接看到自动分析过程的进展。

Advisor专家顾问

•Advisor是一个专家多媒体显微分析教育系统，并全集成到应用软件的各个层面。其具有如下特点：

- 在线式中文帮助系统，在显微分析的每个步骤上给您建议和指导

-多媒体显微分析百科全书，提供显微分析原理，和实验的综合说明指导。

-附送显微分析多媒体光盘, 寓教于乐

信息管理系统(IMS)

•独特的数据树结构设计。

•每个项目都将数据有逻辑的组织成与感兴趣区对应的‘样品’。

•数据包可有保护的从一个感兴趣区拷贝或移动到另一个感兴趣区。

•样品可在下面之间拷贝或移动。

•数据可在用户定义的时间间隔保存。

•应用软件之间可共享数据。

•灵活的数据保护或共享。

实验报告

•打印预览。

•文字框, 可输入注解。

•单键生成Word, 或HTML等格式的报告输出。

•生成文字文件。

•在电子图像和X射线分布图上注解。

•可拷贝谱，图像，X射线分布图，线扫描等数据到其它软件，如WORD

•以各种文件格式输出谱，图像，X射线分布图，线扫描。

•报告模板生成器可制定您自己的报告格式。

3.Inca X-act包括下列软件和功能：

•Beam & Stage Automation电子束, 样品台自动化控制系统(SEM需提供相关接口) ――可在牛津能谱仪的计算机上实现对扫描电镜电子束的控制

•Point & ID 电子束控制采集模块，含有特征王组件

――控制电子束对选定的点、矩形、任意多边形、复杂形状区域进行分析，可一次性选定多个位置，随后进行自动分析

•Live Spectrum Mapping; 全谱智能面扫描

――全部数据一次面扫描全部收集, 可以随时任意添加删除元素, 进行谱图重构. 并且Mapping数据可以被其它导航器(Analyzer 和 Point&ID)调用, 以便脱机处理及任意位置的定量分析。并且可以脱机在任意方向重构任意元素的线扫描分布情况。

•Element Examiner 元素侦察功能

――可对特定元素, 如重叠严重及含量较低的元素进行鉴别, 并判断其分布

•Live Spectrum LineScan全谱智能线扫描

――全部数据一次线扫描全部收集, 可以随时任意添加删除元素, 进行谱图重构，并可以脱机处理

•Profile Optimization 峰形优化

――对元素峰形进行优化, 可以对复杂重叠谱峰以及轻元素谱峰准确去卷积•Background Removal 本底扣除

――可以采集本底信号的面分布图及进行线扫描, 所以在面扫描和线扫描时也可以进行手动本底扣除运算

•Spectrum Reconstruction 谱图重构

――可以手动对谱图进行重构, 直观地检查复杂峰形是否标定正确

• 3 Sigma factor 3西格玛因子

――提供3 Sigma因子，以确认微量元素的存在

•Check Total 检查总量功能

――根据谱峰和本底的强度来检查重构的谱和采集到的谱图的一致性

•Spectrum Comparison 多谱比较

――将多个采集到的谱图或储存的谱图进行相互比较

•Spectrum Subtraction 谱的相减

――对两谱图进行相减, 可以去除基体的影响, 更准确的判断微区的成分

•Light Element Quantitative Analysis轻元素定量分析程序，采用XPP模型，比ZAF 精度高数倍――最新显微定量分析修正程序，大大提高分析精度

•Quant Optimization 定量最优化

――将仪器校正到最佳状态, 以保证极高要求的定量分析结果

•Standard Sample Database标样库

――能谱出厂时即预存全套标样库，大大改进无标样定量结果

•Normalized & Unnormalized Quantitative Analysis 归一化及非归一化分析

――可以很方便地得到归一化及非归一化定量分析结果

•Standardized & Unstandardized Analysis 无标样分析及有标样分析

――可以采用完全无标样法, 也可以建立自己的标样库

•Process Option: All Elements, Element By Difference, Element By Stoichiometry 多种定量结果处理方法

――除对所有元素定量外, 还可以选择用差额法及化学式法进行处理, 以适合各种不同类型的样品的定量分析，化学式法同样可以得到非归一化结果。

•Fast Acquire Spectra 快速收谱

――快速采集能谱图

•Auto Element Identification, including sum peak元素自动识别及标定

――能谱图中谱峰的自动识别并标定(包括和峰的鉴别)

•Interactive Volume Display电子束作用区大小实时显示

――只须点击右键便可显示当前状态电子作用区的大小

•Image Process Function 图像处理功能

――可测量数字图像中不同灰度所占的面积比, 测量颗粒大小, 调节对比度, 亮度, 输出为其它格式等