厂务常用缩写

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字体: 小中大 | 打印发表于: 2007-4-20 08:54 作者: cecilcxm 来源: 半导体技术天地

Abbreviation Full Name 中文說明

HVAC

CUP Central Utility Plant 中央動力廠

房

GEX General EXhaust 普通及熱排氣

SEX Scrubber EXhaust 酸排氣

VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑

排

AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣

PCW Plant Cooling Water 工藝冷卻

水

PV Process Vacuum 工藝真空

HV House Vacuum 真空吸塵

CW City Water 自來水

FMCS Faility Monitoring Contro System 廠務監控系

統

MCC Motor Control Center 馬達控制中

心

VFD Variable Frequency Device 變頻

CCTV Close Circuit Televsion 閉路電

視

PA Public Adress system 廣播系統

FA Fire Alarm system 火災報警系統

UPW Ultra Pure Water 超純

水

FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢

水

IWW Industry Waste Water 工業廢

水

OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢

水

DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨廢水

RCL Recycle water 製程回收循環水

RCM Reclaim water 製程回收再利用水

HFW High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水

BGW Backgriding Waste water 晶背研磨廢

SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢

PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液

SW Stripper Waste water 剝離液廢液

TW Thinner Waste water 清洗廢

PIX Pix waste water PIX廢

SLOW Oxide slurry waste water 介電質研磨廢水

SLWP Metal slurry waste water 金屬研磨廢

SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水

PN2 Process N2 製程用氮氣

GN2 General N2 一般用氮氣

CDA Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣

VMB Valve Manifold Box 閥箱

空調系統

AHU Air Handling Unit 空调箱

MAU Make-up Air Unit 外气空调箱

VAV Variable Air Volume box 可变风量风

FFU Fan Filter Unit 风车过滤器

HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器

A/S Air Shower 空气浴尘室

CUP Central Utility Plant 中央動力廠房

電力系統

FMCS Faility Monitoring Control System 廠務監控系統MCC Motor Control Center 馬達控制中心

VFD Variable Frequency Device 變頻器

CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視

SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系

MCC Motor Control Center 馬達控制中心

VFD Variable Frequency Device 變頻器

水處理系統

UPW Ultra Pure Water 超純水

RO Reverse Osmosis 逆滲透膜

TOC Total Organic Carbon 總有機碳

MB Mixed Bed 混床

UF UltraFiltration 超濾

SC Strong Cation 強陽離子

SA Strong Anion 強陰離子

WA Weak Anion 弱陰離子

DO Dissolved Oxygen 溶解氧

MD Membrane Degasify 脫氣膜

GF Gravity Filter 重力式過濾器.

DI Deionize 去離子水

氣體/化學系統

CQC Continuous Quality Control连续品质控制系统

VMB Valve Manifold Box 閥箱

VMP Valve Manifold Panel 閥盘

GMS Gas Monitoring System 气体监测系统

CDS Chemical Dispense System 化學系统

SDS Slurry Dispense System 化學研磨系统

环境安全卫生

ESH Environment Safety Health 环境安全卫生

SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器

HVAC

AHU Air Handling Unit 空调箱

MAU Make-up Air Unit 外气空调箱

VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱