真空镀膜基础知识培训
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目的：为提高在镀膜过程中沉积物的稳定性。 我们偶尔能发现，有的沉积物会产杂色，主要是由于氧化物和氮化
物作用所导致。为此需要一个密闭容器，以提高沉积过程中的真空。
空气 分子
水分脏污
腔体分子
移动腔体内的分子出去，逐步形成正空。
July 2013 I 6
真空基础知识
通常环境 脏污（水）
高真空环境 清洁表面
July 2013 I 33
镀铝笼架
3，电铸铜类型----适用于单个或多个镀铝边界角复杂的，对镀铝边界要求尺寸精度较高 的产品。（尾灯灯壳，前进气格栅，成本较高）
July 2013 I 34
Fra Baidu bibliotek
镀铝笼架
4，机加工类型----使用（金属，塑料等）材料，3D设计出来的工装夹具。（成本 适中）
July 2013 I 35
Butterfly valve蝶阀 Ball tap valve球阀
July 2013 I 18
如何获得真空
July 2013 I 19
真空蒸发镀膜原理
真空蒸发镀膜原理
装卸工件→安装钨丝、铝丝→对工件表面静电除尘→关门启动→机械 泵启动→罗茨泵启动→扩散泵启动→辉光放电→蒸镀→保护膜→ 充气开门
July 2013 I 41
镀膜常见缺陷
常见问题 及缺陷类型 决绝措施
1.镀膜真空镀不够 （三氧化二铝黄色） a.清洁真空室，蒸发装置 b.检测真空系统 c.降低环境湿度 发黄 2.铝量过大 a.提高笼架转速 b.降低蒸发电流 3.放电时电压过大
1.硅油流量大 (硅油没有完全被离化） 发蓝 2.保护膜放电功率大 （轰击发蓝）
3.重镀后容易发蓝
1.增加蒸发源 铝层发乌
2.增加铝丝 发暗
July 2013 I 10
如何获得真空
真空镀膜机的组成
真空腔：真空腔是镀膜机的主体，内部是蒸着系统和存放需要镀膜的 靶材。
抽真空系统：抽真空系统是给真空腔内的空气排出，使真空腔内行成 真空。（真空泵、管路、阀门）
蒸着系统：蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来。 并均匀的镀在基片表面构成薄膜。
按照镀膜方法分,在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀，按 照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机
镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序，它是将毛坯映光经此工序加工 后镀上一层铝膜，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜。另外对于车灯 的装饰件进行装饰镀膜。
July 2013 I 5
真空基础知识
真空镀膜基础知识培训
沈阳法雷奥车灯有限公司
工艺工程师：孙成志
July 2013 I 1
July 2013
目录:
为什么需要真空？ 实现加工的目的 需要实现不同的工艺
真空的基础 什么是真空？ 如何获得真空？
真空蒸发镀膜原理 真空蒸镀 物理气相沉积 离子清洗与离子轰击
机器的设计 单个腔体的 多个腔体的
July 2013 I 2
气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。
July 2013 I 13
如何获得真空
1.机械泵工 作示意图
机械泵实物图
气镇阀
一般镀膜设备系统： 机械泵（叶片泵）： 真空范围：＜ 1.0 –1 mbar 机械泵一般应用于抽低真 空阶段。滑阀泵有单级H型、双级2H型 滑阀式真空泵适用于抽吸空气及其他一般
极高真空: <1.0E-12mbar
July 2013 I 9
真空基础知识
几种常用真空泵的工作压强范围
旋片机械泵
105 −10−2 pa
萝茨泵
103 −10−1 pa
扩散泵 涡轮分子泵
100 −10−5 pa 101 −10−8 pa
溅射离子泵
100 −10−10 pa
低温泵
10−1 −10−11 pa
可以提供一个清洁的表面
July 2013 I 7
真空基础知识
真空量度单位
1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 1mbar=100Pa
水银柱， 1N/M2=1Pa
July 2013 I 8
真空基础知识
工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空，习惯上又把真空分为低真空、 中真空、高真空、超高真空、极高真空。
底漆干燥
③ 干燥
热固化底
热硬化
漆
镀铝
蒸着
④
UV硬化 UV硬化
UV热固化 底漆
120℃ x 7分钟UV照射
700~1000埃 （反射率约90%）
断面图
⑦
面漆 镀铝 底漆 毛坯
基材
5~10um
0。1um
10~25um
BMC 表面粗糙0.1~0.2um
July 2013 I 26
镀膜机机械设计
立式单腔体 卧式单腔体
-真空度越高，材料蒸发的温度越低。 -真空度越高，污染就少，沉积率就高。 -合适的真空度，才有合适的等离子区域。
July 2013 I 4
真空镀膜简介
真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯 的关键技术之一，其基本原理是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发 （溅射），使其涂覆工件表面。
July 2013 I 31
镀铝笼架
1，不锈钢板材类型----适用于边缘整齐平滑（最好在一个平面）的单个或多个镀 铝面。对镀铝边缘尺寸要求不高的产品。（成本较低）
July 2013 I 32
镀铝笼架
2，不锈钢型材类型----适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品。 （过渡盘，饰圈，成本较低。）
July 2013 I 14
如何获得真空
2. 罗茨泵： 真空范围：＜ 1.0 –3 mbar 罗茨泵一般应用于抽低真空阶段。
罗茨泵工作原理图
July 2013 I 15
如何获得真空
3. 油扩散泵
油蒸发—喷射—凝结，重复 循环
由于射流具有工作过程高流 速(约200米/秒)、高密度、 高分子量(300—500)，故能 有效地带走气体分子。
目录:
产品质量要求 产品一般性测试 (划格附着力, NaOH耐腐蚀, )
检漏介绍 检漏原理方法 沈阳工厂检漏标准
镀铝笼架 镀铝常见缺陷 镀膜机常见故障
July 2013 I 3
为什么需要真空 ?
产品的需要
-需要镀铝层 -产品的技术要求
材料的特性
-铝材需要从固态到气态再沉积在产品表面，不氧化
工艺过程的需要
July 2013 I 22
真空蒸发镀膜原理
离子清洗
工艺步骤： 离子清洗：（Glow Discharge） 目的：提高基材表面活性有于金属沉积（增加附着力）。
July 2013 I 23
真空蒸发镀膜原理
保护膜：(Protection)
离子轰击
目的：是将硅晶体沉积在金属镀膜上， 形成一层保护膜，使金属分子不被氧化。
目视真空蒸发的真实情况
辉光放电 保护膜
预熔
蒸发
July 2013 I 25
镀铝工艺和生产线概要 BMC反射镜
① 水洗净处理
底漆涂装
②
② 涂装
喷雾 式
超声波洗净后水洗
用清洗剂超声波 面漆涂装
清洗后水洗
⑤
涂装
喷雾式
1.热硬化:10~25u 2.UV硬化:10~20u
面漆干燥
干燥
⑥
5~10um
130℃x10分钟 完成后反射率86~89%
具）
1.检查离子清洗真空度是否在3Pa
离子清洗电流低 2.适当增大放电功率
3.检查电极放电般是否清洁是否击穿
离子清洗时间短 适当增加清洗时间
离子轰击电流低
保护膜NG
硅油冲入量过小
1.检查离子清洗真空度是否在3Pa 2.适当增大放电功率 3.检查电极放电般是否清洁是否击穿
增加硅油流量
离子轰击时间短 适当增加轰击时间
常用真空表示单位有毫巴（mbar）、托（Torr）、帕斯卡（pa） 1mbar = 100pa
低真空：1.0E3mbar（大气压）----10mbar
中真空：10mbar---1.0E-3mabr
食品干燥,热处理,溅射镀膜
高真空: 1.0E-3mbar---1.0E-8mbar
蒸发镀膜工艺真空范围
超高真空: 1.0E-8mbar---1.0E-12mbar
检漏
氦气检漏仪
July 2013 I 29
检漏
镀膜机不同位置真空度不同
July 2013 I 30
镀铝笼架
1，不锈钢板材类型。 2，不锈钢型材类型 3，电铸铜类型。 4，机加工类型。 5，注塑成型类型。 6，碳纤维成型类型。 7，车灯零部件类型。
共同的特点： 1，要保证生产产品的质量和效率。 2，要保证不过大影响抽真空。 3，要可以多次清洗后再使用。
July 2013 I 21
真空蒸发镀膜原理
真空蒸发镀膜原理
将膜材（铝）置于由金属或玻璃制成的真空室内，利用发热体通电后， 产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材，使其达到蒸发的目的。 当蒸发分子（铝分子）的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后， 蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其他分子或原子 的冲击与阻碍，可直接到被镀的基体表面上，由于基片温度较低， 便凝结其上而成膜（铝膜）
性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有少量的 可凝性气体（如水蒸汽）。当抽吸含氧过高的、 有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空 油起化学反应的气体时，应加附加装置。本型 泵可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、 罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真 空泵，H型滑阀泵比较耐用，使用寿命长。该 泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子 蒸馏、航空模拟试验使用较多。
扩散泵不能单独使用，一般 采用机械泵为前级泵，以满 足出口压强(最大40Pa)，如 果出口压强高于规定值，抽 气作用就会停止。
July 2013 I 16
如何获得真空
1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器
July 2013 I 17
如何获得真空
Gate valve板阀 Angle valve角阀
工作原理：由辉光放电形成的等离子体， 去轰击六甲基硅氧烷（C6H18OSI2）单 体，使烃键断开，失去电子的单体此时 带e- 被带e+的工件所吸附，形成保护 膜。
等离子体由离子、电子和不带电的粒子 组成的电中性的、高度离子化的气体， 它是与固体、液体和正常气体相区别的 一种物质状态
July 2013 I 24
镀铝笼架
5，注塑成型类型---设计新的模具，开模注塑遮具产品。修整装配。（复杂产品， 成本较高）
July 2013 I 36
镀铝笼架
6，碳纤维成型类型----类似玻璃纤维产品的制造工艺。（冲浪板，游艇，娱乐设 施外壳）
July 2013 I 37
镀铝笼架
7，车灯零部件类型----借用现有的车灯零部件，做为镀铝产品的遮挡物的一种方法。 （成本很低）
冷却系统：冷却系统是给一些发热部分起冷却作用。 控制系统：控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作。 检测系统：检测真空腔及各管路真空度 电力系统：电力系统是给镀膜机供应电力。
July 2013 I 11
如何获得真空
立式双开门镀膜机
July 2013 I 12
如何获得真空
真空泵的分类
气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
离子清洗 目的：增加铝膜与产品之间附着力（划格实验） 离子轰击 目的：是将硅晶体沉积在金属镀膜上，形成一层保护膜，使金
属分子不被氧化。（NaOH1%实验）
July 2013 I 20
真空蒸发镀膜原理
镀膜：（Metallization） 这里主要介绍蒸发式金属沉积。本公司目前所用的金属沉积 物为铝（Al）。 蒸发源组成： （1）电极 （2）钨杆 （3）铝丝 蒸发过程： 蒸发过程可分为融熔、蒸发。 融熔： 被蒸发材料（铝）在 电流通过钨杆过程中 温度上升蒸发材料（铝）融熔。 蒸发： 当电流（温度）增加至蒸发材料（铝）升华并保持蒸发材料 （铝）完全蒸发。蒸发材料分子同时形成一云雾区，此时分子基本上按直线运动轨迹运行至 被镀工件上并沉积。
July 2013 I 38
镀铝笼架
1，不同类型有不同的设计要求：
卧式笼架
立式笼架
July 2013 I 39
镀铝笼架
2，不同类型有不同的设计要求：
→ 通过改变产品定位，改善产品质量
July 2013 I 40
镀膜常见缺陷
缺陷
原因
解决措施
附着力NG
对产品进行前处理（酒精擦拭、清理磨 产品表面油污
立式双腔体
July 2013 I 27
镀膜质量
质量检测：薄膜性能 附着力：划格实验（百格）在铝层表面划1mm*1mm 100个小方格，深至基材 粘贴3M810胶带压实，等待5分钟，胶带沿90°向上迅速剥离。 结果无脱落 耐腐蚀性：1%NaOH溶液在常温下15分钟 结果铝层无变化
July 2013 I 28
物作用所导致。为此需要一个密闭容器，以提高沉积过程中的真空。
空气 分子
水分脏污
腔体分子
移动腔体内的分子出去，逐步形成正空。
July 2013 I 6
真空基础知识
通常环境 脏污（水）
高真空环境 清洁表面
July 2013 I 33
镀铝笼架
3，电铸铜类型----适用于单个或多个镀铝边界角复杂的，对镀铝边界要求尺寸精度较高 的产品。（尾灯灯壳，前进气格栅，成本较高）
July 2013 I 34
Fra Baidu bibliotek
镀铝笼架
4，机加工类型----使用（金属，塑料等）材料，3D设计出来的工装夹具。（成本 适中）
July 2013 I 35
Butterfly valve蝶阀 Ball tap valve球阀
July 2013 I 18
如何获得真空
July 2013 I 19
真空蒸发镀膜原理
真空蒸发镀膜原理
装卸工件→安装钨丝、铝丝→对工件表面静电除尘→关门启动→机械 泵启动→罗茨泵启动→扩散泵启动→辉光放电→蒸镀→保护膜→ 充气开门
July 2013 I 41
镀膜常见缺陷
常见问题 及缺陷类型 决绝措施
1.镀膜真空镀不够 （三氧化二铝黄色） a.清洁真空室，蒸发装置 b.检测真空系统 c.降低环境湿度 发黄 2.铝量过大 a.提高笼架转速 b.降低蒸发电流 3.放电时电压过大
1.硅油流量大 (硅油没有完全被离化） 发蓝 2.保护膜放电功率大 （轰击发蓝）
3.重镀后容易发蓝
1.增加蒸发源 铝层发乌
2.增加铝丝 发暗
July 2013 I 10
如何获得真空
真空镀膜机的组成
真空腔：真空腔是镀膜机的主体，内部是蒸着系统和存放需要镀膜的 靶材。
抽真空系统：抽真空系统是给真空腔内的空气排出，使真空腔内行成 真空。（真空泵、管路、阀门）
蒸着系统：蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来。 并均匀的镀在基片表面构成薄膜。
按照镀膜方法分,在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀，按 照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机
镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序，它是将毛坯映光经此工序加工 后镀上一层铝膜，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜。另外对于车灯 的装饰件进行装饰镀膜。
July 2013 I 5
真空基础知识
真空镀膜基础知识培训
沈阳法雷奥车灯有限公司
工艺工程师：孙成志
July 2013 I 1
July 2013
目录:
为什么需要真空？ 实现加工的目的 需要实现不同的工艺
真空的基础 什么是真空？ 如何获得真空？
真空蒸发镀膜原理 真空蒸镀 物理气相沉积 离子清洗与离子轰击
机器的设计 单个腔体的 多个腔体的
July 2013 I 2
气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。
July 2013 I 13
如何获得真空
1.机械泵工 作示意图
机械泵实物图
气镇阀
一般镀膜设备系统： 机械泵（叶片泵）： 真空范围：＜ 1.0 –1 mbar 机械泵一般应用于抽低真 空阶段。滑阀泵有单级H型、双级2H型 滑阀式真空泵适用于抽吸空气及其他一般
极高真空: <1.0E-12mbar
July 2013 I 9
真空基础知识
几种常用真空泵的工作压强范围
旋片机械泵
105 −10−2 pa
萝茨泵
103 −10−1 pa
扩散泵 涡轮分子泵
100 −10−5 pa 101 −10−8 pa
溅射离子泵
100 −10−10 pa
低温泵
10−1 −10−11 pa
可以提供一个清洁的表面
July 2013 I 7
真空基础知识
真空量度单位
1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 1mbar=100Pa
水银柱， 1N/M2=1Pa
July 2013 I 8
真空基础知识
工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空，习惯上又把真空分为低真空、 中真空、高真空、超高真空、极高真空。
底漆干燥
③ 干燥
热固化底
热硬化
漆
镀铝
蒸着
④
UV硬化 UV硬化
UV热固化 底漆
120℃ x 7分钟UV照射
700~1000埃 （反射率约90%）
断面图
⑦
面漆 镀铝 底漆 毛坯
基材
5~10um
0。1um
10~25um
BMC 表面粗糙0.1~0.2um
July 2013 I 26
镀膜机机械设计
立式单腔体 卧式单腔体
-真空度越高，材料蒸发的温度越低。 -真空度越高，污染就少，沉积率就高。 -合适的真空度，才有合适的等离子区域。
July 2013 I 4
真空镀膜简介
真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯 的关键技术之一，其基本原理是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发 （溅射），使其涂覆工件表面。
July 2013 I 31
镀铝笼架
1，不锈钢板材类型----适用于边缘整齐平滑（最好在一个平面）的单个或多个镀 铝面。对镀铝边缘尺寸要求不高的产品。（成本较低）
July 2013 I 32
镀铝笼架
2，不锈钢型材类型----适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品。 （过渡盘，饰圈，成本较低。）
July 2013 I 14
如何获得真空
2. 罗茨泵： 真空范围：＜ 1.0 –3 mbar 罗茨泵一般应用于抽低真空阶段。
罗茨泵工作原理图
July 2013 I 15
如何获得真空
3. 油扩散泵
油蒸发—喷射—凝结，重复 循环
由于射流具有工作过程高流 速(约200米/秒)、高密度、 高分子量(300—500)，故能 有效地带走气体分子。
目录:
产品质量要求 产品一般性测试 (划格附着力, NaOH耐腐蚀, )
检漏介绍 检漏原理方法 沈阳工厂检漏标准
镀铝笼架 镀铝常见缺陷 镀膜机常见故障
July 2013 I 3
为什么需要真空 ?
产品的需要
-需要镀铝层 -产品的技术要求
材料的特性
-铝材需要从固态到气态再沉积在产品表面，不氧化
工艺过程的需要
July 2013 I 22
真空蒸发镀膜原理
离子清洗
工艺步骤： 离子清洗：（Glow Discharge） 目的：提高基材表面活性有于金属沉积（增加附着力）。
July 2013 I 23
真空蒸发镀膜原理
保护膜：(Protection)
离子轰击
目的：是将硅晶体沉积在金属镀膜上， 形成一层保护膜，使金属分子不被氧化。
目视真空蒸发的真实情况
辉光放电 保护膜
预熔
蒸发
July 2013 I 25
镀铝工艺和生产线概要 BMC反射镜
① 水洗净处理
底漆涂装
②
② 涂装
喷雾 式
超声波洗净后水洗
用清洗剂超声波 面漆涂装
清洗后水洗
⑤
涂装
喷雾式
1.热硬化:10~25u 2.UV硬化:10~20u
面漆干燥
干燥
⑥
5~10um
130℃x10分钟 完成后反射率86~89%
具）
1.检查离子清洗真空度是否在3Pa
离子清洗电流低 2.适当增大放电功率
3.检查电极放电般是否清洁是否击穿
离子清洗时间短 适当增加清洗时间
离子轰击电流低
保护膜NG
硅油冲入量过小
1.检查离子清洗真空度是否在3Pa 2.适当增大放电功率 3.检查电极放电般是否清洁是否击穿
增加硅油流量
离子轰击时间短 适当增加轰击时间
常用真空表示单位有毫巴（mbar）、托（Torr）、帕斯卡（pa） 1mbar = 100pa
低真空：1.0E3mbar（大气压）----10mbar
中真空：10mbar---1.0E-3mabr
食品干燥,热处理,溅射镀膜
高真空: 1.0E-3mbar---1.0E-8mbar
蒸发镀膜工艺真空范围
超高真空: 1.0E-8mbar---1.0E-12mbar
检漏
氦气检漏仪
July 2013 I 29
检漏
镀膜机不同位置真空度不同
July 2013 I 30
镀铝笼架
1，不锈钢板材类型。 2，不锈钢型材类型 3，电铸铜类型。 4，机加工类型。 5，注塑成型类型。 6，碳纤维成型类型。 7，车灯零部件类型。
共同的特点： 1，要保证生产产品的质量和效率。 2，要保证不过大影响抽真空。 3，要可以多次清洗后再使用。
July 2013 I 21
真空蒸发镀膜原理
真空蒸发镀膜原理
将膜材（铝）置于由金属或玻璃制成的真空室内，利用发热体通电后， 产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材，使其达到蒸发的目的。 当蒸发分子（铝分子）的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后， 蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其他分子或原子 的冲击与阻碍，可直接到被镀的基体表面上，由于基片温度较低， 便凝结其上而成膜（铝膜）
性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有少量的 可凝性气体（如水蒸汽）。当抽吸含氧过高的、 有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空 油起化学反应的气体时，应加附加装置。本型 泵可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、 罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真 空泵，H型滑阀泵比较耐用，使用寿命长。该 泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子 蒸馏、航空模拟试验使用较多。
扩散泵不能单独使用，一般 采用机械泵为前级泵，以满 足出口压强(最大40Pa)，如 果出口压强高于规定值，抽 气作用就会停止。
July 2013 I 16
如何获得真空
1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器
July 2013 I 17
如何获得真空
Gate valve板阀 Angle valve角阀
工作原理：由辉光放电形成的等离子体， 去轰击六甲基硅氧烷（C6H18OSI2）单 体，使烃键断开，失去电子的单体此时 带e- 被带e+的工件所吸附，形成保护 膜。
等离子体由离子、电子和不带电的粒子 组成的电中性的、高度离子化的气体， 它是与固体、液体和正常气体相区别的 一种物质状态
July 2013 I 24
镀铝笼架
5，注塑成型类型---设计新的模具，开模注塑遮具产品。修整装配。（复杂产品， 成本较高）
July 2013 I 36
镀铝笼架
6，碳纤维成型类型----类似玻璃纤维产品的制造工艺。（冲浪板，游艇，娱乐设 施外壳）
July 2013 I 37
镀铝笼架
7，车灯零部件类型----借用现有的车灯零部件，做为镀铝产品的遮挡物的一种方法。 （成本很低）
冷却系统：冷却系统是给一些发热部分起冷却作用。 控制系统：控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作。 检测系统：检测真空腔及各管路真空度 电力系统：电力系统是给镀膜机供应电力。
July 2013 I 11
如何获得真空
立式双开门镀膜机
July 2013 I 12
如何获得真空
真空泵的分类
气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
离子清洗 目的：增加铝膜与产品之间附着力（划格实验） 离子轰击 目的：是将硅晶体沉积在金属镀膜上，形成一层保护膜，使金
属分子不被氧化。（NaOH1%实验）
July 2013 I 20
真空蒸发镀膜原理
镀膜：（Metallization） 这里主要介绍蒸发式金属沉积。本公司目前所用的金属沉积 物为铝（Al）。 蒸发源组成： （1）电极 （2）钨杆 （3）铝丝 蒸发过程： 蒸发过程可分为融熔、蒸发。 融熔： 被蒸发材料（铝）在 电流通过钨杆过程中 温度上升蒸发材料（铝）融熔。 蒸发： 当电流（温度）增加至蒸发材料（铝）升华并保持蒸发材料 （铝）完全蒸发。蒸发材料分子同时形成一云雾区，此时分子基本上按直线运动轨迹运行至 被镀工件上并沉积。
July 2013 I 38
镀铝笼架
1，不同类型有不同的设计要求：
卧式笼架
立式笼架
July 2013 I 39
镀铝笼架
2，不同类型有不同的设计要求：
→ 通过改变产品定位，改善产品质量
July 2013 I 40
镀膜常见缺陷
缺陷
原因
解决措施
附着力NG
对产品进行前处理（酒精擦拭、清理磨 产品表面油污
立式双腔体
July 2013 I 27
镀膜质量
质量检测：薄膜性能 附着力：划格实验（百格）在铝层表面划1mm*1mm 100个小方格，深至基材 粘贴3M810胶带压实，等待5分钟，胶带沿90°向上迅速剥离。 结果无脱落 耐腐蚀性：1%NaOH溶液在常温下15分钟 结果铝层无变化
July 2013 I 28