硅晶圆
全球前五大半导体硅晶圆厂商盘点

全球前五大半导体硅晶圆厂商盘点就半导体产业而言,芯片是最为人熟知和关注的领域,而对于行业起着支持作用的材料和设备领域却相当低调,但低调不等于不重要,如半导体制造的基础――硅晶圆,在行业中的地位就不容忽视。
根据研究数据,硅片市场基本上由日本和韩国制造商垄断。
五大供应商的全球市场份额已达到92%,其中新越半导体市场占27%,sumco市场占26%,全球晶圆市场占17%,silitronic市场占13%,LG市场占9%。
1、信越(shin-etsu)鑫悦集团于1967年创立“鑫悦半导体”,为生产高品质半导体硅做出了巨大贡献。
鑫悦半导体硅业务一直走在大口径、高直线度的前列。
成功研制出最尖端的300毫米硅片,实现了SOI硅片的商业化。
2、胜高(sumco)世界第二大半导体硅片供应商Sumco最近宣布投资约3.97亿美元增加其ivanly工厂,这是近十年来首次大规模增产。
预计上半年2022个硅晶片的月产能将增加110000件。
3、环球晶圆通用晶圆是中美硅的子公司,于2022通过一家名为东芝陶瓷的公司收购。
covalentmaterials(现为coorstek)的半导体晶圆业务,扩大了业务范围。
后通过收购全球第四大半导体硅晶圆制造与供货商sunedisonsemiconductor一跃成为第三大硅晶圆供货商。
4、粉砂岩全球第四大硅晶圆厂商siltronic总部位于德国慕尼黑,资料显示公司在德国拥有150/200/300mm的产线,在美国有一座200mm的晶圆厂,在新加波则拥有200和300mm的产线。
5、 lgsiltronlgsiltron是lg旗下制造半导体芯片基础材料――半导体硅晶片――的专门企业。
sk 集团于今年1月份收购了lgsiltron51%的股份,并于今年5月份表示将收购公司剩余49%的股份,以此打入半导体材料和零件领域,实现各项业务的垂直整合。
在中国积极发展半导体产业和大力投资12英寸晶圆厂、智能手机和云服务器的推动下,硅片市场需求大幅增长。
晶圆行业概况
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晶圆行业概况如下:
晶圆是指制作硅半导体集成电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。
高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。
硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。
半导体晶圆材料的基本框架为20世纪50年代,锗是最早采用的半导体材料,最先用于分立器件中,但其器件的耐高温和抗辐射性能存在短板,到60年代后期逐渐被硅器件取代。
而硅储量极其丰富,提纯与结晶工艺成熟,并且氧化形成的二氧化硅薄膜绝缘性能好,使得器件的稳定性与可靠性大为提高,因而硅已经成为应用最广的一种半导体材料。
芯片 硅
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芯片硅芯片,是指集成电路芯片,又称为集成电路板或半导体芯片,是现代电子技术的重要组成部分。
它是把多个电子元器件(如晶体管、电容器、电阻器等)集成在一块半导体材料上,通过微影技术进行图形化加工,制成具有特定功能的微小芯片。
硅是芯片制备中最常用的材料之一。
硅芯片主要由硅晶体制成,所以也被称为硅晶圆。
硅是一种具有半导体特性的材料,具有很好的物理特性和可加工性,适合用于制备微型电子元件。
硅在室温下的导电性也具有半导体的特性,它的导电性可以通过掺杂来调节,从而实现不同类型的电子元器件。
芯片作为现代电子技术的基础,广泛应用于计算机、通信、消费电子、工业控制等领域。
它是各种电子设备的核心部件,承担着数据处理、信号转换、数据存储等重要功能。
芯片的制造过程十分复杂,包括器件设计、原材料选取、制造工艺、封装测试等多个环节。
芯片制造的过程主要包括以下几个步骤:1. 器件设计:根据芯片的功能需求,进行电路设计和布局规划。
设计人员需要考虑电路的稳定性、速度、功耗等参数,确保芯片具有良好的性能。
2. 掩膜制作:使用特殊的光刻技术,将电路设计转移到掩膜板上。
掩膜板上的图案会被复制到硅晶圆上,用于制作电子元器件。
3. 硅晶圆制备:通过化学气相沉积等工艺,将硅材料沉积在特制的圆片上。
硅晶圆通常采用高纯度的单晶硅或多晶硅材料。
4. 掺杂与扩散:使用离子注入等技术,在硅晶圆上加入掺杂剂,改变硅材料的导电性。
掺杂可以形成PN结和MOS结构,实现电子元器件的功能。
5. 微影和蚀刻:将光刻掩膜覆盖在硅晶圆上,使用紫外光照射,使得光刻胶在特定区域光敏化。
然后进行蚀刻,去除未光敏化的光刻胶和暴露出来的硅材料。
这一过程可以制作出电极、导线和电容等结构。
6. 金属化:通过蒸镀、溅射等技术,在芯片表面镀上金属层,用于连接和引线。
金属化层可以实现芯片内部电路和芯片外部引脚的连接。
7. 封装测试:将芯片切割成单个的晶片,采用封装技术将其封装在塑料或陶瓷封装体内。
半导体八大工艺名称
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半导体八大工艺名称1. 硅晶圆制备工艺硅晶圆制备是半导体制造过程的第一步,也是最为关键的一步。
它是指将高纯度的硅材料通过一系列的工艺步骤转化为薄而平整的硅晶圆。
硅晶圆制备工艺主要包括以下几个步骤:(1) 单晶生长单晶生长是将高纯度的硅材料通过熔融和凝固的过程,使其在特定的条件下形成单晶结构。
常用的单晶生长方法包括Czochralski法和区熔法。
(2) 切割切割是将生长好的硅单晶材料切割成薄片的过程。
常用的切割方法是采用金刚石刀片进行切割。
(3) 研磨和抛光研磨和抛光是将切割好的硅片进行表面处理,使其变得平整光滑的过程。
研磨通常使用研磨机进行,而抛光则使用化学机械抛光(CMP)工艺。
(4) 清洗清洗是将研磨和抛光后的硅片进行清洁处理,去除表面的污染物和杂质。
清洗过程通常采用酸洗和溶剂清洗的方法。
2. 光刻工艺光刻工艺是半导体制造中的一项关键工艺,用于将设计好的电路图案转移到硅晶圆上。
光刻工艺主要包括以下几个步骤:(1) 涂覆光刻胶涂覆光刻胶是将光刻胶涂覆在硅晶圆表面的过程。
光刻胶是一种敏感于紫外光的物质,可以通过紫外光的照射来改变其化学性质。
(2) 曝光曝光是将硅晶圆上的光刻胶通过光刻机上的光源进行照射,使其在特定区域发生化学反应。
曝光过程需要使用掩模板来控制光刻胶的曝光区域。
(3) 显影显影是将曝光后的光刻胶进行处理,使其在曝光区域发生溶解或固化的过程。
显影过程通常使用显影液进行。
(4) 清洗清洗是将显影后的硅晶圆进行清洁处理,去除残留的光刻胶和显影液。
3. 离子注入工艺离子注入工艺是将特定的离子注入到硅晶圆中,以改变其电学性质的过程。
离子注入工艺主要包括以下几个步骤:(1) 选择离子种类和能量选择合适的离子种类和能量是离子注入工艺的第一步。
不同的离子种类和能量可以改变硅晶圆的导电性质。
(2) 离子注入离子注入是将选择好的离子通过离子注入机进行注入的过程。
离子注入机通过加速器将离子加速到一定的能量,并将其注入到硅晶圆中。
晶圆热形变
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晶圆热形变
晶圆热形变是指在半导体工艺加工过程中,晶圆(通常是硅晶圆)受到温度变化影响而发生的尺寸变化现象。
这种变形主要是由晶圆材料的热膨胀系数引起的,通常在加工过程中需要考虑和控制这种形变,以确保加工的精度和质量。
晶圆热形变的主要原因有以下几点:
热膨胀系数不同:不同材料的热膨胀系数不同,导致在温度变化时,晶圆及其上的各种材料产生不同程度的热膨胀,从而引起形变。
温度梯度引起的应力:在加工过程中,晶圆表面和内部可能存在温度梯度,这会导致晶圆内部产生热应力,从而引起形变。
加工过程中的热源:在一些加工过程中会使用高温的热源,比如激光、等离子体等,这些热源会使晶圆局部升温,产生局部热膨胀,导致晶圆局部形变。
晶圆热形变会对半导体器件的加工精度和性能产生影响,因此在工艺设计和加工过程中需要进行合理的热形变控制。
常用的方法包括:
温度控制:在加工过程中控制加热和冷却速率,以及加热温度和时间,以减小热形变。
材料选择:选择具有较小热膨胀系数的材料,或者采用复合材料结构,以减小热形变。
结构设计:在器件设计和加工过程中考虑热形变因素,采取合适的结构设计和工艺控制措施,以减小热形变对器件性能的影响。
加工技术:采用精密的加工技术和设备,控制加工过程中的温度和应力,以减小热形变。
综上所述,对于半导体器件的加工过程,特别是对于硅晶圆等材料,晶圆热形变是一个需要重视并进行有效控制的重要问题。
硅晶圆上市公司龙头
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硅晶圆上市公司龙头硅晶圆制造是一项巨大且不可或缺的技术,在现代电子行业中占据着重要的地位。
而在硅晶圆制造行业中,有一家公司是无可争议的龙头。
本文将介绍这家硅晶圆上市公司的背景、发展历程以及其在行业中的领导地位。
该硅晶圆上市公司成立于1995年,总部位于中国某大城市。
在过去的二十多年里,该公司通过不断的技术创新和市场拓展,已经成为了该行业的领导者。
该公司以高纯度硅晶圆的生产为主要业务,其产品广泛应用于半导体和光电子行业。
凭借着优质的产品和可靠的供应链,该公司在市场上拥有广泛的客户群体。
在技术方面,该硅晶圆上市公司一直致力于研发和创新。
该公司拥有自己的研发团队,并与多所国内外知名科研机构合作,共同开展前沿技术的研究。
通过持续的技术创新,该公司不仅可以提供高质量的硅晶圆产品,还能够满足不同客户的个性化需求。
此外,该公司还拥有先进的生产设备和严格的质量控制系统,确保产品的稳定性和一致性。
经过多年的努力和发展,该硅晶圆上市公司已经在行业中建立起了良好的声誉和品牌影响力。
该公司已经通过国际质量认证,并被多家知名半导体和光电子企业认可为优质供应商。
在市场竞争激烈的环境中,该公司依靠其雄厚的技术实力和卓越的产品质量,稳定地占据着领先地位。
此外,该硅晶圆上市公司还与合作伙伴密切合作,不仅共同推动行业的发展,还共同参与了重要的研发项目。
通过与不同领域的企业和机构合作,该公司积极引进和吸纳创新资源,进一步提升了自身的技术水平和竞争力。
在未来,该硅晶圆上市公司将继续专注于技术创新和产品质量的提升。
随着人工智能、物联网和5G等前沿技术的快速发展,硅晶圆的需求将进一步增长。
作为该行业的龙头企业,该公司将积极抓住机遇,进一步扩大产能,提高研发投入,不断推动行业的发展。
总结起来,该硅晶圆上市公司作为行业龙头,凭借着优质的产品和卓越的技术实力,稳定地占据着市场领导地位。
未来,该公司将继续保持技术创新和质量提升的步伐,以满足不断增长的市场需求,为行业的发展作出更大贡献。
晶圆尺寸的概念_晶圆尺寸越大越好吗
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晶圆尺寸的概念_晶圆尺寸越大越好吗晶圆的概念晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。
晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%。
晶圆的制造过程晶圆是制造半导体芯片的基本材料,半导体集成电路最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。
硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中,硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
首先是硅提纯,将沙石原料放入一个温度约为2000℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应(碳与氧结合,剩下硅),得到纯度约为98%的纯硅,又称作冶金级硅,这对微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此对冶金级硅进行进一步提纯:将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%,成为电子级硅。
接下来是单晶硅生长,最常用的方法叫直拉法。
如下图所示,高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,并用外面围绕着的石墨加热器不断加热,温度维持在大约1400℃,炉中的空气通常是惰性气体,使多晶硅熔化,同时又不会产生不需要的化学反应。
为了形成单晶硅,还需要控制晶体的方向:坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,把一颗籽晶浸入其中,并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。
熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。
因此所生长的晶体的方向性是由籽晶所决定的,在其被拉出和冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。
用直拉法生长后,单晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,将凹凸的切痕磨掉,再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜,晶圆片制造就完成了。
硅芯管尺寸
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硅芯管尺寸
硅芯管尺寸指的是硅晶圆的直径,硅晶圆是制作各种集成电路和微电子元件的基础材料。
硅晶圆的直径通常是从1英寸到12英寸不等,其中最常见的是6英寸和8英寸。
硅芯管尺寸还包括硅晶圆的厚度,通常是从0.3毫米到1毫米不等。
硅晶圆的厚度对于不同类型的芯片有不同的要求,例如,高功率芯片需要较厚的硅晶圆以承受更高的电压和电流。
此外,硅芯管尺寸还包括晶圆的平整度和表面质量,这些因素对芯片性能和制造工艺有很大的影响。
制造硅芯管需要经过多道工序,包括晶圆生长、切割、抛光、清洗等过程,每个过程都需要控制硅晶圆的尺寸和质量,以确保最终制成的芯片性能和可靠性。
晶圆详细介绍
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晶圆详细介绍文件排版存档编号:[UYTR-OUPT28-KBNTL98-UYNN208]目录晶圆制造过程着名晶圆厂商制造工艺表面清洗初次氧化热CVD热处理除氮化硅离子注入退火处理去除氮化硅层去除SIO2层干法氧化法湿法氧化氧化形成源漏极沉积沉积掺杂硼磷的氧化层深处理专业术语晶圆晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。
晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英寸、15英寸、16英寸、 (20)英寸以上等)。
晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就越多,可降低成本;但对材料技术和生产技术的要求更高,例如均匀度等等的问题。
一般认为硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有更好的技术,在生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。
制造过程“长晶”。
硅晶棒再经过切片、研磨、抛光后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
很简单的说,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就成为了晶圆。
晶圆经多次光掩模处理,其中每一次的步骤包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、渗透、植入、刻蚀或蒸着等等,将其光掩模上的电路复制到层层晶圆上,制成具有多层线路与元件的IC晶圆,再交由后段的测试、切割、封装厂,以制成实体的集成电路成品,从晶圆要加工成为产品需要专业精细的分工。
着名晶圆厂商只制造硅晶圆基片的厂商例如合晶(台湾股票代号:6182)、中美晶(台湾股票代号:5483)、信越化学等。
晶圆制造厂着名晶圆代工厂有台积电、联华电子、格罗方德(Global Fundries)及中芯国际等。
英特尔(Intel)等公司则自行设计并制造自己的IC晶圆直至完成并行销其产品。
三星电子等则兼有晶圆代工及自制业务。
12英寸半导体单晶硅棒产品规格
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12英寸半导体单晶硅棒产品规格
一般情况下,12英寸半导体单晶硅棒(也称为硅晶圆)的产品规格如下:
1. 直径:12英寸,约为300毫米(mm)。
2. 厚度:通常为约1毫米(mm)至1.5毫米(mm)左右。
3. 表面特性:硅晶圆的表面通常是非多晶结构,平整光滑。
4. 晶向:硅晶圆的晶向通常为<100>方向或<111>方向。
5. 晶片数目:12英寸硅晶圆可切割成多个晶片,具体数目根据客户要求进行定制,一般可切割成几十至几百个晶片。
6. 电阻率:常用的硅晶圆电阻率范围为0.001-100欧姆厘米。
7. 晶片探针测试:硅晶圆通常进行晶片探针测试,以确认晶片电性能。
需要注意的是,具体的产品规格会根据客户需求和制造工艺的不同而有所变化。
此外,还有其他尺寸的半导体晶圆产品,如8英寸、6英寸等,常用于不同的应用领域。
晶圆
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晶圆晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。
晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。
晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就越多,可降低成本;但对材料技术和生产技术的要求更高。
一般认为硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有更好的技术,在生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。
1基本简介晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%。
晶圆制造厂再把此多晶硅融解,再于融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。
硅晶棒再经过切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装后,即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
2基本原料硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
会听到几寸的晶圆厂,如果硅晶圆的直径越大,代表著这座晶圆厂有较好的技术。
另外还有scaling技术可以将电晶体与导线的尺寸缩小,这两种方式都可以在一片晶圆上,制作出更多的硅晶粒,提高品质与降低成本。
所以这代表6寸、8寸、12寸晶圆当中,12寸晶圆有较高的产能。
当然,生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。
3制造过程晶圆制造厂再把许多晶硅融解,再于融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。
全球硅晶圆市场发展历程
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全球硅晶圆市场发展历程硅晶圆是集成电路制造中的核心组成部分,也是当今信息技术的基石。
市场的发展历程充满曲折,经历过多次变革与突破。
本文将以生动、全面的方式为大家介绍全球硅晶圆市场的发展历程,希望能给读者带来一些指导意义。
硅晶圆市场的起源可以追溯到上世纪50年代末期,当时美国开始大规模生产半导体器件。
起初,硅晶圆生产主要由几家大型跨国公司垄断,技术水平较低,产品质量也相对较差。
随着技术的进步和市场需求的增加,硅晶圆行业逐渐发展起来。
20世纪70年代,随着计算机和通信技术的飞速发展,硅晶圆市场呈现出爆发式增长。
主要的市场需求来自于电子产品的普及和通信网络的建设。
同时,美国的硅晶圆企业开始追求规模经济效益,加大投入研发,提高生产效率,逐渐形成了一批具有较高竞争力的公司。
80年代末,随着互联网的兴起,硅晶圆市场进入了一个全新的发展阶段。
在全球范围内,硅晶圆市场呈现出快速增长的态势。
亚洲地区的一些新兴市场如台湾、韩国等也迅速崛起,并迅速形成了一批具备国际竞争力的硅晶圆企业。
市场的快速扩张也带动了硅晶圆制造技术的快速进步,产品性能和质量得到大幅提升。
进入21世纪,全球硅晶圆市场进一步扩大,技术竞争也达到了白热化的程度。
欧美等传统硅晶圆生产强国一直保持领先地位,但亚洲地区的一些新兴市场也在加速追赶。
中国在硅晶圆领域积极投入资金和人力资源,逐渐崛起为一个重要的硅晶圆生产国家。
目前,全球硅晶圆市场一方面继续扩大,另一方面也面临一些新的挑战。
随着技术的进一步演进,硅晶圆尺寸的减小和制造工艺的复杂化成为了发展的趋势。
同时,人工智能、物联网等新兴技术的迅速发展也对硅晶圆市场提出了新的需求。
因此,硅晶圆企业需要不断创新,加大研发投入,提高技术水平,以应对市场的变化。
总结起来,全球硅晶圆市场经历了多次发展与变革,从起初的低水平生产到如今的高度竞争环境。
随着技术的进步和市场需求的变化,硅晶圆企业需要始终保持创新、提高技术水平,才能在激烈的竞争中立于不败之地。
晶圆详细介绍
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目录晶圆制造过程著名晶圆厂商制造工艺表面清洗初次氧化热CVD热处理除氮化硅离子注入退火处理去除氮化硅层去除SIO2层干法氧化法湿法氧化氧化形成源漏极沉积沉积掺杂硼磷的氧化层深处理专业术语晶圆v1.0 可编辑可修改晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。
晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。
晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就越多,可降低成本;但对材料技术和生产技术的要求更高,例如均匀度等等的问题。
一般认为硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有更好的技术,在生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。
制造过程二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达%,因在精密电子元件当中,硅晶圆需要有相当的纯度,不然会产生缺陷。
晶圆制造厂再以柴可拉斯基法将此多晶硅熔解,再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。
硅晶棒再经过切片、研磨、抛光后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
很简单的说,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就成为了晶圆。
晶圆经多次光掩模处理,其中每一次的步骤包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、渗透、植入、刻蚀或蒸著等等,将其光掩模上的电路复制到层层晶圆上,制成具有多层线路与元件的IC晶圆,再交由后段的测试、切割、封装厂,以制成实体的集成电路成品,从晶圆要加工成为产品需要专业精细的分工。
著名晶圆厂商只制造硅晶圆基片的厂商例如合晶(台湾股票代号:6182)、中美晶(台湾股票代号:5483)、信越化学等。
半导体材料概述
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半导体材料半导体材料作为半导体产业链上游的重要环节,在芯片的生产制造过程中起到关键性作用。
根据芯片制造过程划分,半导体材料主要分为基体材料、制造材料和封装材料。
其中,基体材料主要用来制造硅晶圆或化合物半导体;制造材料主要是将硅晶圆或化合物半导体加工成芯片所需的各类材料;封装材料则是将制得的芯片封装切割过程中所用到的材料。
基体材料根据芯片材质不同,基体材料主要分为硅晶圆和化合物半导体,其中硅晶圆的使用范围最广,是集成电路制造过程中最为重要的原材料。
1、硅晶圆硅晶圆片全部采用单晶硅片,对硅料的纯度要求较高,一般要求硅片纯度在99.9999999%以上,因此其制造壁垒较高。
一般而言,硅片尺寸越大,硅片切割的边缘损失就越小,每片晶圆能切割的芯片数量就越多,半导体生产效率越高,相应成本越低。
2、化合物半导体主要是指神化钱(GaAs)氮化钱(GaN)>碳化硅(SiC)等第二、三代半导体。
在化合物半导体中,碎化钱(GaAs)具备高功率密度、低能耗、抗高温、高发光效率、抗辐射、击穿电压高等特性,广泛应用于射频、功率器件、微电子、光电子及国防军工等领域。
氮化钱(GaN)能够承载更高的能量密度,且可靠性更高,其在手机、卫星、航天等通信领域,以及光电子、微电子、高温大功率器件和高频微波器件等非通信领域具有广泛应用;碳化硅(SiC)具有高禁带宽度、高饱和电子漂移速度、高热导率等特性,主要作为高功率半导体材料,通常应用于汽车及工业电力电子等领域,在大功率转换领域应用较为广泛。
制造材料1、光刻胶光刻胶是光刻工艺的核心材料,其主要是通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等光源的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻材料。
按照下游应用场景不同,光刻胶可分为半导体光刻胶、1CD光刻胶和PCB光刻胶。
从组成成分来看,光刻胶主要成分包括光刻胶树脂、感光剂、溶剂和添加剂等。
在光刻工艺中,光刻胶被涂抹在衬底上,光照或辐射通过掩膜板照射到衬底后,光刻胶在显影溶液中的溶解度便发生变化,经溶液溶解可溶部分后,光刻胶层形成与掩膜版完全相同的图形,再通过刻蚀在衬底上完成图形转移。
碳化硅晶圆生产工艺
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碳化硅晶圆生产工艺
碳化硅晶圆生产工艺是一种高科技复杂的制造技术,通过物理和
化学反应依次完成以下几个步骤:
1. 材料准备:准备碳化硅、硅和炭素材料,按比例混合。
2. 烧结:将混合材料置于真空或惰性气氛中,在高温下进行烧结,使其变成形状良好、密度均匀的块状体。
3. 切片:将块状体切成薄片,要求平整、光洁。
4. 研磨和抛光:用不同粒度的研磨液和磨碎剂对硅晶圆进行研磨,直到满足加工要求,然后抛光,使其表面光滑。
5. 清洗:采用化学或其他方法去除硅晶圆表面的污垢和杂质,确
保表面清洁。
6. 检验和包装:对硅晶圆进行严格的检验,排除不合格品,符合
标准后进行包装,以便于运输和储存。
以上是碳化硅晶圆生产工艺的主要步骤。
碳化硅晶圆在电力电子、光电子、高温传感、新型照明等领域具有广泛的应用前景。
sin氮化硅晶圆型号
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sin氮化硅晶圆型号让我们了解一下什么是氮化硅晶圆。
氮化硅晶圆是一种半导体材料,具有优良的物理和化学特性,因此被广泛应用于光电子、电力电子、电子器件等领域。
其中,sin氮化硅晶圆是一种特定型号的氮化硅晶圆,具有独特的特性和应用。
sin氮化硅晶圆具有较高的热导率和较低的热膨胀系数,使其在高温环境下具有出色的稳定性和可靠性。
此外,sin氮化硅晶圆还具有优异的绝缘特性和良好的机械强度,使其在电子器件中起到关键作用。
sin氮化硅晶圆的制备过程非常复杂,需要使用先进的制备技术和设备。
首先,通过化学气相沉积(CVD)或分子束外延(MBE)等方法在晶片上沉积氮化硅薄膜。
然后,利用光刻技术和离子注入等工艺,对氮化硅薄膜进行图案定义和掺杂。
最后,通过高温退火和化学机械抛光等步骤,得到最终的sin氮化硅晶圆。
sin氮化硅晶圆的应用非常广泛。
在光电子领域,它可以作为光学波导、光纤耦合器和光电探测器等元件的基底材料。
在电力电子领域,sin氮化硅晶圆可以用于制备高压功率器件,如功率MOSFET和IGBT等。
此外,sin氮化硅晶圆还可以用于制备传感器、微机械系统和生物芯片等领域。
sin氮化硅晶圆的特性和性能也受到研究者的广泛关注。
他们通过测量和分析,研究sin氮化硅晶圆的电学、光学和力学性质,以及其在各种应用中的性能表现。
这些研究有助于进一步理解sin氮化硅晶圆的特性,并为其在新领域的应用提供支持和指导。
总结起来,sin氮化硅晶圆是一种重要的半导体材料,具有优异的物理和化学特性。
它的制备过程复杂,应用广泛,被广泛用于光电子、电力电子和电子器件等领域。
研究者们也对其特性和性能进行了深入的研究,为其应用的进一步发展提供了基础。
相信随着技术的不断发展,sin氮化硅晶圆将在更多领域展示其重要作用。
12英寸sic晶圆 -回复
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12英寸sic晶圆-回复12英寸SiC晶圆是一种重要的半导体材料,它在电子行业中被广泛应用。
本文将一步一步回答有关12英寸SiC晶圆的相关问题,包括什么是SiC 晶圆,为什么12英寸SiC晶圆如此重要以及其制备过程等。
一、SiC晶圆是什么?SiC晶圆,即碳化硅晶圆,是由碳化硅材料制成的圆片状基板。
碳化硅是一种化合物材料,由硅和碳元素组成。
与传统的硅基材料相比,SiC具有较高的熔点、热传导性能和化学稳定性,因此在高温高压环境下具有更好的性能。
二、为什么12英寸SiC晶圆如此重要?1. 提高生产效率:12英寸指的是晶圆的直径,较小尺寸的晶圆只能生产较少的芯片,而12英寸SiC晶圆可以容纳更多的芯片,因此可以提高生产效率。
2. 降低成本:随着芯片尺寸的增加,12英寸SiC晶圆的制造成本相对较低。
同时,由于可容纳更多芯片,单位面积的生产效益更高,成本也随之降低。
3. 改善器件性能:硅碳化晶圆相比传统的硅晶圆在电学、热学和力学性能上具有优势。
在高温和高功率应用中,SiC晶体可以提供更好的稳定性和可靠性,从而改善器件的性能。
三、12英寸SiC晶圆的制备过程1. 材料准备:碳化硅晶圆的制备需要高纯度的碳化硅粉末作为原料。
通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等方法,将碳化硅粉末转化为气态前体。
2. 晶圆制备:制备气态前体后,需要选择适当的基片材料,如硅、蓝宝石等,作为晶圆的基板。
将气态前体经过化学反应或物理沉积方法沉积在基板上,形成碳化硅薄膜。
3. 晶圆生长:将碳化硅薄膜经过高温处理,使其晶化并长大,形成具有特定晶向和良好结晶质量的12英寸SiC晶圆。
4. 切割和研磨:将生长好的SiC晶圆切割成圆片,然后进行研磨,使其表面光滑且符合特定的尺寸和平坦度要求。
5. 清洗和检测:最后,将整个晶圆进行清洗,去除杂质和污染物。
然后,通过光学显微镜和电子显微镜等工具对晶圆进行检测和分析,以确保其质量和性能满足要求。
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制造过程:
晶圆是制造半导体芯片的基本材料,半导体集成电路最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。
硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中,硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
首先是硅提纯,将沙石原料放入一个温度约为2000 ℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应(碳与氧结合,剩下硅),得到纯度约为98%的纯硅,又称作冶金级硅,这对微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此对冶金级硅进行进一步提纯:将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%,成为电子级硅。
接下来是单晶硅生长,最常用的方法叫直拉法。
高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,并用外面围绕着的石墨加热器不断加热,温度维持在大约1400 ℃,炉中的空气通常是惰性气体,使多晶硅熔化,同时又不会产生不需要的化学反应。
为了形成单晶硅,还需要控制晶体的方向:坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,把一颗籽晶浸入其中,并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。
熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。
因此所生长的晶体的方向性是由籽晶所决定的,在其
被拉出和冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。
用直拉法生长后,单晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,将凹凸的切痕磨掉,再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜,晶圆片制造就完成了。
晶圆制造
单晶硅棒的直径是由籽晶拉出的速度和旋转速度决定的,一般来说,上拉速率越慢,生长的单晶硅棒直径越大。
而切出的晶圆片的厚度与直径有关,虽然半导体器件的制备只在晶圆的顶部几微米的范围内完成,但是晶圆的厚度一般要达到1 mm,才能保证足够的机械应力支撑,因此晶圆的厚度会随直径的增长而增长。
晶圆制造厂把这些多晶硅融解,再在融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。
硅晶棒再经过切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
基本原料:
硅是由石英砂所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
制造工艺:
从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序):
晶棒成长-- 晶棒裁切与检测-- 外径研磨-- 切片-- 圆边-- 表层研磨-- 蚀刻-- 去疵-- 抛光-- 清洗-- 检验-- 包装
1、晶棒成长工序:它又可细分为:
1)、融化(Melt Down):将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,使其完全融化。
2)、颈部成长(Neck Growth):待硅融浆的温度稳定之后,将〈1.0.0〉方向的晶种慢慢插入其中,接着将晶种慢慢往上提升,使其直径缩小到一定尺寸(一般约6mm左右),维持此直径并拉长100-200mm,以消除晶种内的晶粒排列取向差异。
3)、晶冠成长(Crown Growth):颈部成长完成后,慢慢降低提升速度和温度,使颈部直径逐渐加大到所需尺寸(如5、6、8、12吋等)。
4)、晶体成长(Body Growth):不断调整提升速度和融炼温度,维持固定的晶棒直径,只到晶棒长度达到预定值。
5)、尾部成长(Tail Growth):当晶棒长度达到预定值后再逐渐加快提升速度并提高融炼温度,使晶棒直径逐渐变小,以避免因热应力造成排差和滑移等现象产生,最终使晶棒与液面完全分离。
到此即得到
一根完整的晶棒。
2、晶棒裁切与检测(Cutting & Inspection):将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺寸进行检测,以决定下步加工的工艺参数。
3、外径研磨(Surface Grinding & Shaping):由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差。
4、切片(Wire Saw Slicing):由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌有钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。
5、圆边(Edge Profiling):由于刚切下来的晶片外边缘很锋利,硅单晶又是脆性材料,为避免边角崩裂影响晶片强度、破坏晶片表面光洁和对后工序带来污染颗粒,必须用专用的电脑控制设备自动修整晶片边缘形状和外径尺寸。
6、研磨(Lapping):研磨的目的在于去掉切割时在晶片表面产生的锯痕和破损,使晶片表面达到所要求的光洁度。
7、蚀刻(Etching):以化学蚀刻的方法,去掉经上几道工序加工后在晶片表面因加工应力而产生的一层损伤层。
8、去疵(Gettering):用喷砂法将晶片上的瑕疵与缺陷感到下半层,以利于后序加工。
9、抛光(Polishing):对晶片的边缘和表面进行抛光处理,一来进
一步去掉附着在晶片上的微粒,二来获得极佳的表面平整度,以利于后面所要讲到的晶圆处理工序加工。
10、清洗(Cleaning):将加工完成的晶片进行最后的彻底清洗、风干。
11、检验(Inspection):进行最终全面的检验以保证产品最终达到规定的尺寸、形状、表面光洁度、平整度等技术指标。
12、包装(Packing):将成品用柔性材料,分隔、包裹、装箱,准备发往以下的芯片制造车间或出厂发往订货客户。