低温等离子体放电的PIC模拟与VORPAL软件_王虹宇
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第 十 五 届全 国 等 离 了 他 科 学 技 市 名 议
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低 温 等离子 体 放 电 的 H
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模拟 与
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P R
AL
软件
王虹 宇 1 ,
同 时保 留足 够 的扩 展 能 力
,
。
本报
告 介 绍 V O R P A L 在 低 温 等 离 子 体 研 究 方 面 的 应 用 现状 和 前 景 并 简 要 介 绍 其 发展
趋势
。
。
,
越
来越多的使用
In C
一
P l (I e
。
C
)模 拟
由于 涉 及 到 碰 撞 电 离 过 程
,
通常 需要在
软 件 中 添 加 蒙 特 卡 洛 碰 撞 代码
由 于 这 类 放 电过 程 普 遍 涉 及 到 较 大 尺 寸 ( 标 长 ) 的 等 离 子 体 和 不 规 则 电 极
、
腔 室 形 状 的 建模 射
、
,
因 此 需 要在 I P C 代 码 中 引 入 各 种 复杂 特 性
、
。
此外
,
二 次 电子 发
。
气 体 中 的 电子 雪 崩
放 电 区 域 插 入 的 电 介 质 等 等 都 需 要 专 门的 建模 技术
,
为 常
了 实现 对 放 电过 程 的 完 整 建模
通 常 需 要 多 方 面研 究 人 员 的 配 合 合作
空 微 放 电过 程
、
引 入 了针 对 上 述 各 种 问 题 的 新特 性
、
对 于真
真空 闪络
低 气压 的 介 质 阻 挡 放 电
、
电 容 祸 合放 电
、
微 波 回旋 共
,
振放 电
、
低 气 压 直 到 接 近 常压 的微 波 击 穿
直 流 高 压 击 穿 等 方 面 都有 相 关 应 用
,
并 实现 了 尽 可 能 多 的 封 装 物 理 模 型 和 模 拟 功 能
i
,
贾 宏新
,
1
上 海锦 科 信息 科技 有 限 公 司
,
上海
2 0 0 13 6 〔 m
.
a来自百度文库
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t:
,
近年来
低 温 等 离 子 体 放 电过 程
Pa i l t c r
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一
,
特 别 是 较 低 气 压 下 的 放 电过 程 的研 究
。
。
因此
,
规 或 者 自行 开 发 的 模拟 程 序 常 常 只 能针 对 问题 的 一 小 部 分进 行 建 模
V O R RA L
是 e c T h
一
X
公司 的专 业 等 离 子 体
, 、
P C 模拟程序 I
。
近 年 来 这 一 模拟 程
。
,
序 逐 步 进 入 低温 等 离 子 体放 电 领 域
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同 时保 留足 够 的扩 展 能 力
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由于 涉 及 到 碰 撞 电 离 过 程
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由 于 这 类 放 电过 程 普 遍 涉 及 到 较 大 尺 寸 ( 标 长 ) 的 等 离 子 体 和 不 规 则 电 极
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因 此 需 要在 I P C 代 码 中 引 入 各 种 复杂 特 性
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通 常 需 要 多 方 面研 究 人 员 的 配 合 合作
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直 流 高 压 击 穿 等 方 面 都有 相 关 应 用
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近 年 来 这 一 模拟 程
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