安全告知卡牌之三氟化氮NF3
三氟化氮用途
三氟化氮用途
三氟化氮，化学式为NF3，是一种无色、有毒的气体，具有强氧化性和低燃点。
它具有多种用途，下面将分别介绍。
1. 半导体制造
三氟化氮是半导体制造过程中的重要化学品。
在制造晶体管、集成电路等器件时，需要将硅片表面清洗干净，以便后续的刻蚀和沉积。
三氟化氮可以有效地清洗硅片表面，去除表面的有机和无机杂质，使硅片表面变得更加平整和洁净。
此外，三氟化氮还可以用于刻蚀硅片表面，制造微小的电路结构。
2. 金属加工
三氟化氮还可以用于金属表面的清洗和涂层制备。
在金属表面清洗过程中，三氟化氮可以有效地去除表面的油污和氧化物，减少后续处理的难度。
在金属涂层制备过程中，三氟化氮可以作为一种氟化剂，将金属表面氟化处理，增加其表面能和附着力，提高涂层的质量和耐久性。
3. 消防用途
三氟化氮还可以用于消防用途。
由于其具有低燃点和高氧化性，可以用作灭火剂，将火灭掉。
同时，三氟化氮不会对被灭火物品造成损害，不会留下任何残留物，因此被广泛应用于电子设备、图书馆、
档案室等重要场所的消防系统中。
4. 温室气体控制
三氟化氮也被认为是一种温室气体，它的温室效应比二氧化碳还要强大。
因此，对于控制全球气候变化来说，控制三氟化氮的排放也是非常重要的。
目前，一些国家已经开始对三氟化氮的排放进行限制和监管。
总的来说，三氟化氮是一种重要的化学品，具有广泛的用途。
在使用过程中，需要注意其毒性和危险性，遵守相关的安全规定和操作规程，确保使用安全。
危险化学品三氟化氮危险特性及有害因素识别表
相对密度（水=1）：1.89（沸点、液体）
相对密度(空气=1)：---
饱和蒸气压(kpa)：---
辛醇/水分配系数的对数值
燃烧热（kJ.mol）：---
临界温度(℃)：---
临界压力(Mpa)：---
溶解性：不溶于水。
最小点火能（mJ）：---
燃爆特性与消防
燃烧性：不燃闪点：---
危险化学品三氟化氮危险
标
de
分子式：NF3
分子量：70.01
CAS号：7783-51-2
化学类别：非金属卤化物
危险性类别：第2.3类有毒气体
危规号：23016
UN编号：2451
理
化
性
质
性状与用途：无色带霉味气体。用作高能燃料。
熔点（℃）：- 208.5
稳定性：稳定聚合危害：不聚合
爆炸极限：---
避免接触条件：---
引燃温度：-- 无资料
禁忌物：还原剂、易燃 或可燃物。
最大爆炸压力：---
燃烧分解产物：氟化氢
危险特性：强氧化剂，受热或与火焰、电火化、有机物等接触会引起燃烧，甚至爆炸。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会引起剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生剧烈的反应，引起燃烧爆炸。
灭火方法：消防人员必须穿戴全身防火防毒服。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。
毒性
急性毒性：
健康危害
侵入途径：吸入
健康危害：尚未见职业中毒报道。
急救
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道畅通。如呼吸困难时给输氧。如呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
防护措施
NF3气体
Safetygram-28安全程序-28 Nitrogen Trifluoride (NF3) Safe Handling Practices三氟化氮(NF3)安全操作实践1. General概述三氟化氮（NF3）是有毒、无色、无嗅、不可燃的氧化性压缩气体。
NF3具有在室温条件下相对容易使用和可以用作氟化剂的优点。
由于这些因素，它在许多应用中获得了广泛的认可。
由于它的优点，如高蚀刻率、高选择性、无碳蚀刻和最小限度的残留污染，电子工业把它用在等离子和热清洁应用中。
由于它相对于氟气更容易使用，NF3在高能化学激光器中用作氟源。
在特殊化学品的生产中N F3还用作媒介。
NF3有多种等级，由于Air Products发展的先进的净化技术，还有纯度超过的99.999 %的NF3。
表1列出了NF3的物理和化学性质。
2. Key Considerations关键的考虑Health Effects对健康的影响皮肤接触NF3是没有危险的。
对于眼睛和黏膜，它是一个相对程度较轻的刺激物。
过量吸入NF3会导致血色素转化成高铁血红蛋白。
高铁血红蛋白的形成减少了身体组织可以得到的氧的数量。
这会导致化学黄萎病、头痛、眩晕、虚弱、昏聩和其它伴随着氧气供应减少的表现。
作为高铁血红蛋白症的次要影响，会发生溶血性贫血、脾扩大和肝、肾、心肌的病变，这些影响是不可逆转的。
在NF3暴露停止后，高铁血红蛋白转化回血红素。
高铁血红蛋白症会在几个小时后自动消失，而溶血性贫血需要几个星期才能解除。
Toxicological Properties毒物学性质Inhalation吸入L C50 = 6,700 ppm (1 hour小时) rat鼠对于测试的所有物种，急性暴露于高浓度NF3的直接影响是大范围高铁血红蛋白形成和并发的组织缺氧。
随后的通常是会导致肝、肾、脾和有时候的心脏病变的溶血性贫血。
在已经吸入了NF3的狗和猴子身上还观察到了呕吐。
老鼠通过吸入暴露在100 ppm NF3中连续19周，每周5天，每天7小时，导致了肝和肾的轻微到中度的病变。
三氟化氮 热解塔
三氟化氮热解塔
三氟化氮（NF3）是一种无色、无味的气体，具有强烈的刺激性和毒性。
热解塔是指在化工过程中用于对三氟化氮等物质进行热分解或处理的设备。
三氟化氮是一种温室气体，它的全球变暖潜势比二氧化碳高约17000倍，对大气臭氧层的破坏能力也很强。
它主要用于电子产品制造过程中的清洗剂和气体放电设备中的灭火剂。
热解塔是通过加热将三氟化氮分解为氮气和氟化氢的过程。
这个过程可以减少三氟化氮的排放，从而减缓其对环境的影响。
热解塔通常由加热装置、反应器、冷却系统和收集系统等组成。
在热解塔中，三氟化氮通过加热被分解成氮气和氟化氢，其中氮气可以被释放或用于其他用途，而氟化氢则需要经过去除和处理，以避免对环境和人体健康造成危害。
热解塔是一项重要的环保措施，可以帮助降低三氟化氮的排放量，减少其对大气环境的负面影响。
同时，合理设计和操作热解塔也能确保工艺的安全性。
三氟化氮化学式
三氟化氮化学式三氟化氮是一种由氮和氟元素组成的化合物，其化学式为NF3。
它具有一些特殊的性质和应用，下面将对其进行详细介绍。
三氟化氮是一种无色气体，在常温常压下呈现出刺激性气味。
它具有较高的沸点和较低的熔点，可以在低温下液化。
三氟化氮是一种相对稳定的化合物，不易分解，但在高温或有机物存在的条件下会发生剧烈反应。
它是一种极具氧化性的物质，可以与许多物质发生反应，包括水、氨和有机物。
三氟化氮具有广泛的应用领域。
首先，它被广泛用作半导体和光电子工业的清洗剂。
由于其高度活性和良好的清洗能力，三氟化氮可以有效地去除半导体材料表面的有机污染物，保证器件的性能和稳定性。
此外，三氟化氮还可以用于清洗光学元件和光学薄膜，保证其光学性能。
三氟化氮还可以用作氟化剂，用于有机合成反应中。
由于其强氧化性，三氟化氮可以将有机物中的氢原子取代为氟原子，从而改变有机物的性质和化学活性。
这种氟化反应在药物合成、材料科学和农药制造等领域具有重要的应用价值。
三氟化氮还被用作电子工业的辅助气体。
在半导体制造过程中，三氟化氮可以用来清洗制造设备和保护气氛。
它可以有效地去除设备表面的有机污染物和氧化物，保证产品的质量和性能。
同时，三氟化氮还可以作为半导体生长过程中的载气，提供适当的气氛条件，促进材料的生长和形成。
然而，尽管三氟化氮具有广泛的应用，但它也存在一些潜在的危险性和环境问题。
三氟化氮是一种温室气体，它的排放会导致大气中温室效应的增强，对地球的气候变化产生负面影响。
此外，三氟化氮在大气中的寿命较长，不易分解，可能会对大气层造成破坏。
因此，在使用和处理三氟化氮时，需要采取适当的安全措施和环保措施，减少对环境的影响。
三氟化氮是一种具有特殊性质和广泛应用的化合物。
它在半导体和光电子工业中的清洗作用、有机合成中的氟化反应以及电子工业中的辅助气体等方面发挥着重要作用。
然而，由于其潜在的危险性和环境问题，我们需要谨慎使用和处理三氟化氮，保证其安全性和环境友好性。
三氟化氮——精选推荐
三氟化氮NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。
目前，黎明院拥有一条年产500吨的NF3生产线，其生产工艺、设备均处于国内领先地位。
主要用途：NF3的三个主要用途，一是用作高能化学激光气的氟源，二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂，三是应用于太阳能光电产业。
NF3其它用途：生产全氟铵盐，用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度，在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。
物化性质：NF3在室温和大气压力下是无色、稳定和有毒的气体。
相对分子质量为71.002，沸点为-12 9.06℃。
NF3在室温下较稳定，但在800~1200℃下发生猛烈分解；NF3是一种有潜力的氧化剂，特别是在约200℃时，其反应性与氧相当；NF3在与其它元素反应时主要用作氟化剂；NF3在常温下不与水、稀酸和稀碱溶液反应，但在100℃下与碱性溶液接触时会缓慢水解生成亚硝酸盐及氟化物，在电火花作用下，NF3可与水猛烈反应；NF3与H2或氢化物可快速反应并放出大量的热，该反应是NF3用于高能化学激光器的基础；NF3可与有机物作用，但通常需升高温度以引发反应，因而常常发生爆炸；在低于70℃时NF3气体对普通金属不腐蚀，因此可用钢、不锈钢、镍、铜和铝等材料制作相关设备。
安全数据：NF3是一种有毒、不可燃的压缩气体；无气味，但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味；暴露极限: OSHA: PEL=10ppm. ACGIH: TWA/TLV=10ppm. NIOSH: 1000ppm.当进入浓度超项目(体积分数）指标过暴露极限的泄方区时需配备自给式呼吸器(SCBA)；氧化剂，会引起或促进金属和非金属物质的燃烧，特别是温度超过200℃时；燃烧产物有毒；的任何系统都不应有油、油脂和其它有机物；使用NF3的气瓶不允许在高于52℃的环境下使用、贮存储于钢瓶中，压力小于1500psig，盛装NF3存和运输。
包装规格：包装：高压无缝碳钢钢瓶包装规格：47L国标或DOT瓶、470L Y瓶等。
三氟化氮化学品安全技术说明书MSDS
氟化氢。稳定性：稳定
聚合危害：
不能出现禁忌物：还原剂、易燃或可燃物。
灭火方法：
切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水、泡沫。
包装与储运
危险性类别：
第2．3类有毒气体危险货物包装标志：4包装类别：Ⅱ
储运注意事项：
储存于阴凉、通风仓间内。远离火种、热源。仓温不宜超过30℃。防止阳光直射。应与还原剂、易燃、可燃物，等分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。平时要注意检查容器是否有泄漏现象。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。废弃：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。包装方法：钢质气瓶。
熔点(℃)：
-208．5沸点：-129相对密度(水=1)：1．89(沸点，液体)
溶解性：
不溶于水。燃烧热(kj/mol)：无意义
燃烧爆炸危险性
燃烧性：
助燃
闪点(℃)：
无意义自燃温度(℃)：无意义
爆炸下限(V%)：
无意义爆炸上限(V%)：无意义
危险特性：
具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。
法规信息：化学危险品安全管理条例（1987年2月17日国务院发布），化学危险品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号）法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志（GB13690－92）将该物质划为第2.3类有毒气体。
大鼠吸入引起高铁血红蛋白血症，肝、肾损害、脾肿大等。遇热分解释放出剧毒的烟雾，能严重刺激眼睛、皮肤和呼吸系统。经常与低浓度气体接触，能使牙齿生黄斑，使骨骼产生畸形。
三氟化氮清洗的原理
三氟化氮清洗的基本原理1. 引言三氟化氮（NF3）是一种无色、无臭、可燃的气体，具有强大的氧化性和高度的化学稳定性。
它被广泛应用于半导体制造业中，主要用于清洗半导体设备中的残留杂质和有机物。
NF3清洗技术在半导体制造过程中具有重要的意义，可以提高产品质量、延长设备寿命、降低能耗和环境污染。
2. NF3清洗的原理NF3清洗的基本原理是通过氧化还原反应和氟化反应将有机物和杂质转化为易挥发的气体，从而实现清洗效果。
下面将详细介绍NF3清洗的原理。
2.1 氧化还原反应NF3具有很强的氧化性，可以与有机物发生氧化反应。
当NF3与有机物接触时，有机物中的氢原子被氧化为水，同时有机物的碳原子被氧化为二氧化碳。
这种氧化反应可以有效地将有机物转化为易挥发的气体，从而实现清洗效果。
例如，当NF3与有机溶剂（如甲醇、乙醇等）接触时，NF3会与有机溶剂发生氧化反应，生成水和二氧化碳：3 NF3 + CH3OH → 3 F2 + CO2 + 3 H2O2.2 氟化反应NF3还可以与一些金属表面发生氟化反应。
在半导体制造过程中，NF3常用于清洗半导体设备中的金属表面，如硅片表面、金属管道表面等。
当NF3与金属表面接触时，NF3会与金属表面发生氟化反应，生成易挥发的金属氟化物。
例如，当NF3与硅片表面接触时，NF3会与硅片表面的氧化层发生氟化反应，生成气态的二氟化硅：3 NF3 + 2 SiO2 → 3 F2 + 2 SiF4 + 3 O2这样，通过氟化反应可以将金属表面上的杂质转化为易挥发的气体，从而实现清洗效果。
2.3 清洗过程NF3清洗的过程通常包括以下几个步骤：2.3.1 预处理在NF3清洗之前，需要对待清洗的设备进行预处理。
预处理的目的是去除设备表面的尘埃、油污等杂质，以便NF3能够更好地与设备表面接触。
2.3.2 NF3清洗NF3清洗的过程中，NF3气体通过喷嘴或喷雾头喷洒到待清洗的设备表面。
NF3与设备表面接触后，会发生氧化还原反应和氟化反应，将有机物和杂质转化为易挥发的气体。
三氟化氮气体产品说明
高纯三氟化氮(NF3)气体产品中船重工第七一八研究所（简称PERIC）从事三氟化氮的研制和生产已有30多年的历史，是国内唯一有能力稳定生产高纯三氟化氮气体的企业。
PERIC生产的高纯三氟化氮气体产品拥有有完全自主知识产权，产品质量达到国际先进水平。
目前，PERIC具备年产450吨高纯三氟化氮气体的生产能力，能够为客户提供纯度为99.995%及99.995%以下各种级别的三氟化氮气体，产品销往日本、法国、美国、新加坡和马来西亚等国家和台湾地区。
PERIC生产的“派瑞”品牌三氟化氮气体产品获得“国家重点新产品”荣誉称号，凭借优质的产品质量和售后服务，建立了良好的信誉和较高的知名度。
在未来的发展中，PERIC 将根据市场需求，全力进行特种电子气体和医药中间体等新产品新技术的研发和产业化，做大做强“派瑞”品牌，为我国的半导体、液晶显示器、薄膜光伏电池和医药行业的发展贡献力量。
气体物化特性包装( Cylinder（47L）、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO等)储存及运输三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。
三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。
运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。
如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。
泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
三氟化氮气体产品质量标准（Q/718J58-2007）/gyxs.asp?id=3。
三氟化氮-危险化学品安全标签
危险化学品安全标签
三氟化氮Nitrogen trifluoride 浓度或浓度范围：三氟化氮：100%
危险！
可能导致或加剧燃烧；氧化剂。
内装高压气体；遇热可能爆炸。
吸入有害。
长期或反复接触可能对器官造成伤害。
【预防措施】
——远离热源/火花/明火/热表面。
禁止吸烟。
——作业后彻底清洗。
——戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
——避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
——只能在室外或通风良好处使用。
【事故响应】
——火灾时：如能保证安全，设法堵塞泄漏。
——如误吸入：将人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适体位。
——如感觉不适，呼叫解毒中心/医生
——如感觉不适，须求医/就诊。
【安全储存】
——存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
——存放处须加锁。
【废弃处置】
——按当地法规处置内装物/容器。
三氟化氮临界量
三氟化氮临界量1. 介绍三氟化氮（NF3）是一种无色、有毒的气体，由三个氟原子和一个氮原子组成。
它是一种强氧化剂和强剧毒物质，具有较高的热稳定性和化学惰性。
NF3广泛应用于半导体制造、液晶显示器制造和太阳能电池制造等高科技领域。
本文将介绍三氟化氮的临界量，即在什么条件下三氟化氮会发生爆炸，并探讨其影响因素和安全措施。
2. 三氟化氮的临界量定义三氟化氮的临界量指的是在特定条件下，三氟化氮与其他物质发生爆炸的最小能量。
这个能量可以通过实验测量得到，也可以通过理论计算估算。
3. 影响三氟化氮临界量的因素3.1 温度温度是影响三氟化氮临界量的重要因素之一。
一般来说，随着温度的升高，三氟化氮的临界量会降低。
这是因为高温会使三氟化氮分子的动能增加，使其更容易发生反应。
3.2 压力压力也对三氟化氮的临界量有一定影响。
在一定温度下，随着压力的增加，三氟化氮的临界量会增加。
这是因为高压会增加分子之间的碰撞频率，降低反应发生的概率。
3.3 氧气含量氧气含量是影响三氟化氮临界量的另一个重要因素。
当氧气含量较高时，三氟化氮更容易与氧气发生反应，从而降低了临界量。
因此，在使用三氟化氮的过程中需要注意控制氧气含量，以降低爆炸的风险。
3.4 其他因素除了温度、压力和氧气含量外，还有其他因素可能会影响三氟化氮的临界量。
例如，存在其他可燃物质时，三氟化氮的临界量会降低；在存在催化剂的情况下，三氟化氮的临界量也可能发生改变。
4. 安全措施为了确保三氟化氮的安全使用，以下是一些常见的安全措施：4.1 密封容器三氟化氮应储存在密封容器中，以防止泄漏和与空气中的氧气发生反应。
容器应符合相关的安全标准，并定期检查和维护。
4.2 排风系统在使用三氟化氮的过程中，应配备有效的排风系统，及时将产生的气体排出室外，以减少室内的浓度。
4.3 防爆措施根据三氟化氮的临界量和实际使用情况，采取相应的防爆措施。
这可能包括使用防爆设备、合理的操作程序和培训等。
三氟化氮安全周知卡、职业危害告知卡、理化特性表
三氟化氮安全周知卡危险性类别有毒助燃品名、英文名及分子式、CC码及CAS号三氟化氮（无）nitrogen trifluorideNF3CAS号：7783-54-2危险性理化数据熔点（℃）：-208.5 闪点：无意义沸点（℃）：-129相对密度（水＝1）：1.89(沸点,液体) 饱和蒸气压（kPa）：无资料危险特性本品为无色、带霉味的气体。
强氧化剂。
受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸。
与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。
与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
接触后表现健康危害：尚未见职业性中毒报道。
现场急救措施皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。
若有灼伤，就医治疗。
眼睛接触：立即翻开上下眼睑，用流动清水冲洗15分钟。
就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
食入：无资料身体防护措施泄漏处理及防火防爆措施迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。
切断火源。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。
尽可能切断泄漏源。
合理通风，加速扩散。
漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
切断气源。
喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
灭火剂：雾状水、泡沫。
浓度MAC（mg/m3）:1 当地应急救援单位名称市消防队：119市人民医院：120当地应急救援单位电话消防队：119人民医院：120危险性标志三氟化氮职业病危害告知卡作业场所存在三氟化氮,对人体有损害,请注意防护三氟化氮nitrogentrifluoride健康危害理化特性尚未见职业性中毒报道。
本品助燃，有毒。
不溶于水。
强氧化剂。
受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸。
与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。
与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
三氟化氮
简介：纯净的NF3气体是一种无色无味的气体，当混入一定量的杂质气体后颜色发黄，同时会有发霉或刺激性气味。
NF3气体不可燃，但能助燃。
当温度超过350℃时，三氟化氮气体会缓慢分解，分解时产生强氧化性氟，因此，在高温下它是一种强氧化剂。
商品详情危险性类别：第2.3类有毒气体，在空气中的最高允许含量为29mg/m3。
产品纯度: 99.99%~99.995%产品包装:40L专用钢瓶;阀门：CGA330、CGA640产品用途：三氟化氮是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25％）可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。
三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。
随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
注意事项：如遇有NF3气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止NF3气体的进一步泄露。
如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。
泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
NF3气瓶应储存于阴凉、通风仓库内，仓库温度不宜超过30℃。
NF3气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
NF3气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。
NF3气瓶的运输按危险品运输。
运输时用气瓶固定架将NF3气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
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三氟化氮的物化性质及危险特性识别
接触限值：
中 国 MAC：1mg(F)／m3；前苏联MAC：未制订标准；
美国TLV—TWA：ACGIH 2．5mg[F]／m3；美国TLV—STEL：未制订标准
侵入途径：
吸入
毒性：
LC50：6700，1小时(大鼠吸入)；2000ppm，4小时(小鼠吸入)
刺激性：对皮肤、粘膜有刺激作用。
健康危害：
其他：
工作现场严禁吸烟。保持良好的卫பைடு நூலகம்习惯。
食入：
防护措施
工程控制：
严加密闭，提供充分的局部排风和全面排风。
呼吸系统防护：
空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，佩带自给式呼吸器。
眼睛防护：
必要时戴安全防护眼镜。
防护服：
穿工作服。
手防护：
必要时戴橡皮手套。
泄漏处置：
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿化学防护服。切断火源。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
大鼠吸入引起高铁血红蛋白血症，肝、肾损害、脾肿大等。遇热分解释放出剧毒的烟雾，能严重刺激眼睛、皮肤和呼吸系统。经常与低浓度气体接触，能使牙齿生黄斑，使骨骼产生畸形。
急救
皮肤接触：
脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医治疗。
眼睛接触：
立即翻开上下眼睑，用流动清水冲洗15分钟。就医。
吸入：
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅，呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
三氟化氮的物化性质及危险特性识别表
三氟化氮物质安全数据表
穿防毒物渗透工作服。
手防护
戴橡胶手套。
燃爆危险
本品助燃，有毒。
其它
工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。
急救措施
皮肤接触
消防措施
危险特性
强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
操作处置与储存
操作注意事项
严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
分子量
70.01
饱和蒸气压
无资料(kPa)
外观与性状
无色、带霉味的气体。
溶解性
不溶于水。
主要用途
用作高能燃料。
危
险
性
概
述
健康危害
尚未见职业性中毒报道。
防
护
措
施
工程控制
严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。
呼吸系统
空气中浓度较高时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
眼睛防护
戴化学安全防护眼镜。
环境危害
三氟化氮物质安全数据表
英文名称
nitrogentrifluoride
主要成分
三氟化氮
中文名称2
含量
%
英文名称2
三氟化氮-职业病危害告知牌
职业病危害告知牌对人体有损害，请注意防护！
三氟化氮nitrogen trifluoride
健康危害理化特性
对呼吸道有刺激性。
可能对肝和肾有影响。
反复
或长期吸入接触，可能引起氟中毒。
无色、带霉味的气体。
不溶于水。
熔点
-208.5℃，沸点-129℃。
职业接触限值：MAC：无资料
PC-TWA：无资料
PC-STEL：无资料
应急处理
吸入：如果吸入，请将患者移到新鲜空气处。
皮肤接触：脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。
如有不适感，就医。
眼睛接触：分开眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。
立即就医。
食入：漱口，禁止催吐。
立即就医。
密闭操作，全面通风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴直接式防毒面具，戴化学安全防护眼镜，穿防腐工作服，戴橡胶手套。
防止蒸气泄漏到工作场所空气中。
避免与酸类接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
急救电话：120 消防电话：119 职业卫生咨询电话：1031。
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品名理化性质吸入眼睛接触一般建议皮肤接触吸入合适的灭火材料特别的危险性消防人员的特殊保护设备有害燃烧产物个人预防措施环境预防措施消除方法附加的建议呼吸保护手保护眼保护
皮肤和身体保护
1.穿自己给式呼吸器将患者移到非污染区。
2.为患者保暖和维持呼吸通道顺畅。
3.立即打电话叫医生。
4.心跳停止立即进行人工呼吸
用水和肥皂洗涤，作预防性措施。
1.如呼吸短促，给输氧，移到空气新鲜处。
2.如呼吸停止或吃力，给予辅助呼吸。
3.如若呼吸停止，由受过训练的人员立即施以心肺复苏术。
所有已知的灭火介质都可用
三氟化氮 NF31.无色、无臭、压缩气体。
2.熔点：-207℃，沸点： -129℃。
1.暴露在NF3中会破坏血红蛋白。
2.急性或多次暴露会减弱血液的携氧能力。
可能会刺激眼睛，无不良反应。
1.不要在有积累危险的地方排放。
2.不要排放到环境中。
3.如果安全可行，要防止进一步的泄漏或溢出。
给现场通风
1.增加泻放区的排风并监测氧含量。
2.如果可能，关闭气源。
3.如果是用户的系统泄漏，请关闭钢瓶阀，安全释放压力并在修理前用惰性气体吹扫。
使用呼吸器的人员，一定要接受培训
1.暴露在高温下可能产生有毒的副产物。
2.暴露在强热或火焰下，气瓶会迅速排放或猛烈爆炸。
3.氧化剂，强助燃剂，可能与可燃物剧烈反应。
4.如有可能，关闭气源。
5.有些物质在空气中不可燃的，但在有氧化剂存在的条件下会燃烧。
6.远离容器并从受保护的位置喷大量的水冷却周围的钢瓶直到火焰自己熄灭。
7.在有湿气时会造成腐蚀。
如有必要，在灭火时要使用自给式呼吸器。
高温分解会产生非常活泼的氟离子，它会与周围的物质反应生成其他的有毒氟化物
1.将人员疏散到安全区域。
2.除非空气被证明是安全的，否则进入区域要使用自给式呼吸器。
3.给现场通风。
三氟化氮安全告知卡
潜在健康危害急救措施消防灭火措施消除事故的措施人身保护设备 1.操作钢瓶时要使用结实的工作手套。
2.选用手套的穿透时间一定要大于估计使用时间。
操作气瓶是建议戴安全眼镜
操作气瓶是建议穿安全鞋
专门针对防护和卫生的指导说明书
安全标识1.确保有足够的通风，尤其在有限的空间里。
2.使用时严禁饮食或吸烟
人身保护设备。