国内外超净高纯氢氟酸产能调研讲义

表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）

国内外高纯氢氟酸产能大于18.49万吨/年。其中国外大于4.2万吨/年。其中中国大陆高纯氢氟酸产能大于12.52万吨/年，包括已建大于2.72万吨/年，在建约5.2万吨/年，拟建约5.1万吨/年。其中中国台湾地区大于1.77万吨/年。

高纯工业品氢氟酸是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀，是上述各行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响。它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技术发展。近年来，全球电子化学品市场需求增长速度很快，近两年保持10%以上的增速，因此高纯工业品氢氟酸的发展前景十分广阔。我国电子化学品产业通过近几年技术改造和结构调整，已经具备一定基础，氢氟酸在国内已有几家大型企业在生产，产品级别主要是UP级、EL级和UP-S级，产品主要出口美国、德国、日本和台湾等地。对几个生产企业的产品质量进行调查，发现产品质量存在很大差别，良莠不齐的产品质量和价格的恶性竞争严重影响了该产品的发展，因此当前急需制定高纯工业品氢氟酸国家标准，根据电子行业用户的实际要求确定适宜的质量要求。新标准的出台对推动企业技术创新，规范产品质量，指导企业生产和促进出口具有十分重要的意义。国内目前未有统一的电子氢氟酸标准。巨化集团公司正在（2011-2012）建议制订《高纯工业品氢氟酸》行业标准，范围和主要技术内容包括：规定了高纯工业品氢氟酸的分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运

输、贮存和安全。适用于高纯工业品氢氟酸。该产品主要用于电子行业的清洗和腐蚀。国内外情况简要说明：1. 国外已生产多年，且技术成熟，品质较高。我国首套生产线在2009年7月建成，目前国内有一定生产规模的企业有5家左右。产品质量基本达到UP级和EL级，最高能达到UP-S级，产品已得到国际市场的认可，目前出口美国、德国、日本和台湾等地。该标准涉及产品的品质很高，因此大部分分析项目以仪器检验为主，目前国内的一些生产企业已采用先进的仪器分析，达到国外的分析技术水平。2. 目前查阅到的国外标准有国际半导体协会标准：SEMI C1.8－1990《氢氟酸标准》，SEMI C7.3－1990《二级氢氟酸标准》，SEMI C7.4－1990《49％二级氢氟酸标准》。本标准与以上标准的采用程度为修改采用。3. 目前国内没有相关标准。4. 未涉及知识产权问题。

在2010年7月举行的Intersolar North America上，SEMI光伏标准委员会通过了八项光伏新标准，其中有PV11-1110——氢氟酸规范/光伏应用。2012年度全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)会议，国家光伏质检中心将参与《光伏电池用电子级氢氟酸》等国家标准的编写。

国际SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表2。

表2 SEMI国际标准等级

国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中，BV 系列标准比较常见，该标准共分为七个等级。如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见下表3。

表3 国内高纯试剂常用规格

目前，因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。

产品等级一般分为4个档次。目前国内能够生产SEMI C1~7级（包括MOS级及BV-Ⅰ~Ⅲ级）高纯氟化氢的企业近10家，而能生产SEMI C8~12级（大致相当于高于BV-Ⅲ级的产品）的极少。