真空度的测量

2. 中真空系统。这种真空系统通常采用机械泵和增压泵组 成的真空泵组作为获得真空组件，系统内压力在 13.3~1.33×10-2Pa。
3. 高真空系统。采用油扩散泵作为抽真空组件，系统内压 力在1.33×10-2~ 1.33×10-4 Pa 。
标准真空系统
玻璃低真空系统
抽真空系统
化工、制药用真空系统
第三章 真空度的测量
3.1 真空系统及其主要参数 3.2 真空度的测量 3.3 真空测量技术 3.4 真空检漏技术和仪器
3.1 真空系统及其主要参数
一、真空系统
是一个体系，由真空室、获得真空的组件、测量真空组件、 控制真空组件及辅助零件所构成。真空系统主要有3种：
1. 低真空系统。这种真空系统通常采用机械真空泵作为获 得真空组件，要求系统内的压力在1.33×103~1.33Pa。
➢ 正确的压力测量必须对真空计进行校准。因为多 数真空计是通过与压力有关的物理量来间接反应 压力，而不能直接通过真空计有关参数计算求得 压力值。这种真空计必须用标准真空计或能产生 已知低压的校准装置进行校准。可以说，真空计 校准是真空测量的基础，是发展真空测量的有力 工具。
➢ 目前一般采用不同类型的真空规测量不同压力 区间的气体压力。
高频电火花真空测定仪
复合真空计
➢ 真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计 校准三个部分。
➢ 真空计种类繁多，工作原理各异，除极少数几种 是直接测量压力外，其它几乎都是间接测量压力 的。
➢ 被测量气体除少数情况外，多为混合气体。传统 压力测量一般指混合气体全压力测量。在近代真 空测量技术中，分压力测量越来越重要。分压力 测量是指全面地测出混合气体各组成成分的分压 力，这样，混合气体的全压力就等于其各组成成 分的分压力之和。
➢ 压力是一个力学量，为单位面积所承受的力。大气压力为 101325Pa，直接测量这样大的压力是容易的，但在真空技 术中，测量这样大的压力是比较少的。真空技术中遇到的 气体压力都很低，如有时要测lO-10pa的压力，这样极小 的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此， 测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象， 然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设 法间接确定出真实压力来。
实验室真空系统
溶剂回收真空பைடு நூலகம்统
压铸真空系统
真空系统
旋片式机械泵
二、真空系统的主要参数
主要参数有工作真空度、极限真空度、抽气时间、抽气速 率、压升率。
1. 工作真空度 2. 极限真空度 3. 抽气时间 4. 抽气速率 5. 压升率
3.2 真空度的测量
➢ 真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力 的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下 来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压 力低与真空度高相对应。
➢ 现代分压力真空计都属于电离类，即先将气体电 离，然后将所得的各成分离子加速，再把离子引 进分析器，将离子分开，分别测出各成分离子流 强度，便可知气体的成分和数量。分析器有磁的、 电的、电磁结合和其它方式等。有时只需知晓被 测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出 分压力值，这种仪器称为残余气体分析仪。
一． 液体真空规
1. U型压力计 2. 压缩式真空规
它将汞提升，把体积为v 、初始压强与被测压强p相同的气体 压缩到末端封闭的毛细管1中，然后测量封闭毛细管1和比较 毛细管2两者的汞液面高度差。两者的压强差对应于汞液面 高度差 ，汞液面高度可由读数显微镜读出
• 麦克劳德真空规是一种真 空压力计，其中大量的低 压气体在一个玻璃装置中 被压缩到小体积。这个体 积被降低到一定程度，压 力充分升高以致能支撑一 段可读的液体高度 ，适用 于测十的三次到十的负三 次帕斯卡范围的压力
二． 弹性变形真空规 1. 薄膜真空规 2. 压阻式真空规
陶瓷压阻式真空计
薄膜真空计
三． 热传导真空规
1. 热偶式真空规
2. 电阻式真空规
皮拉尼电阻规管
四． 电离真空规
1. 圆筒型电离规
z_j系列电离规管
电离规
2. 中真空电离规
中高真空电离规
3. B-A规：是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离 规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝 放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测 量下限，可测超高真空。