激光清洗技术
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激光清洗技术的机理
• 激光清洗机理主要是基于物体表面污染物 吸收激光能量后,或汽化挥发,或瞬间受 热膨胀而克服表面对粒子的吸附力,使其 脱离物体表面,进而达到清洗的目的。 大致概况成1、激光汽化分解2、激光剥 离3、污物粒子热膨胀4、基体表面振动和 粒于振动四个方面
激光清洗技术的特性和分类
一、与传统清洗工艺相比,激光清洗技术具有以下特征: (1)它是一种“干式”清洗,不需要清洁液或其他化学溶液, 且清洁度远远高于化学清洗工艺; (2)清除污物的范围和适用的基材范围十分广 (3)通过调控激光工艺参数,可以在不损伤基材表面的基础 上,有效去除污染物,使表面复旧如新; (4)激光清洗可以方便地实现自动化操作; (5)激光去污设备可以长期使用,运行成本低 (6)激光清洗技术是一种“绿色”清洗工艺,消除的废料是 固体粉末状,体积小,易于存放,基本上不污染环境。
激光器的选择
目前激光器的种类比较多,如CO2激光器、YAG (钇铝石榴石) 激光器和准分子激光器等
一般来说,在高精度的要求高于大体积清除或成本的要求 时,准分子激光器是较为合适的工具;在其他情况下则以 CO2和固体激光器为佳。对于微电子工业来说,一般选用 准分子激光器,如KrF准分子;对于模具的清洗则采用 CO2或YAG激光器比较好;而对于激光敷层的清除,CO2 激光器的效果最好,特别是TEA CO2激光器在这一领域 极具发展前途;由于CO2激光器不能用光纤传送,远程清 洗应用受到很大限制,这为YAG激光器的应用提供了广阔 的空间。
二、 激光清洗的方法一般有四种: (1)激光干洗法,即采用脉冲激光直接辐射去污; (2 )激光+液膜的方法,即首先沉积一层液膜于基体表面, 然后用激光使液膜发生爆炸去污; (3 )激光+惰性气体的方法,即激光辐射的同时,用惰性 气体吹向工件表面,当污物从表 面剥离后,就被气体远 远吹离表面,避免清洁表面再次污染和氧化; (4)用激光使污物 松散后,再用非腐蚀性的化学方法去污。 目前在工业生产中主要采用前面三种清洗方法,其 中激 光干洗法取激光+液膜清洗方法用得最多;第四种方法仅 见于艺术品的清洗保护中。
展望
• 激光清洗技术近两年发展很快,不论是对激光清洗的工艺 参数和清洗机理、清洗对象的研究或是应用方面的研究都 取得了很大的进展。然而激光清洗技术在经过大量理论方 面的研究后,其研究重心正不断偏向于应用方面的研究, 并在应用方面取得了可喜的成果。由于激光器及其配套硬 件的费用较高,使激光清洗技术的应用范围受到极大的限 制,特别在低成本对象的清洗中还难以承受。今后激光清 洗技术在文物和艺术品的保护方面将得到更广泛的应用, 其市场前景非常广阔。随着科学技术的发展,如果激光器 及其硬件的成本不断下降,该项技术在工业中的应用也将 成为现实,其应用范围也会随之拓宽。
激光清洗技术
引言 激光清洗的机理 激光清洗技术的分类和特征 激光清洗技术的方法 激光器的选择及应用 激光清洗技术的展望
在工业生产、古文物和艺术品保护以及牙齿疾病的治疗中,常常需要用 到清洗技术。 工业制品的电镀、磷化、喷涂、焊接、包装以及集成线路 装配过程中,必须除去表面上的油 脂、灰尘、锈垢及残留的溶剂、粘结 剂等污物,以确保下道工序的质量。由于环境污染和保 护不善等原因, 大量文物和珍贵艺术品正逐渐锈蚀和污损,有的已被完全破坏,这就有必 要 采取措施除掉文物表面的污垢及锈蚀,恢复其旧貌。 • 传统的清洗技术: 机械清洗法、化学清洗法和超声波清洗法 缺点: 机械方法无法满足高清洁度清洗要求 化学清洗方法容易导致环境污染 超声波清洗法尽管清洗效果不错,但对亚微米级污粒的清洗无能为力,清 洗槽的尺寸限制了加工零件的范围和复杂程度……
Hale Waihona Puke Baidu
主要应用
激光清洗石材、激光清洗古代文献、激光清洗 武器、模具的清洗、飞机旧漆的清除 、楼 宇外墙的清洗 、电子工业中的清洗 、精密 机械工业中的精确去酯清洗 、核电站反应 堆内管道清洗 。。。 综上所述,激光清洗在很多领域发挥着重要作 用,并且在汽车制造、半导体晶圆片清洗、 精密零件加工制造、军事装备清洗、建筑物 外墙清洗、文物保护、电路板清洗、精密零 件加工制造、液晶显示器清洗、口香糖残迹 去除等领域均可发挥重要作用。