真空泵 的分类有哪些
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理一、引言真空泵是一种用于将封闭容器内的气体抽出以形成真空的设备。
它在许多工业和科学领域中起着重要的作用，例如半导体创造、材料处理、实验室研究等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理及其相关参数。
二、真空泵的分类根据工作原理和结构不同，真空泵可以分为以下几种类型：1. 常压泵：用于将大气压力下的气体抽入真空系统。
2. 扩散泵：通过将气体份子扩散至较高的压力区域来实现抽气。
3. 机械泵：利用旋转或者往复运动的叶片或者活塞来抽气。
4. 陶瓷泵：利用陶瓷材料的特殊性能来实现抽气。
三、机械泵的工作原理机械泵是最常用的真空泵类型之一，其工作原理如下：1. 压缩过程：机械泵通过旋转或者往复运动的叶片或者活塞，将气体压缩并排出。
这些叶片或者活塞与泵腔之间形成密封，使得气体只能通过进出口进出。
2. 排气过程：在压缩过程中，气体被压缩至泵腔的出口，然后被排出泵体。
排出的气体经过排气管道进入排气系统，最终被释放到大气中。
四、机械泵的关键参数1. 抽速：机械泵的抽速是指单位时间内泵抽气的能力。
通常以升/秒或者升/分钟为单位表示。
2. 极限压力：机械泵能够达到的最低压力。
极限压力越低，泵的抽气能力越强。
3. 转速：机械泵的转速影响抽气速度和噪音水平。
较高的转速通常意味着更高的抽气速度，但也会增加噪音水平。
4. 温升：机械泵在工作过程中会产生热量，温升表示泵体温度相对于环境温度的增加程度。
较低的温升有助于保持泵体的稳定性和延长使用寿命。
五、机械泵的应用领域机械泵广泛应用于以下领域：1. 半导体创造：在半导体创造过程中，需要将工艺室内的气体抽出以形成洁净的工作环境。
2. 材料处理：在材料处理过程中，机械泵用于移除工件表面的气体和杂质，以提高处理效果。
3. 实验室研究：在实验室研究中，机械泵常用于真空系统的组装和维护。
六、结论真空泵是一种重要的设备，广泛应用于工业和科学领域。
机械泵作为其中最常见的类型，通过压缩和排气过程实现气体的抽出。
真空泵 的分类有哪些
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：一、气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1）变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
真空泵的分类
真空泵的分类真空泵种类很多，工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵。
按工作原理分为：气体抽送泵和气体捕集泵两种，气体输送泵包括：水环式真空泵（液环式真空泵）；旋片式真空泵；定片式真空泵；干式真空泵；往复式真空泵；罗茨真空泵；滑阀式真空泵；余摆线真空泵；分子真空泵；牵引分子泵；复合式真空泵；水喷射真空泵；气体喷射泵；蒸汽喷射泵；扩散泵等；按工作原理分，基本上分为气体输送泵和气体两种类型。
气体输送泵包括：水环式真空泵（液环式真空泵）；旋片式真空泵；定片式真空泵；干式真空泵；往复式真空泵；罗茨真空泵；滑阀式真空泵；余摆线真空泵；分子真空泵；牵引分子泵；复合式真空泵；水喷射真空泵；气体喷射泵；蒸汽喷射泵；扩散泵等；气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵。
按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。
低、粗真空泵系列包括2BC水环式真空泵、2SK水环式真空泵、SK水环式真空泵、SZ 水环式真空泵、SZB水环式真空泵、往复式真空泵、无油真空泵等。
水环式真空泵主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。
广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。
无油真空泵由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。
由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。
高、超高真空泵系列包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵、罗茨滑阀真空泵、罗茨旋片泵机组、罗茨水环式机组等。
滑阀式真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。
当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。
广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中；旋片式真空泵用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。
真空泵的分类有哪些
真空泵的分类有哪些？
有一部分人去买真空泵都不知道要买哪一种，还以为真空泵都是一样的，其实真空泵根据结构以及原理的不同是分为好几种类型的，下面就给大家来说一下真空泵到底有哪几种： 1、泵腔内的叶轮转子在旋转时会在泵腔内形成水环的我们称之为水环真空泵。
水环真空泵是因为叶轮转子旋转偏心从而使得水环与叶轮的叶片之间存在的容积发生周期性改变，从而进行抽气的机械真空泵。
2、往复真空泵是指利用泵里面的活塞在工作时产生往复运动，从而进行抽气的机械真空泵。
3、油封机械真空泵是用油来保持密封的。
油封机械真空泵还可以细分为定片式，旋片式，滑阀式等多种类型。
4、转子为鞋底形状，并且是两个一起高速旋转的机械真空泵就是罗茨真空泵，罗茨真空泵需要用油封、水环等可以直接抽除气体的真空泵才能工作。
5、涡轮分子真空泵有一个旋转速度很快的叶轮，当气体分子和真空泵高速旋转的涡轮叶片相互碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
6、会在泵运转时喷出高速蒸汽流的机械真空泵就是油扩散真空泵。
气体分子会想蒸汽流中不断的扩散，并且被中青旅带到泵的出口，贪黑通过压缩之后再被前级泵排除。
7、低温真空泵是利用本身的极低温度来让气体凝聚吸附的真空泵。
真空泵分类与用途
真空泵分类与用途一、真空泵的概述真空泵是实现真空技术的必备设备。
无论是在制造、检测、分析还是研究等领域中，都会使用到真空泵。
真空泵的作用是将被抽空的容器内原有气体分子的数量减少到所需的低压范围内，实现真空。
二、真空泵的分类根据不同的抽气方式，真空泵可以分为机械泵、扩散泵、静电泵、根泵、涡旋泵、离心泵、分子泵等。
1. 机械泵机械泵是常见的一种真空泵，主要由转子、腔室、活塞和连杆等组成。
当活塞在腔室内做往复运动时，通过进出口上的活塞环对进出口进行开关，来达到排放气体的目的，从而逐步抽取大气。
2. 扩散泵扩散泵运用离子轰击作用和收集效应的原理抽取气体，它是一种高真空设备。
扩散泵的主要零部件有扩散室、水冷却器、阳极、阴极、电磁铁、恒温器、真空泵以及泵的管路。
3. 静电泵静电泵的作用是利用电场排出气体，它是通过高压低流量的方式，将气体吸收后喷出来来抽取气体的。
常见的静电泵主要有卡提斯静电泵（KATRINA），该泵适用于高纯度气体、低排量腔室和小量工程，对处理含有放射性和损伤性气体的空气有独特的优势。
4. 根泵根泵是一种稀有的抽气设备，因其客观的优良特性也遭受广泛的关注和应用。
该泵的工作原理是通过漏泄和转动两个叶轮实现气体的互动与抽出。
一方面通过旋转的方式使气体密闭的向真空方向流动，另一方面则可以通过漏泄穿过叶轮的空气来完成抽气过程。
5. 涡旋泵涡旋泵是利用叶轮由密闭气体旋转排除气体，其工作原理是将气体直接排出，基本原理为利用离心力将气体分离，利用叶轮将气体沿着轨迹排出。
它可以达到准高真空或高真空水平，常见于利用热腐蚀性气体处理外观表面的压力。
6. 离心泵离心泵利用高速的旋转排气，是目前广泛应用的真空泵之一。
其工作原理是通过叶轮的旋转来将粘附在叶轮表面的气体轻松排出。
在分子气体的压缩过程中，离心泵是一个有利的抽气选择，这是因为离心泵可以灵活对等从不同方向射出的气体进行排放。
7. 分子泵分子泵能够将气体抽至极低的压力范围内，目前已发展到了非常高的境界，可以达到极限真空级别。
真空泵的选择
真空泵的选择近年来，随着科技的不断进步，真空技术在许多领域得到了广泛应用。
在实验室、工业生产以及医疗领域，经常需要使用真空泵来提供所需的真空环境。
然而，不同的应用场景需要不同类型的真空泵，因此正确选择适合的真空泵非常重要。
本文将介绍一些常见的真空泵类型，以及选择真空泵的一些建议。
首先，常见的真空泵类型有以下几种：1. 旋转式真空泵：旋转式真空泵通过旋转叶片或者回转转子来实现抽取气体的过程。
这种真空泵适用于大部分实验室应用和工业生产中的中小型真空系统。
旋转式真空泵的特点是结构简单，价格相对较低，但需要定期更换磨损部件。
2. 回收式真空泵：回收式真空泵是一种相对高级的真空泵类型，它具有更低的抽取压力和更高的抽取效率。
这种真空泵适用于对真空度要求较高的应用场景，如半导体制造、太阳能行业等。
回收式真空泵通常具有更复杂的结构和更高的价格。
3. 吸尘器式真空泵：吸尘器式真空泵通过不断变化的容积来实现气体的抽取。
这种真空泵适用于需要更高的气体抽取速度的应用，如大型工业生产中的真空干燥和冷冻。
在选择真空泵时，需要考虑以下几个因素：1. 抽取速度：抽取速度是指单位时间内真空泵能够移除的气体量。
根据实际需求，选择具有足够抽取速度的真空泵非常重要。
2. 真空度：真空泵的真空度是指能够达到的最低气体压力。
在选择真空泵时，需要根据应用场景的要求确定所需的真空度。
3. 核心材料：真空泵的核心材料对其可靠性和耐久性至关重要。
一些特殊环境要求使用特殊材料，如具有防腐蚀性能的材料。
4. 维护和保养：不同类型的真空泵需要不同的维护和保养工作。
在选择真空泵时，需要考虑到日常维护的难易程度。
综上所述，选择合适的真空泵是确保真空系统正常运行的关键。
根据应用场景的要求，选择适合的真空泵类型，并且考虑抽取速度、真空度、核心材料以及维护和保养等因素。
正确选择真空泵将有助于提高工作效率，并确保实验、生产和医疗过程的顺利进行。
真空泵有哪些类型
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：一、变容真空泵它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。
气体在排出泵腔前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵：利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。
它大致有如下几种分类：1)油封式真空泵它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置。
它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。
当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。
工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。
由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。
转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
这类泵可分为以下几种形式：1、分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
这种泵具体可分为：1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。
这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
真空泵的分类
真空泵是一种用于产生和维持真空环境的装置，它通过抽取气体或其他物质来减小容器或系统中的气压。
根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为多个不同的分类。
以下是一些常见的真空泵分类：
扩散泵：扩散泵利用高速旋转的转子将气体分子扩散、抛射和排除出真空系统，以实现气体抽取。
它们通常用于高真空或超高真空的应用，如半导体制造和研究实验室。
旋片泵：旋片泵使用旋转的叶片（通常为可移动的翼片或叶片）与泵壳之间的密封空间来抽取气体。
通过旋转运动和密封间隙的变化，气体被吸入、压缩和排出。
它们是常见的工业和实验室用途的泵。
离心泵：离心泵使用旋转的叶轮产生离心力来抽取气体。
气体被吸入并通过离心力推向泵壳的周边，最终排出。
离心泵主要用于大气压和中真空的应用。
环状泵：环状泵由两个旋转的环状叶片（或螺杆）组成，它们的齿轮在吸入和压缩过程中形成气体密封。
环状泵通常与其他类型的泵（如旋片泵）结合使用，用于增加真空系统的抽取能力。
涡旋泵：涡旋泵利用高速旋转的叶轮或涡旋子产生分子间的碰撞和冲击，将气体从真空系统中排出。
涡旋泵通常用于超高真空和极高真空的应用，如高能物理实验和表面科学研究。
这只是一些常见的真空泵分类，实际上还有其他类型的真空泵，如离子泵、喷射泵和吸气泵等，它们在不同的应用领域有着特定的用途和优势。
选择适当的真空泵取决于应用需求、工作压力范围和气体抽取速度等因素。
各种真空泵的详细介绍
各种真空泵的详细介绍真空泵是一种用于将物体内的气体抽出，形成真空环境的装置。
根据不同的工作原理和应用场景，真空泵可以分为很多不同类型。
下面将详细介绍几种常见的真空泵。
1.机械泵机械泵是真空系统中常见的一种泵，它通过机械运动将气体抽出。
机械泵的工作原理主要分为离心力泵和吸收泵两种类型。
离心力泵通过高速旋转的叶片产生离心力，将气体抽出。
吸收泵则利用内部连续排列的叶片，使气体在叶片间连续收缩和膨胀，从而抽出气体。
机械泵广泛应用于实验室、工业和医疗设备等领域。
2.分子泵分子泵是一种工作在高真空范围内的泵，主要用于抽出稀薄气体。
分子泵通过分子碰撞的方式，将气体分子引导到泵的出口，达到抽出气体的目的。
分子泵通常具有高抽气速率和低抽气压力的特点，适用于高真空要求的场合，如半导体制造、光学仪器等。
3.鼓风泵鼓风泵也称为根式泵，是一种广泛使用的真空泵。
它通过齿轮传动和内部腔体的吸入和排出，实现气体的抽出。
鼓风泵具有结构简单、体积小、噪音低的特点，适用于实验室、化工、食品等行业。
鼓风泵还可以与其他真空泵配合使用，提高系统的抽气速率和抽气效果。
4.旋片泵旋片泵是一种离心泵的变种，利用旋转的叶轮来抽出气体。
它通过离心力将气体推向泵的出口，并通过连接管道排出系统。
旋片泵通常用于高真空抽气系统，如电子显微镜、质谱仪和光谱仪等。
旋片泵具有体积小、噪音低、维护方便等特点。
5.涡轮分子泵涡轮分子泵是一种利用离心力和分子阻尼的真空泵。
它由一个高速旋转的涡轮和静止的固定轮组成，通过旋转涡轮来抽出气体。
涡轮分子泵主要用于高真空要求的场合，如核磁共振仪、电子束物理仪器等。
涡轮分子泵具有高抽气速率、高真空和低振动噪音的特点。
以上所述的只是一些常见的真空泵类型，实际上还有其他类型的真空泵，如液环泵、吸附泵、离心泵等。
每种真空泵都有自己的工作原理和应用场景，选择合适的泵对于实现高效的真空系统至关重要。
真空泵的分类及工作原理
6、油扩散泵
当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后其速度逐渐增大压力及密度逐渐降低射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B在B处工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用而被抽气体在B处堆积、压缩最后被下级射流携带走以达到逐级压缩最后被前级泵抽走
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各种真空泵
• 缺点就是冷却水回路却不可避免地 造成结构的复杂性。
真空泵
• 获得低真空的独立设备为机械泵。作为 前级泵
• 获得高真空的的泵作为次级泵。
1
机械泵（低真空泵）
• 目前主要为涡旋式真空泵
• 一，立式油润滑涡旋真空泵 • 二，水冷干式涡旋真空泵 • 三，风冷干式涡旋真空泵 • 四，带波纹管密封的干式涡旋真空泵
2
立式油润滑涡旋真空泵
• 该泵的径向间隙具有易于密封和控 制的优点。与当时市场上广泛使用 的旋片真空泵相比，涡旋真空泵具 有更高的容积效率。
• 而具有价格合理，易加工，结构紧凑及高效可靠等特 点的干式涡旋真空泵，将是该类型产品未来发展的趋 势。也是目前国内应大力开发的高效机械真空泵的研 究方向。
7
高真空泵
• 分子（增压）泵 • 扩散泵 • 离子泵
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2024/10/13
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分子泵
• 分子泵特点 • 1，结构简单, 运行可靠, 能承受大气冲
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分子泵
• 平盘动轮如图3 所示, 内侧设有6 个等分的 连通气孔(14)。1# 静轮和2# 静轮的结构相 同, 如图4 所示, 由6 片均布的螺旋状叶片 (15)和固定环(16) 组成。5只1# 静轮与平盘 动轮组成5 组并联的双重牵引分子泵抽气单 元, 构成第一抽气级。2# 静轮与平盘动轮组 成左、右各1 组双重牵引分子泵抽气单元,构 成第二抽气级。两只动密封轮各自由两组串 联的Siegbahn 分子泵静轮构成。
各种真空泵的详细介绍
各种真空泵的详细介绍真空泵是一种将空气或其他气体从封闭容器中抽除的设备。
它广泛应用于科学研究、工业制造、医疗设备以及高科技领域。
根据不同的原理和应用需求，真空泵可以分为多种不同类型，以下是一些常见的真空泵及其详细介绍。
1.常规真空泵常规真空泵是一种基础设备，用于较低真空度的抽气工作。
它主要分为两类：干式真空泵和液环真空泵。
干式真空泵：干式真空泵使用叶片或齿轮机构来压缩和抽除气体。
它们无需使用润滑剂，因此运行更干净。
干式真空泵适用于一般的生产和实验室应用。
液环真空泵：液环真空泵利用液体（通常是水）的旋转运动来形成真空。
它们适用于液体和粉尘含量较高的工况。
液环真空泵具有较高的抽气速度和较低的噪声水平。
2.分子泵分子泵是一种高真空泵，可提供非常低的压力。
它的工作原理是利用高速运动的气体分子和表面的碰撞，将气体抽出。
分子泵通常用于高真空科学研究和半导体制造等领域。
3.扩散泵扩散泵是一种高真空泵，通过扩散气体分子的速度差异来实现气体抽出。
它通常与其他低真空泵（如液环泵或旋片泵）结合使用，以提供更高的真空度。
扩散泵广泛用于半导体制造和真空冶金等工业领域。
4.混合泵混合泵是一种结合了旋片泵和扩散泵的真空泵。
它可以同时提供较高的抽气速度和较低的极限真空度，适用于广泛的应用领域。
5.根式泵根式泵是一种高真空泵，通过叶轮运动产生气体分子的螺旋运动，从而实现气体排放。
根式泵具有高抽气速度和干燥净化的优点，广泛应用于电子器件制造和真空冶金等领域。
6.螺杆泵螺杆泵是一种高真空泵，利用螺旋转子和固定螺纹壳体之间的间隙来抽排气体。
螺杆泵具有较高的抽气速度和较低的噪音水平，适用于高真空和半导体制造等领域。
7.陶瓷泵陶瓷泵是一种特殊的真空泵，使用陶瓷材料制成。
它们具有非常高的耐腐蚀性和超高真空能力，常用于高纯度气体制造和超高真空实验室等应用。
以上是一些常见的真空泵类型及其详细介绍。
每种真空泵都有其独特的工作原理、优点和适用范围。
真空泵类型介绍
真空泵类型介绍类型和分类真空泵是用来获得真空的机器,其种类很多,现分类如下。
1.按实现真空的工作原理分类（1）抽除式真空泵抽吸系统中的气体 , 并将气体分子排至系统之外。
（2）捕集式真空泵捕、集系统中的气体分子 , 直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。
2.按真空泵结构分类（1）机械式这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵并都属于抽除式真空泵。
（2）喷射式有喷射泵与扩散泵两种形式 , 还有将两者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。
（3）吸着式依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,并都属于捕集式真空泵。
机械式真空泵机械式真空泵的种类很多,且属于输送气体的机械,其动力性能、结构强度等均与压缩机有许多类似之处。
（一）往复式真空泵往复真空泵是最古老的结构形式,其结构坚固、运行可靠、对水分不敏感, 极限压力为 (1～2.6) kPa, 抽速范围为 (50～600)L/S,主要用于大型粗真空系统, 如真空干燥、真空过滤、真空浓缩、真空蒸馏、真空结晶以及其他气体抽除等。
往复真空泵不适于抽除含尘或腐蚀性气体, 除非经过特殊处理。
一般气缸都有油润滑,所以有可能污染系统的设备。
往复真空泵由气缸、活塞组成的工作腔部分与由曲轴、连杆、十字头、活塞杆等传动部分构成。
控制气体吸进与排出气缸的阀门有自动阀与强制阀两种。
（二）油封回转式真空泵油封回转式真空泵可直接用作抽气,也可作为其他主泵的前级泵,极限压力为6 ×Pa, 抽速0.5～150L/s 。
油封回转式真空泵主要有旋片式、定片式、滑阀式等三种结构型式,其特点是: 用油使泵体与排气系统隔开, 可防止排出气体向泵内回窜(故称为油封式); 泵内必须设置油分离装置,以分离排气时带走的润滑油;一般情况下仍难以将油蒸汽彻底清除,所以对真空系统和周围环境会造成油污染。
（三）液环式真空泵液环式真空泵在炼油化工生产中经常使用,是利用叶轮旋转时形成液环与叶片间容积周期性变化而抽吸气体。
真空泵分类
真空泵分类依据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：（1）一般水泵，压强可达到 1.333~100kPa（10~760mmHg）为粗真空。
（2）油泵，压强可达0.133~133.3Pa（0.001~1mmHg）为次高真空。
（3）集中泵，压强可达0.133Pa以下，（10-3mmHg）为高真空。
在有机化学试验室里常用的减压泵有水泵和油泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，假如水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333Pa（8~25mmHg）。
水泵所能抽到的最低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。
例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa（8-25mmHg）。
用水泵抽气时，应在水泵前装上平安瓶，以防水压下降，水流倒吸；停止抽气前，应先放气，然后关水泵。
若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa （1mmHg）以下。
油泵的好坏打算于其机械结构和油的质量，使用油泵时必需把它爱护好。
假如蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油汲取结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，假如是酸性气体，那就会腐蚀油泵，假如是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。
因此使用油泵时必需留意下列几点：在蒸馏系统和油泵之间，必需装有汲取装置。
蒸馏前必需用水泵彻底抽去系统中有机溶剂的蒸气。
如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
减压系统必需保持密不漏气，全部的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。
磨口玻璃涂上真空油脂。
依据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：（1）一般水泵，压强可达到 1.333~100kPa（10~760mmHg）为粗真空。
（2）油泵，压强可达0.133~133.3Pa（0.001~1mmHg）为次高真空。
（3）集中泵，压强可达0.133Pa以下，（10-3mmHg）为高真空。
真空泵的类型及原理
真空泵的类型及原理
真空泵的类型根据其工作原理可以分为以下几种：
1. 机械真空泵：机械真空泵利用机械运动来产生真空。
常见的机械真空泵包括游动叶片泵、回转瓦片泵、旋齿泵等。
机械真空泵通过不断变换容积大小，将气体从泵入口吸入泵腔内，然后将气体压缩和排放。
机械真空泵适用于产生中低真空。
2. 涡轮分子泵：涡轮分子泵利用旋转运动将气体抽入，并借助于分子撞击使气体分子的运动方向发生改变，从而达到抽真空的目的。
涡轮分子泵适用于产生高真空。
3. 滑动叶片泵：滑动叶片泵是机械真空泵的一种，其工作原理是通过滑动叶片相对滑动的方式，压缩气体并将其排放。
滑动叶片泵适用于产生中低真空。
4. 根式真空泵：根式真空泵是由一个固定的主转子和一个相互啮合的齿轮转子组成的。
主转子和齿轮转子通过齿轮传动进行运动，并将气体从吸入口吸入泵腔，然后将气体压缩和排放。
根式真空泵适用于产生中低真空。
5. 吸收分子泵：吸收分子泵利用固态吸附材料的超低温吸附特性来抽取气体。
当气体分子接触到吸附剂时，部分气体会被吸附而减少密度，从而达到抽真空的效果。
吸收分子泵适用于产生高真空。
6. 渗透分子泵：渗透分子泵利用大分子与小分子之间的渗透膜效应来抽取气体。
大分子通过渗透膜向外扩散，将小分子吸引出来，从而实现抽真空的目的。
渗透分子泵适用于产生高真空。
以上是常见的几种真空泵的类型及其工作原理，不同类型的真空泵适用于不同的真空范围和应用场景。
常用真空泵简介
❖ 气体在两个平行平面1、2之间运动，二平面速度分别为u1和 u2，运动方向为Ox。以为气体速度在Ox垂直方向上非常小 （vz=vy=0），在Oz和Oy方向，压强为常数。
11
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❖ 由板间低压气体输运性质可得
d 2vx dz 2
1
dp dx
（1-1）
— 动力黏性系数
u — 上表面速度，m / s 1
u — 下表面速度，m / s 2
— 内粘滞性系数，Pa s
（1-4）
14
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❖ 式（1-4）可看成两个单独旳流量旳和
Q
u 1
u 2
bhp
1
2
Q 2
bh 2
2
hp
6
1
dp dx
（1-5） （1-6）
15
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(1) 分子泵：牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。 (2) 喷射真空泵：水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类 (3) 扩散泵：以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏
装置，油扩散泵有分馏装置
2
一、分子真空泵(Molecular Pump) ❖文档仅供参考，如有不当之处，请联系改正。
3
1.1 概述
上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集 超高真空泵旳前级预抽真空泵使用，这将取得更低旳极限压 力或更清洁旳无碳氢化合物旳真空环境。
38
1.5 复合分子泵(Compound molecular ❖文档仅供参考，如有不当之处，请联系改正。 pump)
39
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真空泵分类
真空泵分类按真空获得方法分类1、气体传输泵：是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。
包括：液环真空泵（水环真空泵）、往复式真空泵、旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵、干式真空泵、罗茨真空泵、分子真空泵、牵引分子泵、水喷射真空泵、气体喷射泵、蒸汽喷射泵、扩散泵等。
2、气体捕集泵：是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减少了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
包括：吸附泵和低温泵等。
真空获得的方法气体输送：变容真空泵、动量传输真空泵变容真空泵：往复式（隔膜式、活塞式、旋片泵、定片泵）旋转式（液环泵、螺杆泵、油封泵、滑法泵、罗茨泵、蜗旋泵）动量传输真空泵：分子真空泵（牵引泵、涡轮泵、复合泵）喷射真空泵（水喷射真空泵、气体喷射泵、蒸汽喷射泵）扩散泵气体捕集：吸附泵、冷阱、低温泵、升华泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵参见国标：GB 913-66 《泵分类及技术条件》按用途分类1、主泵：在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵。
2、粗抽泵：从大气压开始降低系统的压力在其临界前级压力以下的真空泵。
3、前级泵：用来维持另一个泵的前级压力以下的真空泵。
4、维持泵：在真空系统中，当气体量很少，不能有效的利用主前级泵。
此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度。
5、粗/低真空泵：从大气压开始并用来获得地真空度的真空泵。
6、高真空泵：在高真空范围工作的真空泵。
7、超高真空泵：在超高真空范围工作的真空泵。
8、增压真空泵：安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。
按真空泵适用范围分类：1、超高真空：涡轮分子泵、扩散泵、升华泵、溅射离子泵、低温泵2、高真空：旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、爪形泵、蜗旋泵、扩散喷射泵、吸附泵3、中真空：膜片泵、液环泵、液体喷射泵、蒸汽喷漆泵4、低真空：活塞泵真空泵主要应用领域集中在石油、化工、制药、电子等行业的减压蒸发、结晶、蒸馏、升华、干燥、负压浓缩、脱水、化学反应吸收及真空输送物料等工艺，各种加工过程应用真空系统后可以节能降耗、加快反应速度、提高产品质量、增加经济效益，因此真空泵得到越来越广泛的应用，行业市场规模也迅速扩大。
真空泵的分类及特点
真空泵的分类及特点一、真空泵的分类真空泵是一种能够产生负压，使气体流动，从而实现抽真空的设备。
根据不同的分类标准，真空泵有多种分类方式。
1. 按工作原理分类：(1) 机械真空泵：通过机械方式（如旋转或往复运动）产生负压，从而实现抽真空。
(2) 分子真空泵：利用气体分子在高速运动时的碰撞，将气体分子从低压侧排向高压侧，从而实现抽真空。
2. 按使用范围分类：(1) 工业真空泵：用于工业生产过程中，如机械加工、食品加工、制药等。
(2) 实验室真空泵：用于实验室中，如科研、教学、分析测试等。
(3) 医用真空泵：用于医疗领域，如医疗设备、手术器械等。
二、真空泵的特点1. 高真空度：真空泵能够实现高真空度，满足各种需要抽真空的场合。
2. 高效能：真空泵具有较高的抽气速率，能够快速地达到所需真空度。
3. 稳定可靠：真空泵工作稳定可靠，能够长时间连续工作，不易出现故障。
4. 易于维护：真空泵结构简单，维护方便，能够降低使用成本。
三、分类的具体内容1. 机械真空泵：包括旋片式真空泵、滑阀式真空泵和螺杆式真空泵等。
其中，旋片式真空泵和滑阀式真空泵在工业中应用广泛。
2. 分子真空泵：包括油扩散泵、罗茨真空泵和溅射离子泵等。
其中，油扩散泵在工业中应用较为普遍。
四、特点的具体内容1. 高真空度：真空泵采用机械或分子原理，通过一系列的工作流程，能够实现高真空度，以满足各种需要抽真空的场合。
高真空度的实现有助于提高产品质量和生产效率。
2. 高效能：真空泵具有较高的抽气速率，能够快速地达到所需真空度。
这有助于缩短生产周期和降低能耗。
在工业生产过程中，高效能的真空泵能够提高生产效率和降低生产成本。
3. 稳定可靠：真空泵工作稳定可靠，能够长时间连续工作，不易出现故障。
稳定的性能和可靠性使得真空泵在各种环境和条件下都能够保持良好的工作状态，从而保证生产的顺利进行。
同时，也降低了设备的维护成本和使用成本。
4. 易于维护：真空泵结构简单，维护方便，能够降低使用成本。
真空泵种类及工作原理
真空泵种类及工作原理真空泵是一种通过机械、物理或化学方法将容器中的气体抽出，形成真空的设备。
根据工作原理和结构分类，可以将真空泵分为以下几种类型。
1. 旋片泵（Rotary vane pump）旋片泵是一种常见且广泛应用的真空泵。
它由一个由多个装有叶片的转子和一个外部壳体组成。
当泵的电机运转时，转子内的叶片随着转动。
当叶片接触到容器中的气体时，气体被压缩和推动到泵的出口。
同时，在回程过程中，泵的出口被隔离并与容器形成真空。
旋片泵的抽气速度较快，可以达到高真空。
2. 涡旋泵（Turbomolecular pump）涡旋泵是一种利用高速旋转的转子抽取气体的泵。
泵内有多个由叶片构成的转子，当电机驱动转子旋转时，气体进入泵体并被转子排出。
由于转子的高速旋转，气体分子受到离心力的作用而向外排放。
涡旋泵适合于高真空环境，对气体分子速度分布均匀的要求较高。
3. 分子泵（Molecular pump）分子泵是一种利用分子的碰撞概率差异将气体分子抽出的真空泵。
分子泵的核心部件是由许多特殊形状的转子构成的转子阵列。
当泵内电机驱动转子旋转时，与转子相接触的气体分子将不断碰撞、反弹和重复流动，最终被排出泵体。
分子泵在高真空领域具有非常高的抽气速度和抽气能力。
4. 扩散泵（Diffusion pump）扩散泵是一种利用气体分子扩散运动将气体分子排出的泵。
它由一个加热的扩散池和一个排气口组成。
当扩散泵加热至高温时，液态或固态的工作流体蒸汽变成气态，将气体分子颗粒释放到扩散池内。
由于气体分子的扩散运动，逐渐向排气口移动，然后被排出系统。
扩散泵适用于大气压以上、中等真空的抽取。
5. 磁悬浮离心泵（Magnetic levitation centrifugal pump）磁悬浮离心泵是一种利用磁力悬浮技术和离心原理进行抽气的真空泵。
它由电机、悬浮轴承和离心叶轮构成。
在电磁场的作用下，离心叶轮悬浮在空中，不与任何部件直接接触。
当电机转动时，离心叶轮将气体抽出并向外排放。
真空泵有几种
上海沈泉泵阀制造有限公司是集研究、开发、生产、销售和服务为一体的泵阀生产企业。
产品涉及工矿企业、农业、城市供水、石油化工、电站、船舶、冶金、高层建筑、消防供水、工业水处理和纯净水、食品、制药、锅炉、空调循环系统等行业领域。
真空泵有往复式真空泵、水环式真空泵、射流式真空泵。
1、往复式真空泵往复式真空泵适用于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。
2、水环式真空泵水环式真空泵是回转真空泵的一种，循环水真空泵用于蒸发蒸馏、结晶、过滤、减压、升华等作业。
低温冷却循环水真空泵是真空泵和低温冷却泵的结合。
即可以抽真空，又可以提供低温冷却循环水，是减压蒸馏和减压浓缩的良好辅助设备，特别适应配备旋转蒸发器，不但减少了使用空间，而且降低了真空度，节省了水资源。
3、射流式真空泵射流式真空泵是利用一种压力较高的工作流体来输送另一种流体。
由离心泵和射流泵(或喷射器)组合而成，依靠喷射装置，在喷嘴处造成真空实现抽吸。
真空泵的结构特点1、泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。
但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。
有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。
这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。
一般大、中型泵多采用此种结构。
2、泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
主动轴通过联轴器与电机联接。
在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。
从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。
以上内容参考百度百科-真空泵。
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按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：
一、气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1）变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：
⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
它属于旋转变真空泵。
机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
具体可分为下述几种类型。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。
它有如下几种型式：
①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。
转子圆周的线速度很高。
这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（V enturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。
这种泵又可详细地分成以下几种：
①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
气体分子扩散到蒸气射流中，
被送到出口。
在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：
①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。
油增压泵即属于这种型式。
⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
二、气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2）吸气剂泵
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。
吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
升华泵即属于这种型式。
3）吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
它有如下几种型式。
⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
4）低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵
3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围
3.1.3.1 真空泵的性能参数
1）真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2）真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。
简称泵的抽速。
3）真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。
是指泵入口的气体流量。
4）真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5）泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6）真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
7）真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。
在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8）压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9）何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
10）抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11）返流率
泵的返流率单位是g/cm2.s。
它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
12）水蒸气允许量
水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13）最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。
它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
本文由上海泰通泵阀提供：/。