防静电检测规范

防静电检测规范
目录
5、程序 (2)
6、 (14)
7、附录—各类点检项目明细 (14)
5、程序
5.1测试方法：
5.1.1测试环境：
环境温度23±5℃，相对湿度40%～70%。

5.1.2测试仪器使用方法
5.1.2.1静电场测试仪（TREK520）
静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 键开机/关机。

该仪器有两个量程：0~2KV、
0~20KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。

当显示3位小数时，量程范围为
0~2KV；当显示2位小数时，量程范围为0～20KV。

每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将sensor对准一个已知的电压为0V的导体上，按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。

为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。

测试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每
分钟120次的速度，施加适当的压力（2～4千克力），单向摩擦待测物表面20次，
然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在
一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“.018”，则实际电
压为18V。

5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385）
ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（2～4KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读数。

如果被测材料为软性材料，可
施加4～6kg的压力进行测试。

5.1.2.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）
EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为: 1x 103Ω - 1012Ω；
测试电压为: 10V或100V+/-5%；测试精度为: +/-10%;测试时间为15秒；测试时：
把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的
插头不同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下“D”测
试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下:
华氏温度
摄氏温度
相对湿度
电阻值
所采用的测试电压
电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为175，000，000Ω, 显示如下:
1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C”LED指示灯的8会亮,表示测试结果为: 1.75
x 108Ω。

如果LCD显示屏显示“1____”, 说明超过该仪器测试范围。

测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在105Ω以下时采用10V测试电压, 阻
值在106Ω以上时采用100V测试电压
5.1.2.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）
测试步骤：
1.员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，
穿戴正确。

左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将
防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。

2.扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提
示“请您按下测试键”。

手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完
全接触）开始测试，3 秒后仪器将测试完毕。

3.如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的LCD面板
显示“通过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同时仪
器的LCD 面板显示“不通过”。

不通过时可连续测试4次，若还是不合格，
员工立即到IPQA处更换。

4.IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。

5.1.2.5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米，且电位
探棒P’系在E’和C’之间。

2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。

3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。

4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度
盘，使检流计指针指“0”。

5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150
转。

再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。

6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得
正确读数。

7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联
接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。

8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵
敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。

5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A）
1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）
金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。

2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测
试仪显示值应大于-40V小于+40V。

3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）
金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。

4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试
仪显示值应大于-40V小于+40V。

5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。

注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801 FALL”档，SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。

此为合格。

5.2 测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

1.设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于
10Ω。

测试频率：每月。

2.电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接
地线之间的阻抗要小于10Ω。

测试频率：每天。

5.2.3 静电接地线接地电阻：
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。

要求每条线都要测。

测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在电源地线孔里。

要求电阻值小于10Ω。

测试结果记录在《ESD 点检记录表格》中。

5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1×105Ω≤R S< 1×109Ω （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。

IPQA监督有无不合格静电服流入产线。

5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。

每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在1*105~1*109Ω之间。

每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。

测试时两个电极距离为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109Ω之间。

测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。

每100平米测试1个点。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于100V，周转箱表面电阻：1×103Ω- 1×109Ω，每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果有1Pcs不合格则全检。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求
周转车，货架表面电阻小于1×109Ω，接地电阻在1×103Ω- 1×109Ω之间。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。

如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。

测试合格后方能进入产线。

腕带系统电阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系统电阻：100KΩ--35MΩ。

5.2.9静电场检测
由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一次测试，并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/- 100 V
5.2.10 离子风机测试
由ESD专员负责每季度使用3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准:1000V降到100V 的消电时间小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。

注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试
5.2.11防静电工作椅子
由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在1×105-1×109欧姆之间，。

将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.12传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在1×105-1×109欧姆之间。

每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD 点检记录表格》中。

5.2.13 手腕监视器测试
由ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。

测试不合格立即更换。

5.3 防静电包装材料的测试
5.3.1认证测试：首先要求供应商送样给PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。

防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度15±5％
测试项目
打“√”为必测项目
高温测试：在温度为60℃，湿度为15％的干燥箱内烘烤12天或在温度为70℃，湿度为15％
的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试
5.3.2 接收测试
PE部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。

不定期全检。

检验要求如下：
防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度40～70％
测试项目
5.3.3 点检测试
由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。

要求表面电阻在1×104-1×1011欧姆之间，摩擦电压小于100V。

每条线测试5Pcs，若有3Pcs不合格则整条线全检并更换相应物料。

以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQA发现将没收，找替代品或者做防静电加工。

注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，要求小于100V；
2.为便于包装材料的接收检验，选择包材时可根据实际情况选择表面电阻及体电阻在1×105Ω～1×1010Ω的材料。

3.对产线自制物料盒需要经过PE认证检验后并贴上防静电标志才能使用。

4.胶带要加测剥离电压小于100V才能接收。

6、
7、附录—各类点检项目明细。