集成电路工艺认识实习报告

集成电路工艺认识实习报告

1.专题一MEMS（微机电系统）工艺认识

1.1 重庆大学微系统研究中心概况

重庆微光机电工程技术研究中心依托于重庆大学，主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中心主要从事MEMS设计、研发及加工关键技

术研究、产业化转化和人才培养。

中心建立了面向西南地区的“MEMS器件及系统设计开发联合开放实验室，拥有国际先进的MEMS和CMOS电路设计及模拟软件，MEMS传感器及微型分析仪

器的组装和测试设备。

1.2主要研究成果

真空微电子压力传感器、集成真空微电子触觉传感器、射频微机械无源元件、硅微低电压生化分析系统、折衍混合集成微小型光谱分析仪器、全集成硅微二维加速度传感器、集成硅微机械光压力传感器、硅微加速度阵列传感器、硅微力平衡电容式加速度传感器、反射式混合集成微型光谱分析系统、微型振动式发电机系统、真空微电子加速度传感器

1.3微系统中心主要设备简介

1.3.1. 反应离子刻蚀机

1.3.2双面光刻机

1.3.3. 键合机

1.3.4. 探针台

1.3.5. 等离子去胶机

1.3.6. 旋转冲洗甩干机

1.3.7. 氧化／扩散炉

1.3.8. 低压化学气相淀积系统

1.3.9. 台阶仪

1.3.10. 光学三维形貌测试仪

1.3.11. 膜厚测试仪

1.3.1

2. 感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机

1.3.13. 箱式真空镀膜机

1.3.14. 槽式兆声清洗机

1.3.15.射频等离子体系统

1.4MEMS的主要特点

体积小，重量轻，材料省，能耗低；完整的MEMS一般是由微动力源、微致动器、微传感器组成，智能化程度高，集成度高；MEMS整体惯性小，固有频率高，响应快，易于信号实时处理；由于采用光刻、LIGA等新工艺，易于批量生产，成本低；MEMS可以达到人手难于达到的小空间和人类不能进入的高温，放射等恶劣环境，靠MEMS的自律能力和对微机械群的遥控，可以完成宏观机械难于完成的任务。

1.5MEMS器件的应用

1.5.1 工业自动控制领域

应用MEMS器件对“温度、压力、流量”三大参数的检测与控制，目前普遍采用有微压力、微流量和微测温器件

1.5.2生物医学领域

微型血压计、神经系统检测、细胞组织探针和生物医学检测，并证实MEMS器件具有再生某些神经细胞组织的功能。

1.5.3光电领域

Agere公司推出业界首款三维MEMS系统。该系统由微镜像开关、驱动器芯片等系列器件构成，集光、电、微机械和微封装于一体

MEMS器件应用于数字光处理器件（DLP）。

日本航空电子研究所的OADH元件使用于DMDW通信系统中，用于筛选出某个波长信号或者迭加信号。

1.5.4生活家庭领域

汽车安全气囊、汽车用各种参数检测中的微传感器、游戏机系统均采用MEMS器件。

1.5.5 军工领域

射频元器件

燃料电池制导弹药电子引信

仿生机器生物微飞行器微纳卫星

2．专题二高压阻尼线、水温传感器、点火线圈生产工艺认识

2.1重庆栋能汽车电子有限公司概况

略

2.2高压阻尼线工艺流程：

2.2.1下线（根据汽车型号）

2.2.2穿针

2.2.3铆接

2.2.4装箱

2.3水温传感器

2.3.1原理

水温传感器是一个负温度系数的热敏电阻，热敏电阻式温度传感器的主要部件是热敏元件，在热敏元件的两个端面各引出一个电极，并连接到传感器插座上。热敏电阻是利用陶瓷半导体材料的电阻值随温度变化而变化的特性制成的，其突出优点是灵敏度高、响应特性好、结构简单、成本低廉。汽车上的冷却液温度传感器和进气温度传感器普遍采用NTC热敏电阻，其阻值与温度的关系可用下述公式表示：低温测量用热敏电阻的常数B值范围在2000～10000K之间，常用值为30 00K左右。高温测量用热敏电阻的常数B值范围在10000～15000K之间

2.3.2工艺流程

1.电阻应变计筛选：1）外观检查；2）测量电阻值

2.弹性元件准备

3.划线

4.预热

5.粘贴应变计：1）贴片面的清洗；2）刷胶；3)贴片4）加压5）固化6）自检

6.组桥：1）焊点打磨、挂锡2）焊接导线的准备3）桥路的连接

7.防护与密封

2.4点火线圈

2.4.1工作原理：通常的点火线圈里面有两组线圈，初级线圈和次级线圈。初级线圈用较粗的漆包线，通常用0.5-1毫米左右的漆包线绕200-500匝左右；次级线圈用较细的漆包线，通常用0.1毫米左右的漆包线绕15000-25000匝左右。初级线圈一端与车上低压电源（+)联接，另一端与开关装置（断电器）联接。次级线圈一端与初级线圈联接，另一端与高压线输出端联接输出高压电。点火线圈之所以能将车上低压电变成高电压，是由于有与普通变压器相同的形式，初级线圈与次级线圈的匝数比大。但点火线圈工作方式却与普通变压器不一样，普通变压器是连续工作的，而点火线圈则是断续工作的，它根据发动机不同的转速以不同的频率反复进行储能及放能。

2.4.2制造工艺：绕线=>刮皮=>组装=>灌装=>检测

3.专题三单片机认识

3.1三三电器有限公司概况

重庆三三电器有限公司是一家开发、生产、销售汽车、摩托车数字仪表的高科技企业。

2000年开始研发数字仪表，现已拥有十分完善的技术资源。

汽车、摩托车数字仪表的开发包括硬件及软件开发，硬件设计包括电源设计及信号的处理等，其中核心的部分是硬件抗干扰设计；软件开发包括信号的处理，数据的可靠存储，步进电机的软件模拟驱动程序