激光在薄膜电池中的应用
光学薄膜的制备及其在光学器件中的应用
光学薄膜的制备及其在光学器件中的应用光学薄膜是一种通过在透明基材上沉积一层或几层具有特定光学性能的材料来实现特定光学功能的技术。
光学薄膜广泛应用在各种光学器件中，如激光器、太阳能电池、液晶显示器等。
在本文中，我们将重点介绍光学薄膜的制备及其在光学器件中的应用。
一、光学薄膜的制备1. 干蒸发法干蒸发法是一种最常用的光学薄膜制备方法。
其原理是将材料加热至高温，使其蒸发并沉积在基材表面。
通常使用电子束蒸发、电弧蒸发和反应式磁控溅射等技术进行干蒸发。
2. 溶液法溶液法是利用金属盐或有机化合物在溶液中形成溶液，再将溶液加热蒸发并沉积在基材表面。
溶液法具有制备大面积、均匀薄膜的优点，但需要严格控制溶液成分和工艺条件。
3. 离子束沉积法离子束沉积法是一种通过将高能离子轰击材料表面而产生剥离原子或分子，从而形成薄膜的方法。
离子束沉积法可以制备高质量的多层膜结构，但需要较高的成本和复杂的工艺条件。
二、光学薄膜在光学器件中的应用1. 激光器光学薄膜在激光器中广泛应用，其中最常见的应用是激光膜。
激光膜是一种具有高反射率、高透过率和低损耗的膜，通常由金属、二氧化硅或氮化硅等材料制成。
激光膜可以将激光束反射或透过，使激光束得到增强或衰减，并被广泛应用于激光器的共振镜、输出镜和半导体激光器的腔体镜等部件。
2. 太阳能电池太阳能电池是一种将太阳能转化为电能的器件，光学薄膜在太阳能电池中扮演着控制入射光谱和增强光子吸收的重要角色。
通过制备适合的光学薄膜，可以增强太阳能电池对光子的吸收率和光电转换效率，从而提高太阳能电池的性能。
3. 液晶显示器液晶显示器是一种利用液晶材料控制光的传输和反射来显示图像的器件，光学薄膜在液晶显示器中扮演着控制光的偏振和传输的重要角色。
制备具有特定光学性能的光学薄膜可以优化液晶显示器对光的控制，从而提高显示器的图像质量和亮度。
结语光学薄膜制备技术和应用在现代光电器件中起着重要的作用。
通过制备具有特定光学性能的光学薄膜，可以优化光学器件的性能和功能，从而促进光电技术的发展。
薄膜电池技术的应用与发展
薄膜电池技术的应用与发展薄膜电池技术是一种以薄膜材料作为电池的正负极材料，通过电极材料和电解质材料的选择，使得电子和离子在薄膜电池中进行交换，从而产生电能。
这种电池技术具有体积小、重量轻、灵活性强和安全性高等优点，因此在智能穿戴、移动设备、家居电器、医疗设备、无人机和电动汽车等领域得到广泛应用。
本文将对薄膜电池技术的应用和发展进行介绍和分析。
一、薄膜电池的种类和性能目前，常见的薄膜电池种类有聚合物电解质锂离子电池（PPEL）、柔性薄膜燃料电池（FFC）、有机无机杂化钙钛矿太阳能电池（PSC）、有机太阳能电池（OSC）等。
这些电池种类在电化学性能、能量密度、功率密度、电化学稳定性和安全性等方面都有所不同。
聚合物电解质锂离子电池是一种以聚合物为电解质的锂离子电池，具有体积小、重量轻、灵活性强和安全性高等特点，因此适用于智能穿戴、移动设备和家居电器等领域，但其能量密度相对较低，通常为100-200Wh/kg。
柔性薄膜燃料电池是一种以氢气或甲醇等为燃料的电池，具有能量密度高、长时间工作和环保等特点，因此适用于无人机、电动汽车等领域，但其成本和体积较大，不适用于小型设备。
钙钛矿太阳能电池是一种基于钙钛矿材料的太阳能电池，具有高效率、低成本和环保等特点，因此适用于太阳能电站等领域，但其稳定性和寿命有待提高。
有机太阳能电池是一种以有机半导体为光电转换材料的太阳能电池，具有制备简单、成本低、重量轻等特点，但其能量转换效率相对较低和稳定性较差，需要进一步研究和改进。
二、薄膜电池技术的应用1. 智能穿戴薄膜电池技术的体积小、重量轻和灵活性强，使其适用于智能穿戴领域。
例如，智能手表、智能眼镜、智能耳机等智能穿戴设备需要小巧轻便的电源支持其运行。
目前，聚合物电解质锂离子电池在智能穿戴设备中得到广泛应用，如苹果手表、华为手表等。
2. 移动设备薄膜电池技术的体积小、重量轻和灵活性强，也使其适用于移动设备领域。
例如，智能手机、平板电脑等小型移动设备需要可弯曲、可折叠的电池以适应不同的设计需求。
激光划线工艺在太阳能电池中的应用
激光划线工艺在太阳能电池中的应用摘要：太阳能电池能够将光能转化为电能，以此满足社会生产以及人类生产的电力需求，而这种转化方式避免了对自然生态环境的污染破坏，也减少了对不可再生能源的浪费与消耗，具有较强的经济效益与生态环境效益，有利于实现光伏行业的持续性发展。
激光划线工艺通过专业的激光技术来进行自动切割工作，广泛应用与薄膜太阳能电池与晶硅太阳能电池的制作工序中，具有加工切割效率高、更高的环境效益、缩减太阳能电池制造成本等显著优势，有助于提高太阳能电池的制作效率及质量。
本文通过阐述激光划线工艺在太阳能制作的硅片切割流程、绒面的加工制备、电池的刻蚀及印刷等工艺步骤中的有效应用，以此来进一步扩大激光划线工艺在太阳能电池制作中的应用范围，实现激光划线工艺的可持续发展。
关键词：激光划线工艺；太阳能电池；制造1 引言伴随着现代化社会的发展，电力需求逐年增加，根据国家统计局数据显示，在2015年至2020年，我国太阳能电池产量逐年上升，截止到2020年，我国太阳能电池的产量共为15729万千瓦，相较于2019年增长了22.3%。
然而人们的日常生活与生产工作都需要耗费大量的电力能源，出现了不可再生能源紧缺的现象，无法有效满足大量的电力需求，这使得清洁能源的合理开发与利用具有较强的现实意义。
太阳能电池通过将太阳能转化为电能来为社会提供充足的电力能源，其制造工艺既减少了对自然环境的污染，还有效解决了电力能源消耗的问题，在社会中广泛应用。
将激光划线工艺应用于太阳能电池的制造中有利于提高电池的制作效率，形成更加高质量的光伏产品，具有加工切割效率高、环境效益良好及太阳能电池制造成本低等使用优势。
本文旨在研究激光划线工艺在太阳能电池制造流程中的有效应用，以此来进一步优化激光划线工艺，完善太阳能电池的制造工艺，为社会提供更加良好的太阳能电池产品。
2 激光划线工艺概述激光划线工艺是通过使用聚焦镜来将CO2激光束凝聚在切割材料表面，使得材料表层融化，机器能够自动散发压缩气体来清洁切割材料的表层。
高功率激光系统中光学薄膜的现状和发展趋势
一、概述高功率激光系统在工业、医疗、军事等领域的应用日益广泛，而光学薄膜作为高功率激光系统中的重要组成部分，其性能对激光系统的稳定性和输出功率有着关键影响。
光学薄膜的研究和发展一直备受关注。
本文将针对高功率激光系统中光学薄膜的现状和发展趋势进行深入探讨。
二、光学薄膜的特点光学薄膜是一种利用膜层间的干涉作用来实现对光的衍射与透射的技术材料。
光学薄膜通常具有以下几个特点：1. 光学薄膜具有较高的透射率和反射率，能够有效地调控光的传输和反射。
2. 光学薄膜的厚度相对较小，一般在纳米级别，因此具有很好的光学性能和表面平整度。
3. 光学薄膜的材料种类丰富，可以根据具体的光学性能要求选择合适的材料进行制备。
三、高功率激光系统中光学薄膜的现状1. 现有技术目前，高功率激光系统中常用的光学薄膜材料包括二氧化硅、氟化镁、氟化铝等。
这些材料具有较好的透射性能和热稳定性，能够满足一定功率范围内的激光输出要求。
而在薄膜制备方面，常用的方法包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等技术，能够制备出较为均匀的光学薄膜。
2. 现有问题然而，在高功率激光系统中，光学薄膜仍然面临一些挑战。
由于高功率激光系统的光强较大，薄膜材料容易受到热应力的影响，导致薄膜损伤或热转化率增加，影响激光的输出功率和稳定性。
现有的薄膜制备技术难以满足高功率激光系统对薄膜的高精度和高稳定性要求。
光学薄膜在长时间使用后容易受到气态、液态等环境因素的影响，降低了薄膜的耐久性和稳定性。
四、高功率激光系统中光学薄膜的发展趋势1. 新材料的研发为了解决现有材料在高功率激光系统中的局限性，科研人员正在积极研发新型的光学薄膜材料。
一些耐高温、高能量密度的无机材料和聚合物材料被认为具有良好的激光损伤阈值和热稳定性，能够适应高功率激光系统的需求。
纳米材料如石墨烯、二维过渡金属氧化物等也被应用到光学薄膜制备中，以提高薄膜的光学性能和稳定性。
2. 制备技术的进步随着薄膜制备技术的不断进步，高功率激光系统中光学薄膜的制备技术也在不断优化。
激光退火技术对多晶硅太阳能电池薄膜处理的新进展
本文链接：/Periodical_kjxx-xsb200829046.aspx
科技信息
高校理科研究
激巍退火技木对蔓晶硅太阳雒电池薄膜处理的Байду номын сангаас进展
南通大学电子信息学院宋长青
［摘要］硅薄膜及其太阳电池研究已经成为国际光伏领域研究的热点。但硅薄膜太阳能电池在生产工艺上存在成本 较高的问题，其中非晶硅薄膜的退火工艺是常ｊ约生产成本的一个重要环节。本文利用激光退火方法对高掺杂多晶硅 衬底的非晶硅夕ｌ－＋－薄膜进行处理，实验结果表明。激光退火实现了非晶硅薄膜的晶化，电性能达到太阳能电池板的生 产要求。 ［关键词］激光退火太阳能电池多晶硅薄膜
参考文献 ［１］薛清等．利用快速退火法控制非晶硅薄膜中纳米硅粒 尺寸［Ｊ］．半导体技术，２００４，２９（１０）：２０—２６ ［２］Ｍ．Ｏａｎｅ，ｅｔｃ．Ｔｈｅｒｍａｌ ｆｉｅｌｄｓ ｉｎ ｌａｓｅｒ—ｍｕｌｔｉ—ｌａｙｅｒ ｓｔｒｕｃ－
ｔ吣ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｏｐｔｉｃｓ＆Ｌａ．．ｇｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００７，３９（１０）：
１．引言 多晶硅太阳能电池由于材料价格低廉、制作工艺简单、适 合大规模生产，从而成为当前太阳能电池的主要类型。太阳能 电池衬底材料是太阳能电池制造中最昂贵的部分，使用高掺杂 低纯度的衬底可以大大降低太阳能电池的成本。但是，这会大 大降低太阳能电池的效率。利用低成本的高掺杂多晶硅衬底。 生产低成本高效率太阳能电池的技术已成为太阳能电池获得 广泛应用前景的关键技术。低成本的太阳能电池衬底材料中 杂质含量高，不适合直接用于太阳能电池的制备，因此，必须在 衬底上外延生长一层多晶硅薄膜。但是，多晶硅薄膜生长的高 温工艺步骤，会将衬底中的杂质推进到外延层中，从而降低了 太阳能电池的效率…。 目前，国内外对于杂质扩散的控制，主要应用快速退火技 术。快速退火技术是一种在短时间内对材料进行高温处理，与 高温管式炉长时间加热效果相近的加热方式。快速退火高温 过程时间短，一般快速退火的时间为１８０—３００秒。对于普通 多晶硅衬底，杂质较少，由于杂质运动时问短，杂质的扩散距离 有限。但是，对于高掺杂多晶硅衬底而言。衬底中的杂质在热 驱动力和杂质浓度梯度的影响下，杂质的迁移率较高，在较短 的时间内仍有较多的杂质迁移到外延多晶薄膜内。 ２．激光退火原理 由于普通的退火方法在处理高掺杂多晶硅衬底上存在一 些缺陷，因此，我们探索激光退火法对非晶硅外延薄膜进行结 晶实验，以控制杂质在高温过程中向外延层的扩散。激光技术 可以在短时间内（约３—５秒）将薄膜和衬底同时加热到薄膜的 结晶点以上，高温作用时间短、温度高，且加热结束后的降温速 度快，加热时间可控。衬底中的杂质受到热驱动的时间短，杂 质运动距离更为有限。抑制了衬底中的杂质向薄膜中的扩散。 同时，激光技术是一种自上而下的加热技术，在激光热扫描薄 膜表面时，薄膜表面获得最高的温度，在衬底内形成了一定的 温度梯度，这个温度梯度也能起到抑制衬底杂质向薄膜中扩散 的作用。特别是当外延层的厚度较大时，此温度梯度的效应更 加明显【２１。 ３．实验 采用等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）技术得到非晶硅 外延薄膜，并利用激光退火技术对硅外延薄膜进行结晶实验。 实验采用高掺杂多晶硅为衬底，利用ＨＱ一２型ＰＥＣＶＤ，使 硅烷（Ｓｉｌｌ４）等离子化，在多晶硅衬底上得到一层非晶硅薄膜。 沉积条件如下：射频电源功率５００ Ｗ，外真空室真空度小于６× １０。Ｐａ，内真空室真空度小于３ Ｐａ，分子泵频率７０４Ｈｚ，衬底温 度为１５０℃，Ｓｉｌｌ４流量２０ｍｌＪｍｉｎ，沉积时间３０ｍｉｎ。 采用ＪＩＩＭ一１ＧＸＹ－５００型激光器对获得的非晶硅外延膜 进行退火处理。退火条件：光斑面积为６ｍｍ×６ｍｍ，电流 ２０ｍＡ，脉冲频率２０Ｈｚ，退火时间３０Ｓ，采用氮气保护。
topcon电池激光辅助烧结导电原理
topcon电池激光辅助烧结导电原理全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：Topcon电池激光辅助烧结导电原理是一种先进的制造技术，可以用于生产高效、高质量的电池组件。
这种技术结合了激光烧结和导电材料，能够实现电池组件的高效导电和稳定性。
本文将介绍Topcon电池激光辅助烧结导电原理的具体工作原理和优势。
1. Topcon电池激光辅助烧结导电原理的工作原理第一步：在电池组件的导电层上涂覆一层导电材料，通常是银浆或碳纳米管等。
第二步：将激光照射到导电层上，利用激光的高能量将导电材料与基底材料（通常是硅片）烧结在一起。
第三步：通过烧结完成后，形成一个均匀、致密的导电层，能够有效地导电并提高电池组件的性能。
Topcon电池激光辅助烧结导电原理有许多优势，使得它在电池制造领域备受关注：（1）高效性：激光烧结能够快速并且均匀地烧结导电材料，使得导电层的质量和均匀性得到提高，从而提高电池组件的效率和性能。
（2）精密性：激光烧结可精确控制烧结的位置和温度，确保导电层与基底材料之间的结合牢固，不会出现空洞或者裂纹。
（3）节能环保：相比传统的电池导电工艺，Topcon电池激光辅助烧结导电原理能够减少材料的浪费和能源消耗，有助于提高电池制造的节能环保性。
（4）成本效益：虽然激光设备的投资成本较高，但Topcon电池激光辅助烧结导电原理在生产过程中能够提高效率和降低成本，从而提高电池制造的成本效益。
Topcon电池激光辅助烧结导电原理已经在电池制造领域得到广泛应用，尤其是用于生产光伏电池、锂电池等领域。
通过这种技术，电池制造商可以生产更加高效、高性能的电池组件，从而满足市场对功率密度和稳定性要求的提高。
4. 总结第二篇示例：Topcon电池激光辅助烧结导电原理1. Topcon电池概述Topcon电池，又称为霍爪电池，是一种具有高效率和优良导电性能的新型太阳能电池。
它的制备过程包括多个步骤，其中一个关键步骤就是利用激光辅助烧结技术提高电池的导电性能。
主要薄膜光伏电池技术及制备工艺介绍
主要薄膜光伏电池技术及制备工艺介绍薄膜光伏电池是一种新型的太阳能电池技术，相比于传统的硅片光伏电池，它具有更高的柔韧性、更低的成本和更广泛的应用潜力。
本文将介绍薄膜光伏电池的主要技术和制备工艺。
首先，薄膜光伏电池主要由薄膜光伏材料组成。
目前常见的薄膜光伏材料包括非晶硅、铜铟镓硒和钙钛矿等。
非晶硅是最常见的薄膜材料，具有较高的效率和较长的使用寿命；铜铟镓硒则具有较高的光吸收能力和较高的效率；钙钛矿则具有优异的光电转化效率和低成本制备的特点。
其次，薄膜光伏电池的制备工艺包括材料制备、器件结构设计和组装等环节。
在材料制备方面，常用的方法包括物理气相沉积、化学气相沉积和溶液法等。
物理气相沉积是一种将材料蒸发到衬底上后再结晶形成薄膜的方法，化学气相沉积则是通过反应气体在衬底表面上生成薄膜。
溶液法则是将溶液均匀涂敷在衬底上，将溶液中的成分通过烘烤或其他方式结晶成薄膜。
器件结构设计是薄膜光伏电池制备的关键环节之一。
不同的薄膜材料有不同的结构设计，常见的结构包括单接触结构、双接触结构和多接触结构。
单接触结构是将薄膜材料直接沉积在透明导电玻璃上，双接触结构则是在透明导电玻璃上先沉积一层反射层，再沉积薄膜材料。
多接触结构则是在薄膜材料上层添加一层稳定层，来提高电池的稳定性和效率。
最后，薄膜光伏电池的组装是将制备好的薄膜光伏材料封装在太阳能电池片中。
目前常见的封装方法包括激光封装、胶封装和真空封装等。
激光封装是利用激光将薄膜光伏材料与太阳能电池片粘合在一起，胶封装则是利用粘合剂将两者粘合在一起，真空封装则是在真空环境下将两者粘合在一起。
总之，薄膜光伏电池是一种具有广阔市场应用前景的太阳能电池技术。
通过合理的材料选择、器件设计和制备工艺，薄膜光伏电池可以实现更高的效率和更低的成本，为清洁能源的发展做出重要贡献。
续上文，继续探讨薄膜光伏电池技术及制备工艺的相关内容：除了材料的选择和制备工艺，薄膜光伏电池的性能和效率也受到电池结构的影响。
薄膜电池印刷过程
薄膜电池印刷过程1. 引言薄膜电池是一种新型的高效能源存储装置，具有柔性、轻薄和可弯曲等特点。
其制备过程中的印刷技术是关键步骤之一。
本文将对薄膜电池印刷过程进行全面详细、完整且深入的介绍。
2. 薄膜电池概述薄膜电池是一种利用多层材料堆叠形成正负极和电解质层的电池结构。
其主要组成部分包括正极、负极、电解质和集流体等。
3. 印刷技术在薄膜电池制备中的作用印刷技术在薄膜电池制备过程中起到至关重要的作用。
它能够实现高效、快速且精确地将材料印刷到基底上，提高生产效率和产品质量。
3.1 印刷技术的分类常用于薄膜电池制备的印刷技术包括： - 喷墨印刷 - 网印技术 - 柔印技术 - 雷射印刷3.2 印刷工艺流程薄膜电池的印刷工艺流程包括以下几个步骤： 1. 基底准备：选择适合的基底材料，并进行表面处理，以提高附着力和光电性能。
2. 材料制备：制备正、负极材料和电解质等。
3. 印刷设备准备：根据印刷技术的不同，选择合适的印刷设备，并进行调试和校准。
4. 材料印刷：将正、负极材料和电解质等按照设计要求印刷到基底上。
5. 干燥处理：通过烘干或其他方法，将印刷的材料固化并去除溶剂。
6. 测试与分析：对制备好的薄膜电池进行测试与分析，以评估其性能和品质。
4. 常用的薄膜电池印刷技术4.1 喷墨印刷喷墨印刷是一种利用喷嘴喷射墨水或油墨在基底上形成图案的印刷技术。
它具有高分辨率、快速印刷和适用于多种材料的特点。
在薄膜电池制备中，喷墨印刷常用于印刷电解质层。
4.2 网印技术网印技术是一种通过网纹或网孔将墨水或油墨传送到基底上的印刷技术。
它具有成本低、适用于大面积印刷和多层堆叠的优点。
在薄膜电池制备中，网印技术常用于印刷正负极材料。
4.3 柔印技术柔印技术是一种利用弹性版将墨水或油墨传送到基底上的印刷技术。
它具有高速、高精度和适应性强的特点。
在薄膜电池制备中，柔印技术常用于大面积、高速度的正负极材料印刷。
4.4 雷射印刷雷射印刷是一种通过激光束直接将材料转移到基底上的非接触式印刷技术。
激光切割技术在薄膜太阳能电池上的应用
程， 探 讨激光精 密切割技术在薄膜太阳能电池生产 中的应用 ， 尤其是论证 了太阳能 电池减薄的可行性 。
关键词 ： 太阳能电池 ； 激光切割 ； 减薄 中图分类号 ： Ｖ４ ２ ３ ． ４ ４ 文献标识码 ： Ａ 文章编号 ： １ ０ ０ ８ — ９ ２ ３ ３ （ ２ ０ １ ３ ） ０ １ — ０ ０ ４ ６ － ０ ４
４ Байду номын сангаас
旦 出现问题整个太 阳能电池片就可能部分或全部
报废 。此 外 ， 划线 宽 度 对 太 阳 能 电池性 能具 有 重 要
６ 结 语
本文首先介绍了薄膜太阳能电池分类及不同太 阳能电池的优缺点 ， 然后结合激光精密切割技术， 讨 论了该技术应用于不同薄膜太阳能电池生产过程中 的可行性 ， 最后给出了激光精密切割技术在太阳能 电池其它应用方 向的讨论与建议。
激光切 割是应 用 最 广 泛 的一 种 激光 加 工 技术 ， 其原 理是激光 经过 聚焦 后 照射 到 材 料上 ， 使 材 料 温 度急速 升高 至熔化 或 气 化 ， 随着 激 光 与 被切 割 材料 的相对 运动 ， 在切 割材 料 上形 成 切 缝 从 而达 到 切割 的 目的 。激光 切割在 激光 加工应 用 中 占有很 大 比重 （ 目前 激 光 切 割 在 激 光 加 工 中所 占 的 比例 超 过 了
激 光切 割技 术在 薄 膜太 阳能 电池 上 的应 用
胡 琦 ， 胡 中华
（ 中国电子科技集 团公 司第 三十八研究所 ， 安徽 合肥 ２ ３ ０ ０ ８ ８ ）
摘
要： 飞艇上使 用薄膜太 阳能电池来提供 电能。介绍各种薄膜 太阳能电池 的分 类及 其优缺点 ， 并且 结合其 生产流
激光设备在非晶硅薄膜太阳能电池生产线中的应用
程见图 １ 。其 中 ，ｉ 的沉 积 是 利 用 Ｐ Ｃ Ｄ技 术 在 非 晶 ｐｎ膜 ＥＶ 硅 衬底 上 制 备 晶 粒 较 小 多 晶硅 薄 膜 的 １ 方 法 。该 薄 膜 种
高， 组件价格居高不 下 ， 这就 为非 晶硅 薄膜 太 阳能 电池 的 发展创 造了机 遇… 。非 晶硅薄膜 太阳能 电池 的厚度一 般
产 、 活中最重要的新能源之一 。 生 当前 ， 基于单晶硅或者多晶硅硅片 的晶体硅 电池组件
市 场 占有 率 高 达 ９ ０％ ， 是 ， 但 晶体 硅 电 池 本 身 生 产 成 本 较
酸 乙烯（ Ｖ 箔进行叠层组件 ， Ｅ Ａ） 这种结构 的非晶硅薄膜太 阳能 电池也被称 为层叠 电池 。
确 是 激 光 刻 划 设 备 今 后 的 重 点发 展 方 向 。
关 键 词 ： 激 光设 备 ； Ｃ 薄 膜 ； Ｅ Ｖ 非 晶硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 ＴＯ Ｐ Ｃ Ｄ； 中 图 分 类 号 ： Ｔ １ Ｍ９ ４ 文 献标 识 码 ： Ａ 文 章 编 号 ： ２ ９ －８ ２ （ ０ １ ０ －０ ９ ２ ０ ５０ ０ 一 ２ １ ） ５ １ － ０ ０
常 温 ， 亦 武 文
（ 京 清 大 天 达 光 电科 技 有 限公 司 ， 京 １１０ ） 北 北 ０ ２４
摘 要 ： 激 光 设 备 是 太 阳能 生 产 线 中的 关键 设 备 之 一 ， 述 了激 光 设 备 在 非 晶硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 生 产 线 ， 出 ， 定 、 叙 指 稳 精
Ａｐ ｉ ａ ｉ ｎ ｏ ｓ ｒ Ｅｑ ｐ ｅ ｔｉ ｏ ｕｃ ｎ ｆａ Ｓ ｌ Ｓｏ ａ ｔｅ ｙ ｐｌｃ ｔｏ ｆ Ｌａ ｅ ｕｉ ｍ ｎ ｎ Ｐｒ ｄ ｔＬｉ ｅ Ｏ － ｉＦｉｍ ｌ ｒ Ｂａ ｔ ｒ
激光蒸镀法原理及应用
激光蒸镀法原理及应用激光蒸镀法是一种利用激光蒸发材料并通过气相沉积形成薄膜的技术。
它通常通过将激光束照射到材料表面，将材料加热到蒸发温度，然后通过气相沉积形成薄膜。
激光蒸镀法具有高能量密度、高准直性、可选择性蒸发以及高沉积速率等优势，在许多领域得到广泛应用。
激光蒸镀法的主要原理如下：1. 激光束照射：激光束照射到材料表面，将能量传递给材料，将其加热到蒸发温度。
激光具有高能量密度和高准直性的特点，能够提供足够的能量来加热材料。
2. 材料蒸发：当材料加热到蒸发温度时，材料表面的原子或分子开始蒸发。
由于激光束的高能量密度和准直性，蒸发过程发生在材料的表面，形成一层薄膜。
3. 气相沉积：蒸发的材料原子或分子进入气相后，会在材料表面附近重新沉积下来，形成一层致密的薄膜。
沉积的过程可以通过控制蒸发速率、气氛成分和沉积温度等参数来控制。
激光蒸镀法在许多领域有着广泛的应用，主要包括以下几个方面：1. 光学薄膜：激光蒸镀法可以用于制备具有特殊光学性质的薄膜，如反射率高、透明度好、抗反射等特性。
这些薄膜在太阳能电池、光学器件和显示器件等领域有着广泛的应用。
2. 金属镀膜：激光蒸镀法可以用于制备金属薄膜，用于改变材料的表面性质，如增加材料的硬度、耐磨性和耐腐蚀性等。
这些薄膜可以用于制造机械零件、工具和装饰品等。
3. 半导体器件：激光蒸镀法可以用于制备半导体材料薄膜，如硅、氮化硅、氮化铝等。
这些薄膜在半导体器件中起着关键的功能，如隔离层、导电层和光电层等。
4. 生物医学应用：激光蒸镀法可以用于制备生物材料薄膜，如生物降解材料、抗菌材料和生物传感器等。
这些薄膜在医学诊断、药物传递和组织修复等方面有着重要的应用。
5. 纳米材料制备：激光蒸镀法可以用于制备纳米材料薄膜，如金纳米颗粒、磁性纳米颗粒和碳纳米管等。
这些薄膜在纳米科学和纳米技术中具有重要的应用潜力。
总之，激光蒸镀法是一种基于激光技术的薄膜制备方法，具有很多优势和应用潜力。
“薄膜太阳能电池激光刻膜工艺装备研发与应用”成果通过鉴定
晶桥光 电在 国内首家 引进 美国Ｋ－ 蓝 宝石晶体 生 １
长炉 ，使用改 良泡生法 ，并 把成 熟的高品质Ｋ Ｙ晶体 生 长技 术和 引晶 、 自动 化 、过程控 制集合在一 起 ，使 整
个 系统可提 供极高生产效率 。 经 检 测 ，该 晶 砣高 ４ ０ 米 ，直 径２ ０ 米 ，重 ６毫 ７毫 近 日，由北京机床 研究所 承担 的２ １年科研 院所 ０ｏ 技术开 发研究专项 资金项 目 “ 薄膜太阳能 电池激光 刻 膜工艺 装备研发 与应用 ”成果 ，通过 了中机联 组织的
独 立 研 发 的 高 精 度 智 能 电 能 表 系 列 ，其 主 要 面 向 续性液压 夹紧式扇型段 ；二冷 区动态 轻压下 、二冷 区 １ ０ ０ ＭＷ 以上发 电机 组或２ Ａ以上 用户变压器容量 、 ＭＶ 电磁搅拌 、二冷区动态配水并幅切技术等 。 １０ ０ 万度／ 月用电的大型 工业用户 。该表在充分 吸收进 该装备研 制成功并投入 运行 ，其 生产的普通碳 结 口产品优 点的基础上 ，采 用新 技术研发 ，摒 弃 了普通 钢 、优质碳 素结构钢 、低合金高 强度 结构钢 、造船及 电能表使用的传统ＣＴ 电流互感器 ，采用新型带磁路 型 海洋用钢等产 品 ，将对我 国经济和国 防建 设事业 的快 补偿的高精度 、宽量程 、角误差 极小的 电流互感 器 ； 速发展 提供坚 实的保证。 具 有 准 确 度 温 度 补 偿 功 能 ，电 能 表 温 度 系数 优 于
格蓝宝石单晶 。
链 接 ：蓝 宝石 晶 体
制 ，大尺寸复 杂壳体铸造 ，摩擦 副非 连续多型 面双合 是 现 代 工 业 尤 其 是 微 电
子 、 光 电 子 产 业 极 为 重
该超大 排量液压 泵的研 制成功 ，解 决 了液压 动力 要 的 基 础 材 料 ， 在 驱动系 统核心部件 设计和 制造等共性 关键 技术 ，可替 Ｌ Ｄ新 光 源 产 业 链 中属 Ｅ
激光在晶硅钙钛矿叠层电池中的应用
ห้องสมุดไป่ตู้
2. 加工电极材料：激光可以用于加工晶硅钙钛矿电池的电极材料。通过激光刻蚀或打孔，可 以实现精确的电极图案和微结构，从而提高电池的性能和稳定性。激光加工还可以实现高精度 的电极连接和排列，有助于提高电池的电流收集效率。
激光在晶硅钙钛矿叠层电池中的应用
3. 表征和分析：激光可以用于晶硅钙钛矿叠层电池的表征和分析。通过激光光谱技术，可 以对晶硅钙钛矿薄膜和电池的光电特性进行精确测量和分析，包括吸收光谱、发射光谱、荧 光寿命等。这些表征和分析结果可以帮助优化电池的结构和工艺，提高其性能和稳定性。
激光在晶硅钙钛矿叠层电池中的应用
激光在晶硅钙钛矿叠层电池中的应用主要包括以下几个方面：
1. 制备晶硅钙钛矿薄膜：激光可以用于制备晶硅钙钛矿薄膜。通过激光辐照晶硅钙钛矿前体 材料，可以实现快速的热处理和晶化，从而获得高质量的晶硅钙钛矿薄膜。激光制备的晶硅钙 钛矿薄膜具有较高的结晶度和较低的缺陷密度，有助于提高太阳能电池的光电转换效率。
激光剥离技术
激光剥离技术激光剥离技术激光剥离技术是一种利用激光脉冲将薄膜材料从基板上剥离的方法。
它已经被广泛应用于半导体、太阳能电池、液晶显示器和生物芯片等领域。
本文将详细介绍激光剥离技术的原理、设备、应用和未来发展。
一、原理激光剥离技术的原理是利用激光脉冲的高能量密度，将薄膜材料与基板之间的粘结力瞬间破坏，从而使其剥离。
在这个过程中，激光束通过聚焦透镜聚焦到一个点上，形成高能量密度区域。
当这个区域达到材料的破坏阈值时，材料就会被瞬间加热并汽化或溶解，从而形成一个气泡。
气泡内部产生的压力会瞬间扩散到周围环境中，导致材料与基板之间的粘结力瞬间降低或消失，使得材料可以轻易地从基板上剥离。
二、设备激光剥离技术的设备主要由以下几个部分组成：1. 激光源：激光源是激光剥离技术的核心部件，它提供高能量密度的激光脉冲。
常用的激光源有Nd:YAG激光器、飞秒激光器和CO2激光器等。
2. 光学系统：光学系统主要由透镜和反射镜组成，用于聚焦和控制激光束的路径。
透镜通常采用非球面透镜，可以实现高质量的聚焦效果。
3. 样品台：样品台用于固定待加工材料，并且可以在XY平面上移动，以便进行精确定位和加工。
4. 控制系统：控制系统用于控制激光源、光学系统和样品台等各个部件之间的协调运作，并且可以实现加工参数的调节和优化。
三、应用1. 半导体领域：在半导体领域，激光剥离技术被广泛应用于晶圆上薄膜材料的剥离。
例如，在硅基上制备GaN薄膜时，可以先在硅基上生长一层AlN作为缓冲层，然后再将GaN薄膜生长在AlN上。
最后，利用激光剥离技术将GaN薄膜从AlN上剥离下来，形成独立的GaN晶体。
2. 太阳能电池领域：在太阳能电池领域，激光剥离技术可以用于制备高效的太阳能电池材料。
例如，在硅基上制备III-V族化合物太阳能电池时，可以先在硅基上生长一层InP缓冲层，然后再将InGaAsP太阳能电池材料生长在InP上。
最后，利用激光剥离技术将InGaAsP太阳能电池材料从InP上剥离下来，形成独立的太阳能电池。
光电功能薄膜及应用
光电功能薄膜及应用光电功能薄膜是一种可以通过光线进行电子传导和能量转换的薄膜材料。
它具有光电效应，即当光照射到材料表面时，会产生电子和空穴对，并引发电子的运动和转移。
这种功能薄膜被广泛应用于光电器件、太阳能电池、感光材料、显示技术等方面。
光电功能薄膜的制备技术有很多种，包括物理气相沉积、化学气相沉积、溶液法、蒸发法等。
不同的技术能够制备出不同性能的光电材料薄膜。
例如，物理气相沉积可以制备出高质量的薄膜，而溶液法则能够制备出大面积、低成本的薄膜。
光电功能薄膜的应用非常广泛。
其中一个最主要的应用领域是太阳能电池。
光电功能薄膜可以将太阳能转化为电能，以供电网或其他设备使用。
太阳能电池的效率和稳定性取决于光电功能薄膜的材料和结构。
因此，研发高效率、稳定性强的太阳能电池材料是当前的热点研究方向。
另一个应用领域是显示技术。
光电功能薄膜可以用于制备液晶、有机发光二极管（OLED）、柔性显示等器件。
在液晶显示器中，光电薄膜用于制备液晶层和可调光板，通过控制液晶分子的取向来实现图像的显示。
在OLED中，光电薄膜用于制备有机材料的发光层和电子层，以实现高亮度、高对比度的显示效果。
柔性显示则是最新的发展方向，光电薄膜的柔韧性使得它可以应用于弯曲的显示设备。
此外，光电功能薄膜还有一些特殊的应用。
例如，在光电传感器中，光电薄膜可以用于检测环境中的光线，并将光信号转化为电信号。
在激光器中，光电薄膜可以作为激光波长选择器。
在光学信息存储中，光电薄膜可以用于制备光学存储介质，实现高密度的数据存储。
总之，光电功能薄膜是一种重要的功能材料，具有广泛的应用前景。
随着科技的不断发展和需求的增加，光电薄膜的制备技术和应用领域也会不断扩大和创新。
为了实现更高效率、更稳定性强的光电器件，对于光电薄膜的研究与发展是非常重要的。
薄膜太阳能电池激光划线应用试验讲解
薄膜太阳能电池激光划线应用试验自从硅太阳能电池的出现以来，太阳能较其他方式产生电力的能力和成本一直是阻碍其广泛应用的主要因素。
传统的太阳能技术已经可以替代燃料来发电，但是其运行成本令许多开发商望而生畏。
而薄膜太阳能电池的出现或许能改变这一现状。
此技术的主要概念就是，光伏电池材料（在我们的例子中是钼[Mo]，它与半导体材料结合后有很高的抵御高温和阻抗的能力）被沉积于一块基板上，通常是玻璃基板。
由于其特殊的性能，我们只需0.001mm厚的钼自从硅太阳能电池的出现以来，太阳能较其他方式产生电力的能力和成本一直是阻碍其广泛应用的主要因素。
传统的太阳能技术已经可以替代燃料来发电，但是其运行成本令许多开发商望而生畏。
而薄膜太阳能电池的出现或许能改变这一现状。
此技术的主要概念就是，光伏电池材料（在我们的例子中是钼[Mo]，它与半导体材料结合后有很高的抵御高温和阻抗的能力）被沉积于一块基板上，通常是玻璃基板。
由于其特殊的性能，我们只需0.001mm厚的钼作为太阳能吸收层。
因此，钼玻璃基板的大小就决定了太阳能电池板的大小。
这是一个革命性的变化，太阳能电池的大小不再依赖于所能得到的太阳能晶体的大小。
薄膜太阳能电池的集成也相对简单——半导体材料（光电转换主体）放置于电极层和隔离层之间。
如此可以重复多次以得到一个大的高效率的太阳能电池模块。
太阳能电池产品在薄膜钼玻璃背板的出现后进入了一个新方向——更经济型的太阳能发电。
激光由于其更清洁和更有效的切割刻线技术站在了这一应用的最前线。
配置激光器：SPI200 W水冷型光纤激光器加工头：激光加工焦距：100mm辅助气体：氩气结论使用SPI 200W光纤激光器可以实现薄膜太阳能电池玻璃基板上的钼刻线。
激光加工通常来说，我们使用YAG激光器来实现这一应用。
因为YAG激光器（一般为小于400W的连续激光）能克服工作介质有时会使输出功率、光斑大小和光束质量发生波动的限制。
这样就能避免随时间变化的激光参数影响到其加工，造成产品性能的不稳定。
钙钛矿,激光划线,薄膜太阳能电池
钙钛矿,激光划线,薄膜太阳能电池钙钛矿是一种重要的光电转换材料，它由钙钛矿晶体结构构成，因其高能量转换效率而被广泛应用于太阳能电池制造。
然而，在生产过程中，一个关键的问题是如何实现高效、精确的激光划线应用于钙钛矿材料。
激光划线是一种常见的切割工艺，通过激光束的聚焦，可以实现狭窄而精确的切割。
在薄膜太阳能电池制造中，激光划线被广泛应用于切割钙钛矿层。
这样做的一个重要原因是，在传统的机械切割过程中，由于机械刀具的力量较大，往往会导致钙钛矿层的断裂或损伤，从而降低太阳能电池的光电转换效率。
然而，要实现高效的激光划线，有几个关键的因素需要考虑。
首先，激光的功率密度和波长需要适当选择。
功率密度过高会导致材料焦裂或熔化，而功率密度过低则无法实现有效的划线效果。
因此，为了达到最佳划线效果，必须根据具体的材料特性来选择适当的激光功率密度。
其次，划线速度也是一个重要的因素。
划线速度过快会导致划线质量下降，而速度过慢则会浪费时间和能源。
因此，需要通过不断优化和调整划线速度，以实现最佳的划线效果。
此外，激光划线的位置控制也是一个关键的技术难题。
准确控制激光光束的位置，可以避免划线偏移或错位，从而保证太阳能电池的稳定性和可靠性。
总之，针对钙钛矿材料的激光划线应用需要引起足够的重视。
通过合理选择激光功率密度、划线速度和位置控制，可以实现高效、精确的激光划线，提高薄膜太阳能电池的光电转换效率。
这对于推动可再生能源的发展和应用具有重要的指导意义。
topcon电池激光辅助烧结导电原理_概述说明以及解释
topcon电池激光辅助烧结导电原理概述说明以及解释1. 引言1.1 概述在现代科技的推动下，电池作为一种重要的能源储存装置，在我们日常生活中扮演着至关重要的角色。
然而，随着电池技术的不断发展，如何提高电池的导电性以及延长其使用寿命成为了一个迫切需要解决的问题。
本文将介绍一种名为Topcon电池激光辅助烧结导电原理的新型技术。
1.2 文章结构本文主要分为以下几个部分进行阐述和讨论：引言、电池激光辅助烧结导电原理、Topcon技术介绍、Topcon电池激光辅助烧结导电应用案例分析、实验结果与讨论以及结论与展望。
1.3 目的本文旨在全面介绍和探讨Topcon电池激光辅助烧结导电原理，并通过实验结果和案例分析来验证该技术的可行性和优势。
通过对该原理及应用进行深入剖析，我们可以更好地理解这种新型技术对于提高电池导电性方面所带来的积极影响，并为未来的相关研究提供参考和展望。
2. 电池激光辅助烧结导电原理：2.1 电池激光辅助烧结简介：电池激光辅助烧结导电是一种新型的导电技术，它通过利用激光作为热源和电子束来实现材料的高温局部熔融，并在熔融状态下形成均匀的导电通道。
这种方法可以应用于各种不同类型的材料，包括金属、陶瓷和聚合物等。
2.2 导电原理说明：在电池激光辅助烧结中，首先需要选择适当的材料并形成材料粉末。
接下来，将粉末填充到所需的形状或模具中，并施加适当的压力以使其紧密排列。
然后，使用激光器对粉末进行扫描，并通过控制功率和扫描速度来实现局部区域的加热和融化。
当激光器对粉末进行扫描时，高能量的激光束会使粉末表面温度升高到接近或超过其熔点。
由于粒子之间存在空隙，热量会迅速传播到周围的粉末，并使其达到熔点，从而形成一个局部的熔融区域。
在这个过程中，激光的功率和扫描速度必须适当控制，以确保所需的温度和熔化区域大小。
在材料熔融时，粒子之间发生表面张力的变化，使得熔融区域内的粒子相互接触并结合在一起。
当材料冷却后，这些结合形成了均匀且连续的导电通道。
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1、半导体端面泵浦固体激光器 、
2、光纤激光器 、
3、高功率侧泵激光器 、
4、Disc 盘片激光器 、
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
光纤耦合端面泵浦 ：效率高、模式匹配好 效率高、 主要优点: 模式好，基模，光束质量好， 主要优点 模式好，基模，光束质量好，M2<1.3 基模高斯光束的分布
2）P2激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
2）P2激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
2）P2激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
调节: 振动和机台
/
测量工具: 目测，光学显微镜 目测，
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
2）光纤激光器 ）
目前,光纤激光器在薄膜电池行业的应用主要是 激光,用于 刻划. 目前 光纤激光器在薄膜电池行业的应用主要是1064nm激光 用于 光纤激光器在薄膜电池行业的应用主要是 激光 用于TCO刻划 刻划 光纤激光器是指用掺稀土元素玻璃光纤作为增益介质的激光器 .
2）P2激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
3）P3激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
3）P3激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1064nm 20-500KHZ 10ns 0.5mJ 功率稳定性： 功率稳定性：5% M2 2 高斯分布
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
3）高功率侧泵激光器以及Disc盘片激光器 ）高功率侧泵激光器以及 盘片激光器
这两种大功率激光器目前主要用于薄膜电池的激光清边。 这两种大功率激光器目前主要用于薄膜电池的激光清边。
光阑
Beam shaping
聚焦镜 衬底
2.激光刻膜机光学系统构造 2.激光刻膜机光学系统构造
2.激光刻膜机光学系统构造 2.激光刻膜机光学系统构造
检测一个光学系统是否理想 1、能量：Laser 、能量： 扩束镜 光阑 每个镜面的反射 2、光束质量 、 需要质量分析仪 3、刻膜效果 、 光斑能量分布 光斑大小
侧面泵浦能得到更大的泵浦源功率，因此侧泵激光器能得到较高的功率， 侧面泵浦能得到更大的泵浦源功率，因此侧泵激光器能得到较高的功率， 但是光束质量不是太高，对于清边影响不大。 但是光束质量不是太高，对于清边影响不大。
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
3）高功率侧泵激光器以及Disc盘片激光器 ）高功率侧泵激光器以及 盘片激光器
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
2）光纤激光器 ）
光纤激光器生产厂家 1、IPG(德国） 、 德国） 德国 2、SPI -----Trumpf（德国） 、 （德国） 3、GSI 、
采用光纤激光器来刻TCO的激光设备厂家 的激光设备厂家 采用光纤激光器来刻 1、Jenoptik采用 、 采用20W 1070nm激光器进行 刻划 激光器进行P1刻划 采用 激光器进行 2、EO 、
刻膜原理
激光波长
NiV (50nm) Al (200nm) Back contact
短波长， 短波长，打断物 质分子键或原子 键。吸收峰在激 光波长附近的物 质更易被去除。 质更易被去除。
ZnO:Al (AZO,100nm) 532nm n (30nm) i (200nm) p (20nm) 1064nm SnO2:F (TCO,350nm) Glass substrate (3.2mm) Front electrode a-Si
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1064nm Nd:YVO4 532nm 355nm Nd:YVO4 (较好的倍频转换效率 较好的倍频转换效率) 较好的倍频转换效率 Nd:YVO4 SnO2:F导电玻璃 导电玻璃 Si Al TCO玻璃 玻璃
4）P4激光清边 ） 激光清边
4.激光划线的缺陷 4.激光划线的缺陷
我们希望得到的激光划线结果?
硅残留少 直线度好 沟道形状好 沟道宽度准确 高产出
4.激光划线的缺陷 4.激光划线的缺陷
硅残留少： 硅残留少：硅残留会导致电池的短路或断路
调节: 碎屑去除单元
/
测量工具: 光学显微镜
直线度好: 直线度好 直线度差会导致电池均一性差甚至串行
3）高功率侧泵激光器以及Disc盘片激光器 ）高功率侧泵激光器以及 盘片激光器
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
3）高功率侧泵激光器以及Disc盘片激光器 ）高功率侧泵激光器以及 盘片激光器
2.激光刻膜机光学系统构造 2.激光刻膜机光学系统构造
Laser 扩束镜 反射镜
激光在薄膜电池中的应用
目录
1. 非晶硅薄膜电池所用激光的分类
2. 激光刻膜机光学系统的构造
3. 薄膜电池中的 、P2、P3、P4 薄膜电池中的P1、 、 、
4. 激光的缺陷
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
非晶硅薄膜电池所用的激光器主要有以下几类： 非晶硅薄膜电池所用的激光器主要有以下几类：
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
• 边缘隔离(edge isolation): 边缘隔离(edge 在边缘去除(edge clearing)的内侧利用激光刻膜进一步 在边缘去除(edge clearing)的内侧利用激光刻膜进一步 使有效电池部分与组件边缘实现电绝缘。 使有效电池部分与组件边缘实现电绝缘。
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
Rofin
Trumpf
500W-800W侧泵激光器 侧泵激光器 600*600um方光纤传输 方光纤传输 光斑1mm 光斑 75mJ
Disc 500W laser Trumicro 7050 500W 光斑900um 光斑 40mJ M2<13
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
生产此类激光器的主要厂家: 罗芬） 生产此类激光器的主要厂家 Rofin(罗芬） 罗芬 coherent （相干） 相干） SP（光谱物理） （光谱物理） optowave（光波） （光波） 评判这类激光器好坏的主要指标： 评判这类激光器好坏的主要指标： 工作频率下的脉宽 工作频率下的脉冲功率密度 脉冲稳定性。 脉冲稳定性。
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
1）半导体端面泵浦激光器 ）
1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类 1.非晶硅薄膜电池所用激光的分类
3）P3激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
3）P3激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
4）P4激光清边 ） 激光清边
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
1）P1激光 ） 激光
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
长波长， 长波长，利用较 大热量使物质被 气化而去除。 气化而去除。
单节a-Si薄膜太阳能电池膜层示意
3.薄膜电池中的P1、P2、P3、P4 3.薄膜电池中的 、P2、P3、 薄膜电池中的P1
• Pattern 1 (P1) 得到初始TCO层的分隔。形成前电极的分隔线，条形码，边缘隔离分 (P1): 割线，若需要还可做出基准标记。 • Pattern 2 (P2) 得到电池-电池间的连接通道，通过划掉非晶硅和微晶硅得到。 (P2): • Pattern 3 (P3) 得到硅层和背电极的分隔。形成背电极分割线和边缘隔离分割线。 (P3):