洁净室空气处理过程图
各类洁净室系统图文详解
各类洁净室系统图文详解01洁净系统控制>>>洁净度-尘埃粒子数>>>压差相邻洁净区房间之间的压差应为10-15帕斯卡（指导值）。
--EUcGMP（欧盟）洁净区与非洁净区之间、不同等级洁净区之间的压差应不低于10帕斯卡，相同洁净度等级不同功能的操作间之间应保持适当的压差梯度，以防止污染和交叉污染。
--新版GMP 相邻洁净区房间之间的压差应为12.5帕斯卡。
--FDA>>>气流组织及自净应证明各种气流方式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措施确保气流不会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求高的区域。
生产操作全部结束，操作人员撤离生现场并经15～20分钟（指导值）自净后，洁净区的应达到“静态”标准。
>>>洁净室围护结构02墙板>>>密胺树脂面层的墙体板材面层不会生锈，抗冲击性能优越。
加工性能好,可任意切割开孔、切割、锯。
表面平整度好。
>>>彩钢板面层的墙体板材与特有龙骨系统相匹配。
可以完全平整地与各种组件相衔接。
两种板材在同一系统中可以互换。
>>>多种墙板选择>>>二次排版设计，全部工厂制作，无现场切割，手工制作>>>机制岩棉板>>>手工岩棉板1.手工岩棉板，四周采用镀锌板冷拉型框架或塑钢框。
2.两面可采用彩涂板、镀锌、不锈钢等净化特定材质。
3.芯材可采用无机质(玻镁板、石膏板)、岩棉、硅酸铝棉、玻镁棉，珍珠棉。
4.产品具有表面美观、隔音、绝热、保温、抗震，防火性能符合国家标准。
>>>玻镁岩棉板1.防火，阻燃。
按GB25970-2010标准达到A级不燃板材。
2.防水、防潮。
在水中浸泡48小时以上，板材不变形，无变化。
3.防腐、耐酸碱。
保证建材装饰的长久性。
4.隔音、隔热。
隔热性能极佳，有极强的隔音效果。
空气洁净技术 第三章 空气洁净设备及其应用
效过滤器应靠近洁净室，阻力效率接近的高效过
滤器应安装在同一洁净区内。
3.1.6 空气过滤器的选用
4、根据洁净场所
的实际参数和要求，综
合经济效益、实用等因
P T N1 103 Qt
T-过滤器使用寿命（d）； P-过滤器的容尘量（g）； N1-过滤器前空气的含尘浓度（mg/m3）；
以上方法均用于高效过滤器的效率检测。
3.1.4典型空气过滤器结构原理
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• ZJK—1型自 动卷挠式人 字形粗效空 气过滤器
图3-4 ZJK—1空气过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• YB玻璃 纤维粗 效过滤 器
图3-5 YB型玻璃纤维过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
（2）按使用目的不同分类
• 5）制造设备内用过滤器（非标准型)
–通常采用HEPA、 ULPA或HEPA+化学过滤器或
ULPA+化学过滤器等。
• 6）高压配管用空气过滤器
（3）按过滤器材料不同分类
• 滤纸过滤器
– 洁净技术中使用最为广泛的一种过滤器。
• 纤维层过滤器
• 泡沫材料过滤器
– 应用较少。
• GK-GW高效过滤器
• 主要用于超净化机箱 等要求高温空气净化
的设备和系统，最高
耐温达300℃。
图3-12 GK-GW高效过滤器
过滤产品实例
图3-13 GKLW高效过滤器
图3-14 GKWL无隔板高效过滤器
3.1.6 空气过滤器的选用
1、一般情况下，粗效过滤器可以满足一般空 调房间的净化要求 ； 粗效和中效过滤器联合使用可以满足洁净室
典型空气处理系统图（净化）
洁净室系统详解--洁净室各主要系统图文讲解-KLCFILTER
相邻洁净匙房间之间的压差应为12.5帕斯卡
-------FDA
洁净系统控制---气流组织及自净
It should be demonstrated that air-flow patterns do not present a contamination risk, e.g. care should be taken to ensure that air flows do not distribute particles from a particle-generating person, operation or machine to a zone of higher product risk. The particulate conditions given in the table for the “at rest” state should be achieved after a short “clean up” period of 15-20 minutes (guidance value) in an unmanned state after completion of operations. 应证明各种气流斱式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措斲 确保气流丌会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求 高的匙域。生产操作全部结束，操作人员撤离生现场并经15～20分 钟（挃导值）自净后，洁净匙的应达到 “静态”标准。
植物提取工艺优化 Optimization of herbs extraction 水机设备 Hydraulic engine equipment
洁净系统服务架构
洁净系统控制---目标
为产品生产和操作人员提供一个适宜的内部环境 To provide a proper indoor environment for production and staff. 降低污染和交叉污染的危险 To lower the risk of contamination and cross contamination. 保护员工，保护周边环境 To protect the staff and to protect the outdoor environment.
洁净室基础知识-送回风结构形式
侧面送风、顶部回风结构
优点
空气在洁净室内形成水平 流动，有利于减少涡流和 短流现象；适用于层高较 低、面积较大的洁净室。
缺点
对于局部污染较重的区域， 可能需要增加局部排风装 置；对空气分布均匀性要 求较高。
适用场景
食品、饮料、化妆品等行 业的洁净室。
混合式送回风结构
1 2
优点
结合顶部送风和侧面送风的优点，能够形成更为 均匀的空气分布；适用于对洁净度要求较高的场 合。
回风方式及特点
上回风
回风口位于洁净室顶部，适用于 散热量较大的设备或需要较大送 风量的场所。特点是回风效果好，
但需要注意避免顶部积灰。
下回风
回风口位于洁净室底部，适用于对 洁净度要求极高的场所。特点是空 气洁净度高，但需要注意避免地面 杂物进入回风系统。
侧回风
回风口位于洁净室侧面，适用于空 间高度较低或布局较为紧凑的场所。 特点是节省空间，但回风效果可能 受到一定影响。
02 送回风系统基本原理
送风方式及特点
单向流送风
混合流送风
空气以单一方向流动，通常用于要求极 高的洁净环境，如手术室、实验室等。 特点是空气洁净度高，但能耗较大。
结合单向流和非单向流的送风方式，根 据实际需要灵活调整。特点是在满足洁 净度要求的同时，尽量降低能耗。
非单向流送风
空气以不固定方向流动，适用于一般 洁净要求的场所。特点是能耗较低， 但空气洁净度相对单向流送风略低。
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缺点
系统较为复杂，设计和施工难度较大；能耗可能 较高。
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适用场景
半导体、光电子、精密机械等行业的洁净室。
其他特殊结构形式
洁净手术室空气净化技术
净化设备 空气过滤器 高效空气过滤器 初效过滤器 空调过滤器 风淋室 FFU风机过滤单元 净化工程 风机过滤单元 空气过滤器专业生产厂家/ 净化设备专业制造厂家 空气过滤器专业生产厂家 净化设备专业制造厂家
• 2、按净化空间分型 • （1）全室净化 采用天花板或单侧墙全部送风，使 采用天花板或单侧墙全部送风，
洁净手术室 空气净化技术
淨化設備及空氣過濾器製造安装 淨化設備及空氣過濾器製造安装 潔淨無塵室設計及建造 维护施工
金田瑞麟 初效过滤器 净化设备 空气过滤器 净化工程 风淋室 高效空气过滤器 空调过滤器 风淋室 FFU风机过滤单元 FFU风机过滤单元 净化工作台
• 手术室的历史沿革 • 现代的手术室源于16 世纪的意大利和法国， 现代的手术室源于 16世纪的意大利和法国 ，
与洁净度有关的基本概念
浮游菌法细菌浓度：在空气中随机采样， 浮游菌法细菌浓度：在空气中随机采样 ， 对采样培养 基经过培养得出菌落数（ cfu ） 基经过培养得出菌落数 （ cfu） ， 代表空气中的浮游菌数 个/ m³。 沉降法细菌浓度：用直径90mm的培养皿在空气中暴 沉降法细菌浓度：用直径90mm的培养皿在空气中暴 露30分钟，经过培养得出的菌落数。代表空气中可以沉降 30分钟，经过培养得出的菌落数。代表空气中可以沉降 下来的细菌数。 净化手术室空气培养方法：既以直径90mm的培养皿， 净化手术室空气培养方法：既以直径90mm的培养皿， 静置室内30分钟，然后培养得出的每个皿的菌落数。每个 静置室内30分钟，然后培养得出的每个皿的菌落数。每个 手术间内放置13个培养皿，中间5 手术间内放置13个培养皿，中间5个（局部净化区域，相 当于手术床的位置），四周每面墙2 当于手术床的位置），四周每面墙2个，放置位置、高度 与普通采样方法要求一致。
电子厂洁净室空调系统简介
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洁净室空调系统特性（二）
气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。 洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。 送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在±0.3ºC，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图） 运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
電子廠 潔淨室空調系統 簡介
大纲
洁净空调特性
空气循环系统 换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理 性质 焓湿图 处理程序
MAU 结构 功能
洁净室空调系统特性（一）
温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～23 ℃,相对湿度为40～45％。 对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。 外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。
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空气循环系统
風管系統 FFU系統 軸流風機系統
空氣循環系統功能 潔淨度之控制 溫度之控制 濕度之維持
潔淨室熱源分佈
空氣循環量 氣流方式
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空氣循環量
空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积 以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M,空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄光区的换气系数为360次/小时。（图示） 普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。
5空气处理方式
• 1.阻抗复合式消声器
• 这是利用对声音的阻性及抗性合成作用的一种消声器。
• 阻抗复合式消声器构造见图4.33，其中抗性消声是利用内管 截面突变及由内管及外管之间膨胀室作用而组成抗性消声， 当声波遇到截面变化的断面就会向声源方向反射而减少声音 的传递。抗性消声对10～15dB的低频噪音有较好的消声作 用，而阻性消声则是利用安装在管内用吸声材料做的消声板 来消声的。当声波遇到松散孔隙的吸声材料，会使其分子产 生振动加大摩擦阻力，声波会转变为热能，以达到消声的目 的。这种阻性消声对15dB的中频噪声及25～30dB的高频噪 声均有良好消声效果，因此阻抗复合式消声器对低、中、高 频声波噪声有较好的消声作用。
4.5.1 空气加热处理
• 为了满足室内温度的需要，将空气进行加热处理以提高送风 的温度，空气加热一般通过空气加热器、电加热器等设备来 完成。
• 空气加热器：见图4.30，它是由多根带有金属肋片的金属管 连接在两端的联箱内，热媒在管内流动并通过管道表面及肋 片放热，空气通过肋片间隙与其进行热交换，达到空气被加 热的目的。
4.5.1 空气加热处理
图4.30 加热器构造
4.5.2 空气冷却处理
• 用于夏季冷却空气处理，可采用表面式冷却器及喷水冷却的 方法。
• 1.表面式冷却器 • 简称表冷器，它的构造与加热器组构造相似，它是由铜管上
缠绕的金属翼片所组成排管状或盘管状的冷却设备，管内通 入冷冻水，空气从管表面侧通过进行热交换冷却空气，因为 冷冻水的温度一般在7～9℃左右，夏季有时管表面温度低于 被处理空气的露点温度，这样就会在管子表面产生凝结水滴， 使其完成一个空气降温去湿的过程。
• 表冷器在空调系统广泛使用，其结构简单、运行安全可靠、 操作方便，但必须提供冷冻水源，不能对空气进行加湿处理。
洁净区净化基础知识
❖ 悬浮粒子： 可悬浮在空气中的尺寸一般在0.001μm－ 1000μm之间的固体、液体或两者的混合物质，包括生 物性粒子和非生物性粒子 。
❖ 菌落 ： 细菌培养后，由一个或几个细菌繁殖而成的一
细菌集落，简称CFU。
❖ ② 中效过滤器：用以滤除1～10μm的悬浮尘粒；一般由 中、细孔泡沫塑料、无纺布、玻璃纤维作为滤材。过滤 效率一般在30％～50％。
❖ ③ 高效过滤器（HEPA）：用以滤除1μm以下以控制送 风系统含尘量，主要采用超细玻璃纤维滤纸、石棉纤维 滤纸作为滤材。
空气净化系统的三级过滤示意图
热水或蒸汽
一名词术语
❖ 空调净化： 是指对空气洁净度、静压等为主要目的进 行控制的空气调节技术，是为去除空气中的污染物质， 使空气洁净的行为。
❖ 气锁（Air Lock）：设置于两个或数个房间之间（如 不同洁净度级别的房间之间）的具有两扇或多扇门的 隔离空间。设置气锁间的目的是在人员或物料出入时， 对气流进行控制。气锁间有人员气锁间和物料气锁间。
❖ 乱流100级，一般30-50次/小时 ❖ 层流百级-乱流百级：天壤之别 ❖ 以高效送风替代层流是没有理由的 ❖ SVP灌装随意取消层流也是不安全的
return
洁净区照度的要求？
❖ 主要工作室的照度宜为300LX，有特殊要求 的生产部位可设置局部照明。
洁净区温湿度要求
❖ 本规范对洁净室（区）的温度和相对湿度要 求应与药品生产工艺相适应。无特殊要求时， 温度应控制在18～260C，相对湿度控制在 45～65％。
❖ 空态测试 洁净室（区）在净化空气调节系统 已安装完毕且功能完备的情况下，但是没有生 产设备、原材料或人员的状态进行的测试。
5空气处理方式解析
• 1.阻抗复合式消声器 • 这是利用对声音的阻性及抗性合成作用的一种消声器。 • 阻抗复合式消声器构造见图4.33，其中抗性消声是利用内管 截面突变及由内管及外管之间膨胀室作用而组成抗性消声， 当声波遇到截面变化的断面就会向声源方向反射而减少声音 的传递。抗性消声对10～15dB的低频噪音有较好的消声作 用，而阻性消声则是利用安装在管内用吸声材料做的消声板 来消声的。当声波遇到松散孔隙的吸声材料，会使其分子产 生振动加大摩擦阻力，声波会转变为热能，以达到消声的目 的。这种阻性消声对15dB的中频噪声及25～30dB的高频噪 声均有良好消声效果，因此阻抗复合式消声器对低、中、高 频声波噪声有较好的消声作用。
4.5.5 消声处理 • 当风机运转时，由于机械运动产生的振动及噪声，通过风 道、墙体、楼板等部位传至空调房间而造成噪声污染，风 道内也会因高速气流而产生噪声，因此除对风机或其他空 调设备所产生的噪声应进行消声减振处理外，风道内的噪 声可通过在消声设备或风道内壁做消声板、消声弯头的方 法降低噪声。 • 消声器的种类很多，空调工程上常用的有阻抗复合式消声 器、管式消声器、微穿孔板式消声器、片式消声器、折板 式消声器，还可做消声管段等方法降低噪声。
图4.31 喷水室构造 1.前挡水板；2.后挡水板；3.水泵；4.滤水器； 5.溢水盘；6.水池；7.喷水管；8.喷嘴
• 喷嘴一般由硬质塑料制作，如工业空调常用的Y－1型及铜合 金制作的FL型喷嘴等类型。水进入喷嘴多呈漩涡状运动，喷 嘴盖呈杯形并可拆卸更换或清除喷孔。喷水管可根据设计成 排布置，喷水方向可分成以下几种形式，如图4.32所示。 • 加湿效率也因其喷水室的喷水形式不同而有差异，一排顺喷 平均加湿效率在60%左右；一排逆喷为75%；二排顺喷为 84%；二排对喷为90%；二排逆喷为95%左右。 • 在水池底部的出水口需装有滤水器，主要是过滤水中的泥沙， 防止阻塞喷头的孔眼。
手术室常用空气处理方式及节能分析
手术室常用空气处理方式及节能分析贺学广 E—mail:******************摘要：本文以一级洁净手术室为例，分析了舒适性空调同洁净空调送风量的确定方法、洁净空调的送风温差，以及送风状态点的确定方法，介绍了二次回风系统在洁净手术室空气处理过程中的应用。
与一次回风空气处理过程相比较，在一级同二级洁净手术室空气处理过程中应用二次回风系统，节能效果显著。
关键词：洁净手术室、送风量、送风温差、二次回风、节能通常在舒适性空调（全空气系统）送风量的确定时，是先计算室内余热、余湿，而后计算热湿比，再选定送风温差，进而确定送风状态点。
在焓湿图可查得送风状态点和室内点的焓值，进而按消除室内余热或余湿计算送风量，再校核换气次是否达到要求，如未达到，则应接规定的换气次数为准。
由于洁净空调送风量是接规范所要求的换气次数去计算送风量（再按消除室内余热去校核送风量，二者取较大值，通常按换气次数计算的送风量要大于按消除室内余热所计算的送风量。
），其送风量较舒适性空调要大得多，且送风量为己知，故不能用确定送风温差的方法去确定送风状态点，我们可以用消除室内余热的方法去求得送风状态点与室内状态点的焓差，进而确定送风状态点的焓值，作等焓线与热湿比线的交点，即得到送风状态点。
在洁净手术的设计过程中，其送风量一般按换气次数确定，对于一级手术室，其要求严格，为洁净单向流，一般不按换气次数确定，其送风量为：2.6×2.4×0.45×3600（风口规格为2.6×2.4，风速一般为0.2m/s~0.3 m/s，考虑衰减，一般取0.4 m/s ~0.45 m/s[1]，手术室送风口一般都用送风天花）。
二级手术室：30～36次/h，[2]三级手术室：18～22次/h，四级手术室：12～15次/h。
现以某医院洁净手术室（处于湖北荆州）夏季一次回风系统为例，设计参数如下表所示：洁净室设计参数表1手术室一般处于建筑的内区,主要负荷为医疗设备、灯具同人体的散热,风量、负荷计算见下表:手术室风量、冷量计算表表2 房间面积层高级别送风量余热量余湿量热湿比新风量新风负荷总负荷m2m m3/h kw g/s m3/h kw kw OR1 42 3 1 10100 8.6 3.64 8600 1000 14.74 23.34 OR2 36 3 2 3888 6.4 2.77 8312 800 11.8 18.2 OR3 36 3 3 2376 5.8 2.5 8286 800 11.8 17.6 OR4 36 3 4 1620 5.2 2.33 8000 600 8.84 14.04由于手术室一般比较集中，故其空调布置也比较集中，为方便施工及控制，新风一般由新风机组集中处理，由由风管送至各个回风处理机组与回风相混合。
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七个典型的洁净空气处理系统即空气处理过程
七个典型的空气处理系统即空气处理过程
-3.1.5.1净化和空调合一的方案其净化空调机组（AHU）集中设置在空调机房内，全部的送风均在净化空调机组内进行过滤和热、湿处理，然后由庞大的送风管将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高效过滤器送风口送到洁净室内，来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的空调机组内与新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。
•净化和空调合一的方案又可分为全新风方案(直流系统)；一次回风方案；一、二次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不
；同的净化空调送风型式。
•这些送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方案。
这些送风方案的系统划分明确，风量和温、湿度控制调节都比较单一。
•但当洁净度级别较高、送风量较大时，存在着空调机房占面积大，送、回风管体积大占面积和占空间大，送、回风管道长，送风机的压力高，噪音大，风量输送耗电量大等问题。
因此，这些送风方案较适用在低级别的非单向流洁净室的送风，对5级以上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。
一、AHU全新风的净化空调送风方案
（直流系统）
•全新风净化空调送风方案是用于特殊的不允许回风的洁净室的送风方案中。
女山洁净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允许回风的洁净送风系统中。
其原理图和焰湿图如下。
示思图焙湿(i・d)图
空调机组(AHU)全新风空气处理方案示意图及焙湿图
二、AHU 一次回风的净化空调送风
方案
•一次回风的送风方案多用在洁净室内的发热量或产湿量很大，消除室内余热或余湿的送风量大于或等于净化送风量的低洁净度等级的非单向流洁净室中。
此方案的原理图和焙湿图如下：
W
示意图焙湿(i・d)图
空调机组(AHU) —次回风空气处理方案示意图及焙湿图
三、AHU 一、二次回风的净化空调
送风方案
•为了节能、消除空气热湿处理过程中的冷热相互抵消，在洁净室净化送风量大于消除余热、余湿的空调送风量时，最好采用一、二次回风方案，将二次混合点设计在系统送风点上，该方是最节能、最经济的送风方案。
其原理图和焙湿图如下：
空调机组(AHU) —、二次回风空气处理方案示意图及焙湿图
四、MAU+RAU的净化空调送风方案
•此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度, 温、湿度及其精度的要求，就要设置多个循环机组，循环机组的送风量是能消除室内余热、余湿，保证室内温、湿度同时又能满足室内洁净度要求的净化空调送风量，在循环机组内设置必要的热、湿处理设备，用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。
示意图焙湿(i-d)图MAU加RA U空气处理方案示意图及(i-d)ffl
・5.1.5.2净化送风和空调送风分离的方案，此方案通常被称作半集中式或分散式的送风方案。
为了大大地节省运行时的能耗，将消除洁净室内余热、余湿的空调送风量（通常大大地小于洁净室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机组（MAU）进行必要的净化和热湿处理，而将占总送风量50〜90%的保证洁净室洁净度的净化送风量由设在洁净室附近的循环机组进行净化和补充的热、湿处理，或直接采用吊顶上的FFU （风机过滤器机组）和干盘管来解决洁净室的洁净度等级和温度的微调节。
•此方案是净化送风与空调送风相分离的方案，不仅可节省运行的能耗，而且大大地减少了空调机房面积，省掉了庞大的送、回风管道，降低了洁净室的空间高度。
此净化空调送风方案又可分为：空调机组(AHU) (MAU)加风机过滤器机组(FFU)方案，新风机组(MAU)加循环机组(RAU) 力口(FFU)方案；新风机组(MAU)加风机过滤器机组(FFU)加干冷盘管(DC)方案等三种送风方案。
其送风原理图和炮湿图如下:
示意图攵含湿(i-d)图
AHU加FFU空气处理方案示意图及*含湿图
二、新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机
过滤器单元（FFU）净化空调送风方案
•此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求，就要设置多个循环机组，循环机组的送风量只是消除室内余热余湿的空调送风量，并且在机组内设置必要的热、湿处理设备，用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。
•此方案的新风机组设在空调机房内，这些洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU）进行净化和热湿的集中处理。
然后分配到每一个循环机组内与其回风混合。
新风机组的新风量不仅仅要补充各洁净室的排风还要保证每个洁净室的正压。
示意图焙湿(i・d)图
MAU加RAU加FFU空气处理方案示意图及(i-d)图
三、新风机组（MAU）加风机过滤器机
组（FFU）加干冷盘管（DC）的净化空调
送风方案
•此方案是新风机组将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度95%线交点以下，新风机组不仅将本身的湿负荷去掉，而且还负担洁净室内产生的湿负荷，新风机组要确保洁净室所要求的相对湿度。
而新风机组执处趣不定部分的工冷负荷将宙设在洁净室下夹层或吊顶上的干表冷器来补充。
因干表冷器是设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内，因此，干表冷所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。
MAU加FFU加DC空气处理方案示意图及焰湿图
3.1.6洁净室净化空调系统的冷、热源
• 3.1.6.1净化空调系统冷源的选择
•一、集中冷冻站和分散独立冷源的比较和选择。
・大型规模化的生产工厂集中设置冷冻站，对建造投资和运行管理都是比较有利的。
但是由于一些温、湿要求差别比较大供冷参数不同；运行规律、运行时间不同的洁净车间来说，在集中冷冻站基础上，就近设置分散、独立、专用的制冷机组，这对节省能源，保证参数和方便运行管理都有极大的好处。
•二、冷媒采用冷冻水还是氟立昂直接蒸发。
•对于大型的工厂由集中的冷冻站供给冷冻水作为净化空调系统的冷媒较为有利。
因冷冻水输送方便，输送过程冷损失较小；而且，冷冻水作冷媒对净化空调系统参数的控制、调节和维护管理也都比较有利。
但是小的独立分散的制冷机组可采用水冷冷水机组，也可采用风冷直接蒸发的制冷机组。
这要根据具体项目的具体
情况而定。
•三、采用压缩式制冷机还是采用直燃式漠化锂吸收式制冷机。
•活塞式、离心式、螺杆式制冷机都是压缩式制冷机，在净化空调设计中最多采用的还是离心、螺杆等压缩制冷机。
因为其投资低，运行管理方便，但其运行耗电很高。
压缩式制冷机组的冷冻水供水温度可调，最低供zR温应可为4°C o 是，左供电緊张而燃气和煤供应较为方便的地区，尤其是有废热废蒸汽可以利用的场合，采用直燃式漠化锂吸收式制冷机更为经济，尤其是这种制冷机组在供冷的同时还可供热。
四、净化空调系统冷冻水的温度的确定
•当以冷冻水作为净化空调系统的冷媒时，在一般的情况下，冷冻水的初温（表冷器冷冻水的进口温度）应比处理后空气的终温（设计计算中确定）至少要低3.5°C；女口果是以冷冻方式去湿降温为目的空气处理系统，冷冻水的终温（表冷器冷冻水的岀口温度）应比处理后空气的终温低0.7°C；用作干式冷盘管的冷冻水的初温（进口温度）应比洁净室内空气的露点温度至少高2°Co
3.1.6.2净化空调系统冷源的选择
・一、以冬季防冻为目的新风预热加热器的热媒最好采用电加热或蒸汽加热，一般不宜采用热水作热媒，这样预热器本身可能有被冻坏的危险。
・二、空调机组内加热器的热媒可采用热水、蒸汽或电加热，其中电加热控制灵活方便，温度控制精确度高，但运行费昂贵，一般在没有热水和蒸汽供应的地方才用电加热；用热水作热媒时不仅调节和管理方便、而且控制精度也高是加热器最常用的热媒；当温度的精度要求不高（如。
C）也可采用蒸汽作加热器的热媒。
•三、当温度的精度要求很高的时候（如°C）宜在送入洁净室的支管上设温度精度微调节的电加热器是一个可行的方法。
•四、净化空调系统的加湿比较方便、可行、经济、可靠的方法是用过热蒸汽
（＞0.2MPa）作热媒采用干蒸汽加湿器进行加湿，或采用电热式或电极式加湿器。
当相对湿度的精度要求不高且加湿量较大时，宜采用水来加湿，可采用淋水，湿膜或喷雾（高压喷雾或高压微雾）等形式。