半导体项目洁净室吊顶二次钢构选型简析
浅析半导体厂房洁净空调系统的应用
14 |R E A L E S T A T E G U I D E浅析半导体厂房洁净空调系统的应用钱佳伟 (上海临港产业区经济发展有限公司 上海 201306)[摘 要] 随着半导体技术的飞速发展,洁净室环境对于晶圆制造过程中的稳定性和产品质量至关重要㊂本文通过工程实例,详细探讨了12英寸晶圆制造厂中广泛应用的MA U+F F U+D C C 空气处理系统㊂该系统结合了组合式新风机组(MA U )㊁风机过滤单元(F F U )和干盘管(D C C )技术,为晶圆制造提供了高效㊁稳定的洁净环境㊂本文还对该系统在实际应用过程中的主要注意事项进行了分析与总结,为半导体厂房洁净空调系统的设计㊁运行和维护提供了有益参考㊂[关键词] 晶圆厂;洁净室;组合式新风机组;干盘管:MA U+F F U+D C C [中图分类号]T U 831.3 [文献标识码]A [文章编号]1009-4563(2024)06-014-031 引言随着国内集成电路产业的迅速发展和市场需求的不断增长,12英寸晶圆厂的建设成为提升产业竞争力的关键㊂洁净空调系统作为确保晶圆生产环境稳定和产品质量的重要因素,其应用与维护显得尤为重要㊂本文以位于上海临港新片区的某12英寸半导体晶圆厂项目为工程实例,结合笔者亲历的实施经验,深入分析了半导体厂房洁净空调系统的构成及其在实际运行中的注意事项,旨在为半导体厂房洁净空调系统的设计㊁运行和维护提供有益参考㊂2 M A U+F F U+D C C 洁净空调系统简介在半导体制造中,晶圆厂的洁净室空调系统承担着至关重要的角色,需要确保生产环境的洁净度㊁稳定性和可靠性㊂近年来,MA U+F F U+D C C 系统,即组合式新风机组(MA U )㊁风机过滤器单元(F F U )与干盘管(D C C )空调系统,因其出色的性能㊁节能效果㊁应用灵活性和空间利用率,逐渐成为晶圆厂洁净室空调系统的主流选择㊂MA U 作为系统的核心,主要负责引入并过滤室外新鲜空气,同时控制洁净室的温湿度,维持室内正压,确保送入洁净室的空气满足洁净度和温湿度要求㊂F F U 是安装在洁净室内的空气过滤单元,通过高效过滤器不断循环过滤空气,有效去除空气中的微粒和微生物,保证洁净室的空气洁净度㊂D C C 是一种高效的冷却设备,负责去除室内的显热负荷,保证室内温度稳定㊂通过精确的温度控制,D C C 确保洁净室内的环境条件满足生产工艺的严格要求㊂背景项目F A B 生产厂房采用典型的四层结构(见图1),这种结构优化了气流组织和空气处理效率,从下到上依次为动力支持区㊁洁净区下技术夹层㊁生产洁净区和上技术夹层(T R U S S 层)㊂洁净生产区产生的微尘㊁粒子㊁有机污染物等回风随气流通过机台区域下方高架蜂窝地板和贯穿楼层板的华夫筒进入下夹层,后经过厂房两侧的D C C 通过回风夹道,与经过MA U 过滤㊁温湿度处理等送达T r u s s 层静压箱的室外空气混合,通过F F U 循环过滤后以垂直层流方式进入洁净室,这种设计确保了空气流动的均匀性和稳定性,从而提供了稳定的生产环境㊂为了满足不同生产工艺的需求,项目对洁净室进行了细致的洁净级别划分㊂从万级到百级,甚至最高的一级,每个区域都有严格的温湿度要求和允许偏差范围㊂为了满足生产工艺要求最关键和最重要的部位,项目将最高洁净级别的区域,如I S O 1-5级,规划在生产工艺要求最关键和重要的部位,采用垂直单向流的气流组织㊂而对于其他区域,如I S O 6-8级,则采用大面积的非单向流设计㊂这种混合流无尘室的设计方案不仅优化了投资成本,还确保了生产环境的稳定性和可靠性㊂图1 某12英寸晶圆制造厂洁净空调系统架构形式及气流组织示意图3 M A U 组合式新风机组功能介绍及注意事项MA U 是提供全新风的组合式空调机组,安装于屋面新风空调机房内㊂典型的MA U 机组功能段(见图2)主要包括进风段㊁初效过滤段㊁中效过滤段㊁预热盘管段㊁预冷盘管段㊁水洗加湿段㊁再冷盘管段㊁再热盘管段㊁风机段㊁均流段㊁化学过滤段㊁高效过滤段㊁出风段㊂其主要功能包括:1)维持正压和补充新风:具有保证无尘室的正压的功能,弥补制程排气所需要相应的新风,防止外部未经净化处理的空气进入㊂MA U 机组的新风量考虑应按照洁净室的制程排气等排风风量与维持洁净室正压的渗漏风量的和值㊂2)温湿度控制:由于无尘室需要维持严格的相对湿度,在夏季时MA U 机组必须具备充分的降温以及除湿能力,反之,在冬季时,由于室外新风的干燥原因,需要额外考虑适当的新风加湿处理㊂3)过滤和空气净化:通常情况下MA U 机组需要设置外置无纺布㊁初效㊁中效以及高效过滤器,保持F F U 配套的超高效过滤器安全和有效使用寿命㊂4)有害气体处理:新风机组需要处理室外新风中的有害气体及成份,因此MA U 机组内部的功能段设置需要考虑水洗喷淋功能段,以应对氮㊁硫等有害工艺的元素㊂同时为了处理室外新风中的有害分子,通常MA U 机组的功能考虑应考虑化学过滤器㊂5)防冻措施:在部分地区,尤其室外空气温度最低达到零下十几度甚至几十度的地区,MA U 机组需要功能段增加预热盘管的措施,防止发生盘管冻裂的情况,造成停产维修等情况㊂在对MA U 组合式空调机组进行选型设计时,除充分考虑满足以上基本功能外,根据笔者在项目中与运营方结合工厂实际运营经验讨论总结后,还应着重对以下因素进R E A L E S T A T E G U I D E |15行充分考量:图2 典型MA U 机组功能段示意图1)功能段复核:需要对MA U 机组的功能段进行深化复核,尤其是冷量热量风量,确保MA U 机组的设备不存在负偏离的情况,否则在极端天气,因冷热量设计无余量,极端天气无法处理对应复核,极易造成车间内的温湿度失控㊂2)控制系统选型:MA U 机组控制系统的电动阀㊁传感器的型号,尽可能选择信号灵敏,精度较高,反馈及时的型号,否则容易造成自控电脑端显示与实测偏离的情况㊂3)电动风阀设计:MA U 机组分配至各功能房间的支管上应设计并安装电动风阀,保证压差变化时,电动阀能及时调整开度㊂4)过滤器兼容性:化学过滤器或高效过滤器一般有2种V 型样式,一种为V 型箱式,一种为V 型单法兰;2种型式对于MA U 预留的框架结构完全不同,V 型箱式需要框架整体覆盖过滤器,一般过滤器框架厚度比过滤器的厚度略大50mm ,在360mm 左右,V 型单法兰为过滤器凸出框架结构,框架厚度一般为60mm ;如果MA U 和化学过滤器分开发包采购,需要尤其注意化学过滤器的箱体型式,避免发生化学过滤器和框架无法匹配的问题㊂4 F F U 风机过滤器功能介绍及注意事项F F U 是模块化的洁净设备,常见的模数规格包括1200x 600mm ㊁1200x 1200mm ㊁600x 600mm 等㊂配合专用的F F U 配套龙骨系统㊁干盘管㊁洁净灯具(盲板灯㊁泪滴灯或龙骨灯)以及F F U 盲板等,共同构成了完整的F F U 系统㊂相较于传统方式,F F U 系统具有更高的灵活性和可调整性㊂由于综合天花与隔墙可自由拆卸移位,可以很方便对整体布局进行调整,还可以通过调配F F U 的数量㊁平面布置㊁过滤器的等级调整,来实现局部区域的净化等级的调整㊂可以更加匹配半导体行业日新月异的工艺升级㊂传统的净化空调系统主要以净化空调㊁送回风管及末端高效组成㊂12英寸晶圆厂厂房面积较大,如采用传统方案,送回风管路过长,风机压力一般偏高,会造成运行能耗较高㊂采用F F U 系统除了新风系统外,回风系统均通过F F U 的自循环来实现,可以有效降低风管延程阻力消耗,F F U 风机功率均很小,可以有效降低运行能耗㊂目前F F U 综合效率甚至已经达到50%以上㊂采用F F U 系统比传统净化系统可以节能30%以上㊂同时与传统净化系统相比,因无大型回风风管,可以有效节约空间,避免与其他空调水管㊁制程排气管㊁工艺管道㊁电缆桥架等造成空间碰撞及干扰,降低了整体的施工难度㊂房间布置更加整洁,综合天花中涉及的风口㊁灯具㊁消防喷淋㊁烟感㊁广播㊁去离子系统等可以进行更合理的布局㊂风速均匀恒定,可以保持理想的洁净度效果,同时因为静压箱为负压空间,F F U 上部顶棚为负压,可起负压密封的作用㊂顶棚内呈负压,洁净室内空气压力大于顶棚内的空间㊂如果F F U 与支架密封处有缝隙,则由于顶棚内为负压使得未经高效过滤器的空气不能进入室内,对保证洁净室的洁净度有益㊂从原理上消除了安装泄露的问题,同时F F U 系统可以更好的满足工艺要求㊂在该项目中,由于综合天花上方为钢结构,需要对F F U 吊挂系统进行二次钢构的设计与安装,同时因为12英寸晶圆制造厂的AMH S 自动化轨道物料搬运系统承载需求,需要对F F U 龙骨进行轨道区域的局部补强与加固,确保F F U 龙骨可以承受AMH S 物料搬运时的额外荷载㊂施工工程中选用的材料本身产生挥发物,在洁净室封闭后会持续挥发;进入运营阶段工艺制程中使用化学品,有些工艺制程会扩散到洁净室,这些都会造成环境内的AM C 指标超标,因此除了在MA U 机组内部安装化学过滤器外,还需要在工艺需求部位的静压箱F F U 上部安装化学过滤器㊂化学过滤器安装首先将缓冲托架安装于F F U 上方,此工作必须在F F U 完成调平工作之后进行,在完成缓冲托架的安装工序后,将化学过滤器安装于缓冲托架上方,同时检查两者的配合的严密性㊂5 D C C 干盘管功能介绍及其注意事项D C C 干盘管主要用于去除房间内的显热,而不承担湿负荷,不影响室内湿度㊂其设置形式包括垂直立式,L 形式及V 型㊂为达到 干 的目的,所用的冷冻水温度会比普通盘管的水温高,从而避免结露现象,所以称之为 干盘管㊂干盘管的进水温度一般高于室内空气露点2度左右(如进水13ħ,出水18ħ)㊂同时为保证最佳的换热效果,通过干盘管的风速建议控制在2米/秒㊂为了避免在湿度较高或水管保温不佳的情况下出现冷凝水,建议安装积水管㊂干盘管的选型关键点包括:1)根据所需的焓差来确定盘管的铜管排数㊂2)根据所需的风量来确定盘管的迎风面积㊂3)盘管的迎面风速应控制在不大于2.5m /s ㊂4)盘管的翅片材料应为铝翅片,并进行防腐蚀的蓝波处理㊂5)在选择D C C 时,如同MA U 机组一样,应考虑一定的余量㊂同时,D C C 的电动水阀和房间内的温湿度传感器的选型也应与MA U 机组相协调㊂16 |R E A L E S T A T E G U I D E本项目D C C 干盘管主要分布于二层支持区,采用垂直吊式和L 型安装方法D C C 支架的组装是其安装过程中的关键环节㊂如果组装不合格,导致D C C 承受面不在一个水平面上,那么D C C 将无法紧密贴合在支架上㊂即使安装成功,也可能存在较大的缝隙,从而影响风量的均匀通过,对D C C 的调节效果产生不利影响㊂D C C 由钢制边框㊁盘管㊁翅片及保护网等组成㊂D C C 盘管的安装需要特别小心,避免盘管和翅片受损㊂整个安装过程中,应由边框承受外部力量㊂干盘管与钢骨架之间通过螺栓螺母连接,并采用钻尾螺丝进行额外固定,以确保安装牢固㊂在垂直方向的干盘管安装完成后,再进行水平方向的安装,并进行有效固定㊂气密封堵是D C C 安装的最后一步,对于确保回风夹道的风完全通过干盘管至关重要㊂封堵材料应使用1.0mm 厚的镀锌钢板,缝隙处使用铝箔胶带和密封胶进行处理㊂在安装前,还应在D C C 与支架接触的地方贴上密封条,以防止因材料不平整导致的漏风现象㊂6 结语在保障半导体厂房核心区域温湿度的过程中,除了之前提及的关键因素外,还必须深入考虑机台散热㊁潜在的产湿㊁以及机台的排气量等具体细节㊂鉴于在项目前期调试时,机台尚未达到满产状态,因此,我们必须全面预见到满产情况下可能面临的挑战,从而避免前期看似无问题,后续却出现意外的情形㊂随着电子工业的迅猛发展,为其服务的无尘室系统必须具备高度的适应性和灵活性,确保能够紧密配合工艺的不断升级与改进㊂这些系统的配置不仅要满足工艺对温度㊁湿度㊁洁净度㊁风速㊁压力㊁噪声㊁照度等各方面的要求,还需确保防静电㊁微振等受控指标的稳定可靠㊂在设计无尘室系统时,我们必须充分理解其建造特点,以确保所有生产工艺的目标得以达成㊂本项目经过正压送风㊁联动调试㊁机台搬入㊁流片试产等多个阶段的精心策划与实施,现已顺利进入运营阶段㊂通过实际的运营验证,本项目的洁净空调系统不仅达到了预期的设计效果㊂期待本文能为半导体厂房洁净空调系统的功能介绍㊁选型及施工注意事项提供有益的参考㊂参考文献[1] 张利群.F F U 的应用.洁净与空调技术.2003[2] 沈晋明.微电子洁净厂房的送风模式.上海制冷学会二零零一年学术年会论文集[3] 陈霖新.洁净厂房的设计与施工.化学工业出版社.2003[4] 熊安然,王留元等.节能中央空调系统的温湿度控制.江南科学.2006(上接第11页)4 结论综上所述,建筑工程中装配式施工技术的优势在于能够提升工程施工效率,降低施工管理难度,达到节能减耗的目标,其应用要点在于预制件的运输㊁储存与装配㊁套筒灌浆施工与转换层钢筋定位㊂想要充分发挥建筑工程中装配式施工技术的优势,提升技术的应用水平,不仅要关注技术的应用要点,还需要关注前期工程设计,创新运用新型施工材料,重视预制件的生产㊂参考文献[1] 刘寨.装配式建筑施工技术在建筑工程中的应用[J ].陶瓷,2023,(03):111-113.[2] 开璇.浅析装配式建筑施工技术在建筑工程中的应用[J ].房地产世界,2022,(18):133-135.[3] 任栋科.装配式建筑施工技术在建筑工程中的实践[J ].陶瓷,2023,(05):185-187.[4] 岳资江.建筑工程的装配式建筑施工技术研究分析[J ].产品可靠性报告,2023,(07):70-72.[5] 赵增良.装配式建筑施工技术在建筑工程中的应用研究[J ].工程技术研究,2023,8(16):76-78.(上接第13页) 平台的设计标准㊁安装固定㊁防护设施的设计,优化平台安全管理工作,提升平台可调控性㊂2.2.2 安全绳的正确使用安全绳在钢梁吊装施工中是保障施工吊装安全的重要装备,不仅需要正确佩戴,同时需要做好安全绳的安全知识宣教工作,这样可高效预防吊装事故的发生㊂安全绳的选择㊁固定点的设置㊁使用方法,做好定期检查和维护等日常安全管理工作㊂2.3 钢结构吊装施工其他安全管理钢结构吊装施工其他安全管理重点涵盖钢结构吊装施工中其他的安全管理措施,如现场人员的安全培训㊁施工现场的安全防护等方面㊂综合考虑不同环节的安全管理工作内容,可全面化提升钢结构吊装施工的安全管理及工作优化水平㊂3 结束语综上所述,在钢结构吊装施工过程中,吊装技术与施工安全之间的关不言而喻㊂基于本文理论分析,可深入了解吊装技术的重要组成部分,做好钢结构吊装施工安全管理工作㊂吊装施工安全技术的全面管理,是确保钢结构吊装施工质量的核心,也是施工技术人员安全管理的重点㊂在未来的钢结构施工中,要重点关注吊装技术发展趋势,确保满足施工安全的最新要求,不断提高管理水平和施工标准,为建设安全㊁高质量的钢结构工程提供坚实理论保障㊂参考文献[1] 安恺,赵龙坡,庄会云.吊装盲区内大跨度钢结构施工关键技术[J ].建筑技术,2023,54(22):2698-2700.[2] 宋昊澄.土木工程项目中的钢结构施工技术研究[J ].居舍,2021,(23):29-30.[3] 王彤.论钢结构吊装施工质量控制措施[J ].四川水泥,2020,(10):152-153.[4] 李玲.土木工程施工中钢结构技术的应用思考[J ].居舍,2020,(27):64-65.[5] 何锦华.钢结构吊装施工中的安全管理探讨[J ].中国石油和化工标准与质量,2019,39(16):57-58.[6] 梁爽.探析土木工程施工中的钢结构技术[J ].门窗,2015,(08):88-89.。
洁净室吊顶构件详
洁净室吊顶构件详解答【洁净室吊顶构件详解】洁净室是一种特殊环境下进行精密工作或生产的场所，其要求空气中的颗粒物、微生物和化学污染物都低于一定的标准限值。
在洁净室的设计和建设中，吊顶构件发挥着重要的作用，它不仅可以提供美观的装饰效果，更重要的是能够起到遮盖设备管线、分隔空气层、防止异物和污染物进入洁净室的功能。
本文将详细介绍洁净室吊顶构件的种类、特点和选材要求。
一、洁净室吊顶构件的种类1.洁净室吊顶板洁净室吊顶板是洁净室内最常用的吊顶构件之一，一般采用铝合金、不锈钢或PVC等材料制成。
它具有结构稳定、表面平整、易清洁、耐腐蚀等特点。
根据不同的需求，洁净室吊顶板可以选择不同的颜色和表面处理方式，以满足洁净室的装饰要求。
2.洁净室吊顶网洁净室吊顶网是一种开孔式的吊顶构件，常用于需要通风和散热的洁净室空间。
它通常由钢材、铝合金或不锈钢制成，具有大气孔率、透风性好、自重轻等特点。
洁净室吊顶网的开孔结构可以使空气顺畅流动，保持洁净室的空气质量。
3.洁净室吊顶支架洁净室吊顶支架是用来搭建洁净室吊顶的支撑结构，一般由铝合金材料制成。
洁净室吊顶支架具有轻便、耐腐蚀、可调节等特点。
通过合理搭配和安装，洁净室吊顶支架可以提供稳定的吊顶结构，并能够满足洁净室对结构强度和承重能力的要求。
二、洁净室吊顶构件的特点1.防尘防污洁净室吊顶构件表面通常采用特殊的材料或处理工艺，具有良好的防尘和防污性能。
它可以有效阻止灰尘和污染物进入洁净室内部，保持洁净室的空气质量和生产环境。
2.易清洁维护洁净室吊顶构件的表面平整光滑，不易积尘，并且可以使用清洁剂进行简单的清洁。
这样可以方便地进行日常维护和保洁工作，保证洁净室的卫生状况。
3.耐腐蚀抗菌洁净室吊顶构件在设计和材料选择上注重耐腐蚀和抗菌性能。
选用具有耐腐蚀特性的材料可以延长洁净室吊顶的使用寿命，而具有抗菌功能的处理工艺则可以有效防止细菌和微生物的滋生，保持洁净室的卫生环境。
三、洁净室吊顶构件的选材要求1.符合洁净标准洁净室吊顶构件的选材要求必须符合洁净室设计标准，包括空气洁净度、耐化学腐蚀、抗静电等方面的要求。
净化彩钢板的吊顶施工方案
净化彩钢板的吊顶施工方案1. 简介净化彩钢板是一种广泛应用于洁净室、医院手术室等环境的吊顶材料。
它具有耐腐蚀、易清洁、防尘等特点，广受建筑师和设计师的青睐。
本文将介绍净化彩钢板吊顶的施工方案，包括前期准备、施工步骤和注意事项等内容。
2. 前期准备在施工净化彩钢板吊顶之前，需要做好以下准备工作：2.1 施工图纸根据设计要求，编制净化彩钢板吊顶的施工图纸。
施工图纸应包括吊顶的尺寸、布置、边角处理等详细信息，以确保施工质量。
2.2 材料准备准备好所需的净化彩钢板及配件，包括主材料、连接件、吊杆等。
确保材料的数量、质量和规格满足设计要求，避免施工中的不必要延误和损失。
2.3 施工设备准备好所需的施工设备和工具，如吊装设备、打孔机、螺丝刀等。
确保施工的顺利进行和施工质量的保证。
3. 施工步骤净化彩钢板吊顶的施工步骤如下：3.1 定位标线根据施工图纸在天花板上进行准确定位，并使用水平仪和墨线进行标线。
标线是吊顶施工的基础，要确保吊顶的安装位置准确无误。
3.2 面层处理首先，对天花板进行净化处理，清除灰尘、油污和杂物，确保吊顶施工的干净环境。
3.3 固定主材料根据施工图纸的要求，将净化彩钢板进行切割和加工，然后使用螺丝固定在天花板上。
注意螺丝的选择和固定的力度，避免损坏彩钢板或造成采光板裂缝。
3.4 连接件安装安装连接件，将净化彩钢板连接在一起，形成整体的吊顶结构。
连接件的选用应符合设计要求，并确保连接牢固、稳定。
3.5 吊杆安装在净化彩钢板的四角或边缘位置，安装吊杆，用于支撑彩钢板的重量。
吊杆的安装应符合设计要求，并确保均匀分布和稳定可靠。
3.6 边角处理对净化彩钢板的边界和角落进行处理，可以采用角铁封边、光护栏、亚克力板等方式。
边角处理不仅可以保护彩钢板，还能提升吊顶的美观度。
4. 注意事项在净化彩钢板吊顶的施工过程中，需要注意以下事项：4.1 安全措施施工现场应设置警示标识，并采取必要的安全措施。
施工人员应佩戴好相关的防护设备，确保施工的安全进行。
半导体分立器件封装测试厂二次配线配管项目管理手册
3.4
监理公司
本工程项目为一期的二次配工程，故不外聘监理公司，由 IR 自行监理。
3.5
设计单位
本项目的设计由施工单位进行现场测绘并绘制施工图。
3.6
施工单位
施工；I 区洁净室的改造由 施
本项目的 Hock-up 工程由 工。。 项目相关方通讯录见附件三。
4. 合同
有效合同（或协议）清单见下表： 序 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 合同或（协议） 名称 Hock-up 施工合同 CR 改造工程 空压机采购合同 冷却塔采购合同 母线采购合同 纯水制取设备采购合同 制冷机采购合同 配电柜采购合同 低压柜安装合同 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 IR 公司 合同号 甲方 乙方 间 订立时
1. 项目概况
本工程为西安爱尔微电子有限公司（以下简称 I.R 公司）I 区洁净改造、Hock-up 工程，CR 面积为 400M2，Hock-up 的面积为 900M2 左右。 西安爱尔微电子有限公司I区洁净改造、Hock-up工程项目，计划投资 为Hock-up和CR两部分，公用设施的增加和变化。 项目特点： 本工程总的工程量较小，但涉及的专业很多，涉及给排水、工艺、电气、自动化控 制、通风与空调、消防、建筑、结构，并且有一部分的工程是属于已有建筑物的改造工 程。工程施工的过程中，生产还在同时进行，增加了施工的难度，成品保护的问题也随 之而来，施工场地的文明施工的要求更高，不能破坏生产车间的洁净度和温湿度，现场 管理变得相当的复杂和困难，安全管理工作也变得更为困难和复杂。施工期间还会有施 工和生产的交叉作业，各施工工序间的交叉作业。本工程的工期短，相当多的安装位置 空间狭小，相互配合的专业多，管理困难，施工消耗大；一期的施工可能与图纸有出 入，施工图定稿前应进行现场测绘。 万元，分
二次钢构安装施工方案
二次钢构安装施工方案a）二次钢构概述及施工特点、难点(1) 二次钢构综合支架概述AA项目洁净包综合支架主要在1#建筑L20层，和3#建筑L20层，综合支架的主要作用是支撑整个吊顶的力度，微调吊顶的平整度。
综合支架主要由125×50×2.3mm方钢，3#防晃连接角钢，Y型卡，方钢吊挂件，方钢连接件，M14通丝组成，所有材料均热镀锌。
本项目综合支架底标高为+8500mm（距L20层地面），综合支架材料为70×50×2.5mm方钢，吊顶龙骨材料为70型铝合金龙骨。
(2) 施工特点、难点（a）工程量大1#建筑与3#建筑洁净室吊顶面积为69000m2，工程量较大。
为保证工程进度和施工质量，施工前期我项目部将制定合适的施工计划，采用流水施工作业方式，机械化运输、发散式调平，逐步推进，合理安排人员，严格控制施工过程质量，快速推进生产。
（b）施工精度要求高由于综合支架直接影响吊顶系统单元框架中线与隔墙墙板需对缝，要求很高的施工精度。
我公司将采用日本进口经纬仪、水准仪，根据统一基准线放出综合支架主方钢基准线和控制线，将误差消除在控制线内；图1 本项目吊顶综合支架安装效果图b) 二次钢构安装施工流程(1) 基本结构安装效果图(2) 安装步骤安装流程图综合支架组装连接详图(3) 125*50*2.3方钢受力分析及计算书详见《综合支架荷载受力核算分析》。
c) 注意事项（1）综合支架的安装条件为：洁净区外墙板封闭完成，材料进场严格管控必须擦洗后进入施工现场。
洁净厂房启动二级管制，所有人员必须更换软底鞋后进入。
专业配合1：空间管理：我司将结合OHS、OHCV、洁净天车、消防管线、综合支架等图纸进行综合，将有冲突的地方提前进行调整以避免在安装过程中产生拆改:2：施工工序协调：我司将召集OHS、OHCV、洁净天车、消防管线、综合支架等负责人一起编制详细的施工计划，统一进行作业面的协调。
方钢镀锌质量控制措施：(a) 我司将安排专人驻厂监造：严格控制镀锌层厚度、镀锌外观观感。
钢结构二次深化设计-经验总结
钢结构二次设计1．钢结构二次设计：钢结构二次设计就是将施工图设计图纸转换为钢结构加工和安装的施工图纸。
其主要内容包括如下：（1）构件布置图的绘制：按业主提供的施工图设计图纸，标识构件、节点编号，构件、节点所在图纸，加工和安装的技术要求。
（2）节点设计图：根据BINE提供的设计规范和构件型号确定构件之间的 连接详图，包括连接型式、螺栓规格、数量，定位，焊缝尺寸、型式、节点板尺寸。
（3）绘制车间加工图：按照构件布置图和节点设计图，以确定各组成件的型号、加工尺寸，孔规格及相互位置关系，焊缝尺寸，以便于车间加工。
（4）编制节点设计依据的计算书：根据概念设计图纸所给定的力或按设计规范确定的载荷，进行节点连接的强度计算，为连接设计提供计算依据。
上述二次设计的工作过程中，提供节点设计和计算书是二次设计工作的重要环节。
2． 钢结构连接设计2.1 钢结构节点的连接型式：按构件受力方式可分为单剪（铰接）连接、轴力连接、弯矩（刚接）连接，扭矩连接，组合连接等。
按构件的连接方式可分为单板连接，双板连接，单角钢连接，双角钢连接，端板连接。
按构件与构件间的连接可分为梁-梁连接，梁-柱连接及其分别带有水平支撑和垂直支撑的连接，柱拼接(包括大小柱的拼接)。
2.2 钢结构连接节点的设计要求钢结构的节点设计应满足承载力的要求，还应具有必要的延展性，避免应力集中和过大的约束应力。
同时，便于加工和安装，满足加工工艺性要求。
应该注意节点的合理构造，符合经济性要求。
此外还必须适应岭澳二期核电的钢结构施工要求。
岭澳二期核电工程对钢结构的加工和安装要求决定了钢构件的连接方式，由于加工车间的焊接易于保证焊缝质量，而大批量的钢构件仅适于车间加工才能保证工程进度的要求，同时便于现场安装方便快速，因此决定了在钢结构的节点设计中，构件与构件间的连接要尽可能使用螺栓连接，除非在那些使用螺栓连接将使整个节点变得非常复杂或者被连接构件的尺寸较小、无足够的空间布置一定数量的螺栓，而采用现场焊接的连接设计。
洁净室FFU吊顶龙骨系统安装施工图解
以下内容由华盛兴邦净化工程收集整理。
洁净室吊顶龙骨系统根据洁净厂房的特点设计，具有加工简单，组装及拆卸方便，便于洁净室建成后的日常维护工作。
吊顶系统模块化设计，可塑性大，即可工厂化生产，又可以现场裁切，加工施工污染大大减少，且系统强度高，可在上面行走，特别适用于高洁净区域，如电子，半导体，医药行业。
吊顶龙骨系统组成：1.T-bar:1)T形结构, 干式吊顶, 阳极铝材料, 表面电泳处理.2)T-bar十字接头处可安装喷淋头,烟感器及照明灯的电线3）T-bar 下面可安装洁净室泪珠照明灯洁净室龙骨Tbar2.接头：1）连接件包括十字接头,T形接头, 转角接头,锌合金材料制作, 整个系统由螺纹紧固的连接成一个整体。
2）镀锌全丝吊杆, 带调整器可调整吊顶的高度, 通过夹子和螺母连接.3）螺丝螺母均为镀锌材料3.系统可扩充性：可方便的安装高效过滤器，FFU等。
洁净室龙骨连接节点（洁净室吊顶示意图）1.核对基准线—核对基准标高线—吊杆预制—放样吊杆安装—吊杆安装—吊顶龙骨预制—吊顶龙骨安装—吊顶龙骨水平调整—吊顶龙骨定位—十字补强片安装—测量畸零龙骨尺寸—界面收边—吊顶龙骨压盖安装—吊顶龙骨水平调整2、核对基准线a.认真熟悉图纸，根据相关资料确认施工区域和十字基准线位置。
b.用经纬仪和雷射水平仪核对天花基准线。
3、核对基准标高线a.根据地面或高架地板确定天花的标高。
4、吊杆预制a.根据层高，计算出各天花高度所需吊杆的长度，然后进行切割加工。
b.加工后符合要求的吊杆再与方型调节器等配件预组。
6、吊杆安装:放样吊杆安装完毕后，根据吊杆的位置开始大面积的吊杆安装，通过凸缘止滑螺母固定于气密吊顶龙骨上。
7、吊顶龙骨预制龙骨预制时，保护膜不可撕除，内六角螺丝需紧固，预组面积适中即可。
8、吊顶龙骨安装将预制好的吊顶龙骨整体吊装上吊杆预组好的T型螺丝上，方型调节器偏移十字接头中心150mm,将T型螺丝和凸缘止滑螺母锁紧。
洁净板吊顶技术标准
洁净板吊顶技术标准
洁净板吊顶的技术标准包括以下几个方面：
1. 材料要求：
* 吊顶板表面钢板为热镀锌钢板，镀锌量不小于90g/m²，厚度≥0.6mm。
* 吊顶板应选用双面石膏纸蜂窝夹芯彩钢复合板，其中阻燃纸蜂窝孔径C≤19mm，阻燃纸密度170g/m³，氧指数OR≥40%，胶水采用阻燃胶。
* 对于耐火极限的要求，一般房间的吊顶板耐火时间不小于0.4小时，而疏散走道及钢结构下弦处的吊顶板的耐火时间不小于1.0小时。
2. 吊顶设计安装要求：
* 吊顶板应平整、无凸出之物、小孔、散发灰尘及异味，轮廓线须精细合理。
* 吊顶内部应平整、无凸出之物，并应进行防腐、防锈处理。
* 吊顶的吊挂件不得作为管线或设备的吊架，管线和设备的吊架不得吊挂吊顶。
* 吊顶饰面板板面缝隙允许偏差不应大于0.5mm，并应用密封胶密封。
* 吊顶内的吊挂件、龙骨等应与主体结构连接牢固，不得直接铺在吊顶龙骨上，不得在吊顶龙骨上行走和支撑重物。
* 吊顶内的有振源的设备，其吊挂方式应满足建筑结构和减振消声的相关规范要求。
3. 吊顶的防火要求：吊顶必须是经过国家法定部门型式检验的合格产品，具有书面鉴定检测报告、准用证明等技术资料。
请注意，以上标准仅为一般参考，具体的技术标准可能因洁净室的用途、洁净度等级、环境条件等因素而有所不同。
在实际工程中，应根据具体情况制定详细的技术标准，并遵循相关的国家或地方标准进行设计和施工。
GRG吊顶二次结构转换层施工工法(2)
GRG吊顶二次结构转换层施工工法GRG（Glass Fiber Reinforced Gypsum）吊顶二次结构转换层施工工法一、前言GRG吊顶二次结构转换层施工工法是一种常用于建筑室内装饰的工法，可以提供优良的吊顶效果，并具有较高的耐火性和防火性能。
本文将对这一工法的特点、适应范围、工艺原理、施工工艺、劳动组织、机具设备、质量控制、安全措施、经济技术分析和工程实例进行详细介绍。
二、工法特点GRG吊顶二次结构转换层施工工法的特点包括：1. 能够实现各种复杂造型和装饰效果，具有良好的装饰性和美观度。
2. 材料成本较低，施工工艺简单，工期短，具有较高的经济效益。
3. 性能优良，具有良好的隔热、防潮、防霉、防水和防火性能。
4. 易于维护和清洁，能够长时间保持原有的装饰效果。
5. 采用环保材料，对环境友好，符合现代建筑的可持续发展要求。
三、适应范围GRG吊顶二次结构转换层施工工法适用于各种建筑场所，包括商业建筑、办公楼、宾馆酒店、医院、学校等。
无论是新建还是旧建筑的改造，都可以采用这一工法来实现吊顶效果。
四、工艺原理GRG吊顶二次结构转换层的施工工法与实际工程之间的联系主要体现在以下几个方面：1. 转换层预制：工艺原理是在吊顶面层基础上，通过预制转换层将吊顶面层与二次结构连接起来。
该转换层采用特殊的材料与工艺结构，使其具有良好的抗拉强度和连接性能，并能够满足吊顶面层的装饰要求。
2. 涂饰层施工：在转换层完成后，可以对其进行涂饰层的施工，以实现不同的装饰效果。
涂饰层可以选择不同的颜色和质地，使整个吊顶面层更加美观。
五、施工工艺GRG吊顶二次结构转换层施工工艺包括以下几个施工阶段：1. 施工准备：包括设计方案、材料准备、工艺流程制定等。
2. 吊顶面层施工：根据设计方案和材料准备，将吊顶面层进行安装和固定，确保平整度和垂直度达到要求。
3. 转换层预制：使用专用的材料和工艺进行转换层的预制，并进行质量检验。
4. 转换层安装：将预制的转换层安装到吊顶面层上，并进行连接固定，使其能够承受面层的重量和装饰要求。
二次钢结构施工方案
二次钢结构施工方案一、项目背景本项目是针对某个具体施工工程进行的二次钢结构的施工方案设计。
在进行二次钢结构施工之前，需要充分考虑施工环境、工程要求以及安全等因素，以确保工程的顺利进行。
二、施工环境分析1. 地理环境：详细描述施工地点的地理位置、气候条件、交通状况等情况。
2. 地基条件：对施工地点的地基情况进行分析，评估地基承载能力等参数。
3. 周边环境：考虑周边环境对施工可能造成的影响，如邻近建筑物、管线等。
三、施工方法1. 建立临时工地设施：在施工前，搭建施工所需的办公、材料存储等设施，并做好相应的管理和维护工作。
2. 钢结构安装：根据设计方案，采用合适的起重机械和安全措施，按顺序进行钢结构的安装，确保结构的稳定和安全。
3. 焊接和加固：对已安装的钢结构进行必要的焊接和加固处理，以保证结构强度和稳定性。
4. 补充工程：根据需要进行其他附属工程的施工，如防水、防火处理等。
四、安全措施1. 安全培训：在施工前，对施工人员进行必要的安全培训，包括使用工具和设备的规范、安全操作流程等。
2. 安全防护：施工期间，设置合适的安全标识和防护设备，如围栏、安全网等，确保施工现场的安全。
3. 监控与检查：安排专人进行现场监控和安全检查，定期对施工质量和安全情况进行评估。
五、施工进度计划1. 制定施工计划：根据工程要求和施工条件，制定合理的施工进度计划，明确各个施工阶段的时间节点。
2. 进度控制：定期对施工进度进行跟踪和控制，确保施工按计划进行，并及时处理施工中的问题和延误。
六、质量管理1. 施工过程监管：对施工过程进行质量监管，确保施工符合相关标准和要求。
2. 质量检测：进行必要的质量检测和试验，对施工质量进行评估和验证。
七、施工成本控制1. 资源采购：合理采购施工所需的材料和设备，确保施工成本的合理控制。
2. 成本效益评估：定期评估施工成本与效益的关系，及时采取措施降低不必要的成本支出。
八、项目总结本次施工方案设计参考了工程要求、环境因素和安全需求，通过合理的施工方法和管理措施，确保了二次钢结构的施工顺利进行。
钢结构二级吊顶施工方案
钢结构二级吊顶施工方案1. 引言钢结构二级吊顶是一种应用广泛的建筑装饰材料，具有轻质、美观、耐久等特点，被广泛应用于商业、办公和住宅等建筑项目中。
本文将介绍钢结构二级吊顶的施工方案，包括施工准备、材料准备、施工步骤等内容。
2. 施工准备在进行钢结构二级吊顶施工之前，需要做好以下准备工作：2.1 安全措施施工现场应设置相应的警示标志和安全防护措施，确保施工工人的安全。
施工人员应穿戴好安全帽、防护鞋等必要的个人防护装备。
2.2 工具准备准备好以下工具：•手持电钻•螺丝刀•水平仪•铅垂线•切割机等2.3 材料准备施工前要准备好以下材料：•钢龙骨•钢梁•线条配件•吊线•吊挂件等3. 施工步骤3.1 布置吊挂点首先根据设计要求，在原有结构上布置好吊挂点。
吊挂点的设置应符合相关规范和设计要求，以确保吊顶的稳固性和安全性。
3.2 安装钢龙骨和钢梁根据设计图纸确定好钢龙骨和钢梁的位置，并使用吊线和铅垂线进行定位。
然后使用螺丝刀或电钻将钢龙骨和钢梁固定在吊挂点上。
确保钢龙骨和钢梁的水平度和垂直度。
3.3 安装线条配件安装线条配件是为了增加吊顶的美观性和装饰效果。
根据设计要求，将线条配件与钢龙骨和钢梁相连接，并使用螺丝或其他固定件进行固定。
3.4 安装二级吊顶在钢龙骨和钢梁上安装二级吊顶板，使用螺丝或其他固定件将吊顶板与钢龙骨和钢梁固定在一起。
吊顶板之间的连接应紧密，不留缝隙，并保证吊顶板的平整度。
3.5 验收和清理完成以上工作后，对钢结构二级吊顶进行验收。
检查吊顶的平整度、稳固性和美观度，确保吊顶符合设计要求。
同时清理施工现场，清除杂物和工具。
4. 延伸应用钢结构二级吊顶不仅可以用于室内装修，也可以应用于室外建筑，如露天广场、游泳池等场所。
其结构稳固、便于安装和拆卸，可以根据需要进行灵活的布置和组合，满足不同场景的需求。
5. 结论本文介绍了钢结构二级吊顶的施工方案，包括施工准备、材料准备和施工步骤等内容。
钢结构二级吊顶具有轻质、美观、耐久的特点，在建筑装饰中得到广泛应用。
洁净A包定义文件
2 设备基础
3 风机隔振装置
4 风机压力控制传感器和控制阀门
syc 包定义文件 包代号： CR1 包 号： 03
有机处 理废气 包商
洁净工程 A包
备注
有机处理废气包商提供处
〇
〇 理设备和风机；洁净工程 A
包负责安装；
有机处理废气包商提供提
〇
供相应图纸
土建包负责施工
有机废气处理设备包商供 〇
货, 由洁净工程 A 包负责；
序号
项目
1 废气处理设备及风机安装
2 设备基础
3 风机隔振装置
syc 包定义文件 包代号： CR1 包 号： 03
酸废气 处理包
商
洁净工程 A包
备注
酸废气处理设备包商提供
处理设备、风机以及玻璃钢
风管（含玻璃钢风管上面的
〇
〇
风阀等配件），并负责安装；
其余安装工作由洁净工程
A 包负责；
酸废气处理设备包商提供
世源科技工程有限公司 (中国电子工程设计院)
包定义文件
包 号： 03 包代号: CR1 包名称：洁净工程 A 版 次：0
建设单位：苏州同冠微电子有限公司 项目名称：低能耗半导体功率器件生产线项目
编制人
审核
审定
批准人
二○一三年 北京
项目
1．包的范围 2．图纸清单及技术规格书清单 3．设备清单 4．包文件的主要编制人员 5．发包
1) 悬浮粒子污染物 2) 吊顶过滤器泄漏扫描 3) 风量和速率 4) 气流平行度 5) 房间压力 6) 噪音 7) 照度水平 8) 照明波谱（黄光区） 1.1.2 不包括的范围： 1.1.2.1 电梯在电梯包。 1.1.2.2 建筑墙体：防火墙、混凝土墙、砌块墙在土建包中。 1.1.2.3 混凝土墙、砌块墙上的防火门在土建包范围内。 1.1.3 承包商应该提供本包所涉及的所有系统的安装和测试，以及系统安装和测试所必 需的设备和服务。系统安装和测试应符合规格书所规定的标准和规范，以及国家和地方 的法令、法规。承包商还应提供保证各系统完整、安全运行所需要的标准附件、技术文 件、操作规程和权限。各系统应采用统一、标准的代码表示。 1.1.4 洁净室的测试需在世源科技工程有限公司和业主在场的情况下进行。 1.1.5 本包需配合在洁净室内施工的承包商。
半导体项目洁净室吊顶二次钢构选型简析
半导体项目洁净室吊顶二次钢构选型简析我们知道，半导体产业是现代信息社会的基石，人们日常生活中所有的信息处理基本都离不开半导体产品的支持，我国目前正加快制造强国建设，半导体产业将迎来高速发展。
然而，我国半导体市场虽大但自给率低，半导体产品的市场占有率几乎没有，2018年美国发起的芯片封锁事件，明确的提示我们，目前半导体依然是中国被卡脖子的产业，通过自主创新等方式逐步实现产业自主可控已经迫在眉睫。
在这其中，半导体制造行业作为关键一环，其制造厂房的顺利实施建设更显得尤为重要。
而在半导体生产的洁净厂房车间中，吊顶上方二次钢构是其重要组成部分，二次钢构的选型设计和实施应用不仅涉及到FFU龙骨、盲板和过滤器的悬挂，而且还影响到风管、桥架、消防管件、AMHS和检修马道等系统的走向，进而实现满足半导体生产车间的工艺要求。
1项目生产主厂房结构形式分析广州某半导体项目（以下简称半导体项目）生产主厂房主体三层、局部四层，主要分为洁净区和非洁净区两部分。
洁净区包含洁净核心区和洁净工艺区，位于厂房的二三层，非洁净区位于厂房的一四层，每个洁净区又可细分为下夹层、生产层和上夹层三层空间。
（图1）图1 半导体项目建筑结构剖面图 1.1厂房洁净核心区结构剖面图厂房洁净室核心区下夹层、生产层和上夹层厂房结构形式各不相同，核心区下夹层结构形式为普通结构梁和楼板，生产层地面结构形式为华夫孔楼板梁和高架地板，上夹层结构形式为TRUSS钢桁架和屋顶的压型钢板形式。
1.21#厂房洁净工艺区结构剖面图与洁净核心区的结构形式有所不同的是，洁净工艺区生产层和下夹层结构形式为普通结构梁和楼板，上方再施作高架地板，高架地板下方为下回风夹层，工艺区侧面设置回风夹道。
由于半导体生产厂房工艺需求的原因，洁净核心区和洁净工艺区的结构形式是不一样的，这就从根本上决定了吊顶二次钢构需根据厂房的具体结构形式进行深化设计选型和安装施工，在满足结构受力的前提下，以保证半导体生产厂房的工艺综合参数需求。
吊顶转换层(双C型钢)专项施工方案
铜仁移动能源产业园项目吊顶转换层施工方案（双C型钢）编制人：审核人：审批人：目录1编制依据 (3)1.1编制文件依据 (3)1.2遵循的标准及规范 (3)1.3编制原则 (4)2工程概况 (5)2.1工程简介 (5)2.2工程设计概况 (6)2.3工程特点 (7)2.4工程难点 (7)2.5工程重点 (7)3施工部署 (8)3.1技术准备 (8)3.2场地准备 (9)3.3施工进度计划 (11)3.4结构用材 (12)3.5劳动力计划 (12)3.6施工安排 (15)4双C型钢吊顶转换层施工工艺 (16)4.1技术准备 (16)4.2工艺流程 (17)4.3制作安装 (17)5 工程质量保证措施 (23)5.1工程质量目标 (23)5.2过程检查与验收程序 (24)5.3成品保护措施 (24)5.4质量保证措施 (25)6 其他主要管理措施 (27)6.1进度保证及管理措施 (27)6.2安全注意事项及保证措施 (27)6.3职业健康保证措施 (30)6.4消防保卫管理措施 (30)6.5绿色文明施工及环保措施 (31)6.6分包管理措施 (31)6.7成本节约措施； (32)1编制依据1.1编制文件依据(1)本工程招标文件；(2)铜仁移动能源产业园厂房1 建筑施工图纸、结构施工图纸(3)本工程的补充文件和现场场地条件；(4)本工程施工组织设计1.2遵循的标准及规范1.3编制原则为保证铜仁梵能移动能源有限公司移动能源产业园项目钢结构专项施工的如期交付使用，还要遵循贯彻的具体如下：认真贯彻国家工程建设的法律、法规、规程、方针和政策。
坚持“安全第一、预防为主、综合治理”的方针和“企业负责、行业管理、国家监察、群众监督”的安全生产管理体制，完善安全文明施工和生态环境保护措施，杜绝重大安全事故，控制施工的噪声、粉尘及垃圾污染，做到“净”、“畅”、“宁”。
2工程概况2.1工程简介2.2工程设计概况2.3工程特点2.4工程难点2.5工程重点3施工部署3.1技术准备主要施工技术方案3.2场地准备地形、地质、水文、气象条件1、地形条件本项目东南高，西北低，主要自然地形高差约48 米2、地质、水文条件拟建场地原始地貌主要为林地、坡地，原始地面标高为705.00m-694.10m，地形总体较平缓，最低标高为694.10m，东侧稍高，标高在705.00m 左右。
威世半导体(西安)有限公司设计指导书
第 9 页 共 25 页
钢筋焊接及验收规程 建筑钢结构焊接规程 建筑安装工程质量检验评定统一标准 建筑工程质量检验评定标准 钢结构工程质量检验评定标准 网架结构工程质量检验评定标准 建筑防腐蚀工程质量检验评定标准 混凝土质量控制标准 工程测量规范 建筑施工安全检查评分标准 建筑施工高处作业安全技术规范 建筑机械使用安全技术规程 施工现场临时用电安全技术规范 建设工程施工现场供用电安全规范
第 6 页 共 25 页
4.0 项目概况介绍： 简单介绍拟建项目的地理位置信息，项目的建设规模、资金来源、项目的产出或获益情 况、对社会及环境的影响，项目的主要特点，涉及到的相关单位，建设方的一些特殊的要 求或有特色的管理制度及企业文化，本项目的主要需求及目的及相关的背景情况介绍。
某半导体洁净厂房空调系统的设计——以上海某半导体研发厂房改扩建项目为例
某半导体洁净厂房空调系统的设计——以上海某半导体研发厂房改扩建项目为例上海电子工程设计研究院有限公司上海市200083摘要：针对某半导体洁净厂房项目洁净空调系统中的冷热源和末端新风空调机组MAU+风机过滤单元FFU+干盘管DCC及控制原理进行逐项分析、，阐述此类型净化空调系统的计算设计方法及相关注意事项。
关键词：半导体洁净厂房；净化空调系统；MAU+FFU+DCC；自控系统。
0引言随着我国半导体行业的蓬勃发展，近几年半导体厂房的建设项目在逐步增多。
半导体产品对于对于生产区域的温湿度、洁净度的要求高，半导体厂房的净化空调系统设计对于半导体的生产也显得尤为重要。
1 工程概况本项目为上海某半导体研发厂房改扩建项目，建筑面积：10774.74平方米，建筑高度为17.1m，火灾危险性分类为丙类，生产洁净区域为单层屋顶均为轻钢结构，东西局部三层混凝土结构，新增动力房位于南侧区域为二层混凝土结构。
工艺试验环境区、整机集成区带Track、测试区及物流主通道、整机集成区和Sub+FAB灰区都为单层洁净区域，轻钢结构。
物料加工区/缓冲区、男、女更位于为东西局部三层的一层。
2 洁净车间室内设计参数3 净化空调系统计算电子半导体洁净厂房具有室内工艺设备发热量大、室内显冷负荷大、湿负荷小的特点，热湿比接近无穷大。
根据房间温湿度及精度、洁净度要求，采用温湿度独立控制系统，百级、千级洁净空调系统采用新风空调机组MAU+风机过滤单元FFU+干盘管DCC系统。
万级空调系统常规有新风空调机组MAU+风机过滤单元FFU+干盘管DCC系统和新风空调机组MAU+组合式空调机组AHU+高效送风口HEPA系统，考虑空调机房面积及气流组织、洁净度扩展性及均匀稳定性等，万级房间采用MAU+FFU+DCC。
二、三层操作间三十万级采用新风空调机组MAU+吊挂空调机组RCU。
空调水温的选择根据房间23℃、相对湿度45%查出其露点温度为10.4℃，选用冷水机组供水温度为6℃，回水温度为12℃，干盘管中温水供水温度大于其露点温度2℃左右，供水温度选为13℃，回水温度为18℃。
芯片车间二次配工程
芯片车间二次配工程芯片车间二次配工程的质量、安全、进度直接影响到工艺设备的调试、芯片车间的投产以及其产能的提高效率。
因此，有效实施芯片车间工艺设备二次配工程对于客户至关重要，而对于专业承包商来说，更需潜心研究、策划，使得二次配工程快速、有效完成。
由于芯片车间的工艺设备大部分为进口，且需求条件复杂，给二次配工程造成困难。
下面就某芯片厂二次配工程中遇到的一些问题以及解决方案进行探讨，以供类似工厂二次配参考借鉴。
1 熟悉芯片生产工艺流程对于芯片车间工艺设备二次配而言，专业承包商首先应该熟悉掌握的是工艺生产流程，这对于工艺设备二次配而言，起着至关重要的作用。
生产工艺流程决定了车间的平面布局以及工艺设备空间位置，有利于提前对二次配管线进行规划和管理，提高二次配的工作效率。
芯片生产工艺流程大致分为11个步骤，即：（如图1）1.1 硅片的来源硅片一般是由晶棒进行切割而来，根据要求切割成硅片薄片。
1.2 清洗芯片在加工前需进行清洗，清洗设备通常为栅氧化清洗机和氧化扩散清洗机。
1.3 氧化氧化过程就是把清洗干净并通过离心甩干的硅片板送入高温炉管内进行退火处理，炉管内温度800-1500 ℃。
1.4 淀积淀积系统就是在硅片表面形成具有良好的台阶覆盖能力、良好的接触及均匀的高质量金属薄膜的设备系统。
1.5 光刻光刻就是在硅片上涂上对紫外光敏感的化学物质，当遇紫外光时则变软。
通过控制遮光物的位置得到芯片的外形。
即在硅晶片涂上光致蚀剂，使得其遇紫外光就会溶解，在光刻机的曝光作用下，紫外光直射的部分被溶解，这溶解部分接着可用溶剂将其冲走。
1.6 刻蚀刻蚀就是以化学蚀刻的方法或用干法氧化法，去除氮化硅和去掉经上几道工序加工后在硅片表面因加工应力而产生的一层损伤层的过程。
1.7 二次清洗二次清洗就是将加工完成的硅片需要再次经过强酸碱清洗、甩干，去除硅片板上的光刻胶。
1.8 离子注入离子注入就是将刻蚀后的芯片放入大束、中束流注入机将硼离子（B+3）透过SiO2 膜注入衬底，形成P 型阱；去除氮化硅层，掺杂磷（P+5）离子，形成N 型阱。
半导体工厂工程施工组织设计方案
第19章半导体工厂施工组织设计19.1 工程概况19.1.1 工程简介本项目工程名称为××半导体有限公司第2.5代TFT生产线新建工程。
其中主厂房为三层结构，中间区域为生产用洁净厂房，两侧为辅助区域，结构形式为框架结构。
其他厂房还包括造排水栋、动力栋和其他辅助建筑。
本项目工期要求为××年×月×日具备工艺设备搬入条件。
工作量大，工期紧张且工作强度相对较大，项目材料和设备要求较高，对项目承包商的能力和施工策划提出较高的要求。
xx半导体有限公司是香港xx国际控股有限公司的全资子公司，成立于19xx年，在中国广东省注册，注册资金为xxxx万美元。
公司总部设在香港，生产基地位于中国广东省xx市。
在国内有70%的产品销售权。
是一家知名的电子产品、半导体产品开发、生产和销售的香港上市公司。
TFT面板项目由xx半导体有限公司投资，投资总额约x亿美金。
建厂费用占总投资额的14.5%,约人民币x.x亿元。
本项目产品为第2.5代TFT-LCD面板，由阵列和成盒两道工序组成，基板玻璃尺寸为550毫米×650毫米，月投片量为xxK，主要产品为手机使用的彩色TFT显示屏。
本项目位于广东省xx市xx工业园区内，北临xx路，南靠工业大道，用地面积为14万多m2。
本项目主要由生产主厂房、动力站、纯水站、大宗气体站、废水站、特殊药品仓库等组成。
其中主厂房洁净面积共一万两千平方米，洁净级别主要为十级、百级和千级。
19.1.2产品的工作原理及工艺流程：（1）产品工作原理液晶显示屏是透过硅玻璃上的电路形成电场，来驱动玻璃与滤光片间的液晶分子，在自然状态下呈并列平行排列，当电路对液晶层施加电场，液晶分子会朝不同的方向偏转，这时液晶类似于开关作用可以让光线通过，令液晶层形成不同的透光效果，从而达到显示不同画面的目的。
（2）工艺流程：阵列工艺流程：玻璃基板投入→基板清洗→栅极金属溅射→栅极光刻→n+α-硅/α-硅/氮化硅层淀积→α-硅光刻→ITO膜溅射→ITO膜光刻→源/漏级金属溅射→源/漏级金属光刻→n+α-硅反刻→氮化硅淀积→绝缘层刻蚀→退火→检查成盒工艺流程：投入阵列和滤光玻璃基板→配向膜印刷→框胶图敷、垫料→滴入液晶→真空贴合→盒分割→贴偏光片→检查19.1.3工程特点及主要工程量：（1）工程特点：该工程机电系统复杂，净化厂房面积为1万二千平方米，净化级别分别为十级、百级和千级，动力系统包括大宗气体、特种气体、工艺冷却水、工艺真空、化学品等项目，生产厂房主体为框架结构，屋顶采用大跨度钢屋架结构。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
半导体项目洁净室吊顶二次钢构选型简析
我们知道，半导体产业是现代信息社会的基石，人们日常生活中所有的信息处理基本都离不开半导体产品的支持，我国目前正加快制造强国建设，半导体产业将迎来高速发展。
然而，我国半导体市场虽大但自给率低，半导体产品的市场占有率几乎没有，2018年美国发起的芯片封锁事件，明确的提示我们，目前半导体依然是中国被卡脖子的产业，通过自主创新等方式逐步实现产业自主可控已经迫在眉睫。
在这其中，半导体制造行业作为关键一环，其制造厂房的顺利实施建设更显得尤为重要。
而在半导体生产的洁净厂房车间中，吊顶上方二次钢构是其重要组成部分，二次钢构的选型设计和实施应用不仅涉及到FFU龙骨、盲板和过滤器的悬挂，而且还影响到风管、桥架、消防管件、AMHS和检修马道等系统的走向，进而实现满足半导体生产车间的工艺要求。
1项目生产主厂房结构形式分析
广州某半导体项目（以下简称半导体项目）生产主厂房主体三层、局部四层，主要分为洁净区和非洁净区两部分。
洁净区包含洁净核心区和洁净工艺区，位于厂房的二三层，非洁净区位于厂房的一四层，每个洁净区又可细分为下夹层、生产层和上夹层三层空间。
（图1）
图1 半导体项目建筑结构剖面图 1.1厂房洁净核心区结构剖面图
厂房洁净室核心区下夹层、生产层和上夹层厂房结构形式各不相同，核心区下夹层结构形式为普通结构梁和楼板，生产层地面结构形式为华夫孔楼板梁和高架地板，上夹层结构形式为TRUSS钢桁架和屋顶的压型钢板形式。
1.21#厂房洁净工艺区结构剖面图
与洁净核心区的结构形式有所不同的是，洁净工艺区生产层和下夹层结构形式为普通结构梁和楼板，上方再施作高架地板，高架地板下方为下回风夹层，工艺区侧面设置回风夹道。
由于半导体生产厂房工艺需求的原因，洁净核心区和洁净工艺区的结构形式是不一样的，这就从根本上决定了吊顶二次钢构需根据厂房的具体结构形式进行深化设计选型和安装施工，在满足结构受力的前提下，以保证半导体生产厂房的工艺综合参数需求。
2生产主厂房吊顶二次钢构选型分析
2.1 厂房洁净核心区吊顶二次钢构选型分析
通过上面洁净核心区结构剖面可以看到，上夹层结构是有TRUSS钢桁架，这就为我们吊顶二次钢构的吊挂和支撑提供了天然的优势和便利。
TRUSS钢桁架的下悬梁间距为2.4m，正好可以充当吊顶二次钢构的主钢构，次钢构铺设于上方，节约钢材使用量，施工安装方便快捷。
结合TRUSS钢桁架钢结构形式和二次钢构便于加工、易于安装、结构牢固美观和综合效益最高的设计原则，在满足结构受力情况的基础上，二次钢构的主钢构利用原来的TRUSS钢桁架下悬梁担当，次钢构选用125*50*2.3t的镀锌方钢，架设于TRUSS钢桁架下悬梁的正上方，其连接节点设计采用U型卡固定于下悬梁上，间距按照1.2m布置。
（图2）
图2 洁净核心区上夹层次钢构现场布置 2.2 厂房洁净工艺区吊顶二次钢构选型分析
与洁净核心区结构形式不同，工艺区生产层和下夹层结构形式为常见的普通结构梁和楼板，其结构楼层不高，高架地板至楼板下为6.65m，吊顶高度为4.2m，上夹层高度为2.45m，相对核心区，吊顶上方相关管件、FFU和马道等配件较少，吊顶通丝、龙骨和二次钢构的承重较轻。
结合普通结构梁和楼板的结构形式，根据二次钢构便于加工、易于安装、结构牢固美观和综合效益最高的设计原则，在满足结构受力情况的基础上，把一般的主次钢构的二次钢构形式深化设计为单排次钢构，次钢构选用背靠背41*82*2.5t的镀锌C型钢，紧贴于次梁安装，使用成品的C型钢连接构配件，间距按照1.2m布置，这样不仅优化了型钢数量，还腾出了吊顶上夹层空间，用于其他配件安装施工。
（图3）
图3 洁净工艺区结构形式和二次钢构连接节点 3半导体项目吊顶二次钢构钢构选型建议
结合本项目吊顶二次钢构成功选型和实施应用，关于半导体项目吊顶二次钢构的选型分析提供以下建议：
?区别于我们熟悉的大型面板厂，半导体厂房相对来说厂房面积和高度较小，吊顶二次钢构在满足受力和相关工艺要求前提下，应尽量选型恰当，节约成本。
?吊顶二次钢构选型应该根据原厂房结构形式，比如本项目的核心区和工艺区因结构形式的不同而采取了不同的吊顶二次钢构形式，从而取得了比较好的效果。
?充分利用原有TRUSS层钢结构形式，优化主钢构，不仅降低了成本，还有利于施工安装便捷，美观大方。
4结束语
以上就关于半导体生产厂房项目洁净室吊顶二次钢构型钢选型过程及其特点做了简要的分析介绍，随着此半导体项目的建设完工和运行量产，本项目吊顶二次钢构型钢选型得到了实践的检验验证，既满足了半导体生产工艺的要求，又达到降低项目材料和人工成本，增加了效益。