纳米压痕实验

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纳米压痕测量仪器
• 一、TriboIndenter®是 Hysitron公司生产的低载荷原 位纳米力学测试系统，可进行 压入和划入测试。右上图为其 核心部分。
• Hysitron公司：1992年成立于 美国明尼苏达州，是一家专门 致力于原位纳米力学测试系统 设计、生产和销售的公司。
• 二、Nano Indenter®是最早研 制的压入测量仪器。右下图为 其核心部分。
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Minus k Vibration Isolation Table 精密减振台
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Nano Indenter®G200的技术参数
• 载荷分辨率：50nN
• 标准测试最大载荷：500mN
• 高载荷测试最大载荷：10N
• Z方向的位移分辨率：<0.01nm
• 最大压入深度：>500μm
• X-Y Table位移分辨率：1μm
Computer
Monitor
CSM Controller 连续刚度测量
Keyboard
NanoSwift Controller 控制和采集位移和力的变化
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Nano Indenter®G200核心部分
Schematic of the Nano Indenter G200
Nano Indenter G200
Ks
1 Kf
H &E
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操作流程
1
装载样品
2
打开电源，启动电脑
3
打开Nanosuite软件，进行操作
4
导出实验相关数据，卸载样品
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装载样品
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Nanosuite软件界面
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注意事项
1）
2）
3）
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Thank you！
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• 1983年Nano Instruments公司 在美国田纳西州成立并开始研 发Nano Indenter®，1998年被 MTS公司收购，MTS公司2008年 被Agilent公司收购。
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传感器 光学显微镜 样品台
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Nano Indenter®G200系统外观
Vibration Isolation Cabinet 隔热和隔音
最大载荷<500mN，压痕深度2100nm左右
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压痕实验原理
P h h f m
1
S dP
2
dh h h max
h c h max
P max S
3
A f hc
4
H P max
5
A
Er 2
S A
6
1
1
2
1
2 i
7
Er
E
Ei
用最小二乘法拟合卸载曲线顶端的25%~30%，得到（1）式，然后计算 出接触刚度即（2）式，用（3）式计算出接触深度，代入（4）中求 得接触面积，于是得到硬度即（5）式。利用接触刚度和接触面积计 算得到折合模量即（6）式，然后利用（7）式以及压针的模量和泊松 比计算样品材料的弹性模量。
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CSM技术
传统的准静态纳米压痕测试是利用卸载曲线获得接触刚度，每个压痕循环 只能获得最大压痕深度处的一个硬度和模量。连续刚度测量技术则可以直 接获得压入过程中采集的每个数据点对应压入深度的接触刚度，进而计算 出硬度与弹性模量等力学性能作为压入深度的连续函数。
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接触刚S度 ZF ： 00cos1m2
• 行程范围：100 ×100mm • 显微镜放大倍数：
上图是进行显微镜校准时得到： 沿45°方向，间距为50μm的三个压痕
Video Screen ：25X Objective ：10X&40X
显微镜放大倍数为250 倍 视距约为250 ×50μm=12.5mm
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标准测试的载荷-位移曲线
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纳米压痕技术
• 纳米压痕是一种先进的微尺度力学测量技术。它是通过测 量作用在压针上的载荷和压入样品表面的深度来获得材料 的载荷-位移曲线。其压入深度一般控制在微/纳米尺度， 因此要求测试仪器的位移传感器具有优于1nm的分辨率， 所以称之为纳米压痕仪。
• 测量的材料力学性能包括：弹性模量、硬度、屈服强度、 断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性等。