LCD制程工艺知识培训课件
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感光树脂膜
ITO
Glass基板
• 曝光
工序作用: 用紫外光（UV）通过预先制
作好的电极图形掩模版照射 光刻胶表面，使被照光刻胶 层发生反应，在涂有光刻胶 的玻璃上覆盖光刻掩模版在 紫外灯下对光刻胶进行选择 性曝光
Glass基板
UV光
Hale Waihona Puke Baidu
• 显影
工序作用: 用显影液处理玻璃表面，将
经过UV光照分解的光刻胶层 除去，保留未曝光部分的光 刻胶层，用化学方法使受UV 光照射部分的光刻胶溶于显 影液中，显影后的玻璃要经 过一定的温度的坚膜处理使 光刻胶更加坚
Glass基板
現像液
• 刻蚀
工序作用: 用适当的酸刻液将无光刻胶
覆盖的ITO 膜蚀掉，这样就 得到了所需要的ITO 电极图 形 注：ITO 玻璃为氧化铟锡的导 电玻璃，易与酸发生反应， 而用于蚀刻掉多余的ITO， 从而得到相应的拉线电极
Glass基板
• 脱膜
工序作用: 用高浓度的碱液（NaOH 溶液）
切割
當ITO玻璃貼合後，將對ITO 玻璃上之LCD各個單位作切割， LCD其中顯示板的大小是依其 產品不同而有單位大小不同 之分，故其自動化切割為依 不同之型號做可程式處理
灌液晶
灌入液晶的製程，液晶片放入一真空 的密封箱中，藉著基座的固定將小切 割後的LCD顯示板固定住，再由下方 的海綿提供液晶，首先會將密封箱抽 成真空，然後藉著彈簧活動機構將海 綿往上頂，如下圖16，然後釋放空氣 進入箱中，此時LCD板藉著毛細現象 將液晶完全吸入LCD板中間，完成灌 液晶的動作。
研磨布贴附不良、研磨压入量不适
R、G、B膜残缺
金属异物
干版异物
治具压力异常、导通剂搅拌后时间超时
貼偏光片.終檢包裝.入庫
最後將偏光片貼在LCD板 的上下兩面，如此完成了 LCD液晶顯示器的成品。
結束
The End
•
1、有时候读书是一种巧妙地避开思考 的方法 。20.9. 1420.9. 14Monday, September 14, 2020
抽真空 口
N2入口
封口.固化
灌入液晶後在其開口處加上封 口以防止液晶外漏 加圧
上Glass基板
下Glass基板
封止治具 注射器
清洗.目檢.電測.清洗
LCD封口後在此利用 偏光板目檢LCD板是否 厚薄不均，或是內部液 晶散佈不均，
電檢利用液晶板上
之PIN腳加以導電，觀
察LCD之點亮情形，加
以判斷LCD板是否顯示 序号
作脱膜液，将玻璃上余下的光 刻胶剥离掉，从而使ITO 玻璃 上形成与光刻掩模版完全一致 的ITO 图形
Glass基板
• 形成ITO图案过程
ITO膜
清洗
玻璃
掩膜板
曝光
光刻胶 涂胶
显影/坚膜
刻蚀
脱膜
• 图形检测（PATTERN CHECK）
工序作用: 对玻璃表面形成的ITO图形用
电学原理进行短路测试，同时得到 激光修复所需要的数据。
• 激光修复（LASER REPAIR）
工序作用: 对所查找到的短路缺陷进行 修复。
成盒段主要工序
❖ PI、TOP印刷 ❖ 摩擦 ❖ SEAL、TR印刷 ❖ 喷洒 ❖ 对盒 ❖ 热压
TOP\PI工序的作用
TOP工序:一般的TN 与STN 产品不要求此步骤，TOP 膜的涂布工艺 是在 光刻工艺之后再做一次SiO2 的涂布，以此把刻蚀区与非刻蚀区之间 的沟槽填平并把电极覆盖住，这既可以起到绝缘层的作用，又能有 效地消除非显示状态下的电极底影，还有助于改善视角特性等等， 因此大部分的高档次产品要求有TOP 涂布
LCD工艺流程简介
NC -PE CY Tang
• 工艺流程
•光刻
主要工序
– 投入 – 清洗 – 涂胶 – 曝光 – 显影 – 刻蚀 – 脱膜
•玻璃投入
工序作用: 位于整条生产线的前端，负责
整片ITO玻璃基板的投入。 要求ITO玻璃的規格型號符合 產品的要求。 发料是最主要的是要记住ITO 面朝上(通过大切角判断)
PI工序：为在蚀刻完成的ITO 玻璃表面涂覆取向层，并用特定的方 法对限向层进行处理，以使液晶分子能够在取向层表面沿特定的方 向取向（排列），此步骤是液晶显示器生产的特有技术
PI、TOP印刷
TOP/PI印刷图：
摩擦工序的作用
用绒布类材料以特定的方向摩擦取向层表面，以 使液晶分子将来能够沿着取向层的摩擦方向排列。如TN 型号摩擦取向：45 度
支撑上下基板,保持 液晶盒厚均匀
贴盒工序的作用
按对位标记上与下玻璃对位粘合，将对应的两片玻璃面对面 用封接材料粘合起来。
Glass基板
对盒
热压工序的作用
利用加热和加压的方法固化Seal, 并保持一定的Cell Gap
气嚢 成盒玻璃
热压纸
调机玻璃
热压
后部主要工序
切割 灌液 挤压,封口 清洗 电目测 清洗 贴片,包装
工序的作用
TOP/PI COATING后
RUBBING后 PI层被取向
PI TOP ITO GLASS
丝印工序的作用
边框作用：贴合上下 两张基板,防止液晶 外漏或被污染。
银点作用：上下电极 导通
丝印
方向
刮板
Glass基板
SP接着剤（CP導通材） 印刷模板
SP接着线（CP導通材）
CP印刷後
工序的作用
• 清洗
工序作用: 玻璃的清洗与干燥：用清洗
剂以及去离子水（DI 水）等 洗净ITO 玻璃，并用物理或 者化学的方法将ITO 表面的 杂质和油污洗净，然后把水 除去并干燥，保证下道工艺 的加工质量。
• 涂胶
工序作用: 在ITO 玻璃的导电层面上
均匀涂上一层光刻胶，涂 过光刻胶的玻璃要在一定 的温度下将涂有光刻胶的 玻璃烘烤一段时间，以使 光刻胶中的溶剂挥发，增 加与玻璃表面的粘附性
•
2、阅读一切好书如同和过去最杰出的 人谈话 。04:3 5:4704: 35:4704 :359/1 4/2020 4:35:47 AM
•
3、越是没有本领的就越加自命不凡。 20.9.14 04:35:4 704:35 Sep-201 4-Sep-2 0
正常
1
2
3
4
5
6
7
8
不良项目 异物/污物 电极断裂 色差 研磨 膜针孔 上下短路 电极短路 导通不良
现
象
黑点或白点
缺划或缺行
Cell厚薄不均
研磨方向斜影 线
周围红晕状白点
“十”状黑点
嘀嘀声警报
密集缺划或缺行
原
因
层膜中有异物/污物、皮肤或纤维
感光树脂膜针孔、干版针孔、ITO异物
间纸摆放不正、治具气囊异常
ITO
Glass基板
• 曝光
工序作用: 用紫外光（UV）通过预先制
作好的电极图形掩模版照射 光刻胶表面，使被照光刻胶 层发生反应，在涂有光刻胶 的玻璃上覆盖光刻掩模版在 紫外灯下对光刻胶进行选择 性曝光
Glass基板
UV光
Hale Waihona Puke Baidu
• 显影
工序作用: 用显影液处理玻璃表面，将
经过UV光照分解的光刻胶层 除去，保留未曝光部分的光 刻胶层，用化学方法使受UV 光照射部分的光刻胶溶于显 影液中，显影后的玻璃要经 过一定的温度的坚膜处理使 光刻胶更加坚
Glass基板
現像液
• 刻蚀
工序作用: 用适当的酸刻液将无光刻胶
覆盖的ITO 膜蚀掉，这样就 得到了所需要的ITO 电极图 形 注：ITO 玻璃为氧化铟锡的导 电玻璃，易与酸发生反应， 而用于蚀刻掉多余的ITO， 从而得到相应的拉线电极
Glass基板
• 脱膜
工序作用: 用高浓度的碱液（NaOH 溶液）
切割
當ITO玻璃貼合後，將對ITO 玻璃上之LCD各個單位作切割， LCD其中顯示板的大小是依其 產品不同而有單位大小不同 之分，故其自動化切割為依 不同之型號做可程式處理
灌液晶
灌入液晶的製程，液晶片放入一真空 的密封箱中，藉著基座的固定將小切 割後的LCD顯示板固定住，再由下方 的海綿提供液晶，首先會將密封箱抽 成真空，然後藉著彈簧活動機構將海 綿往上頂，如下圖16，然後釋放空氣 進入箱中，此時LCD板藉著毛細現象 將液晶完全吸入LCD板中間，完成灌 液晶的動作。
研磨布贴附不良、研磨压入量不适
R、G、B膜残缺
金属异物
干版异物
治具压力异常、导通剂搅拌后时间超时
貼偏光片.終檢包裝.入庫
最後將偏光片貼在LCD板 的上下兩面，如此完成了 LCD液晶顯示器的成品。
結束
The End
•
1、有时候读书是一种巧妙地避开思考 的方法 。20.9. 1420.9. 14Monday, September 14, 2020
抽真空 口
N2入口
封口.固化
灌入液晶後在其開口處加上封 口以防止液晶外漏 加圧
上Glass基板
下Glass基板
封止治具 注射器
清洗.目檢.電測.清洗
LCD封口後在此利用 偏光板目檢LCD板是否 厚薄不均，或是內部液 晶散佈不均，
電檢利用液晶板上
之PIN腳加以導電，觀
察LCD之點亮情形，加
以判斷LCD板是否顯示 序号
作脱膜液，将玻璃上余下的光 刻胶剥离掉，从而使ITO 玻璃 上形成与光刻掩模版完全一致 的ITO 图形
Glass基板
• 形成ITO图案过程
ITO膜
清洗
玻璃
掩膜板
曝光
光刻胶 涂胶
显影/坚膜
刻蚀
脱膜
• 图形检测（PATTERN CHECK）
工序作用: 对玻璃表面形成的ITO图形用
电学原理进行短路测试，同时得到 激光修复所需要的数据。
• 激光修复（LASER REPAIR）
工序作用: 对所查找到的短路缺陷进行 修复。
成盒段主要工序
❖ PI、TOP印刷 ❖ 摩擦 ❖ SEAL、TR印刷 ❖ 喷洒 ❖ 对盒 ❖ 热压
TOP\PI工序的作用
TOP工序:一般的TN 与STN 产品不要求此步骤，TOP 膜的涂布工艺 是在 光刻工艺之后再做一次SiO2 的涂布，以此把刻蚀区与非刻蚀区之间 的沟槽填平并把电极覆盖住，这既可以起到绝缘层的作用，又能有 效地消除非显示状态下的电极底影，还有助于改善视角特性等等， 因此大部分的高档次产品要求有TOP 涂布
LCD工艺流程简介
NC -PE CY Tang
• 工艺流程
•光刻
主要工序
– 投入 – 清洗 – 涂胶 – 曝光 – 显影 – 刻蚀 – 脱膜
•玻璃投入
工序作用: 位于整条生产线的前端，负责
整片ITO玻璃基板的投入。 要求ITO玻璃的規格型號符合 產品的要求。 发料是最主要的是要记住ITO 面朝上(通过大切角判断)
PI工序：为在蚀刻完成的ITO 玻璃表面涂覆取向层，并用特定的方 法对限向层进行处理，以使液晶分子能够在取向层表面沿特定的方 向取向（排列），此步骤是液晶显示器生产的特有技术
PI、TOP印刷
TOP/PI印刷图：
摩擦工序的作用
用绒布类材料以特定的方向摩擦取向层表面，以 使液晶分子将来能够沿着取向层的摩擦方向排列。如TN 型号摩擦取向：45 度
支撑上下基板,保持 液晶盒厚均匀
贴盒工序的作用
按对位标记上与下玻璃对位粘合，将对应的两片玻璃面对面 用封接材料粘合起来。
Glass基板
对盒
热压工序的作用
利用加热和加压的方法固化Seal, 并保持一定的Cell Gap
气嚢 成盒玻璃
热压纸
调机玻璃
热压
后部主要工序
切割 灌液 挤压,封口 清洗 电目测 清洗 贴片,包装
工序的作用
TOP/PI COATING后
RUBBING后 PI层被取向
PI TOP ITO GLASS
丝印工序的作用
边框作用：贴合上下 两张基板,防止液晶 外漏或被污染。
银点作用：上下电极 导通
丝印
方向
刮板
Glass基板
SP接着剤（CP導通材） 印刷模板
SP接着线（CP導通材）
CP印刷後
工序的作用
• 清洗
工序作用: 玻璃的清洗与干燥：用清洗
剂以及去离子水（DI 水）等 洗净ITO 玻璃，并用物理或 者化学的方法将ITO 表面的 杂质和油污洗净，然后把水 除去并干燥，保证下道工艺 的加工质量。
• 涂胶
工序作用: 在ITO 玻璃的导电层面上
均匀涂上一层光刻胶，涂 过光刻胶的玻璃要在一定 的温度下将涂有光刻胶的 玻璃烘烤一段时间，以使 光刻胶中的溶剂挥发，增 加与玻璃表面的粘附性
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2、阅读一切好书如同和过去最杰出的 人谈话 。04:3 5:4704: 35:4704 :359/1 4/2020 4:35:47 AM
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3、越是没有本领的就越加自命不凡。 20.9.14 04:35:4 704:35 Sep-201 4-Sep-2 0
正常
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不良项目 异物/污物 电极断裂 色差 研磨 膜针孔 上下短路 电极短路 导通不良
现
象
黑点或白点
缺划或缺行
Cell厚薄不均
研磨方向斜影 线
周围红晕状白点
“十”状黑点
嘀嘀声警报
密集缺划或缺行
原
因
层膜中有异物/污物、皮肤或纤维
感光树脂膜针孔、干版针孔、ITO异物
间纸摆放不正、治具气囊异常