高g微阵列加速度传感器的电气互联研究

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工作，本满足设计要求。基
关键词：ｇ高加速度传感器；电气互联；模糊优化；内引线焊接
ｔｅｒｏｔｅｃｌａａｉｎｏｈｅｔｎａａ，ｔｅｔｐｅｉｕｌｉｇｔｃｎｌｇｃｌｐｒｍｅｅｓａｔｉｅ．Ａｎｈｈｏｙｔｈａｃｌｔｆｔｅｔｓｉｇｄｔｏｈｅｂｓｒｃｏｓｗｉｄｎｅｈｏｏｉａａａｔｒｉｂａｎｄｄｔｅ
高ｇ微阵列加速度传感器的电气互联研究木
曹始建，晓明，钟淦，明锐，科明刘朱赵姚
（电子科技大学机械电子工程学院，成都６３）１７１１
摘要：设计高ｇ微阵列传感器在受到１０ｏ５ｏ加速度冲击作用下，ｏｇ它的电气性能良好。通过对改进封装后加速度传感器
Ｋｅｒｓ：ｈｇ－ｃｅｅｏｔｒｙｗｏｄｉｈｇａｃｌｒｍｅｅ；Ｅｌｃｒｃｉｔｒｏｎｃｉｇ；ｆｚｙｏｔｍｉａｉｎ；ｉｎｒｗｉｅｗｅｄｎｅｔｎｅｃｎｅｔｎｉｕｚｐｉｚｔｏｎｅｒｌｉｇＥＥＡＣＣ：２５５；２０Ｍ；３０Ｆ７７３７１
ｉａｔｆａｔｒｘｅｍｅｏｔｅｄｆｅｅｔｔｃｎｌｇｃｌｐａａｔｒｆｓｎｏａｐｅｏｈｐｉｓｎｐｏｅｗａａ — ｍｐｃｒｃｕｅｅｐｒｎｔｈｉｒｎｅｈｏｏｉａｒｍｅｅｓｏｅｓｒｓｍｌｎｔｅＨｏｋｎｏｌｓｃｒｉｔｆｒｅｕ．Ｔｅｅｐｒｍｅｔｌｒｓｌｓｉｄｃｔｄｔａｈｍｐａｔｏｆｅｔｕｄｒｔｅ１８０ｉｄｏｔｈｘｅｉｎａｅｕｔｎｉａｅｈｔｔｅｉｃｆｅｆｃｎｅｈ４００ｇａｃｌｒｔｏｈｃｃｅｅａｉｎｓｏｋ，ｔｅｈｓｎｏｔｌｃｕｄｗｏｋｎｒａｌｅｓｒｓｉｌｏｌｒｏｍｌｙ，ｔｅｈｉｈｇａｃｌｒｍｅｅａｉｆｅｈｅｉｎｒｑｉｅｎｓｈｇｃｅｅｏｔｒｓｔｓｓｔｅｄｓｇｅｕｒｍｅｔ．ｉ
引线拉伸试验数据进行分析，用模糊优化理论优点对试验数据进行模糊计算，出最佳的精确焊接工艺参数。对不同工艺利得
参数的传感器样品在霍普金森杆上进行冲击破坏试验，实验结果表明，１８００ｇ加速度冲击作பைடு நூலகம்冲击下，在４０传感器仍能正常
ｌａｒｕｌｅｔａｅｎｐｏｉｇｉｓｓｌｉｇｓａｏｅｓｎｎｐｌａｉｎｏｈｅｉｆｔｅｆｚｙｏｔｉａｉｎｅｄｗｉｅｐｌｉｔｓｆｒｉｒｖｎｔｏｄｎｅｌｐｒｃｓｉｇａｄａｐｉｔｆｔｅｍｒｔｏｈｕｚｐｉｚｔｎｇｔｃｏｓｍｏ
第２３卷第１期
２１００年１月
传感技术学报
ＣＨＩＥＳＯＵＮＥＪＲＮＡＥＳＲＳＡＣＵＡＯＲＬＯＦＳＮＯＮＤＡＴＴＳ
Ｖｏ．Ｎｏ１Ｉ２３．
Ｊｎ００ａ．２１
ＲｅｅｒｈｏｆｔｅＨｉｈＡｒａｃｌｒｍｅｅｅｔｉｎｅｃｎｅｔｎｓａｃｎｏｈｇ－ｒｙＡｃｅｅｏｔｒＥｌｃｒｃＩｔｒ０ｎｃｉｇ
Ａｂｔａｔｉｈｇａｒｙａｅｌｒｍｅｅｏｓａｄｔｅｔｓｏｅｖｃｅｅａｉｎｉｅｉｎｄｔａｏｄｅｆｃｆｓｒｃ：Ａｈｇｒａｅｅｅｏｔｒｔｎｅｔｆａｈａｙａｃｌｒｔｄｓｇｅ．Ｉｈｓａｇｏｆｔｏｔｈｏｓｅ
Ｃ０Ｓｉａ，Ｉｉｏｎ，ＨＵＺｏｇａ，ＨＯＭｉｇｕ，ＹＯＫｍｉｇＡｈｉｎＬＵＸａｍｉｊｇＺｈｎｇｎＺＡｎｒｉＡｅｎ
（ｎｖｒｔｌｔｎｃｎｅｎｅｈｏｇｈｎｅｈｎｃｌｌｔｎｎｉｅｉｓｔｔ，ｈｎｄｕ６３，ＣｉａＵｉｓｙｏＥｅｒｉＳｉｃｄＴｃｎｌｙｏＣｉｍｃａｉｅｒｉｅｇｎｒｇｉｔｕＣｅｇｏ１７ｈｎ）ｅｉｆｃｏｃｅａｏｆａａｅｃｏｃｅｎｎｉｅ１１
ｅｅｔｉａｐｃｆｃｔｏｎｅｈｅａｃｌｃｔｏｈｃｆ１５ ×１ｇｌｃｒｃｌｓｅｉａｉｎｓｕｄｒｔｃｅｅａｉｎｓｏｋｏ．ｉ０．Ｔｈｏｇｈａａａａｙｉｒｍｃｅｅｏｔｓｒｕｈｔｅｄｔｎｌｓｓｆｏａｅｌｒｍｅｅ