炼胶设备简介

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炼胶设备简介

炼胶设备简介

炼胶设备概述

炼胶设备是我公司胶料重要环节之一,炼胶设备也是设备维修的重难点,炼胶设

备主要包括开炼机、密炼机、胶片冷却机、辅机系统、小药称量系统以及空压机、切

胶机、滤胶机等其他辅助设备。其中K4密炼机1台、K6密炼机1台、K6A 系列密炼机

3台均为我厂的关键设备。

本课程主要大家介绍这些设备的种类、结构、工作原理及简易维修与故障处理。

I. 炼胶系统辅助设备

炼胶系统中的辅助设备包括:空压机、冷水机组、滤胶机、切胶机等。

虽然是辅助设备,但在整个系统中起到至关重要的作用。下面就为大家一一介绍

这些辅助设备。

一、空压机

空压机为整个车间提供压缩空气,为气动元件提供动力。炼胶

系统中,辅机系统及胶片冷却机用气量最大。空压机故障将直接导

致上辅机和胶片冷却机无法正常工作。

空压机全名空气压缩机,我厂使用的基本都是复盛公司的喷油

式螺杆空压机。型号规格主要SA-475W 、SA-55W 、SA-60A 、SA-60W 、

SA-120W 这几种,区别在于功率、转速及排气量等方面。

1、工作原理

不管型号规格,其工作原理相同:

双螺旋压缩机是通过阴阳转子在“∞”形气缸中相互啮合形成工作容积,随着转子

的转动,该工作容积的大小发生周期性的变化,实现气体的压缩

螺旋式压缩机的工作循环可分为吸气、压缩和排气三个过程。

喷油螺旋式空压机工

作时,大量的润滑油 喷入气缸内,和空气 混合一同进入工作循 环,油气混合气体在 排除机体后,在油气 桶被分离出来,在油 冷却器内被冷却,通 过过滤后进入下一个 循环。

2、注意: 排气温度是喷油螺旋式空压机的一个重要参数,排气温度过高或过低都会

影响压缩机的性能,严重时回造成空压机无法正常运转。

(1)排气高温

排气温度越高,设计压缩机时为考虑膨胀影响而留的间隙也越大,压缩机效率

会降低。高排气温度也会导致更多的润滑油处于气相,增加油气分离的困难,使气体

复盛SA-60W 系列空压机

机头结构立体图

含油量增加。在高温情况下,润滑油容易氧化、碳化或分解。空压机高温上限一般设定为100℃。

(2)排气低温

由于空气中含有水蒸气,空气经压缩后,水蒸气分压也增加,如果排气温度过

低,就有可能会有水分析出。系统中一旦析出水分,润滑油很快就会乳化,油质恶化,轴承寿命急剧下降。空压机低温下限与压力比和吸气状态有关。一般设定为70℃。3、维护与保养

运转500小时

新机使用后第一次换润滑油,清洁空气滤芯、前置过滤器和油滤芯。

运转1000小时

检查进气阀动作、拉杆及活动部位,并加注油脂。清洁空滤芯、第一次更换油滤芯,风冷机器清洁散热器。

运转2000小时

检查各部管路。检视观油计(镜)或拆下清洗。

运转3000小时(半年)

更换润滑油并清除油垢;清洁进气阀,加注润滑油脂。检查三向电磁阀,泄放电磁阀。更换油细分离器。检查安全阀的动作是否正常。更换空气滤芯、油滤芯。电动机加注润滑脂。检查起动器之动作。检查各保护开关是否动作正常。

运转6000小时(壹年)

更换油细分离器。压力维持阀。检查并上紧管路接头。完成半年维护的各项工作。运转两年

重新上紧各联接螺母。测量电动机绝缘,应在1MΩ以上。完成壹年维护的各项工

作。

运转四年

检查或更换机体轴承及油封,调整间隙。完成两年维护的各项工作。

二、冷水机组

冷水机组在高温季节为胶料的生产提供冷冻水,以保障准确可靠的控制密炼工艺温度。

被冷却物的热量并汽化成蒸汽,在压缩机不断地将产

生的蒸汽从蒸发器中抽出,并进行压缩,经压缩后的

高温高压蒸汽被送到冷凝器后向冷却介质放热冷凝成

高压液体,再经节流机构降压后进入蒸发器,吸收被

冷却物体的热量,再次汽化,如此周而复始的循环。

冷水机组工作原理图

恒星冷水机组

三、滤胶机

滤胶机是将混炼胶中杂质进行过滤,以便于下道工序的进行。

本厂滤胶机有3种:螺杆挤出机、精密柱塞挤出机、

齿轮泵精密滤胶机。

1、螺杆挤出机结构简单,变频电机驱动减速机,减速

机输出带动变距螺杆,辅以温度控制,使胶料通过机头滤

网,达到过滤胶料的目的。

2、精密柱塞挤出机

精密柱塞挤出机的工作原理:先将胶料打卷放入料筒

中,关闭机头,启动后,小的活塞缸在液压力的推动下快

速推动柱塞,达到快慢速转换压力时,柱塞慢速高压挤出

胶料,料筒和机头均有温度控制。挤出压力一般在17Mpa

左右。

3、精密齿轮泵挤出机

精密齿轮泵挤出机的工作原理:双辊送料装置将胶料

送入齿轮泵,通过齿轮泵将胶料挤出。

本机为德国进口设备,结构较为复杂,控制较为智能,

挤出效率较高。维修费用相对也较高。

精密齿轮泵挤出机由以下几部分组成:电气控制、液压单元、驱动部分、喂料装置、挤出装置及四温区控制单元。

电气控制单元由3个PLC单元和一个人机操作界面通过以太网通讯来控制转子转速、四温区温度、喂料转速及各项动作。

液压单元为各液压元件提供动力,如挤出机头、喂料装置的打开和关闭。

转子驱动就是齿轮泵的动力,由一台75Kw的变频电机驱动减速机,减速机输出带动主动转子,通过齿轮的啮合将胶料挤出。

喂料装置由2台电机驱动2个直径150的辊筒,将胶料送入转子室,调整喂料转速,转子转速会以一个比例进行相应调整。

挤出装置安装穿孔网板、滤网及口型,关闭时由2个油缸分别驱动2个夹具以加紧挤出机头

四温区控制单元分别控制喂料辊、转子、转子室、机头,工作介质为水。

四、切胶机

切胶机就是将胶料切成小块以达到配方所需的重量;其工作原理较简单:立式液压缸推动切刀向下,将胶料切断。本厂使用的切胶机有以下2种。

1、自制切胶机

2、佰宏切胶机

II.炼胶系统主要设备

炼胶系统中的主要设备包括:辅机系统、小药称量系统、胶片冷却机、开炼机。

接下来为大家介绍这些主要的生产设备。

一、辅机系统

本厂辅机系统均为青岛软控机电股份有限公司开发制造。K4配套1台、K6配套一台、K6A配套三台,另外还有单独的炭黑自动称量系统和油料自动称量系统各一台。

辅机系统包括:炭黑输送系统、油料输送系统、炭黑粉料称量系统、油料称量系统、胶料称量系统、总除尘系统。

接下来将为大家详细介绍辅机系统

1、炭黑输送系统

炭黑输送系统:将各种常用炭黑通过解包压送、槽车压送、大仓压送的方式输送到月罐或日罐。

2、油料输送系统

脱水油罐

可采用电加热或蒸汽加热两种形式。

采用温度传感器采用温度传感器及数字显示仪表控制其温度。

蒸汽加热采用薄膜调节阀控制蒸汽的通、断。

保温油罐

可采用电加热或蒸汽加热两种形式。

采用温度传感器及数字显示仪表控制其温度。

蒸汽加热采用薄膜调节阀控制蒸汽的通、断。

3、炭黑粉料称量系统

螺旋输送器

U形槽,易拆卸顶盖,便于维修。

直联式电机减速机驱动。变螺距螺杆,保证物料输送流畅。

无级调速,保证称量精度

炭黑粉料秤

碳钢秤斗,防静电锦纶胶布内衬。

气缸振动抖动内衬,使排料干净。

炭黑秤附加有检量称

采用三个TOLEDO的称重传感器,及称重仪表

最大称量30-300kg,准确度等级0.5

4、油料称量系统

可采用电加热或蒸汽加热两种形式。

采用温度传感器及数字显示仪表控制其温度。

蒸汽加热采用薄膜调节阀控制蒸汽的通、断。

双阀控制快、慢速加油,保证称量精度。

压缩空气清管系统,保证注油干净。

最大称量10-50kg,准确度等级III。

皮带秤及皮带输送机

电机减速机驱动

薄型无接头皮带

四支剪切梁传感器

光电开关感应物料

最大称量50-500kg

准确度等级III

总除尘系统

二、小药称量设备

在橡胶的混炼过程中,需要添加各种促进剂、防老剂、硫化剂等化学原料,由于在一车胶料中的重量比少,称之为小药。

小药的称量是由小药称量系统来完成的,本厂目前共有6条小药称量线,包括:48工位小药称量1套、56工位小药称量1套、70工位小药称量一套、50工位小药一套、26工位小药称量2套。

48工位和56工位是直线轨道式半自动称量,即操作人员站在轨道式小车上,小

车根据配方中需要的药箱的位置进行移动,到位后,药箱被气缸推出,手动称量,称重准确后,药箱收回,小车移动到下一个药箱的位置,直到此配方结束。

70工位和50工位是机械手半自动称量,机械手移动到配方所需的药箱处,取出药箱,返回到称量处,操作人员手动称量,此时机械手将下一物料再取出送到称量处等待,再取出一个药箱在机械手上等待,当第一个药箱称量完毕,此药箱送到空余位置,下一药箱送到称量位置,机械手上的药箱送到等待工位上后,移动到第一药箱位置并将之送回原位。

26工位的自动化程度很高,操作员只需将料框套好袋子,料框被自动送到称量工位上,自动去皮,自动称量,自动行走,自动复检,称量结束后操作人员只需将物料取出即可。

理论上可同时执行14种配方,因此工作效率很高。

送料称量系统有3种:电磁振动给料器、双螺旋给料器、普通自洁双螺旋给料器。

◆电磁振动给料器通过PLC根据重量输出模拟量信号到振动控制器,振动控

制器根据模拟量输出相应的脉冲电压,控制振动大小,调节给料速度,实际重

量越接近设定重量,振动越小。

◆双螺旋给料器通过PLC根据重量输出开关量信号到接触器和变频器,控制大螺

旋或小螺旋,以控制给料速度。

◆普通自洁双螺旋通过PLC根据重量输出开关量到变频器的快慢速端子,控制电

机转速,来调整给料速度。

三、胶片冷却机

混炼胶经过热炼机出片或出条,通过胶片冷却机的接取、提升送至挂杆风冷,最后出片或打卷,以便于包装存储。

本厂现有挂杆式胶片冷却机6台,钢丝网带式胶片冷却机2台。

四、开炼机

一、开炼机的分类

开炼机的分类形式有2种,一种是按照辊筒直径,另一种是按用途分 按照辊筒直径分类

根据辊筒直径可分为6吋、9吋、12吋、16吋、18吋、22吋、26吋开炼机

注:吋即为英吋,1英吋=25.4mm

炼胶设备以18吋、22吋、26吋开炼机居多。

按照用途分类

按照用途分类可分为压片机和翻炼机

1、压片机:前后辊筒速比1.09,一般使用于K4、K6、K6A系列密炼机生产线,当密炼机密炼胶料完成后,排到下方的压片机上,压片机将胶料进行压片成型散热开炼,通过皮带输送机输送到翻炼机。

2、翻炼机:前后辊筒速比1.27,通常用于胶料二次混炼,通过前后辊不同的线速度,导胶机构摆动,使混胶料进行二次剪切混炼,以保证胶料分散度。

二者的区别在于翻炼机加装了捣胶装置和液压挡胶板装置,而压片机没有捣胶装置,挡胶板也是固定不可移动的。翻炼机也叫热炼机。

二、开炼机的结构

开炼机的结构基本上包括以下方面:

1、调距装置

2、辊筒

3、电气控制

4、液压装置

5、传动装置

6、电动机

7、制动刹车

8、捣胶装置(翻炼机)

9、润滑装置

注: 本厂大部分开炼机没有翻炼装置,还有少部分开炼机的润滑装置采用润滑脂润滑,因此,对于润滑脂润滑的开炼机需要在开机前将油杯往下拧2-3圈,使辊筒铜套部位得到充分润滑。

二、开炼机的结构

三、辊筒冷却方式

中空冷却水道式辊筒

中空式辊筒结构简单,制造方便,成本低,多用蒸汽及冷却水对辊筒工作表面温度进行调节。但壁厚较大,传热面积小,传热效率差,辊筒表面温度分布不均匀,中间比两端温度高(一般相差7-8°,高时达到10°)影响了胶料质量,适用于中小规格的开炼机低精度生产。

钻孔冷却水道式辊筒

钻孔式辊筒,是在辊筒表面淬火层附近,但需避开淬火层,沿其圆周钻孔并与中心孔相通。钻孔部分的硬度要均匀,以防止钻偏。

钻孔式辊筒的冷却型式又可分为单钻孔和成组钻孔(3~5个孔为一组,一般孔径25-30mm ,孔数27-33个)两种,后一种可以加快冷却水的流动速度,传热效果好。

四、开炼机的电气控制

五、开炼机的刹车制动

开炼机属于开式、手工操作的机台,工作负荷大,工作过程中很容易发生人身及

机械事故,安全制动装置显得尤为重要。

六、开炼机的安全装置

开炼机的安全装置主要是4个急停按钮开关制动、一套安全拉绳开关制动,有的

还有拉杆行程开关制动。

对制动装置的要求:①按钮拉绳控制位置要适合操作人员使用方便。紧急情况下

可触及紧急刹车。②装置要处于完好状态。③空转制动后,辊筒继续回转不得超过滚

筒圆周的1/4。

急停按钮

急停按钮安装于开炼机的四角位置,操作工在操作区域内均可按下急停按钮。

注:急停按钮分自锁按钮和复位按钮,自锁按钮按下后,会保持按下状态,而复位按钮则需要手一直按着,设备才能急停反转。

拉绳开关

拉绳开关固定于特制的支架上,安装于开炼机一角,通过φ4mm的覆塑钢丝绳和滑轮连接在操作区域内,高度1500-1700mm,操作人员只要触碰或拉动拉绳开关,设备便会急停反转,以达到保护操作人员。再次开机时需要按下蓝色复位按钮,方可重新启动。

注:观察拉绳开关上透明窗,内部红色箭头标志表示拉绳开关的拉杆位置,在透明窗正中间位置最合适。灵敏度高,若看不见红色标志,需要立即调整拉绳开关,以确保其工作可靠灵敏!

拉杆行程开关

拉杆行程开关由双向拉杆、支撑弹簧、行程开关组成,安装于开炼机鞍马之上,操作工只要拉动拉杆,拉杆支架触动行程开关,开炼机急停反转。

注:目前拉杆行程开关由于改液压挡胶板,除了少部分大齿轮传动的16吋开炼机,其余均已拆除。

七、开炼机的捣胶装置

捣胶装置由主动辊、压辊、传动装置、摆胶油缸及液压系统、刮胶板等部分组成,位于压片机的上方,可自动翻动胶料,以代替人工,使胶料进一步混炼均匀。大大可降低劳动强度,当设定混炼时间内实现摆胶,提高胶料工艺质量、减少能耗。

八、开炼机的调距装置

开炼机在工作时因加工物料及工艺过程的不同,对辊距大小的要求也不一样。辊距调整量的大小视机台的规格而定,调距范围一般在1-15mm之间

1、类型与结构

调距装置按结构形式的不同分为手动、电动、液压传动三种。本厂均为前两种形式。

手动调距装置,采用蜗轮传动机构,一般用于18吋及以下尺寸开炼机。

电动调距装置,采用蜗轮传动机构,一般用于22吋及26吋开炼机。

2、调距装置的安全装置

当开炼机辊筒受到横压力过大时,安装在前辊筒轴承座上与调距螺杆之间的安全垫片(保险片)被挤压破坏,从而使辊筒的辊距放大,使辊筒受到的横压力下降,保护了辊筒以免辊筒断。

使用特点:制造容易,更换方便,成本低。但在冲击载荷下,承载能力降低,更换频繁,而且需要停机更换,影响生产。

九、开炼机的操作注意事项

紧急停车装置只能在紧急情况下使用,正常停车时不得使用,以免制动瓦块的磨损。

严禁在辊筒上方传递物品。

设备在工作时,严禁将身体有关部位进入其运动区域,以防发生意外事故,为了您的安全,请一定要细心操作。

操作前应检查翻料装置各紧固件无松动或缺损,各润滑点已充分润滑。

待设备完全停机后方可清扫设备卫生、清理积胶,然后关闭冷却水及润滑油泵,切断电源。

十、点检注意事项

开炼机作为本厂主要设备,点检要严格按照点检规范进行,主要有以下几点:

1、安全件的点检:开炼机的安全装置关系到操作工的人身安全,因此班前对所有的安全件进行检查非常主要,主要涉及急停按钮、拉绳开关、拉杆急停开关是否完好;刹车装置是否灵敏可靠。出现问题应立即告知设备维修工,待维修完毕后方可工作。

2、异常发热:运转部位异常发热,例如电机轴承、辊筒轴承等部位,很可能是润滑不良,长期润滑不良就会引发严重设备故障,导致停机,影响生产。因此需要立即报告机修工检查解决。

3、异常声音:开炼机的运动部位有异常声音,通常是轴承、联轴器缓冲垫等有问题时发出的,也因立即报告机修工检查解决。

4、润滑情况:干油润滑每班必须加注,稀油润滑基本为自动润滑,油杯油窗有无油柱显示,润滑油泵电机是否有异常。

5、其他:各控制按钮完好,仪表显示正常,调距装置是否灵活等。

五、密炼机

一、概述

密炼机全称密闭式炼胶机,是在开炼机的基础上发展起来的一种高强度间歇式混炼设备。它是一种有一对特定形状并相对回转的转子,在可调压力和温度的密闭状态下间歇性地对聚合物进行塑炼和混炼的机械。

相较于开炼机,密炼机具有以下特点:

1、混炼时间短

2、生产效率高

3、操作容易

4、减少配合剂的损失,较好的克服粉尘飞扬

5、改善劳动条件,减轻劳动强度等

现代密炼机发展的标志之一是高速、高压和高效能。通常将转子转速为20rpm的称为低速密炼机,30~40rpm的称为中速密炼机,60rpm以上的称为高速密炼机。

随着时代的进步,密炼机的结构也在不断发展。密炼机工作过程及整个机组的机械化、自动化水平也在不断提高,采用了程序控制,现在大型引进机台均采用计算机控制,例如我厂K4密炼机,K6及K6A系列密炼机均采用自动化计算机控制。

总之,此种发展旨在大大强化混炼过程,提高密炼机效能,减轻体力劳动和改善工

作环境等。

二、密炼机工作原理

在混炼室内,生胶的混炼和混炼胶的混炼过程,比开炼机的塑炼和混炼要复杂的多,物料加入混炼室后,就在由两个具有螺旋棱的,有速比的,相对回转的转子与混炼室壁、上、下顶栓组成的混炼系统内受到不断的变化的反复进行的强烈剪切和挤压作用,使胶料产生剪切变形,进行了强烈的捏炼。由于转子有螺旋棱,在混炼时胶料反复地进行轴向往复运动,起到了搅拌作用,致使混炼更为强烈、彻底。

三、密炼机的分类

本厂现有75L密炼机2台,55L密炼机3台,35L密炼机3台,12L密炼机1台,KI、K4、K6密炼机各1套,K6A密炼机3套

1、按转子端面形状分类

椭圆型转子密炼机

圆筒型转子密炼机

三棱型转子密炼机

本厂密炼机基本都是圆筒型转子密炼机。

2、按转子啮合与否分类

相切型,切线型

啮合型,联锁型

本厂75L、55L、35L、12L密炼机都是相切型,而K系列密炼机均为啮合型。

3、按转子转速不同分类

慢速≤20rpm

中速30~50rpm

高速≥60rpm

本厂密炼机基本都是高速型密炼机。

4、按转子转速变化与否

定速

双速转子具有两个速度

变速多为变频控制

本厂密炼机少部分为定速密炼机,其余都是可无极变速的密炼机。

5、按转子转速变化与否

大容量(规格)密炼机370L

中容量80-270L

小容量10-50L

试验用密炼机在10L以下

本厂12L、35L、55L、75L密炼机就是以容量进行分类的,K6及K6A密炼机容量在206L左右,另外还有K1、1L两种规格的试验用密炼机。

6、转子速比

异步转子

同步转子

本厂75L、55L、35L、12L密炼机都是异步转子,而K系列密炼机均为同步转子。

四、密炼机的结构

密炼机主要由转子、密炼室、密封装置、加料及压料机构、卸料装置、传动装置、气动控制系统、液压系统、加热冷却系统、润滑系统及电控系统等部分组成。

1、中小型密炼机,没有液压系统,

以佰宏35L密炼机为例,如图所示

(1)上顶栓

(2)防尘罩

(3)翻转装置

(4)密炼室

(5)速比齿轮箱

(6)传动装置

(7)驱动电机

(8)控制系统

五、密炼机的进料及压料装置

1、中小型密炼机,以佰宏35L密炼机为例,其进料就是讲防尘罩打开,提起上顶栓,手动将胶料、炭黑、油料、配合剂等放入密炼室内,然后压下上顶栓,关闭防尘罩,开始密炼。

K6A密炼机混炼时,胶料、炭黑粉料、油料是分开加的,加料流程如下:

密炼机从上辅机管理机处得到加胶料指令密炼机控制程序自动提起上顶栓自动打开进料门上辅机系统通过输送机胶胶料送入密炼室内

自动关闭进料门自动压下上顶栓

密炼机从上辅机管理机处得到加炭黑/粉料指令自动提起上顶栓

炭黑/粉料料斗碟阀打开加料完毕关闭碟阀自动压下上顶栓

密炼机从上辅机管理机处得到加油料指令自动提起上顶栓

自动提起上顶栓打开注油器加料完毕关闭注油器

自动压下上顶栓至此加料结束

六、密炼机的驱动传动装置

1、中小型密炼机,以佰宏35L密炼机为例,由一台37KW电机驱动,通过皮带轮传动到减速机,减速机单轴输出,再通过速比齿轮传动从动轴。如图所示:2K系列密炼机,以K6A密炼机为例,由一台1400KW电机驱动,通过齿形联轴器直接输出到减速机,减速机双轴同步输出到转子。

七、密炼机的液压系统

中小型密炼机都没有液压系统,下面以K6A密炼机的液压系统为主介绍如图所示:K6A密炼机油泵由一个柱塞泵以及一个双联叶片泵组成,电机功率55KW。液压油通过板式换热器冷却后回到油箱。

八、密炼机的温度控制

1、中小型密炼机一般只有胶料温度显示,没有温度控制,以佰宏35L密炼机为例,

除了胶料温度显示其也添加了密炼室侧壁温度监控、进出循环水温度监控,但也仅仅是监控,没有控制功能。

各部位轴承的好坏需要维修人员和操作人员在生产过程中去观察,比如耳听有无异常声音、目视有无异常抖动手摸有无异常发热等。

2、K系列密炼机的温度监视及控制功能更加完善,除了胶料热电偶,对各部位轴承、油温都有监视,对转子、密炼室、上顶栓、卸料门通过三温区进行温度控制,并且具有温度报警功能。

三温区,三台水泵分别控制上顶栓、转子、密炼室,温度控制准确、稳定

监控界面,绿色方框内的8个菜单可显示各轴承、减速箱油温、密封环、润滑油等的温度,若温度出现异常会报警

转子轴承温度一般在45℃左右,电机轴承一般在50℃左右,减速箱润滑油一般保持在38℃左右。

九、密炼机的润滑

1、中小型密炼机的润滑有几点:电机轴承、转子轴承、减速箱以及翻转蜗轮箱,如下图所示:

电机轴承及转子轴承均为润滑脂润滑,而翻转蜗轮箱、减速箱、数比齿轮箱均为220齿轮油润滑

2、K系列密炼机的润滑分为稀油润滑和润滑脂润滑,稀油润滑主要是为四套内压端面接触式自动密封环供油,润滑脂润滑主要是为上顶栓导轨、卸料门齿条齿轮、卸料门转轴等供油。

稀油润滑,由于K系列密炼机采用的是端面密封结构,就是将两个精密的平面在弹簧力的作用下相互贴紧并相互回转运动而构成的动密封装置润滑油品有2种,一种是工艺油品,另一种是润滑油。

密封环的状态关系胶料的质量,润换良好,其温度一般在40℃左右,温度过高会报警。温度过高便要及时报告维修人员,也可从漏油的量看出润滑的状态。

十、密炼机的操作注意事项

对于35L、55L等密炼机在操作时要注意一下几点:

1.未经培训,对设备操作不熟悉的员工不允许上岗操作密炼机;

2.操作人员在工作中切勿与他人闲谈,勿让闲杂人员在设备附近走动;

3.当操作人员在进料的时候应独立操作,不得让其他员工帮忙操作,其他

人员也不得操作;

4.在任何情况下操作人员不得把身体任何部位伸入到混合槽内;

5.在混合槽倾转的时候即使搅拌电机停止转动,也不得将手伸到混合槽内;

6.在倒料的时候切勿将手伸到混合槽内,如果操作人员有必要伸手操作时,

必须关闭主电机,,同时按下倒料侧的急停按钮,待转子完全停止后,并且不

得让任何人接近操作盘;

7.设备如遇故障,操作人员应停止操作,及时通知维修人员进行处理;

8.在操作过程中不得超负荷操作;

9.由于密炼生产粉尘较多,控制柜要保持常闭,不可随意打开控制柜。

10.要保持控制柜各按钮标示清晰,一目了然,以免误操作。

对于K系列密炼机,操作时应注意一下几点:

?班前检查驱动控制系统散热装置工作是否正常,环境温度是否合适

?由于密炼机体积较大,分布范围较广,故而操作时需要有2人或2人以上作业人员在操作时互相招呼,告知对方自己的行动,以确认安全。

?皮带秤及输送带上不可放置任何工具或金属物品,以防止被输送到密炼室,造成转子损坏。

?经常检查润滑情况,要作到按各润滑点、润滑周期进行润滑,当发现有泄露时应及时报告,使其恢复正常后方可使用。

?设备出现异常报警要及时报告维修人员,以便及时解决问题。任何使用人员不可调节机台上的任何阀件、电器安全件;机修人员调节各阀件或安全件前要先对原来的压力或位置进行记录。

?操作人员不得随便开启设备电气控制柜,以免粉尘进入控制柜,导致设备事故。

?要保持控制柜上的各按钮开关标示清晰,以免误操作。

?身体任何部位不得进入设备运动部位,以免发生人身伤害。

?遇到突然停电,设备无法运转,来电后应将胶料排除后方可重新启动。

?操作人员交接班时必须认真做好交接工作,清扫设备卫生。

光刻胶配方分析成分组成解析

一、项目背景 光刻胶是一类利用光化学反应进行精细图案转移的电子化学品。光刻胶在曝光区域发生化学反应,造成曝光和非曝光部分在碱液中溶解性产生明显的差异,经适当的溶剂处理后,溶去可溶部分,得到所需图像。根据化学反应机理,分负性胶和正性胶两类。经曝光、显影后,发生降解反应,溶解度增加的是“正性胶”;发生交联反应,溶解度减小的是“负性胶”。 通常负性胶的灵敏度高于正性胶,而正性胶的分辨率高于负性胶,正性胶对比度高度负性胶。 二、项目特点 1)感光度,指在胶膜上产生一个良好图形所需一定波长的光的能量值,即曝光量。 2)分辨率,是光刻工艺的一个特征指标,表示在基材上能得到的立体图形良好的最小线路; 3)对比度,指光刻胶从曝光区域到非曝光区域过渡的陡度,对比度越好,得到的图形越好; 4)残膜率,经曝光显影后,未曝光区域的光刻胶残余量; 5)涂布性,光刻胶在基材表面形成无针孔、无气泡、无缺陷、膜厚均一; 6)耐热性,光刻工艺中,经过前烘使光刻胶中的溶剂蒸发,得到膜厚均一的胶膜;经过后烘,进一步蒸发溶剂,提高光刻胶在显影后的致密度,增强胶膜与基板的粘附性。这两个过程都要求光刻胶有一定的耐热性; 7)粘附性,蚀刻阶段,光刻胶有抗蚀刻能力; 8)洁净度,对微粒子和金属离子含量等材料洁净度的影响; 三、项目开发价值 a. 如何提高显影质量,光刻胶在显影过程中,通常会出现显影不足、不完全显影、过显影等问题,如何正确显影至关重要; b.如何提高对比度,光刻胶形成图形的侧壁越陡峭,对比度越好,质量越高; c. 如何进一步提高分辨率,光刻胶在集成电路的应用等级,分为普通宽普光刻胶、g线(436nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(157nm),以及最先进的EUV (<13.5nm)线水平。等级越往上其极限分辨率越高,同一面积的硅晶圆布线密度就越大,性能越好。 d.如何提高去胶率,无论是湿法去胶还是干法去胶,光刻胶去除工艺都需要在低材料损伤、衬底硅材料损伤与光刻胶及其残留物去除效果之间取得平衡;

华飞微电子:国产高档光刻胶的先行者

华飞微电子:国产高档光刻胶的先行者 光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料,在光刻胶的高端领域,技术一直为美国、日本厂商等所垄断;近年来,本土光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产,苏州华飞微电子材料有限公司就是其中一家。 据华飞微电子总工程师兼代总经理冉瑞成介绍,目前华飞主要产品系列为248nm成膜树脂及光刻胶,同时重点

研发1Array3nm成膜树脂及光刻胶和高档专用UV成膜树脂及光刻胶。 冉瑞成表示,248nm深紫外光刻胶用于8-12英寸超大规模集成电路制造的关键功能材料,目前的供应商基本来自美国、日本,国内企业所用光刻胶全部依赖进口。华飞微电子从2004年8月创办以来,先后投入2000万元研制248纳米深紫外光刻胶及其成膜树脂产品。公司聘请了海内外的相关专家,建成了一支强有力的技术团队。经过两

年的努力取得了重大突破,其深紫外DUV光刻胶能够在248nm曝光下使分辨率达到0.25-0.18?,达到了国外最先进的第三代化学增幅型同类产品技术性能指标;2006年10月,华飞微电子248nm光刻胶及其成膜树脂的中试生产均通过了信产部的技术鉴定,成为目前中国唯一掌握该项技术的企业。 冉瑞成介绍说,华飞在苏州新区拥有一套500加仑/年、可年产20吨成膜树脂、100吨以上深紫外高分辨率光

刻胶的生产系统,已基本完成配方评价,可以进入生产程序;公司还研制出了生产光刻胶的核心材料成膜树脂,完成5个系列15个品种的中试,并具备了规模化生产的条件;厚胶主要应用于4-6英寸集成电路制造、先进封装和MEMS 的制造,业已和国内先进封装公司展开UV胶研制合作。目前,华飞公司还承担了国家863计划“1Array3纳米光刻胶成膜树脂设计及工程化制备技术开发”项目。 随着IC特征尺寸向深亚微米方向快速发展,光刻机的

橡胶加工工艺基础知识

橡胶加工工艺基础知识 一、塑炼 橡胶受外力作用产生变形,当外力消除后橡胶仍能保持其形变的能力叫做可塑性。增加橡胶可塑性工艺过程称为塑炼。橡胶有可塑性才能在混炼时与各种配合剂均匀混合; 在压延加工时易于渗入纺织物中;在压出、注压时具有较好的流动性。此外,塑炼还能使橡胶的性质均匀,便于控制生产过程。但是,过渡塑炼会降低硫化胶的强度、弹性、耐磨等性能,因此塑炼操作需严加控制。 橡胶可塑度通常以威廉氏可塑度、门尼粘度和德弗硬度等表示。 1、塑炼机理 橡胶经塑炼以增加其可塑性,其实质乃是使橡胶分子链断裂,降低大分子长度。断裂作用既可发生于大分子主链,又可发生于侧链。由于橡胶在塑炼时,遭受到氧、电、热、机械力和增塑剂等因素的作用,所以塑炼机理与这些因素密切相关,其中起重要作用的则是氧和机械力,而且两者相辅相成。通常可将塑炼区分为低温塑炼和高温塑炼,前者以机械降解作用为主,氧起到稳定游离基的作用;后者以自动氧化降解作用为主,机械作用可强化橡胶与氧的接触。 塑炼时,辊筒对生胶的机械作用力很大,并迫使橡胶分子链断裂,这种断裂大多发生在大分子的中间部分。 塑炼时,分子链愈长愈容易切断。顺丁胶等之所以难以机械断链,重要原因之一就是因为生胶中缺乏较高的分子量级分。当加入高分子量级分后,低温塑炼时就能获得显著的效果。 氧是塑炼中不可缺少的因素,缺氧时,就无法获得预期的效果。生胶塑炼过 塑炼时,设备与橡胶之间的摩擦显然使得胶温升高。热对塑炼效果极为重要,而且在不同温度范围内的影响也不同。 由于低温塑炼时,主要依靠机械力使分子链断裂,所以在像章区域内(天然胶低于110℃)随温度升高,生胶粘度下降,塑炼时受到的作用力较小,以致塑炼效果反而下降。 相反,高温塑炼时,主要是氧化裂解反应起主导作用,因而塑炼效果在高温区(天然胶高于110℃)将随温度的升高而增大,所以温度对塑炼起着促进作用。各种橡胶由于特性不同,对应于最低塑炼效果的温度范围也不一样,但温度对塑炼效果影响的曲线形状是相似的。由前已知,不论低温塑炼还是高温塑炼,使用化学增塑剂皆能提高塑炼效果。接受剂型增塑剂,如苯醌和偶氮苯等,它们在低温塑炼时起游离基接受剂作用,能使断链的橡胶分子游离基稳定,进而生成较短的分子;引发剂型增塑剂,如过氧化二苯甲酰和偶氮二异丁腈等,它们在高温下分解成极不稳定的游离基,再引发橡胶分子生成大分子游离基,并进而氧化断裂。此外,如硫醇类及二邻苯甲酰胺基苯基二硫化物类物质,它们既能使橡胶分子游离基稳定,又能在高温下引发橡胶形成游离基加速自动氧化断裂,所以,这类化学增塑剂称为混合型增塑剂或链转移型增塑剂。 2、塑炼工艺 生胶在塑炼前通常需进行烘胶、切胶、选胶和破胶等处理。烘胶是为了使生胶硬度降低以便切胶,同时还能解除结晶。烘胶要求温度不高,但时间长,故需注意不致影响橡胶的物理机械性能;例如天然胶烘胶温度一般为50~60℃,时间则需长达数十小时。生胶自烘房中取出后即切成10~20公斤左右的大块,人工选除其杂质后再用破胶机破胶以便塑炼。按塑炼所用的设备类型,塑炼可大致分为三种方法。 1、开炼机塑炼 其优点是塑炼胶料质量好,收缩小,但生产效率低,劳动强度大。此法适宜于胶料变化多和耗胶量少的工厂。 开炼钢机塑炼属于低温塑炼。因此,降低橡胶温度以增大作用力是开炼机塑炼的关键。与温度和机械作用有关的设备特性和工艺条件都是影响塑炼效果的重要因素。 为了降低胶温,开炼钢机的辊筒需进行有效的冷却,因此辊筒设有带孔眼的水管,直接向辊筒表面喷水冷却以降低辊筒需进行有效的冷却,这样可以满足各种胶料塑炼时对辊温的基本要求。此外,采用冷却胶片的方法也是有效的,例如使塑炼形成的胶片通过一较长的运输带(或导辊)经空气自然冷却后再返回辊上,以及薄通塑炼(缩小辊距,使胶片变薄,以利于冷却)皆可。分段塑炼的目的也是为了降低胶温,其操作是将全塑炼过程分成若干段,来完成,每段塑炼后生胶需充分停放冷却。塑炼一般分为2~3段,每段停放冷却4~8小时。胶温随塑炼时间的延长而增高,若不能及时冷却,则生胶可塑性仅在塑炼初期显著提高,随后则变化很少,这种现象是由于生胶温度升高而软化,分子易滑动和机械降解效率降低所致。胶温高还会产生假可塑性,一旦停放冷却后,可塑性又降低。两个辊筒的速比愈大则剪切作用愈强;因此,塑炼效果愈好。缩小辊间距也可以增大机械剪切作用,提高塑炼效果。 2、密炼机塑炼(高温、间断) 密炼机塑炼的生产能力大,劳动强度较低、电力消耗少; 1 / 5

配料和混炼胶制造工艺

配料和混炼胶制造工艺 混炼胶的主要工艺流程:配合剂的加工→橡胶和配合剂的称量→混炼→下片冷却存放→胶料快检。 一、配合剂的加工和称量: 对橡胶制品所用的橡胶和配合剂进行准备加工,并按照技术配方规定称量配合的加工工艺过程,称为加工和配料工序。 1、原材料的加工: (1)天然胶要烘胶,配有烘胶房,大块切成小块。 (2)配合剂的加工和准备的目的:确保配合剂的质量,便于混炼的工艺操作,提高混炼分散效果,实现自动化条件,制造好的胶料。 (3)配合剂的加工方式: --粉碎:按一定的质量标准将大的颗粒粉碎或磨细。 目的:增加配合剂与生胶的接触面积,便于混炼均匀,便于配合剂的分散。 --干燥:将配合剂在专门设制的加温室或干燥器内进行加热干燥。 目的:除去和减少配合剂中水分及低挥发性杂质,保证配合剂质量。因为水分过多易结团,则在混炼过程不利于分散,最后导致混炼不均。

--筛选:利用各种筛网设备对配合剂进行筛选。 目的:去掉颗粒大的杂物。 --熔化、过滤和蒸发脱水:对易熔化的固体和粘性液体进行加热熔化,通过筛网除去杂质,对于液体软化进行蒸发脱水。 目的:除去水分。 2、配合剂的称量和配合: (1)按照配方规定的配合剂的品种、规格、数量,按配方要求进行分别称量。 此工序对混炼胶的质量至关重要。如漏配、错配,不符合称量公差。多配、少配等。 (2)对称量和配合的操作要求。 a料种准确。 b称量准确。 c不漏配和错配。 d不多配和少配。 如:硫化剂和促进剂的称量天平的精度要求1-5g。 (3)配料工序要注意的方面: a要注意防潮,配合剂要存放在干燥的区域。

b有些配合剂如氧化镁(MgO)、氧化钙(CaO),遇到水后就会发生化学反应,就改变了配合剂本身的性能。所以在配料和存放过程中必须注意防水,出现结团就不能使用。 c防火,如硫黄要特别注意,电气开关的下面不允许存放,生胶和CB也要注意防火。特别注意电气焊。 d防混料,因为在配合室原材料很多,并且有些外观差不多,易出现混料,所以必须定置存放,有明显标志。没有标志的药品,不能使用,必须经取样试验确定后才能使用。 二、混炼工序: 1、将生胶与各种配合剂通过专用炼胶机均匀地混合成一体的加工工艺过程称为混炼工序。经过混炼加工制成的胶料称为混炼胶。 混炼胶目的:(1)制备物理机械性能均匀一致,达到配方要求。 (2)改善胶料的加工工艺性能,满足后工序的加工要求。 (3)降低成本,满足产品质量要求。 (4)提高橡胶制品的使用性能。 2、混炼胶的质量要求: (1)保证胶料各项快检指标的合格。 (2)有良好的加工工艺性能。 (3)保证成品具有良好的物理机械性能。

光刻胶

````4、光刻胶 光刻胶主要由树脂(Resin)、感光剂(Sensitizer)、溶剂(Solvent)及添加剂(Additive)等不同得材料按一定比例配制而成。其中树脂就是粘合剂(Binder),感光剂就是一种光活性(Photoactivity)极强得化合物,它在光刻胶内得含量与树脂相当,两者同时溶解在溶剂中,以液态形式保存,以便于使用. 4、1 光刻胶得分类 ⑴负胶 1.特点 ·曝光部分会产生交联(Cross Linking),使其结构加强而不溶于现像 液; ·而未曝光部分溶于现像液; ·经曝光、现像时,会有膨润现像,导致图形转移不良,故负胶一般不用于 特征尺寸小于3um得制作中。 2.分类(按感光性树脂得化学结构分类) 常用得负胶主要有以下两类: ·聚肉桂酸酯类光刻胶 这类光刻胶得特点,就是在感光性树脂分子得侧链上带有肉桂酸基感光性官 能团.如聚乙烯醇肉桂酸酯(KPR胶)、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯(OSR胶)等。 ·聚烃类—双叠氮类光刻胶 这种光刻胶又叫环化橡胶系光刻胶。它由聚烃类树脂(主要就是环化橡 胶)、 双叠氮型交联剂、增感剂与溶剂配制而成。

3.感光机理 ①肉桂酸酯类光刻胶 KPR胶与OSR胶得感光性树脂分子结构如下: 在紫外线作用下,它们侧链上得肉桂酰官能团里得炭-炭双键发生二聚反应,引起聚合物分子间得交联,转变为不溶于现像液得物质。KPR胶得光化学交联反应式如下:

这类光刻胶中得高分子聚合物,不仅能在紫外线作用下发生交联,而且在一定温度以上也会发生交联,从而在现像时留下底膜,所以要严格控制前烘得温度与时间. ②聚烃类—双叠氮类光刻胶 这类光刻胶得光化学反应机理与前者不同,在紫外线作用下,环化橡胶分子中双键本身不能交联,必须有作为交联剂得双叠氮化合物参加才能发生交联反应.交联剂在紫外线作用下产生双自由基,它与聚烃类树脂相作用,在聚合物分子之间形成桥键,变为三维结构得不溶性物质。其光化学反应工程如下: 首先,双叠氮交联剂按以下方式进行光化学分解反应: 双叠氮交联剂分解后生成得双氮烯自由基极易与环化橡胶分子发生双键交联(加成)与炭氢取代反应,机理如下:

光刻胶大全

光刻胶产品前途无量(半导体技术天地) 1 前言 光刻胶(又名光致抗蚀剂)是指通过紫外光、电子束、准分子激光束、X射线、离子束等曝光源的照射或辐射,使溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,主要用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工,近年来也逐步应用于光电子领域平板显示器(FPD)的制作。由于光刻胶具有光化学敏感性,可利用其进行光化学反应,经曝光、显影等过程,将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上,然后进行刻蚀、扩散、离子注入等工艺加工,因此是电子信息产业中微电子行业和光电子行业微细加工技术的关键性基础加工材料。作为经曝光和显影而使溶解度增加的正型光刻胶多用于制作IC,经曝光或显影使溶解度减小的负型光刻胶多用于制作分立器件。 2 国外情况 随着电子器件不断向高集成化和高速化方向发展,对微细图形加工技术的要求越来越高,为了适应亚微米微细图形加工的要求,国外先后开发了g线(436nm)、i线(365nm)、深紫外、准分子激光、化学增幅、电子束、X射线、离子束抗蚀剂等一系列新型光刻胶。这些品种较有代表性的负性胶如美国柯达(Kodak)公司的KPR、KMER、KLER、KMR、KMPR等;联合碳化学(UCC)公司的KTI系列;日本东京应化(Tok)公司的TPR、SVR、OSR、OMR;合成橡胶(JSR)公司的CIR、CBR 系列;瑞翁(Zeon)公司的ZPN系列;德国依默克(E.Merk)公司的Solect等。正性胶如:美国西帕来(Shipely)公司的AZ系列、DuPont公司的Waycot系列、日本合成橡胶公司的PFR等等。 2000~2001年世界市场光刻胶生产商的收益及市场份额 公司 2001年收益 2001年市场份额(%) 2000年收益 2000年市场份额(%) Tokyo Ohka Kogyo 150.1 22.6 216.5 25.2 Shipley 139.2 21.0 174.6 20.3 JSR 117.6 17.7 138.4 16.1 Shin-Etsu Chemical 70.1 10.6 74.2 8.6 Arch Chemicals 63.7 9.6 84.1 9.8 其他 122.2 18.5 171.6 20.0 总计 662.9 100.0 859.4 100.0 Source: Gartner Dataquest 目前,国际上主流的光刻胶产品是分辨率在0.25μm~0.18μm的深紫外正型光刻胶,主要的厂商包括美国Shipley、日本东京应化和瑞士的克莱恩等公司。中国专利

各种橡胶基本知识

各种橡胶基本知识 橡胶基本知识 橡胶是高弹性的高分子材料,由于橡胶具有其他材料所没有的高弹性,因而也称做弹性体,其基本特性如下: 1 有橡胶状弹性。 2 具有粘弹性。 3 有减震缓冲的作用。 4 对温度依赖大 5 具有电绝缘性。 6 有老化现象。 7 必须进行硫化。 8 必须加入配合剂 9 比重小,硬度低,柔软性好,透气性差。 前言 一. 橡胶在制鞋业中的应用: 1.历史可以远溯至1492年哥伦布发现美洲新大陆,早期的探险家发现印地安人使用巴西橡 胶树之胶乳(天然橡胶)来制作"胶鞋",防止脚被蛇虫叮咬,之後18世纪後期至19世纪初期,天然橡胶开始在欧洲用于胶管雨衣,胶鞋,但材料遇热变软发粘,遇冷变硬脆裂,实用价值不大. 2.1839年,美国人固特异(C.Goodyear)发明了橡胶的硫化,硫化後橡胶产生本质的飞跃,性能大幅度提高.此橡胶大底在制鞋业中获得了广泛应用,随著橡胶工业的发展,丁苯橡胶等人工 合成橡胶由于其性能突出,1951年後开始引入制鞋业大量使用. 生胶天然橡胶(NR) 1 来源 1. 野生橡胶:由野生树木植物采制的橡胶。银色橡胶菊,野藤橡胶等也属此类。 2. 栽培橡胶:主要是三叶橡胶树。 3. 橡胶草橡胶。一公顷可收150-200KG。 4. 杜仲胶:由杜仲树的枝叶根茎中提取。常温下无弹性,软化点高,比重大,耐水性好。可做塑料用。 1 天然橡胶制造和分级标准。 1. 烟片胶:消耗量占天然橡胶的80%。 按照质量分为六个等级:RSSIX;RSS1#;RSS2#;RSS3#;RSS4#;RSS5#。质量按顺序降低。 2. 绉胶片: 1)白绉胶==>质量最好 2)褐绉胶==》质量普通 3) 毛绉胶==》质量最差 3. 马来西亚标准胶。 品质稳定,杂质少,纯度高,国际标准. 4.专用天然橡胶 1 恒粘(CV):加入0.15-4%的盐酸氢胺,使橡胶门尼值保持在60+-5度。生热低,耐屈挠性和耐磨性好,为制造高速轮胎重要原料。 2 低粘(LV)橡胶:门尼值为45+-5度,可以不经过素炼直接混炼。 3 轮胎橡胶

中国光刻胶行业市场分析报告

中国光刻胶行业市场分析报告

目录 第一节光刻胶的概述 (4) 一、光刻胶的定义 (4) 二、光刻胶分类 (4) 三、光刻胶的技术参数 (9) 第二节光刻胶的应用 (10) 一、印刷电路板(PCB) (11) 二、液晶显示(LCD) (16) 三、半导体光刻胶 (21) 第三节新一代光刻技术 (23) 第四节中国光刻胶产业 (26) 第五节世界光刻胶产业 (28)

图表目录 图表1:光刻胶原理示意图 (5) 图表2:化学增幅型光刻的感光机理 (8) 图表3:2014年光刻胶下游应用格局分布 (11) 图表4:PCB应用类别及产值 (12) 图表5:PCB 行业产值 (12) 图表6:PCB 行业增速 (13) 图表7:中国PCB 光刻胶市场规模 (14) 图表8:中国PCB 光致抗蚀干膜进出口数量 (14) 图表9:STN-LCD原理 (16) 图表10:TFT-LCD原理 (17) 图表11:彩色滤光片结构简图 (18) 图表12:LCD产业链 (18) 图表13:中国LCD 电视机产量 (19) 图表14:全球LCD 光刻胶市场规模 (20) 图表15:半导体产业销售额 (21) 图表16:全球半导体光刻胶市场规模走势图 (22) 表格目录 表格1:光刻技术及其光刻胶的发展 (6) 表格2:光刻胶的分类 (10) 表格3:PCB光刻胶在华外国产商 (15) 表格4:光刻技术与集成电路发展关系 (24) 表格5:光刻胶国产化进程 (27) 表格6:世界主要光刻胶产商 (29)

第一节光刻胶的概述 电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,电子工业的发展要求电子化学品与之同步发展,不断地更新换代,以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。特别是在集成电路(IC)的细微加工过程中所需的关键性电子化学品主要包括:光刻胶(又称光致抗蚀剂)、超净高纯试剂(又称工艺化学品)、特种电子气体和环氧塑封料,其中超净高纯试剂、光刻胶、特种电子气体用于前工序,环氧塑封料用于后工序。这些微电子化工材料约占IC材料总成本的20%,其中超净高纯试剂约占5%,光刻胶约占4%。 一、光刻胶的定义 光刻胶又称光致抗蚀剂,又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像。 *感光树脂:经光照后在曝光区能很快地发生固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲和性等发生明显变化,用适当的溶剂处理就可以得到图像。 *增感剂:使感色范围增大的材料。1873 年H.W. 福格尔发现:当感光乳剂中加入某种染料后可将其感色范围从蓝光区拓展至可见光的整个区域(400~700nm)和近红外区域(700~1300nm)。凡增感到绿光区的称为正色性;而增感到绿光区和红光区的称为全色性。加入增感燃料扩展乳剂感色范围的作用称为光谱增感作用。各种增感燃料随着结构的不同,有不同的光谱增感作用。 *溶剂:使光刻胶保持液体状态,使其具有良好的流动性。 二、光刻胶分类 根据其化学反应机理和显影原理,分为正像光刻胶和负像光刻胶。其中正像光刻胶,曝光区域的光刻胶发生光化学反应,在显影液中软化而溶解,而未曝光区域仍然保留在衬底上,将与掩膜版上相同的图形复制到衬底上。相反,负像光刻胶曝光区域

橡胶基本工艺流程

一、基本工艺流程 橡胶制品种类繁多,但生产工艺过程却基本相同。以一般固体橡胶——生胶为原料的橡胶制品的基本工艺过程包括:塑炼、混炼、压延、压出、成型、硫化6个基本工序。当然,原材料准备、成品整理、检验包装等基本工序也少不了。橡胶的加工工艺过程主要是解决塑性和弹性性能这个矛盾的过程。通过各种工艺手段,使得弹性的橡胶变成具有塑性的塑炼胶,再加入各种配合剂制成半成品,然后通过硫化使具有塑性的半成品又变成弹性高、物理机械性能好的橡胶制品。 二、原材料准备 1.橡胶制品的主要原料是以生胶为基本材料,而生胶就是生长在热带,亚热带的橡胶树上通过人工割开树皮收集而来。 2.各种配合剂,是为了改善橡胶制品的某些性能而加入的辅助材料。 3.纤维材料有(棉、麻、毛及各种人造纤维、合成纤维和金属材料、钢丝)是作为橡胶制品的骨架材料,以增强机械强度、限制制品变型。在原材料准备过程中配料必须按照配方称量准确。为了使生胶和配合剂能相互均匀混合,需要对材料进行加工。生胶要在60--70℃烘房内烘软后再切胶、破胶成小块,配合剂有块状的。如石蜡、硬脂酸、松香等要粉碎。粉状的若含有机械杂质或粗粒时需要筛选除去液态的如松焦油、古马隆需要加热、熔化、蒸发水分、过滤杂质, 配合剂要进行干燥不然容易结块、混炼时若不能分散均匀硫化时产生气泡会影响产品质量。 三、塑炼 生胶富有弹性,缺乏加工时必需的可塑性性能,因此不便于加工。为了提高其可塑性,所以要对生胶进行塑炼,这样在混炼时配合剂就容易均匀分散在生胶中,同时在压延、成型过程中也有助于提高胶料的渗透性渗入纤维织品内和成型流动性。将生胶的长链分子降解形成可塑性的过程叫做塑炼。生胶塑炼的方法有机械塑炼和热塑炼两种。机械塑炼是在不太高的温度下通过塑炼机的机械挤压和摩擦力的作用使长链橡胶分子降解变短由高弹性状态转变为可塑状态。热塑炼是向生胶中通入灼热的压缩空气在热和氧的作用下使长链分子降解变短从而获得可塑性。 四、混炼 为了适应各种不同的使用条件、获得各种不同的性能,也为了提高橡胶制品的性能和降低成本必须在生胶中加入不同的配合剂。混炼就是将塑炼后的生胶与配合剂混合、放在炼胶机中通过机械拌合作用使配合剂完全、均匀地分散在生胶中的一种过程。混炼是橡胶制品生产过程中的一道重要工序,如果混合不均匀就不能充分发挥橡胶和配合剂的作用影响产品的使用性能。混炼后得到的胶料人们称为混炼胶它是制造各种橡胶制品的半成品材料,俗称胶料通常均作为商品出售购买者可利用胶料直接加工成型、硫化制成所需要的橡胶制品。根据配方的不同?混炼胶有一系列性能各异的不同牌号和品种?提供选择。 五、成型 在橡胶制品的生产过程中利用压延机或压出机预先制成形状各式各样、尺寸各不相同的工艺过程?称之为成型。成型的方法有 1.压延成型 适用于制造简单的片状、板状制品。它是将混炼胶通过压延机压制成一定形状、一定尺寸的胶片的方法叫压延成型。有些橡胶制品?如轮胎、胶布、胶管等所用纺织纤维材料必须涂上一层薄胶在纤维上涂胶也叫贴胶或擦胶??涂胶工序一般也在压延机上完成。纤维材料在压延前需要进行烘干和浸胶烘干的目的是为了减少纤维材料的含水量以免水分蒸发起泡?和提高纤维材料的温度以保证压延工艺的质量。浸胶是挂胶前的必要工序目的是为了提高纤维材料与胶料的结合性能。 2.压出成型 用于较为复杂的橡胶制品?象轮胎胎面、胶管、金属丝表面覆胶需要用压出成型的方法制造。它是把具有一定塑性的混炼胶放入到挤压机的料斗内在螺杆的挤压下通过各种各样的口型也叫样板进行连续造型的一种方法。压出之前胶料必须进行预热使胶料柔软、易于挤出从而得到表面光滑、尺寸准确的橡胶制品。 3.模压成型 也可以用模压方法来制造某些形状复杂如皮碗、密封圈的橡胶制品?借助成型的阴、阳模具将胶料放置在模具中加热成型。

橡胶加工工艺基础知识

橡胶加工工艺基础知识一、塑炼 橡胶受外力作用产生变形,当外力消除后橡胶仍能保持其 形变的能力叫做可塑性。增加橡胶可塑性工艺过程称为塑 炼。橡胶有可塑性才能在混炼时与各种配合剂均匀混合; 在压延加工时易于渗入纺织物中;在压出、注压时具有较好的流动性。此外,塑炼还能使橡胶的性质均匀,便于控制生产过程。但是,过渡塑炼会降低硫化胶的强度、弹性、耐磨等性能,因此塑炼操作需严加控制。 橡胶可塑度通常以威廉氏可塑度、门尼粘度和德弗硬度等表示。 1、塑炼机理 橡胶经塑炼以增加其可塑性,其实质乃是使橡胶分子链断 裂,降低大分子长度。断裂作用既可发生于大分子主链,又可发生于侧链。由于橡胶在塑炼时,遭受到氧、电、热、机械力和增塑剂等因素的作用,所以塑炼机理与这些因素密切相关,其中起重要作用的则是氧和机械力,而且两者相辅相成。通常可将塑炼区分为低温塑炼和高温塑炼,前者以机械降解作用为主,氧起到稳定游离基的作用;后者以自动氧化降解作用为主,机械作用可强化橡胶与氧的接

塑炼时,辊筒对生胶的机械作用力很大,并迫使橡胶分子链断裂,这种断裂大多发生 在大分子的中间部分。塑炼时,分子链愈长愈容易切断。顺丁胶等之所以难以机械 断链,重要原因之一就是因为生胶中缺乏较高的分子量级分。当加入高分子量级分后, 低温塑炼时就能获得显著的效果。 氧是塑炼中不可缺少的因素,缺氧时,就无法获得预期的效果。生胶塑炼过 塑炼时,设备与橡胶之间的摩擦显然使得胶温升高。热对塑炼效果极为重要,而且在 不同温度范围内的影响也不同。 由于低温塑炼时,主要依靠机械力使分子链断裂,所以在像章区域内(天然胶低于 110C )随温度升高,生胶粘度下降,塑炼时受到的作用力较小,以致塑炼效果反而下降。相反,高温塑炼时,主要是氧化裂解反应起主导作用,因而塑炼效果在高温区 (天然胶高于110C )将随温度的升高而增大,所以温度对塑炼起着促进作用。各种橡胶由于特性不同,对应于最低塑炼效果的温度范围也不一样,但温度对塑炼效果 影响的曲线形状是相似的。由前已知,不论低温塑炼还是高温塑炼,使用化学增塑剂 皆能提高塑炼效果。接受剂型增塑剂,如苯醌和偶氮苯等,它们在低温塑炼时起游 离基接受剂作用,能使断链的橡胶分子游离基稳 定,进而生成较短的分子;引发剂型增塑剂,如过氧化二苯甲酰和偶氮二异丁腈等,它们在高温下分解成极不稳定的游离基,再引发橡胶分子生成大分子游离基,并进而氧化断裂。此外,如硫醇类及二邻苯甲酰胺基苯基二硫化物类物质,它们既能使橡胶分子游离基稳定,又能在高温下引发橡胶形成游离基加速自动氧化断裂,所以,这类化学增塑剂称为混合型增塑剂或链转移型增塑剂。 2、塑炼工艺 生胶在塑炼前通常需进行烘胶、切胶、选胶和破胶等处理。 烘胶是为了使生胶硬度降低以便切胶,同时还能解除结晶。

光刻胶参数及光刻工艺

光刻胶参数及光刻工艺 1、正性光刻胶RZJ-304 ●规格 RZJ-304:25mpa·s,50mpa·s(粘稠度),配用显影液:RZX-3038 ●匀胶曲线 注:粉色为50cp,蓝色为25cp ●推荐工艺条件 ①涂布:23℃,旋转涂布,膜厚1.0~3.5μm ②前烘:热板100℃×90sec ③曝光:50~75mj/cm2(计算方法:取能量60mj/cm2取光强400×102um/cm2,则60/40=1.5s) ④显影:23℃,RZX-3038,1min,喷淋或浸渍 ⑤清洗:去离子水30sec ⑤后烘:热板120℃×120sec

●规格 S1813,配用显影液为ZX-238 ●匀胶曲线 ●推荐工艺条件1(以具体工艺为参考) ①涂布:23℃,旋转涂布,膜厚1.23um(1.1~1.9μm) ②前烘:热板115℃×60sec ③曝光:150mj/cm2 ④显影:21℃,ZX-238,65sec,喷淋或浸渍 ⑤清洗:去离子水30sec ⑥后烘:热板125℃×120sec

●规格 AZ-5214,配用显影液AZ-300 ●匀胶表格(单位:微米) ●推荐工艺条件1(以具体工艺为参考) ①涂布:23℃,旋转涂布,膜厚1.47um(1.14~1.98μm) ②前烘:热板100℃×90sec ③曝光:240mj/cm2 ④后烘:115℃×120sec ⑤泛曝光:>200mj/cm2 ⑥显影:21℃,AZ-300,60sec,喷淋或浸渍 ⑦清洗:去离子水30sec ⑧坚膜:热板120℃×180sec 注意: 紧急救护措施(对于光刻胶) ①吸入:转移至空气新鲜处,必要时进行人工呼吸或就医。 ②皮肤接触:肥皂水清洗后自来水清洗。 ③眼睛接触:流动清水清洗15分钟以上,必要时就医。

光刻胶知识

光刻胶知识简介 光刻胶知识简介: 一.光刻胶的定义(photoresist) 又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像(见图光致抗蚀剂成像制版过程)。 二.光刻胶的分类 光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能,将光刻胶作涂层,就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。 基于感光树脂的化学结构,光刻胶可以分为三种类型。 ①光聚合型 采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点。 ②光分解型 采用含有叠氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性,可以制成正性胶. ③光交联型 采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典型的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。 三.光刻胶的化学性质 a、传统光刻胶:正胶和负胶。 光刻胶的组成:树脂(resin/polymer),光刻胶中不同材料的粘合剂,给与光刻胶的机械与化学性质(如粘附性、胶膜厚度、热稳定性等);感光剂,感光剂对光能发生光化学反应;溶剂(Solvent),保持光刻胶的液体状态,使之具有良好的流动性;添加剂(Additive),用以改变光刻胶的某些特性,如改善光刻胶发生反射而添加染色剂等。 负性光刻胶。树脂是聚异戊二烯,一种天然的橡胶;溶剂是二甲苯;感光剂是一种经过曝光后释放出氮气的光敏剂,产生的自由基在橡胶分子间形成交联。从而变得不溶于显影液。负性光刻胶在曝光区由溶剂引起泡涨;曝光时光刻胶容易与氮气反应而抑制交联。 正性光刻胶。树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛,提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性,当没有溶解抑制剂存在时,线性酚醛树脂会溶解在显影液中;感光剂是光敏化合物(PAC,Photo Active Compound),最常见的是重氮萘醌(DNQ),在曝光前,DNQ是一种强烈的溶解抑制剂,降低树脂的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ在光刻胶中化学分解,成为溶解度增强剂,大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这种曝光反应会在DNQ中产生羧酸,它在显影液中溶解度很高。正性光刻胶具有很好的对比度,所以生成的图形具有良好的分辨率。

橡胶空气弹簧生产工艺

橡胶空气弹簧生产工艺技术 (简述) 一.空气弹簧 空气弹簧(橡胶气囊)是一种夹织物橡胶囊,内充压缩空气,可膨胀,利用气体体积弹性,起弹性作用的减震 橡胶制品。根据橡胶气囊工作时变形形式的不同,空气弹 簧的结构形式主要分为囊式,膜式和混和式三种类型。 国家标准:汽车悬架用空气弹簧橡胶气囊 GB/13061-91中规定 B-代表囊式; D-代表膜式; C-代表混和式。 空气弹簧在结构上与无内胎轮胎相似。是由内胶层(气密层),帘布层(耐压层),钢丝圈(骨架),外胶层(保护 层)组成。 空气弹簧的生产,也需要专用设备,工装,模具,近似汽车轮胎的生产装备。 橡胶空气弹簧的研究,发明及应用,最早是在美国,已经有一百多年,而在汽车上应用也有六十多年。 由于橡胶空气弹簧具有:质量小,舒适性好,耐疲劳,使用寿命长,具有减震和消音作用的优点,所以,广泛用 于汽车,火车及工业机械设备,仪器上。

空气弹簧的结构(以膜式为例) 橡胶气囊, 上盖板, (顶板) 进气接嘴, 固定螺栓, 缓冲块(橡胶垫,又叫限位块,减振器), 活塞(铁制件或合金铝,塑料)。 进气接嘴 固定螺栓 二.橡胶空气弹簧的特性 自振频率低; 刚度低; 阻尼性好; 高度可调。 空气弹簧在使用时,必须配有气源,以保证其内部压力的稳定。 三.空气弹簧的生产工艺流程

╱帘布压延—帘布裁断╲ 炼胶—胶片压延——成型—硫化—卷边—╲钢丝圈制备╱ 组装——压装—水试 四.生产工艺 1.炼胶(省略) 2.帘布压延 1)帘布:尼龙6,66,改性66. 聚酯帘布(PET) 帘布有单股,2股,3股。普通,加粗。 2)设备: 四辊压延机压延联动线, (意大利鲁道夫. 科梅里奥) 常用型号:XY-4S1730 辊筒Φ610 压延工艺是利用压延机将混炼胶料覆盖于纺织物表面,并渗透于织物缝隙的内部,使胶料和纺织物紧密结合在一起成为胶帘布的过程。 纺织物挂胶的方法有三种: a.一般贴胶压延;

光刻胶大全

光刻胶产品前途无量(半导体技术天地)1前言 光刻胶(又名光致抗蚀剂)是指通过紫外光、电子束、准分子激光束、X射线、离子束等曝光源的照射或辐射,使溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,主要用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工,近年来也逐步应用于光电子领域平板显示器(FPD)的制作。由于光刻胶具有光化学敏感性,可利用其进行光化学反应,经曝光、显影等过程,将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上,然后进行刻蚀、扩散、离子注入等工艺加工,因此是电子信息产业中微电子行业和光电子行业微细加工技术的关键性基础加工材料。作为经曝光和显影而使溶解度增加的正型光刻胶多用于制作IC,经曝光或显影使溶解度减小的负型光刻胶多用于制作分立器件。 2国外情况 随着电子器件不断向高集成化和高速化方向发展,对微细图形加工技术的要求越来越高,为了适应亚微米微细图形加工的要求,国外先后开发了g线(436nm)、i线(365nm)、深紫外、准分子激光、化学增幅、电子束、X射线、离子束抗蚀剂等一系列新型光刻胶。这些品种较有代表性的负性胶如美国柯达(Kodak)公司的KPR、KMER、KLER、KMR、KMPR等;联合碳化学(UCC)公司的KTI系列;日本东京应化(Tok)公司的TPR、SVR、OSR、OMR;合成橡胶(JSR)公司的CIR、CBR系列;瑞翁(Zeon)公司的ZPN系列;德国依默克( E.Merk)公司的Solect等。 正性胶如: 美国西帕来(Shipely)公司的AZ系列、DuPont公司的Waycot系列、日本合成橡胶公司的PFR等等。 2000~2001年世界市场光刻胶生产商的收益及市场份额 公司2001年收益2001年市场份额(%)2000年收益2000年市场份额(%)

光刻胶 液晶显示材料生产工艺流程

光刻胶 photoresist 又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增 感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液 体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化 反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合 性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部 分,得到所需图像(见图光致抗蚀剂成像制版过程)。 光刻胶广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制 版等过程。光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学 反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照 后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不 可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这 种性能,将光刻胶作涂层,就能在硅片表面刻蚀所需的 电路图形。基于感光树脂的化学结构,光刻胶可以分为 三种类型。①光聚合型,采用烯类单体,在光作用下生 成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚 合物,具有形成正像的特点。②光分解型,采用含有叠 氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由 油溶性变为水溶性,可以制成正性胶。③光交联型,采 用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其 分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成 一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典 型的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。 感光树脂在用近紫外光辐照成像时,光的波长会限 制分辨率(见感光材料)的提高。为进一步提高分辨率 以满足超大规模集成电路工艺的要求,必须采用波长更 短的辐射作为光源。由此产生电子束、X 射线和深紫外 (<250nm)刻蚀技术和相应的电子束刻蚀胶,X射线刻蚀 胶和深紫外线刻蚀胶,所刻蚀的线条可细至1□m以下。 LCD生产线工艺及材料简介 LCD生产线工艺及材料简介 LCD为英文Liquid Crystal Display的缩写,即液晶显示器,是一种数字显示技术,可以通过液晶和彩色过滤器过滤光源,在平面面板上产生图象。当前LCD液晶显示器正处于发展的鼎盛时代,技术发展非常迅速,已由最初的TN-LCD(扭曲向列相),发展到STN-LCD (超扭曲向列相),再到当前的TFT-LCD(薄膜晶体管)。LCD现已发展成为技术密集、资金密集型的高新技术产业。液晶显示器主要由ITO导电玻璃、液晶、偏光片、封接材料(边框胶)、导电胶、取向层、衬垫料等组成。液晶显示器制造工艺流程就是这些材料的加工和组合过程。

炼胶废气治理方法

精心整理炼胶废气治理方案 炼胶废气治理 设

目录 一.项目概况....................................................2 二.设计依据....................................................2 三.设计原则....................................................3 四.设计废气的基本资料..........................................3 4.循环水泵..................................................12 5.新增风管.................................................12 九.工程投资估算................................................14 十.运行费用估算................................................15 十一.服务承诺....................................................15

炼胶废气治理方案 一.项目概况 中山市鸿泰五金塑料厂,位于中山市小榄镇埒西二乐丰中路。该公司以加工销售轮胎修补橡胶制品为主,加工生产流程中 密炼机生产过程中将产生多组份废气,主要包括炭黑尘、橡胶颗 2.根据厂方对治理点的要求。此方案主要针对的是密炼机在运行生产过程中产生的废气。 3.《环境工程设计手册》; 4.《广东省地方排放标准大气污染物排入限值》(DB44/27-2001)

橡胶基础知识问答

1.天然橡胶初制品主要有哪些? 答:由于橡胶消费的需要,固态生胶有烟胶片、风干胶片、绉胶片、颗粒橡胶等;商品胶乳有离心浓缩胶乳、膏化浓缩胶乳、蒸发浓缩胶乳等。 2.固态生胶和商品胶乳主要用于生产哪些工业产品? 答:固态生胶主要用于制造各种轮胎、输送带、工业胶管、胶鞋等难于用胶乳直接成型的制品;商品胶乳主要用于地毯、各种浸渍制品、海绵和胶粘剂的生产。 3.目前世界上固态生胶的种类主要有哪些? 答:目前世界上固态生胶的主要种类有:恒粘胶、低粘胶、5号胶、10号胶、20号胶、50号胶、通用胶、烟胶片、风干胶片、白绉片、褐绉片、子午线轮胎标准橡胶、航空轮胎标准橡胶、胶清胶等。 4.国产标准橡胶分为哪几个级别? 答:GB/T 8081-1999将国产标准橡胶统一分为六个级别,即恒粘胶、浅色胶、5号胶(SCR5)、10号胶(SCR10)、20号胶(SCR20)和50号胶(SCR50)。 5.国产浓缩天然胶乳分为哪几个级别? 答:GB/T 8289-2001将国产浓缩天然胶乳统一分为高氨离心浓缩胶乳、低氨离心浓缩胶乳、中氨离心浓缩胶乳、高氨膏化浓缩胶乳、低氨膏化浓缩胶乳五个级别。 6.什么是分级? 答:每种产品都有相应的质量标准。按质量标准的要求,把产品分为相应的等级的过程就叫分级。 7.国产标准橡胶分级的依据是什么?其技术要求包含哪些质量项目? 答:国产标准橡胶分级的依据是国家标准“天然生胶标准橡胶规格”。其技术要求包含杂质含量、灰分含量、氮含量、挥发物含量、塑性初值、塑性保持率、颜色指数、门尼粘度8个质量项目。 8.国产浓缩天然胶乳分级的依据是什么?其技术要求包含哪些质量项目? 答:国产浓缩天然胶乳分级的依据是国家标准“浓缩天然胶乳氨保存离心或膏化胶乳规格”。其技术要求包含总固体含量、干胶含量、非胶固体、碱度、机械稳定度、凝块含量、铜含量、锰含量、残渣含量、挥性能脂肪酸值、KOH值11个质量项目。 9.国产标准橡胶对包装、重量和尺寸有什么要求? 答:胶包用聚乙烯薄膜袋和聚丙烯编织袋双层包装;胶包重量每包净重40kg±0.2kg;胶包长600mm±20mm、宽400mm±20mm、高200mm±20mm。 10.标准橡胶包装袋上的“SCR”含义是什么? 答:国产标准橡胶使用“SCR”代号。其中S代表“标准”、C代表“中国”、R 代表“橡胶”,意为标准中国橡胶。六个级别的代号分别为SCR CV(恒粘胶)、

光刻胶知识大全

光刻胶知识大全 光刻胶(Photo Resist) 光刻胶的定义及主要作用 光刻胶是一种有机化合物,它受紫外光曝光后,在显影液中的溶解度会发生变化。一般光刻胶以液态涂覆在硅片表面上,曝光后烘烤成固态。 光刻胶的作用: a、将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层中; b、在后续工序中,保护下面的材料(刻蚀或离子注入)。 ? 光刻胶起源 光刻开始于一种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶溶液通常被旋转式滴入wafer。如图 wafer被装到一个每分钟能转几千转的转盘上。几滴光刻胶溶液就被滴到旋转中的wafer 的中心,离心力把溶液甩到表面的所有地方。光刻胶溶液黏着在wafer上形成一层均匀的薄膜。多余的溶液从旋转中的wafer上被甩掉。薄膜在几秒钟之内就缩到它最终的厚度,溶剂很快就蒸发掉了,wafer上就留下了一薄层光刻胶。最后通过烘焙去掉最后剩下的溶剂并使光刻胶变硬以便后续处理。镀过膜的wafer对特定波成的光线很敏感,特别是紫外(UV)线。相对来说他们仍旧对其他波长的,包括红,橙和黄光不太敏感。所以大多数光刻车间有特殊的黄光系统。 光刻胶的主要技术参数 a、分辨率(resolution)。区别硅片表面相邻图形特征的能力。一般用关键尺寸(CD,Critical Dimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。 b、对比度(Contrast)。指光刻胶从曝光区到非曝光区过渡的陡度。对比度越好,形成图形的侧壁越陡峭,分辨率越好。 ; c、敏感度(Sensitivity)。光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长光的最小能量值(或最小曝光量)。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻胶的敏感性对于波长更短的深紫外光(DUV)、极深紫外光(EUV)等尤为重要。 d、粘滞性/黏度(Viscosity)。衡量光刻胶流动特性的参数。粘滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加;高的粘滞性会产生厚的光刻胶;越小的粘滞性,就有越均匀的光刻胶厚度。光刻胶的比重(SG,Specific Gravity)是衡量光刻胶的密度的指标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体,粘滞性更高、流动性更差。粘度的单位:泊(poise),光刻胶一般用厘泊(cps,厘泊为1%泊)来度量。百分泊即厘泊为绝对粘滞率;运动粘滞率定义为:运动粘滞率=绝对粘滞率/比重。单位:百分斯托克斯(cs)=

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