CMOS工艺

常用试剂：

TMAH 强碱

可用显影清洗

TMAH（Tetramethy1 ammonium hydroxide）全称为四甲基氢氧化氨，分子式为（CH3）4NOH，为无色结晶（常含3，5等结晶水），极易吸潮，

在空气中能迅速吸收二氧化碳，130 ℃时分解为甲醇和三甲胺。工艺中通常使用的是10％和25％的水溶液，无色无味。

（1）与CMOS工艺兼容，CMOS工艺中最致命的杂质就是金属离子，而TMAH中不含金属离子，对集成在同一个芯片上的IC电路不造成伤害；

（2）具有与KOH接近的腐蚀速度和选择比，腐蚀表面效果好；

（3）不腐蚀SiO2和Si3N4，可以选用SiO2或Si3N4作为掩模；

（4）无毒无污染，操作方便

CMOS:二甲基亚砜

一种透明、无色、无臭、呈微苦味的液体，毒性极低。它是一种水溶性的化合物，能溶解绝大多数有机化合物，甚至对无机盐也能溶解。

液态的二甲基亚砜能高度缔合。属极性溶剂具有很强的吸水性和对肌体的渗透性。纯品对金属无腐蚀，含水对铁、锌、铜有轻微腐蚀。

性质稳定，长时间在沸点温度下加热微量分解在碱性状态下可抑制腐蚀或分解。主要用作农药、染料、医药中间体等有机合成溶剂；

芳烃抽提、纶纺丝高分子聚合、石蜡精致、柴油精致、电子元件清洗、气体吸收、稀有金属萃取溶剂；电容器介质防冻剂、液压液原料；

化学反应加速溶剂；农药、农肥医药效剂。本身具有消炎、止痛、镇静、利尿、促进伤口愈合作用；并能将溶于其中的其它药物通过皮肤涂抹渗入体内，

代替口服或注射。用于治疗关节炎、皮炎、脚气、牛皮癣、扭伤、肿瘤等各种疾病。故得名“万能药”或“万能溶媒”。

DMSO-二甲基亚砜理化性

中文名称: 二甲基亚砜；亚硫酰基双甲烷；二甲基亚砜(药用)；甲基亚砜

英文名称: Dimethyl sulfoxide；sulfinylbis-Methane；DMSO；methyl sulfoxide；a 10846；deltan 分子式：（CH3）2SO（简写DMSO）

分子量：78.13

DMSO

性质描述: 无色液体，可燃，几乎无臭，带有苦味。凝固点18.4℃，沸点189℃，85-87℃（2.67kPa），20℃（49.3Pa），相对密度1.1014（20/20℃），

比热容2.93J/（kg·℃）（液体），折射率1.4783，闪点95℃（开杯），介电常数48.9（20℃），燃点300-302℃，粘度（20℃）2.20mPa·s。

该品是极性高的有机溶剂，可与水以任意比例混合，除石油醚外，可溶解一般有机溶剂。在20℃时能吸收氯化氢30%（重量）；二氧化氮30%（重量）；二氧化硫65%（重量）。

有强烈吸湿性，在20℃，当相对湿度为60%时，可从空气吸收相当于自身重量70%的水分。该品是弱氧化剂，不含水的二甲基亚砜对金属无腐蚀性。

含水时对铁；铜等金属有腐蚀性，但对铝不腐蚀。对碱稳定。在酸存在时加热会产生少量的甲基硫醇；甲醛；二甲基硫；甲磺酸等化合物。

在高温下有分解现象，遇氯能发生激烈反应，在空气中燃烧发出淡蓝色火焰。

规格：优级品、医药级、光谱级、食品级、电子级。

PGMEA

propylene glycol methyl ether acetate

1-methoxy-2-acetoxy propane

1-methoxy-2-propanol acetate

C6H12O3

乙酸丙二醇甲酯

丙二醇单甲基醚酯

CAS NO. 108-65-6

EONECS 203-603-9

NIOSHIRTECS AI 8925000

HS CODE 2915 39 90

电子级

用途：

主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂，也可用于液晶显示器生产中的清洗剂

项目

丙二醇甲醚醋酸酯

丙二醇甲醚丙酸酯

外观

无色透明液体

无色透明液体

含量≥%0.05，0.05水份≤%99.50，99.50

酸度(以HAC计)≤% 0.02，0.02

馏程(760mmHg°C)

145.0-149.0

159.0-167.0

比重%(d420)

0.9700±0.005

0.9450±0.9550

色度≤(Pt-Co)

10

10

丙二醇甲醚醋酸酯(电子级)

分子式：C6H12O3 分子量：132.16结构式：CH3COOCH2CH(CH3)OCH3

C A S 号：108-65-6

别名：

含量：≥99.5%

产品用途：主要用作LCD的清洗剂及其它电子行业。

酸度（As HAc）% ≤0.03；水份%≤0.05；色度Pt-Co≤10；外观: 无色透明液体

纯度:1-Methoxy-2-propanol acetate content: 99.5% min；色度(APHA) : 10 max

酸度( as HAc) : 0.02% max；水份: 0.05% max；蒸馏范围(760mmHg) : 140-152℃

金属离子:

Na：5 PPb max ；K 5 PPb max；Fe 5 PPb max ；Ca 5 PPb max ；Cu 5 PPb max

Mg 5 PPb max；Pb 5 PPb max；Al 5 PPb max ；Ni 5 PPb max；Cr 5 PPb max

Mn 5 PPb max；Ag 5 PPb max；Zn 5 PPb max

NMP

化学品中文名称N-甲基吡咯烷酮

化学品俗名或商品名NMP

化学品英文名称N-methyl-2-pyrrolidone

基本性能：无色透明液体，沸点202C ，闪点95C，能与水混溶，溶于乙醚，丙酮及各种有机溶剂，稍有氨味，化学性能稳定，对碳钢、铝不腐蚀，对铜稍有腐蚀性。具有粘度低，化学稳定性和热稳定性好，极性高，挥发性低，能与水及许多有机溶剂无限混溶等优点。

甲基吡咯烷酮

中文名称：N-甲基吡咯烷酮

英文名称：1-Methyl-2-pyrrolidinone

中文别名：NMP;1-甲基-2-吡咯烷酮;N-甲基吡咯烷酮(工业级);N-甲基吡咯烷酮(电子级)

CAS RN.：872-50-4

分子式：C5H9NO

物化性质：

性状无色透明油状液体，微有胺的气味。

熔点-24.4℃

沸点203℃

相对密度1.0260

折射率1.486

闪点95℃

溶解性能与水、醇、醚、酯、酮、卤代烃、芳烃互溶。

用途：

广泛用于高级润滑油精制、聚合物的合成、绝缘材料、农药、颜料及清洗剂等

废液环保处理：

用过的，脏废的甲基吡咯烷酮可以通过溶剂回收机加真空减压系统可以进行回收利用。因其沸点比较高，所以不能采用直接回收方法，通过真空减压，可以降低回收加热温度，保证回收品质，提高回收安全系数

有以上性质可以看出，该物质与水可以互溶，你发现的放热只是他溶解到水里放出的溶解热，类似于浓硫酸加入水里也会放出大量的热。

附溶解热：

指在一定温度及压力下(通常是温度为298K，压力为100kPa的标准状态)，一定质量的溶质溶解于溶剂中产生的热效应。等于一摩尔的溶质溶解在大体积的溶剂时所发出或吸收的热量。

NMP 是高效选择性溶剂, 无毒性, 高沸点, 腐蚀性小、溶解度大, 粘度低, 挥发度低, 稳定性好, 易回收等优点.NMP 在电子行业里的用途主要以下几方面：