半导体设备的基地——北京七星华创

“ 多Ｔ何 自动清洗机 ”属于半 导体清洗 中的高 ｒ ｃ Ｅ Ｖ 技术为基础，从而具有较高 可谁性， ｅ Ｐ Ｃ Ｄ Ｌ 端产 品 。研发 的 日的足用 于 中 ２ ０ｍ ０ ｍ硅 片、 １ ０ｎ 埘结构 重 新设 计， 使之满 足人 阳 能 电池 行业 大 批骨 ｍ ８
湿法 自动去胶 机 。 为北 京 、 重庆等 单他 的 中１０ ｍ ５ ｍ 集 较 充 分 的 比较 和研 究 。为 避 免 小 必耍 的披 术 风险 ， 成 电路 ， 上产线 提供 了 、 卜自动 石 英管 清洗 机 。 拟 丌发 的人阳能 电池 ０用 ＰＣ Ｄ 以现 有成熟 的 ｄ ＿ 。 ＥＶ 应 ．
术人 员 ４０余人 。 ４ ２ ０ ｍ立 式炉 产业 化生产和 ３０ ｍ立 式炉 的研 ０ ｍ ０ ｍ
＿ 』 ． 公司拥有一个博十后流动站和 ７个产 品研究 制。我们 ｌ求国际合作，学习国外的先进技术和经 验 ， 不能 依赖 别人 ，我们成 立 了专 项项 目组 ， 快 但 所 ， 中 ２ 为北 京 ｒ认 定 的市 级科研 中心 ，拥有 科 其 个 １ 丁 研 开发人 员 ２ ０ 名 ，享受政 府津 贴专 家 １ 。公 把 我们 的产 品推 进 市场 。 以适 应我 国集 成 电路大 生 ０余 ５人 司的卧式扩散炉 ，ＬＣ Ｄ ＰＶ ，小型刻蚀、去胶设备，丁 产线 发展 需要 。 动、 自 动清洗机系列 已经广泛应用于国内半导体Ｊ 家；扩散炉的 口径 已经从 １ ０ｍ （ 英寸）做到 ２ 半导体清洗清洗设备要 向高端发展 Ｏ ｉ ４ ｌ 了 ３ ｍ （ 寸 ） ３ ｍ （ ０ ｍ １ ０ ２英 。 ０ ８英 寸 ） ０ ｍ 、
特 征 尺 、 仃 【 过干 （ Ｅ Ｌ）中 ，扩 敞 ６ 、氧 生产 的要求 。具体性 能指标 为 ：彩管热 肇式 ｄ Ｆ ｅ 段 艺 旱 Ｆ ０ 订 ｉｅ ｔ 化 、 问 隔 （ ｃ ｎ Ｓ ａ ｒ）淀 积 之 、Ｐ Ｐ ｅ 』 Ｒ胶 ， 剥 离 Ｐ Ｃ Ｄ，可 处理 硅 片 的尺 、 １ ０ ｌ ｒ （ ＥＶ Ｊ 一 ０ ｎ 边长 ） ０ ５ ｍ ， 等 清洗 艺 步骤 。并 依此 为基 础 ， 向深 纳米 清洗 Ｔ 每 管一 次可 处理 １ Ｏ片 右 的硅 片 ， 个 Ｔ 岂过桦 Ｏ 艺技 术扩 展 。 包 括 装 载 、 加 热 、 抽 真 、 戚 膜 、 卸 载 Ｉ ４０ 需
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笨 导 体 设 备 的 基 地
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北京七星华创
北京七星华创
盛金龙，刘效祯
七星 华创 电子股 份 有 限公司 是 北京 市认 定 的高
一
般用于 ２ ０ｍ ０ ｍ及以上 的大生产线 ，除可靠性 、
新技 术 企业 。 公 司 建 立 了较 为 完 善 的 技术 研 发 体 温度均匀性、含氧量 ，标准通讯接 口外 ，对设备的 必须在洁净Ｊ房生产制造。 按 系， 已形成 了以技术中心为主体的新品、 艺研究开 洁净度要求也非常高， 丁 ＿ 在完 成 实验 样机研 制后 ， 进 行 将 发体系 。公司共 有员工 总数 １０ ２ ０多人 ，其 中工程 技 照我们 的战 略规划 ，
大部分使用立式炉 。 在国内， 七星华创从事的卧式扩 足 的发展，为国内Ｉ 业提供 了各式各样的湿法清洗 Ｃ Ｃ 清 散／ 氧化 ／Ｖ 设备 的开发和 生产 已达 ４ 年之 久 ，有 设备 。席用 工艺 主要包括 淀积 前后 清洗 、标准 ＲＡ ＣＤ ０
刻蚀 后清 洗 以及 各种 与扩 散前相 关的清洗 、 段 前 比较好的生产技术基础，近年在吸收国外技ｌ基础 洗 、 术 上， 卧式 设备 的水平 已经上 了新 台阶 ， 为国 内主 要 制造光刻胶剥离和去胶灰化后清洗、后段制造去胶 成 扩 散 设备供应 商 ， 得到 了用户 的广 泛 好评 ， 完全可 以 灰化后清洗和尘埃去除等。为三峡工程的晶闸管生 替代 国外 同类 设 备 。
产线提供了石英管清洗机 、 Ｃ ＲＡ自动清洗机、 硅腐蚀
动清洗机 、 台面腐蚀 自动清洗机、自 动显影机 。 上 立式炉生产在国内还属空 白，国内生产线上的 自 立式炉 全部 为进 口产 品。 北京 七星 华创 电子 股份 有 述设备其技术水平接近 ＡＢ Ｂ 公刊同类设备的水平。 为 铌酸锂光片生产线提供 了：铌酸锂片全 自动清洗机、 ｍ ５英 ２ 的厂家 ，目前 己进入 产业化推 进Ｔ 作阶段 。 立式 路炉 下 动清 洗机 。为某 公 司 １ ５ｍ （ 寸 ）集成 电
０ ３ ｍ ．５ 立式扩散 ／ 氧化炉样机已于 ２０ 年 ６月通 ０５
国内现在从事清洗行业 的单位很多，但大部分
过 了部级验收 ， 犁太 阳能 电池 用 ＰＣＤ已在 生产线 是 日刷电路板、 大 ＥＶ Ｊ 金属零件等方面的清洗， 这些方面的 上使 用 ， 自动多 品快清洗 机正在 用户 安装调试 ， 全 多 清 沈主 要 用 到 的是一 些超 声波 设 备 ，距微 电 品圆 项新 产 品正在 公司 内有计划 地研 发 中 。
限公 司是 目前 国 内唯一 一家丌始研 制 立 式扩 炉项 目 …
⑩ （ 第ｌ 期） 总 ２ ■皿 ３
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工
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企业之窗 ・
路生产 线提供 了炉 自动清 洗机 、湿法 自动腐蚀 机 、 通 过 前期 的调研 ，埘 国外小 有 的 Ｐ Ｃ Ｄ设备进 行 了 』 ， ＥＶ
清洗相去甚远 。而真正从事微 电子清沈设备生产和
研究的单位 很少。北京七星华创 电子股份有限公司

１ 立式氧化炉的产业化势在必行 。
是 本行 业 中具 有影 响 力 的～家 。其湿 法清 洗系 列产 品是 国 内已经进 入 １ ０ ｍ （ 寸 ）以上 Ｉ ５ ｍ ６英 Ｃ生产
国外开发立式炉 比较早的是 口本 ，后来美国和 线 的 国产 设 备。 最近 几 年 ，我 公司 在半 导体 清洗 行业 得 到 了长 欧洲 也相继研 发 出立式 炉 ，至今 巾２ ０ｍ 产线 己 ０ ｍ生