一种脆性材料真空吸附盘[实用新型专利]

专利名称：一种脆性材料真空吸附盘专利类型：实用新型专利
发明人：吴明庆,袁林锋
申请号：CN201721116567.0
申请日：20170901
公开号：CN207289541U
公开日：
20180501
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种脆性材料真空吸附盘，包括圆形底盘，沿底盘周边一体成型有侧壁，侧壁的顶端设有环形中心槽，中心槽内设有同轴环形凸台，凸台顶部的高度低于侧壁顶端的高度，凸台将中心槽分隔成第一凹槽和第二凹槽，还包括一个用于抽真空的真空通道，真空通道的入口设于凸台上，真空通道从凸台上的入口沿侧壁内部延伸至底盘中心，真空通道的出口设于底盘底部的中心位置。

本实用新型的吸附盘采用真空吸附的方式固定待加工的零部件，解决了零件在装夹时因受力不均造成的损坏。

吸附盘在开启真空时，凸台与两个密封垫片之间的空间形成真空室，吸附稳定性好。

通过控制真空的开关来完成零件的吸附和释放，操作更加便捷和稳定，省时省力。

申请人：北京亦盛精密半导体有限公司
地址：101100 北京市大兴区北京市北京经济技术开发区经海二路28号8幢厂房
国籍：CN
代理机构：北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：陈靳秋
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