一种光学压力传感器[发明专利]
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专利名称：一种光学压力传感器
专利类型：发明专利
发明人：蔡一博,王振宇,乔治,焦新兵申请号：CN201910252438.1
申请日：20190329
公开号：CN110068405A
公开日：
20190730
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提出了一种光学压力传感器，包括激光光源、分束装置、检测单元、反射镜和光斑探测器；检测单元包括一导电变形层和反射层；激光光源发射出的激光经分束装置分束后形成透射光和反射光；透射光经反射层后进入光斑探测器；透射光与反射层之间形成第一反射角；反射光经反射镜反射后进入光斑探测器；反射光与反射镜之间形成第二反射角；第一反射角等于第二反射角。
本发明通过比较反射镜的反射光和应变检测单元反射光的光斑位置即可以获得外界的压力参数值，具有结构简单、抗干扰性强、反应速度快、精度高、灵敏度高且成本低的优点。
申请人：上海理工大学
地址：200093 上海市杨浦区军工路516号
国籍：CN
代理机构：上海邦德专利代理事务所(普通合伙)
代理人：余昌昊
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