超高真空系统操作标准作业程序pdf
真空包机设备操作规范
設備名稱真空包裝機設備功能真空包裝文件編號
設備型號廠商版本
二﹑操作順序：
1.完成數位記憶設定(參照數位面板使用說明)。
2.將要包裝之真空袋開口部份排列於真空機之封口線上。
3.工作時只須將上蓋用雙手輕壓上後即立行啟動，動作完成後上蓋會自動開啟。
三﹑注意事項
1.注意電源(220V/50HZ)﹐切勿插錯。
2.真空包裝機離牆距離10cm,以便通風散熱。
3.每天清潔外觀。
4.開機后檢查指示燈﹑排氣扇﹑電源指示燈及LCD屏幕是否正常。
5.每15天對加熱器用布條擦淨。
6.封口作業中如出現異常﹐請及時聯絡儀保人員。
核准審核制作日期。
超高真空系统测漏标准作业程序
超高真空系統測漏標準作業程序一、前言1.根據實驗室規範，操作本系統前，必須取得合格操作人執照。
2.真空系統不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。
3.假漏(virtual leak) 與實漏(real leak) 的判定假漏：真空系統中所有可能產生氣體的機制均屬於假漏，例如：真空腔體表面吸附氣體的脫附、腔壁內部陷補或溶解的氣體經由擴散機制至腔體內，以及任何蒸氣壓高的物質包括污染等在真空腔內蒸發均為假漏，如Figure 1所示。
假漏的現象有一特點，即上述發生的氣體壓力達到與其周圍壓力相等時即產生平衡，故壓力不再上升。
實漏：外部氣體經由腔體、管壁銲接缺陷或有刮傷刀口之法蘭及接頭等處進入腔體內部，如Figure 1所示。
若有實漏發生，停止抽氣後腔體壓力最終將會與環境壓力達到平衡。
Figure 1. 真空系統的可能漏氣途徑，其中a,b,c,d為假漏的可能方式。
4.漏氣的各種可能途徑4.1.材料製造過程及加工處理：小孔、裂縫、銲接處的裂痕以及材料加工的紋理等。
4.2.材料本身的性質用來作真空系統的主體如真空腔，或真空元件如管路、氣密襯墊以及絕緣體等材料，其本身即具有某種性質可能為漏氣的條件。
故只要選用此種材料即無法避免漏氣。
4.2.1.多孔性材料的微孔有些陶瓷絕緣體或襯墊具多孔特性，故應考慮含有此類材料的真空元件可能的漏氣率。
4.2.2.分子或晶體間隙的滲透(permeation)滲透的機制為氣體分子經由材料的分子間隙或晶格間的空隙穿過進入真空系統內部。
除非更換不同的材料，否則滲透將不可避免且無法改善。
滲透與環境溫度、材料選用、氣體分子大小以及氣體分子濃度有關。
例如，玻璃及石英在性質上較金屬材料容易被滲透，又氫氣或氦氣因分子較小，所以比氧氣或氮氣容易滲透。
5.測漏時機：壓力未達幫浦所被預期的工作極限、抽氣速率過慢、真空系統再組裝或翻修後以及實驗品質管制（例：因實驗需要監測特定氣體分壓）。
真空机组标准操作规程
目的：规范真空机组的操作程序，保证真空机组正常运行
范围：适用于真空系统。
职责：真空岗位操作人员负责真空机组的使用、维护保养，QA负责监督检查。
内容：
1运转前
1.1确认电源之电压，电源指示灯亮
1.2确认冷却水正常供应
1.3确认水箱水位在24~26㎝之间
2启动
2.1合上电源开关
2.2自动启动方式
2.2.1将1#泵、2#泵运行开关转向“投入”
2.2.2将系统运行开关转向“自动”，机组开始运转
2.3手动启动方式
2.3.1将系统运行开关转向“手动”
2.3.2将1#泵运行开关转向“投入”，1#泵即开始运转
将2#泵运行开关转向“投入”，2#泵即开始运转
3运转
请将温度保持在40℃以下
4停止
请将系统运行开关转向“停止”，机组即停止运转
5注意事项
5.1机组运转时，温度超过40℃时，可采取以下两种方式。
5.1.1打开排水阀和补水阀，在保证水位不变的情况下，将机组内部冷却水
置换排出以降低温度。
5.1.2 停机自然降温，同时启动另一机组运行使用。
5.2若发现有异常响动或较大震动时，请立即停机排查检修。
真空系统设备操作规程
真空系统设备操作规程Vacuum system’s equipment operation唐南湘起草/Prepared by设备工程师签名/Signatur e日期/Date 审核/Reviewed by管曙光车间主任签名/Signature日期/Date康碧波电气工程师签名/Signature日期/Date王胜QA经理签名/Signature日期/Date 批准/Approved by张鸣生产总监签名/Signature日期/Date季兵项目总监签名/Signature日期/Date郭红质量总监签名/Signature日期/Date 分发/Distribution变更历史Change History目的Purpose规范真空系统机组运行操作的基本要求，确保设备安全正常运行，为车间提供符合工艺生产要求的真空。
范围Scope适应于M产品车间（五车间）配套的真空系统设备。
职责Responsibility生产部、五车间负责真空系统设备的日常运行操作，记录运行相关参数负责真空系统设备的日常维护，记录日常维护内容质量保证二部负责审核修订操作规程，确保操作规程规范执行参考Reference《真空系统操作安装维修手册》安全注意事项Safety precautions1.真空系统设备的操作人员必须严格按照本规程进行相关操作，禁止对该系统内各机组设备进行违规操作。
2.进入真空系统操作区域须配备耳塞。
术语Glossary无内容Procedure1正常状态下，真空系统设备开停机工作。
1.1开机前检查设备是否处于可开机运行状态。
1.1.1.检查液环真空泵是否安放平稳，地脚螺栓是否紧固。
1.1.2检查液环真空泵的风机运转是否灵活。
点动按钮，运转方向是否正确。
1.1.3检查分离器的液位计读数是否正常。
1.1.4检查系统内压力表，温度计读数是否正常，是否在校核有效期内。
1.1.5检查各阀门是否安装到位，开启关闭灵活，是否处于关闭状态。
真空系统操作SOP
真空系统操作SOP1 目的建立真空系统使用的标准操作规程。
规范其操作。
2 适用范围适用于车间真空系统的操作。
3 职责3.1操作人员严格按此操作法要求进行操作。
3.2设备管理人员负责监督检查操作人员是否按此操作法的要求规范操作和指导。
3.3生产负责人抽查本操作法的执行情况。
4 内容4.1设备开启前的准备工作。
4.1.1打开冷冻水进水阀，检查冷冻水是否畅通。
4.1.2齿轮箱内的润滑油的油位须在油窗直径的1/2高度，润滑油尽量采用粘度为46的机械油。
4.2开机启动4.2.1确保泵的旋转方向正确，从电机风扇端看是逆时针方向旋转，首次运行应该采用点动方式查看电机旋向。
在检查电机旋向时务必打开泵入口进气阀。
4.2.2打开进气阀，泵持续运行20-30min。
此时，检查泵的各项运行参数有无异常，比如震动、油温、泵温、冷却水排出温度、噪声、电机电流等是否有异常。
一般如果有异常都是由于泵的润滑不当或安装不当造成的。
4.2.3如果泵在正常负荷下运行有异常，应该立即停机，通知设备管理人员解决问题后才可以重新启动泵。
4.2.4泵的进气温度不得过高于50℃，排气口最高温度150℃,泵体不得超过60℃，油箱最高温度70℃，吸气端轴承最高温度80℃。
4.2.5泵的冷却水进出口温差应小于7℃为宜。
4.3停机流程4.3.1断开电机电源前关闭进气口的主阀。
4.3.2如果被抽气体含有腐蚀性或危害性，停机前应对泵腔进行吹扫。
通常是通入惰性气体持续吹扫30min。
4.3.3停止冷却水供给关闭阀门。
4.3.4打开积液器排污阀排污。
4.4注意事项4.4.1运转中严禁调试保养设备。
4.4.2发现异常现象，应立即报告班长并通知设备管理人员，设备管理人员采取相应措施或停机检查。
真空作业指导书
真空作业指导书全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：真空作业是一项常见的工作，涉及到许多行业和领域，如航空航天、半导体制造、医疗器械等。
在进行真空作业时，必须严格遵守操作规程，以确保工作的安全性和有效性。
为达到这一目的，制定一份详细的真空作业指导书是非常必要的。
本文将介绍真空作业指导书的编写要点和内容。
一、编写真空作业指导书的目的编写真空作业指导书的目的是为了规范和标准化真空作业流程，确保工作的安全性和效率。
通过指导书，可以明确真空设备的操作方法、维护保养要点、事故处理措施等内容，使操作人员能够准确了解工作步骤，并有效地应对突发情况。
1. 真空设备的基本知识- 真空定义及相关概念- 常见真空设备的种类和结构- 真空泵的工作原理和分类2. 真空作业流程- 启动真空设备的步骤和顺序- 真空度监测方法和要求- 真空系统的调试和操作- 真空设备的停机和故障处理3. 真空设备的维护保养- 定期检查真空设备的状态和运行状况- 清洁真空设备及其附件- 更换使用寿命到期的零部件- 维护保养记录和报告的要求4. 真空作业中的安全措施- 安全操作规程和注意事项- 防止真空设备泄露的方法- 遇到事故时的应急处理流程- 紧急情况下的撤离和救援措施5. 真空作业中的常见问题解决- 真空度不稳定的原因及处理方法- 真空泵工作异常的诊断和修复- 真空管路漏气的检测和处理- 真空系统泄漏地点的查找和修复1. 清晰明了：指导书的语言要简洁清晰，避免使用过多的专业术语和复杂的句子，以便操作人员能够轻松理解和记忆。
2. 全面详实：指导书的内容要全面详实，包括真空设备的基本知识、操作方法、维护保养要点、安全措施等方面，不留死角。
3. 实用有效：指导书应具有实用性和实效性，能够有效地指导操作人员进行真空作业，解决实际问题，确保工作的顺利进行。
4. 定期更新：随着技术的发展和工作环境的变化，真空作业指导书也需要不断更新和完善，以确保内容的时效性和准确性。
真空系统操作规程
真空系统操作规程真空操作主要分蒸汽喷射泵系统、罐口密封及阀门切换。
一、蒸汽喷射泵系统操作规程：1、与蒸汽锅炉房联系供蒸汽，压力要求稳定在0.55—0.60Mpa之间。
2、启动冷凝水泵。
（启动前确定冷凝水管道阀门正确打开，启动后确定水泵正常工作。
）3、检查测控仪表、开启压力表及真空表和阀门。
检查系统中阀门的启闭位置是否正确。
4、引入蒸汽预热管道和汽包，排出冷凝水。
5、分级启动：将各个冷凝器的冷却水打开，依照低真空向高真空的方向逐级启动。
但要求上一级泵达到工作真空后启动下一级泵，并在启动过程中不断地调整冷却水量，使冷凝器在稳定的温度下工作。
一号冷凝器的工作温度为35-36度，二号冷凝器的工作温度为43-44度。
冷凝器工作的时候，从冷凝器上部到下部的温度逐渐地上升，冷凝器的上部接近进水温度，而下部接近工作温度。
6、五级泵的工作是一个串联的过程，每一级泵都有自己的工作真空：一级： 3—10Pa二级： 30—60Pa三级： 300—600Pa四级： -0.095MPa五级： -0.075Mpa。
7、分级停泵：停泵的时候，首先将系统前的真空阀门关闭，以免泵中的蒸汽进入真空管道；然后依照高真空向低真空的方向逐级停泵。
8、随时注意冷水池温度，当水温超过25℃时，启动冷却塔。
使冷水池温度不得超过30℃。
二、罐口密封及切换控制：1、罐顶、罐底大盖密封圈和罐底插销处密封圈，每次出炉必须仔细检查，看密封圈是否托槽。
如有下列情况，则必须更换密封圈。
※密封圈表面有烧伤※密封圈破损或老化无弹性※密封圈表面有明显挤压凹槽2、装料结束后，盖上大盖，上大盖翻转时注意密封圈是否脱槽。
3、和出渣工段联系，检查该罐各密封处密封完好后，打开预抽阀门。
通知中控室，注意该罐真空状态。
达标（达标要求待定）后，中控室通知真空工。
真空工用麦氏真空表测得预抽达标后，准备切换。
4、切换前通知中控室，监控该组主抽真空。
切换时必须先关闭预抽阀门，再打开主抽阀门（决不许先开主抽，在关预抽）。
超高真空系统操作标准作业程序pdf
超高真空度技術手冊前言：為了增進抽真空的效率，如非必要應盡量避免使腔體暴露於大氣下，即使不做實驗時也要讓腔體維持在真空環境中(至少在10-3 torr等級)，如此將可大幅縮短抽氣與baking的時間。
操作流程：1.先用scroll pump將腔體壓力抽至1x10-2 torr以下（約5分鐘），再開啟turbopump抽氣，讓腔體和ion pump內部真空度達到1x10-7 torr左右（約需20分鐘，當壓力低於10-3 torr時，要改用ion gauge讀壓力值），之後可開啟ion pump 暖機。
剛開啟ion pump時（電壓設為7 Kv）。
因為電壓會慢慢上升然後瞬間下降（最後會上升到7 Kv），所以腔體壓力會反覆上升下降（注意勿讓壓力高於10-5 torr）。
等電壓升至7 Kv並觀察約半小時確定電壓穩定後（不會突然降為零），按下protect鈕；如在protect mode下電壓出現不穩，則ion pump 控制器的屏幕上會顯示error 2訊息（如圖1，此時將ion pump電源關閉再重開即可。
圖12.開啟加熱系統（共4組，腔體2組，T型管1組，ion pump 1組），加熱帶溫度約200 ℃。
3.在腔體溫度夠熱（手摸會燙）且ion gauge與RGA已degas完畢後［Ion gauge和RGA的degas動作（詳見degas步驟）需要在e-beam bombard之前進行。
］，即可開啟e-beam bombard system（記得先關閉ion pump的gate valve），步驟如下：A.確認電線已正確接好，接法如圖2－4：圖2圖3：power supply 1，用來供應電子數目。
圖4：Power supply 2，用來提供偏壓，給予電子動能。
B.將power supply 2的電壓調至 -1000 V（如圖5）。
圖5C.先以1伏特為單位慢慢增加power supply 1 （以下簡稱P1）的電壓，同時需觀察power supply 2（以下簡稱P2）的電流值，當P2出現電流值時（如圖6），則P1的電壓增加幅度改為0.1~0.2 V，並觀察P2的電流值，當P2電流值達到30 mA時（最大負載電流為50 mA），即可停止增加P1的電壓值。
利用超高真空技术的物理实验实施步骤与操作技巧
利用超高真空技术的物理实验实施步骤与操作技巧超高真空技术（Ultra High Vacuum, UHV）是一种用于实施精密物理实验的关键技术。
在UHV条件下，实验环境中的气体分子被抽除，使得实验物体与外界几乎没有任何接触，从而可以避免实验中的干扰和污染。
本文将探讨利用UHV技术进行物理实验的实施步骤与操作技巧。
首先，实施UHV实验前需要准备一台高质量的真空系统。
这个系统通常由主真空室、抽真空系统以及监测和控制系统组成。
主真空室是实验装置的核心部分，其内部应具备足够强度和密封性，以保证超高真空的环境。
抽真空系统则通过使用高效的真空泵来抽出室内气体，通常包括机械泵、分子泵和离子泵等。
监测和控制系统用于实时监测真空度，并调整真空系统的工作状态。
在装置准备完毕后，接下来是样品的准备和加载。
样品通常是需要进行实验的固体材料，可以是单晶、薄膜或者纳米结构等。
在准备过程中，重要的一点是确保样品的表面干净无尘，以免对实验结果产生不良影响。
样品的加载通常通过样品传输机构实现，该机构可以在UHV环境下将样品从外界引入主真空室，并实现对样品的定位和固定。
当样品成功加载到主真空室后，下一步是实验仪器和探测器的连接和调整。
实验仪器通常是用于施加各种电磁场、温度场或其他激励条件的设备，如电极、磁铁或加热器等。
这些仪器需要精确调整位置和参数，以确保实验的准确性和重复性。
而探测器则用于记录实验过程中产生的信号，如电流、电压、荧光等，从而获取实验结果。
实验开始后，需要注意的一点是维护和监测超高真空环境。
由于气体分子在常规大气压下含量极高，因此超高真空环境对泄漏源的控制非常重要。
检测和维护UHV条件通常包括两个方面：泄漏检测和气体污染检测。
泄漏检测通过使用质谱仪等检测设备来寻找可能的泄漏位置，并及时修复。
气体污染检测则通过气体分析仪等设备来监测室内气体组分和水分含量，保证实验环境的干净。
最后，实验结束后需要进行设备的清理和维护。
因为在UHV实验中，由于实验装置与外界几乎没有接触，所以设备的清理工作相对简单。
抽高真空流程
抽高真空流程Maintaining a high vacuum flow is crucial in many industrial processes. 高真空流程的维持在许多工业流程中至关重要。
It ensures that contaminants are removed and that products are of high quality. 它确保了污染物被清除，产品的质量高。
Achieving a high vacuum flow requires careful attention to detail and the use of appropriate equipment. 实现高真空流程需要对细节仔细关注和使用合适的设备。
From selecting the right vacuum pump to properly sealing equipment, every step plays a crucial role in ensuring a successful outcome. 从选择正确的真空泵到正确密封设备，每一步都在确保成功的结果中起着关键作用。
One of the key factors in maintaining a high vacuum flow is the selection of the right vacuum pump. 维持高真空流程的关键因素之一是选择正确的真空泵。
Different types of vacuum pumps have different flow rates and capabilities, so it is important to choose one that meets the specific requirements of the process. 不同类型的真空泵具有不同的流量和能力，因此选择一个满足流程特定要求的真空泵非常重要。
真空处理安全操作规程范本（2篇）
真空处理安全操作规程范本一、引言本安全操作规程旨在保障工作人员在进行真空处理工作过程中的安全，减少事故的发生，保护人身和财产安全。
凡参与真空处理工作的人员，均应严格遵守本规程。
二、安全准备1. 检查真空处理设备的安全性能，确保其在运行过程中的稳定性。
2. 检查真空系统和电气系统的连接情况，确保其能够正常运行。
3. 配备必要的个人防护装备，如手套、护目镜等。
三、操作流程1. 准备工作1.1 确保工作区域清洁整齐，无杂物。
1.2 检查真空处理设备的温度、压力等参数，确保其处于正常范围。
1.3 打开通风设备，确保空气流通。
2. 开始工作2.1 打开真空处理设备，并调整至所需的真空度。
2.2 确定待处理物品的尺寸和形状，选择合适的容器或夹具。
2.3 将待处理物品放入容器或夹具中，并确保其稳固。
3. 真空处理3.1 关闭真空处理设备的入口阀门。
3.2 打开真空泵，开始抽真空。
3.3 监测真空度，确保其达到要求。
3.4 根据处理要求，进行相应的处理操作。
3.5 处理完成后，关闭真空处理设备的出口阀门。
4. 结束工作4.1 关闭真空泵。
4.2 慢慢打开真空处理设备的入口阀门，平衡内外压力。
4.3 确认内部压力降至安全范围后，打开设备门离开工作区域。
4.4 清理工作区域，将设备归位。
四、安全注意事项1. 禁止将易燃、易爆、腐蚀性物质放入真空处理设备。
2. 避免操作过程中产生尘埃、异味等有害物质，确保环境卫生。
3. 不得私自改动或拆卸真空处理设备的任何部件。
4. 对于异常情况，如设备故障、压力突变等，应立即停止操作并报告相关负责人。
5. 禁止在真空处理区域吸烟、饮食等行为，确保操作环境清洁和人员安全。
6. 在操作过程中，定期检查设备的各项指标，如温度、压力等，确保其正常运行。
7. 操作人员应遵守相关安全操作规程，严禁违章操作。
五、事故应急处置1. 在发生事故时，首先保证人身安全，将受伤人员送离现场。
2. 立即停止设备运行，并关闭相关阀门，切断电源。
PLD系统操作规程-高真空
PLD系统操作规程——高真空生长实验过程中，请勿带任何首饰！使用系统之前先检查系统的状态。
1.确认电源连接状况良好。
2.确保氧气瓶的气阀、真空室的针阀以及涡轮分子泵的闸板阀处于关闭状态。
3.检查涡轮分子泵中是否出于1个大气压状态。
4.确保真空室中处于常压、室温状态。
PLD系统的使用(真空室内的操作必须带PV手套)1.将靶材放入真空室后，通过移动透镜使激光聚焦到靶材的表面。
缓慢调节透镜下面的手动平移台，听激光轰击靶材的声音，声音最大时为最好的聚焦状态。
2.聚焦调好后，将激光器能量和频率调至生长时的参数，预溅射2分钟，将靶材的表面清洁干净。
3.将衬底放入真空室，关闭观察窗的挡板，然后再关快开门(避免挡板被快开门夹住，影响真空室的密封状态)。
关闭快开门时，先转动右侧的旋钮将快开门轻轻顶住，然后将左侧旋钮拧紧，最后将右侧旋钮拧紧即可。
（此过程中切勿用力过大）4.确保真空室的气阀处于关闭状态，低真空抽气旁路的气阀处于关闭状态，分子泵高真空抽气旁路气阀处于开放状态，涡轮分子泵的闸板阀处于开放状态，打开机械泵，然后打开真空计。
打开分子泵冷却水，（真空计处于自动档不需要调节）等到真空室气压在10Pa以下时打开涡轮分子泵。
5.温度系统：在抽真空的同时给衬底升温，打开温度控制仪。
1)按GRP键，然后按键，显示初始温度。
2)按STEP键，显示第一段程序，第一步的目的温度，按和键调节温度大小，按ENT键确认（单位为摄氏度）。
3)按键，显示第一段程序，第一步的执行时间，按和键调节时间，按ENT键确认（单位为分钟）。
4)到此第一步程序设定完毕，按STEP键设定第二段程序的参数。
5)所有参数设定完毕后按四次GRP回到主设定界面，按住RUN键3秒运行程序。
如需停止程序，按住RUN键3秒程序停止。
（最高生长温度750度）6.生长温度和生长气压达到所需的值后，稳定5分钟。
然后打开激光器开始生长。
生长过程中，如需观察真空室内的状态，可以拿手电筒，戴上防护境，打开观察窗挡板观察，观察后请随手关闭挡板，以免开启时间过长污染观察窗上的玻璃。
真空系统任务流程[新版]
![真空系统任务流程[新版]](https://img.taocdn.com/s3/m/218b2c1f591b6bd97f192279168884868762b829.png)
真空排气系统工作流程
第一步：将待抽工件通过DN40波纹管接入主管道。
第二步：开启总电源，打开电阻规。
第三步：
预抽低真空：
1.打开DN400气动挡板阀。
2.启动机械泵，此时压差阀已开始工作（因机械泵，压差阀连接在同一个电源）。
3.打开DN80气动挡板阀。
4.启动罗茨泵，打开DN100气动挡板阀。
第四步：当真空度达到20Pa时，启动分子泵，同时打开电离规，分子泵启动1-2min内，依次关闭DN100气动挡板阀，罗茨泵，DN80气动挡板阀。
此时仍保持机械泵为工作状态。
第五步：分子泵完全启动后，抽高真空（此过程时间以待抽真空腔体大小而定）。
第六步：当真空度达到使用者要求后，关闭电离规，其次依次关闭10个DN40气动挡板阀，然后关闭DN400气动挡板阀，取出合格工件。
第七步：接入另一批待抽工件，打开DN80气动挡板阀，启动罗茨泵，打开DN100气动挡板阀，依次打开10个DN40气动挡板阀。
第八步：当真空度达到20Pa时，关闭DN100气动挡板阀，打开DN400气动挡板阀，关闭罗茨泵及DN80气动挡板阀，打开电离规。
第九步：依次重复操作步骤五，步骤六。
第十步：此时，若所有工件待抽完毕，想关闭真个系统时，首先关闭电离规，其次关闭分子泵，当分子泵完全停止工作后，关闭机械泵同时关闭压差阀。
(整理)真空系统操作手册B5
真空系统单元仿真培训系统北京东方仿真软件技术有限公司2009年1月一．工艺流程说明1.液环真空泵简介及工作原理水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。
水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。
水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。
在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。
由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。
由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。
在泵体中装有适量的水作为工作液。
当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。
水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。
此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。
如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
2．蒸汽喷射泵简介及工作原理水蒸汽喷射泵是以靠从拉瓦尔喷咀中喷出的高速水蒸汽流来携带气的，故有如下特点：(1)该泵无机械运动部分，不受摩擦、润滑、振动等条件限制，因此可制成抽气能力很大的泵。
工作可靠，使用寿命长。
高真空及超高真空注意事项
高真空及超高真空注意事項1.定義: 高真空一般指的是壓力為1E-3 torr到1E-7 torr, 超高真空指的是壓力低於1E-7 torr。
2.抽氣速率：chamber內容積要儘量小，連接到 turbo pump的管子要儘量短，管徑要各處儘量大，才能有較大抽氣速率，可減少抽氣時間及降低最後平衡時的壓力。
3.逸氣: 高真空及超高真空要考慮逸氣的問題, 接觸真空表面積越大, 吸附上去的氣體就越多, 要抽下去就需要更多的時間。
4.真空材質: 盡可能的減少放進真空室的物體, 不同材質的物體吸附氣體的能力也不同, 請一一確認是否會造成抽氣的問題( 一般來說塑膠製品皆不宜, 主要原因是會吸附大量的氣體, 再者是不宜烘烤 ), 比如說實驗室常用的尼龍束線帶請不要放進去, 任何有疑問的物品應先查清楚材料後去翻真空的書比對是否影響真空度。
5.氣體負荷: 在高真空下主要的氣體負荷為水氣, 超高真空下為氫氣, 所以要抽到高真空不可避免的要烘烤chamber, 尤其是當chamber從沒烤過或長時間曝露在空氣中, 烘烤有助於縮短抽真空的時間, 而到超高真空則要選用對氫氣抽氣最有效率的pump, 如ion pump。
6.測漏: 開始抽氣後請先確認真空腔體沒有實漏, 在壓力是3E-1 torr時可用乙醇去測漏, 當確定乙醇測不出來後可以用氦氣測漏儀 ( 原分所區請向機械工廠何師傅借, 中大區請找實驗室維護人 ), 確定真空系統沒有實漏後, 在turbo pump抽到1E-3 torr以下就可以開始烘烤, 注意! 有實漏的情況烤是沒用的!7.烘烤準備: 用加熱帶繞chamber時, 注意加熱帶不能交叉疊到, 均勻的繞chamber腔壁, 需要用到膠帶固定的話請用耐高溫膠帶 ( 廠商: 沅橡, 產品編號: 0400113-001)( 實驗室常用的3M膠帶不能超過70度, 請不要使用 ) , 繞好後外面再用玻璃纖維(廠商: 立峰井, 產品編號: A1ET3100-1 ) 包覆保溫, 注意! 玻璃纖維請先用鋁箔包住後用耐熱膠帶固定, 包的時後要帶手套, 小心被纖維刺到, 包覆時避開window、gauge、electric feedthrough, 因為window怕加熱不均勻變形導致玻璃破裂, convection gauge操作溫度不能高於50度, electric feedthrough大氣端的接頭為光華牌一般塑膠(PE or PP ) 也不可超過70度, chamber底下的止滑墊請換成viton材質的, 一般塑膠止滑墊也是不能超過70度, viton gasket不能超過150度, 烘烤溫度最好在130度左右, 最後貼上溫度計在chamber邊。
超高真空技术的使用指南
超高真空技术的使用指南随着科技的不断进步，超高真空技术在各个领域得到了广泛的应用。
超高真空技术主要指的是在实验室或工业生产中将被研究物体或加工物体周围的气体抽除至极低压力范围内，以便于研究物体的特性或进行特定的加工工艺。
本文将为您介绍超高真空技术的使用指南，包括实验室设置、仪器设备以及操作技巧等方面。
1. 实验室设置超高真空技术对实验室的要求较高，首先需要具备良好的密封性能。
实验室的墙壁、门窗等部分应该密封良好，以防止外界气体进入实验室。
其次，实验室中需要设置专用的超高真空室，该室应具备抽气系统、气体注入系统、真空泵等设备。
此外，实验室中应配备充分的电源插座和冷凝水系统，为超高真空技术的使用提供必要的配套环境。
2. 仪器设备超高真空技术的仪器设备主要包括真空泵、泄漏检测仪、气体注入系统、定位平台等。
真空泵是超高真空技术的核心设备，其作用是将实验室内的气体抽出，创建超高真空环境。
常见的真空泵有机械泵、吸附泵、离心泵等，根据实验需求选择合适的真空泵。
泄漏检测仪用于检测实验室的真空度是否达到预期要求，可通过检测泄漏率判断系统密封性的良好程度。
气体注入系统用于实验过程中向超高真空室内注入特定气体，以研究物体与该气体的相互作用。
定位平台则用于将待研究物体放置在超高真空室内，保证实验物体的稳定性。
3. 操作技巧在进行超高真空技术实验时，需要注意一些操作技巧。
首先，需要保证实验室的洁净度高，防止灰尘等杂质对实验结果的干扰。
其次，操作人员需要了解并熟悉相关仪器设备的使用手册，掌握正确的操作方法。
在开启真空泵时，需要逐步升高抽气速度，以免对系统造成损伤。
进行气体注入时，应根据实验需求选择合适的注入方法和气体浓度。
使用定位平台时，应注意物体的放置位置和固定方式，以免影响实验结果。
此外，为保证实验安全，操作人员应佩戴防护眼镜和手套，避免对身体造成伤害。
4. 应用领域超高真空技术在多个领域都有广泛应用。
在物理学领域，超高真空环境可以用于研究材料的表面特性、电子结构等方面。
真空作业指导书
MW级真空作业指导书1.生产作业流程2.物料明细工具明细4．作业内容本章节主要介绍了采用真空导入法生产的操作规程，具体操作流程和注意点如下：4.1模具清洁和准备在主体与翻边模具清理过程中首先要用抹布把模具上残留的杂物或灰尘清理干净，严禁出现模具有污染的现象，另外，翻边模具与主体模具要定位正确，准确安装。
模具清理干净后，在模具表面均匀的涂敷高效PMR脱模剂（一种液体型脱模剂，易于加工，涂覆一次，能反复脱模多次）。
具体操作方法如下：1）将纯棉布PMR浸湿(不使其过湿而滴出PMR)，在模具上涂抹，每次在小方块面积(不超过一平方米的面积)上涂层以形成一层平滑连续的薄膜。
2）等待数秒至10秒钟(在室温)，当模具上PMR开始挥发，但仍潮湿时，用第二块干净的纯棉布用圆周式动作抹干PMR，抹干时不需用力，但必须使模具表面完全干燥和光亮才算完成涂敷。
3）重复以上动作，直到PMR涂敷完整个模具（包括非产品区域，如模具翻边等）。
4）对于已日常使用的模具，每脱模5次需要涂敷一次PMR脱模剂，同时对于模具拐角处每脱三次模具需要涂敷一次PMR脱模剂。
5）在涂敷完成最后一层PMR脱模剂后，放置30分钟以使PMR脱模剂反应完成才能开始生产。
在涂敷完成脱模剂后，需要在模具四周的粘密封胶带，然后进入下一步喷射胶衣的工作。
4.2胶衣层的制作在胶衣区域喷涂GE9010S胶衣，采用的V388固化剂含量为2%（根据实际温度等条件调整。
喷射完待胶衣进行凝胶固化完成后，（时间视具体温湿度条件而定，胶衣不粘手作为进行下一步操作的判定标准），方可以进行下一步骤的操作。
4.3铺层结构4.4铺层要求4.4.1短切毡450的铺设为减轻胶衣面织物布纹问题，第一层先铺设一层450g/m2短切毡，必须保证织物与模具应完全贴合(短切毡面朝下)，避免出现织物没有压紧的现象，织物采取对接的方式，对接缝≤2mm，在拐角处织物铺层时可用剪刀进行剪开以满足贴合的目的。
4.4.2增强层法兰处设置增强层。
真空系统使用标准操作作业指导书
ABC制药有限公司操作规程管理文件目录１.目的：明确真空系统使用的标准操作规程。
(2)２.范围：生产部门提取工序真空系统。
(2)３.责任：车间主任及提取工序操作人员。
(2)４.内容： (2)５. 注意事项： (2)６.培训： (2)１.目的：明确真空系统使用的标准操作规程。
２.范围：生产部门提取工序真空系统。
３.责任：车间主任及提取工序操作人员。
４.内容：4.1 真空系统是提供本工序设备正常运转所需真空的必备系统。
4.2 使用前应检查系统的各阀门、管路有无泄漏，电器开关，仪表等是否正常。
4.3 检查冷却水罐水位应在50%以上，若水量不足应加水，打开进水阀向冷却水罐内注水，待水位开至50%以上，关闭上述开启阀门及水泵开关，停止加水。
4.4 打开相应真空泵出水阀门，并且开启冷却水循环系统及冷却塔。
4.5 开启真空泵开关，待真空度达到总表0.07MPa以上，即可使用真空系统。
4.6 生产结束后，应关闭真空泵开关及出水阀门、冷却水循环系统、冷却塔开关及所有阀门。
５. 注意事项：5.1注意真空泵与三效节能蒸发器的对应使用，即1—4号三效节能蒸发器对应使用1—4号真空泵。
5.2 如真空度低，首先查看真空管内是否有水，如有水，关闭真空泵，打开真空管放水阀放水后，重新启动。
5.3 如冷却水罐内水温过高，则打开进水阀、循环水泵及风机，进行循环冷却。
5.4 经常巡视管路、设备及轴承润滑状况,发现异常及时联系检修。
６.培训：6.1 培训对象：生产部门提取工序操人员。
6.2 培训时间：二小时。
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超高真空度技術手冊
前言：
為了增進抽真空的效率，如非必要應盡量避免使腔體暴露於大氣下，即使不做實驗時也要讓腔體維持在真空環境中(至少在10-3 torr等級)，如此將可大幅縮短抽氣與baking的時間。
操作流程：
1.先用scroll pump將腔體壓力抽至1x10-2 torr以下（約5分鐘），再開啟turbo
pump抽氣，讓腔體和ion pump內部真空度達到1x10-7 torr左右（約需20分鐘，當壓力低於10-3 torr時，要改用ion gauge讀壓力值），之後可開啟ion pump 暖機。
剛開啟ion pump時（電壓設為7 Kv）。
因為電壓會慢慢上升然後瞬間下降（最後會上升到7 Kv），所以腔體壓力會反覆上升下降（注意勿讓壓力高於10-5 torr）。
等電壓升至7 Kv並觀察約半小時確定電壓穩定後（不會突然降為零），按下protect鈕；如在protect mode下電壓出現不穩，則ion pump 控制器的屏幕上會顯示error 2訊息（如圖1，此時將ion pump電源關閉再重開即可。
圖1
2.開啟加熱系統（共4組，腔體2組，T型管1組，ion pump 1組），加熱帶溫
度約200 ℃。
3.在腔體溫度夠熱（手摸會燙）且ion gauge與RGA已degas完畢後［Ion gauge
和RGA的degas動作（詳見degas步驟）需要在e-beam bombard之前進行。
］，即可開啟e-beam bombard system（記得先關閉ion pump的gate valve），步驟如下：
A.確認電線已正確接好，接法如圖2－4：
圖2
圖3：power supply 1，用來供應電子數目。
圖4：Power supply 2，用來提供偏壓，給予電子動能。
B.將power supply 2的電壓調至 -1000 V（如圖5）。
圖5
C.先以1伏特為單位慢慢增加power supply 1 （以下簡稱P1）的電壓，同
時需觀察power supply 2（以下簡稱P2）的電流值，當P2出現電流值時（如圖6），則P1的電壓增加幅度改為0.1~0.2 V，並觀察P2的電流值，
當P2電流值達到30 mA時（最大負載電流為50 mA），即可停止增加
P1的電壓值。
（P.S. P1電壓升至10V時鎢絲若仍未亮起則應檢查鎢絲是
否正常安置。
）
圖6
D.開始電子束轟擊時，腔體壓力會隨emission current增加而上升，運作時
間至少2.5小時。
注意事項1：當P1不再增加電壓時，P2的電流不會是固定值而會約有0.2~0.3 mA的震盪，之後P2的電流值隨時會有上升的現象，假如電流值超過運作的最大電流時，則需調降P1的電壓，因此在進行e-beam bombard時，人員必須隨時在現場注意P2的電流值。
注意事項2：E-beam bombard期間，其他儀器勿執行degas。
4.E-beam bombard結束後，當壓力降至1x10-7 torr時先，進行TSP的degas（見
degas步驟3），完畢後再開啟ion pump的gate valve繼續baking。
5.當腔體壓力在一個小時內的變化小於10 %（此時真空度約為1x10-7 torr或更
低）時，關閉加熱系統，讓腔體冷卻8小時以上後，此時壓力約可下降至2x10-9 torr左右。
整個baking過程（包含冷卻時間）約需1天。
6.電扇吹向電線接頭處（圖8）幫助散熱，開啟高電流power supply（圖9），
並切換為local模式，按下output後將電流值設為40 A，運作4到5分鐘，壓力值會先衝至10-7 torr以上再開始慢慢下降，此時開啟ion pump的gate valve 後繼續等待降壓，注意當壓力回到1.6x10-9 torr以下時要關閉turbo pump的gate valve，並將ion pump電壓降至5 Kv，1個小時左右可抽達3.5x10-10 torr，之後壓力仍會緩慢持續下降，8小時後則降至2x10-10 torr以下(補充過液態氮狀態下)。
若要維持真空度，則需每8個小時補充一次液態氮，未補充最後則
會回升至5x10-5 torr左右。
圖7
圖8
圖9
Tips : 當操作完以上程序後，若真空度達5x10-10 torr以下，可將ion pump電壓值 再降至3Kv以減少噴出的鈦離子量，或許可將壓力再往下拉低。
Degas步驟：
1.Ion gauge：按下面板上的degas鍵，此時會無法讀到壓力值，直到degas完
成後會自動恢復壓力顯示（約10~15分鐘）。
2.RGA：開啟L310-PC-022的RGA
3.0 program（圖10）
圖10 ，點選head選項中的degas（圖11）
圖11
圖12
，degas完畢圖12中的小視窗會自行關閉。
3.TSP：以30A電流對三根鈦絲各運作5分鐘，TSP釋氣時壓力會稍微上升至
約4x10-7 torr。
注意degas步驟不需灌液態氮。
注意：進行以上degas步驟前都須先確認ion pump的gate valve已經關閉。
Venting chamber：
先關閉turbo與ion pump的gate valve，然後Stop turbo pump等轉速降至0 rpm （約30分鐘）後關angle valve，關ion gauge並切換到convectron gauge，之後灌空氣進腔體到760 torr後即可打開腔體。